真空泵參數(shù)選型2

1、優(yōu)選文檔優(yōu)選文檔PAGEPAGE13優(yōu)選文檔PAGE真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍，到此刻為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。所以，為達(dá)到不相同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不相同的真空區(qū)段需要選擇不相同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到最正確配置，選擇真空系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)試慮下述各點(diǎn)：確定工作真空范圍:第一必定檢查確定每一種工藝要求的真空度。由于每一種工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，必定認(rèn)真研究確定之。確定極限真空度在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，由于系統(tǒng)的極限真空

2、度決定了系統(tǒng)的最正確工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。被抽氣體種類與抽襟懷檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽襟懷。由于若是被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必定考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。真空容積檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達(dá)到要求真空度后在必然工藝要求條件下保持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計(jì)算S=2.303V/tLog(P1/P2)其中：S為真空泵抽氣速率V為真空室容積（(L/s)L）t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間P1為初始真空度(Torr)P2為要求真空度(

3、Torr)(s)比方：V=500Lt=30sP1=760TorrP2=50Torr則:S=2.303V/tLog(P1/P2)=2.303x500/30 xLog(760/50)=35.4L/s自然上式可是理論計(jì)算結(jié)果，還有若干變量因素未考慮進(jìn)去，器的流阻、被抽氣體溫度等。實(shí)質(zhì)上還應(yīng)該將安全系數(shù)考慮在內(nèi)。目前工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等如管道流阻、泄漏、過濾一般的要求是：1、真空度、真空容積、主要介質(zhì)、溫度、主要容積類設(shè)備。2、真空流入介質(zhì)及流量、壓力、溫度、規(guī)律。3、抽襟懷、抽出氣體介質(zhì)、溫度。4、真空設(shè)備的占地面積、自動化程度、真空管道規(guī)格采用真空泵時(shí)需要注意事項(xiàng)：1、真

4、空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，采用的真空泵的真空度最少要510-6mmHg。平時(shí)選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有必然的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其牢固的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。所以，泵的工作點(diǎn)應(yīng)入選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能夠讓它在10-8mmHg下長遠(yuǎn)工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工

5、藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，所以，有時(shí)采用一種泵不能夠滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能夠抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有必然的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置獲取較好的真空度。別的，有的真空泵不能夠在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)入選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。若是要求不嚴(yán)格，能夠選擇有油泵，加上一些防油污染措

6、施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到干凈真空要求。6、認(rèn)識被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐化性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。若是氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐化性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。若是環(huán)境不相同意有污染，能夠選無油真空泵，也許把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不相同意，應(yīng)選擇無振動的泵也許采用防振動措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修花銷。這個(gè)化工手冊有公式的，能夠去查下！S=QRT/(P*M)S是抽氣率Q是

7、系統(tǒng)漏襟懷，放襟懷。T是溫度，P系統(tǒng)壓力M是系統(tǒng)氣體分子量！真空計(jì)算常用公式1、玻義爾定律體積V，壓強(qiáng)P，P?V常數(shù)（必然質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2V2/V1）2、蓋?呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，必然質(zhì)量的氣體，其體積常數(shù)）V與絕對溫度T成正比：（V1/V2T1/T2當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，必然質(zhì)量的氣體，溫度每高升(或P降低)1，則它的體積比原來增加(或減小)1/273。3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，必然質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其他絕對溫度T成正比，即：P1/P2T1/T2在必然的體積下，必然質(zhì)量的氣體，溫度每高升(或降低)1，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/

8、273。4、平均程：(510-3)/P(cm)5、抽速：Sdv/dt(升/秒)或SQ/PQ流量(托?升/秒)P壓強(qiáng)(托)V體積(升)t時(shí)間(秒)6、通導(dǎo)：CQ/(P2-P1)(升/秒)7、真空抽氣時(shí)間：關(guān)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t8V/S(經(jīng)驗(yàn)公式（V為體積，S為抽氣速率，平時(shí)t在510分鐘內(nèi)選擇。）8、保持泵選擇：S維S前/10)9、擴(kuò)散泵抽速估計(jì)：S3D2(D直徑cm）10、羅茨泵的前級抽速：S(0.10.2)S羅(l/s)11、漏率：Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏系統(tǒng)漏率(mmHg?l/s)V系統(tǒng)容積(l)P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到

9、的壓強(qiáng)(mmHg)t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：SQ1/P預(yù)(l/s)S=2.3V?lg(Pa/P預(yù))/tS機(jī)械泵有效抽速P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度t達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Q1真空系統(tǒng)漏氣率(托?升/秒)(托)V真空系統(tǒng)容積(升)Pa大氣壓值(托）13、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級泵來保持其前級壓力低于臨界值，采用的前級泵必定能將主泵的最大氣體量排走，依照管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSgPgS或SgPgs/PnSg前級泵的有效抽速(l/s)Pn主泵臨界前級壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/

10、s)Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：SQ/P(K?n)/(P?t)(升/秒)式中：S被試泵的抽氣速率(l/s)n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P在泵口周邊測得的壓強(qiáng)(托)K滴管系數(shù)(托?升/秒)KV0?(L/n)?(0/m)+PaVt其中V0滴管和真空膠管的原始容積(升)L滴管刻度部分的長度(mm)n滴管刻度部分的格數(shù)(格)0油的比重(克/厘米3)m汞的比重(克/厘米3)Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)Vt滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：SZnLKv(D2-d2)/(24

11、104)(l/s)式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95)。16、O型橡膠槽深B0.7DD為橡膠直徑，槽寬C1.6B17、方形橡膠槽深B0.8AA為方形橡膠邊長，槽寬C1.67B采用真空泵時(shí)，需要注意以下事項(xiàng)：1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，采用的真空泵的真空度最少要510-6mmHg。平時(shí)選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有必然的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣

12、寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其牢固的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。所以，泵的工作點(diǎn)應(yīng)入選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能夠讓它在10-8mmHg下長遠(yuǎn)工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，所以，有時(shí)采用一種泵不能夠滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能夠抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有必然的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置獲取較

13、好的真空度。別的，有的真空泵不能夠在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)入選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。若是要求不嚴(yán)格，能夠選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到干凈真空要求。6、認(rèn)識被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐化性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。若是氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐化性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸

14、氣對環(huán)境的影響如何。若是環(huán)境不相同意有污染，能夠選無油真空泵，也許把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不相同意，應(yīng)選擇無振動的泵也許采用防振動措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修花銷。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵種類的確定泵的種類主要由工作所需的襟懷、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的地域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)。應(yīng)防備在最大真空度或最大排氣壓力周邊運(yùn)轉(zhuǎn)。在此地域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，不但效率極低，而且工作很不牢固，易產(chǎn)生振動和噪音。關(guān)于真空度較高的真空泵而言，在此地域之內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，經(jīng)常還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象

15、的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會以致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。依照以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級泵中采用。若是真空度或排氣壓力較高，單級泵經(jīng)常不能夠滿足，也許，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可采用兩級泵。若是真空度要求在710mmHg以上，可采用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。若是只作真空泵用，則采用單作用泵比較好。由于單作用泵的構(gòu)造簡單，簡單制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。若是僅作較大襟懷的壓縮機(jī)使用，則采用雙作用的泵比較合適。由于雙作用泵的襟懷大，體積小，重量輕，徑向力能獲取自動平衡

16、，軸不簡單產(chǎn)生疲倦斷裂，泵的使用壽命較長。二、依照系統(tǒng)所需的襟懷選擇真空泵初步選定了泵的種類此后，關(guān)于真空泵，還要依照系統(tǒng)所需的襟懷來采用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集以下，以利于用戶選型代號主要特點(diǎn)極限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范圍m3/min密封形式sk國內(nèi)設(shè)計(jì)單級水環(huán)真空泵，構(gòu)造簡單、維修方便。目前國內(nèi)主流的低真空水環(huán)式真空泵。-700-300-6500.15120盤根、機(jī)械密封2sk國內(nèi)設(shè)計(jì)雙級水環(huán)真空泵，相當(dāng)于兩臺SK水環(huán)泵串通使用，比較單級水環(huán)泵擁有真空度高及高真空下抽速較大的特點(diǎn)。目

17、前國內(nèi)主流水環(huán)式真空泵。-735-300-7001.530盤根、機(jī)械密封2BV采用西門子先進(jìn)技術(shù)，機(jī)泵同軸，構(gòu)造緊湊，效率高，真空度高，性能牢固，將逐漸替代SK、2SK系列0.46m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-300-7000.458.33機(jī)械密封2BE1采用西門子先進(jìn)技術(shù)，效率高，真空度高，性能牢固，將逐漸取代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水環(huán)真空泵。-735-640-300-700-300-6005400盤根、機(jī)械密封SZ50年代蘇聯(lián)技術(shù)，效率低，能耗大，80年代初已被裁汰，主要應(yīng)用于老用戶。-640-700-300-6501.527盤根SZB50年代蘇聯(lián)技術(shù)，效率低

18、，能耗大，80年代初已被裁汰，主要應(yīng)用于水泵引水，目前已被SK系列水環(huán)泵取代。-600-300-5500.330.66盤根2SY主要應(yīng)用于水環(huán)壓縮機(jī)，最大排氣壓強(qiáng)為0.6MPa-630機(jī)械密封2YK構(gòu)造基本與2SK系列相同，能夠用被抽介質(zhì)作為工作液，極限真空度隨被抽介質(zhì)的飽合蒸氣壓而改變。表中極限真空度為工作介質(zhì)為變壓器油時(shí)的極限真空度。-755-300-7201.530機(jī)械密封本文由上海泰通泵閥供應(yīng)：采用真空泵時(shí)，需要注意以下事項(xiàng)：1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，采用的真空泵的真空度最少要510-6mmHg。平時(shí)選擇泵

19、的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級。2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有必然的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。所以，泵的工作點(diǎn)應(yīng)入選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能夠讓它在10-8mmHg下長遠(yuǎn)工作。又如鈦升華泵能夠在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，所以，有時(shí)采用一種泵不能夠滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要

20、求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能夠抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有必然的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置獲取較好的真空度。別的，有的真空泵不能夠在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)入選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。若是要求不嚴(yán)格，能夠選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到干凈真空要求。6、認(rèn)識被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐化性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分

21、，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。若是氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐化性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。若是環(huán)境不相同意有污染，能夠選無油真空泵，也許把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不相同意，應(yīng)選擇無振動的泵也許采用防振動措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修花銷。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵種類的確定泵的種類主要由工作所需的襟懷、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的地域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)。應(yīng)防備在最大真空度或最大排氣壓力周邊運(yùn)

22、轉(zhuǎn)。在此地域內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，不但效率極低，而且工作很不牢固，易產(chǎn)生振動和噪音。關(guān)于真空度較高的真空泵而言，在此地域之內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，經(jīng)常還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會以致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。依照以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級泵中選取。若是真空度或排氣壓力較高，單級泵經(jīng)常不能夠滿足，也許，要求泵在較高真空度情況下仍有較大襟懷，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可采用兩級泵。若是真空度要求在710mmHg以上，可采用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。二、依照系統(tǒng)所需的襟懷選擇真空泵初步選定了泵的種類此后，關(guān)于真空泵，還要

23、依照系統(tǒng)所需的襟懷來采用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁真空計(jì)算公式。面對各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集以下，以利于用戶選型真空泵一覽表名稱型號抽氣速率L/s極限真空Pa配用功率kW旋片真空泵2X(Z)型旋片式真空泵0.570610-20.555.5XD、X單級旋片真空泵2.8150210-20.3715往來真空泵羅茨真空泵滑閥真空泵環(huán)真空泵真空泵機(jī)組X型單級旋片真空泵301506411W型往來真空泵323002000430556005.545ZJ型羅茨真空泵305000510-20.75557030001.130H型滑閥真空泵860011.155706007.5552H型滑閥真空泵81500.14152BE1、CBF水環(huán)式真空泵2450m3/min7.57102BE1型雙級水環(huán)式真空泵5320m3/min3.3103113802BV型水環(huán)式真空泵0.38.3m3/min0.81152SK型雙級水環(huán)式真空泵0.430m3/min3.51032.255S、SK型水環(huán)式真空泵0.6725m3/min(3.54)1031.555SK型水環(huán)式真空泵0.4120m3/min(815)1031.1185SZ、SK型水環(huán)式真空