微納加工實(shí)驗(yàn)室管理制度與規(guī)范

1、微納加工和器件公共實(shí)驗(yàn)室微納加工實(shí)驗(yàn)室管理制度與規(guī)范一、總則為加強(qiáng)和規(guī)范*大學(xué)微納加工實(shí)驗(yàn)室的運(yùn)行管理，制定本制度。微納加工實(shí)驗(yàn)室是*大學(xué)公共技術(shù)條件和知識(shí)創(chuàng)新的重要組成部分，是開(kāi)展校內(nèi)外學(xué)術(shù)交流和合作研究的重要基地。微納加工實(shí)驗(yàn)室的主要任務(wù)是為介觀和納米尺度上開(kāi)展物理基本問(wèn)題研究和相關(guān)的應(yīng)用基礎(chǔ)研究提供重要手段，使*大學(xué)各相關(guān)學(xué)科基礎(chǔ)和應(yīng)用研究的能力得到實(shí)質(zhì)性提高。實(shí)驗(yàn)室根據(jù)*大學(xué)的研究方向和需求配置實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，吸引所內(nèi)外優(yōu)秀人才利用微納加工實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備開(kāi)展研究工作，積極促進(jìn)所內(nèi)外的合作與國(guó)際學(xué)術(shù)交流。實(shí)驗(yàn)室管理團(tuán)隊(duì)的職責(zé)是編制和組織實(shí)施實(shí)驗(yàn)室發(fā)展規(guī)劃，爭(zhēng)取多渠道籌措實(shí)驗(yàn)室運(yùn)轉(zhuǎn)經(jīng)費(fèi)，通過(guò)制定

2、一系列規(guī)章制度保證實(shí)驗(yàn)室正常運(yùn)行，聯(lián)絡(luò)所內(nèi)外的研究人員使用實(shí)驗(yàn)室的資源。對(duì)實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)與功能開(kāi)發(fā)負(fù)有領(lǐng)導(dǎo)責(zé)任。實(shí)驗(yàn)室工程技術(shù)人員負(fù)責(zé)設(shè)備和潔凈實(shí)驗(yàn)室的日常維護(hù)和提高設(shè)備的利用率。對(duì)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)和功能開(kāi)發(fā)負(fù)有直接責(zé)任。儀器的使用及安全直接由實(shí)驗(yàn)室工程技術(shù)人員負(fù)責(zé)。對(duì)本實(shí)驗(yàn)室學(xué)生和獨(dú)立操作用戶的設(shè)備操作規(guī)范和上機(jī)時(shí)間安排負(fù)有直接責(zé)任。微納加工實(shí)驗(yàn)室工作人員和用戶之間應(yīng)保持和諧友善的態(tài)度。實(shí)驗(yàn)室工作人員應(yīng)公平對(duì)待每一位用戶。實(shí)驗(yàn)室工作人員嚴(yán)格執(zhí)行*大學(xué)的作息時(shí)間，不得無(wú)故遲到、早退。實(shí)驗(yàn)室工作人員應(yīng)加強(qiáng)對(duì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)，不得向第三者透露用戶所從事的研究?jī)?nèi)容和未公開(kāi)發(fā)表的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，

3、不得擅自利用用戶實(shí)驗(yàn)結(jié)果發(fā)表論文。實(shí)驗(yàn)室工作人員要與用戶保持經(jīng)常聯(lián)系，收集用戶反饋的實(shí)驗(yàn)結(jié)果和利用本實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備發(fā)表的研究成果，用作個(gè)人年終工作總結(jié)、實(shí)驗(yàn)室年度報(bào)告或?qū)嶒?yàn)室成果匯編。在做好技術(shù)服務(wù)的前提下，實(shí)驗(yàn)室工作人員要積極鉆研業(yè)務(wù)，注重儀器設(shè)備的使用效率、功能開(kāi)發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，參與國(guó)際國(guó)內(nèi)的技術(shù)與學(xué)術(shù)交流。實(shí)驗(yàn)室要建立健全的內(nèi)部規(guī)章制度。實(shí)驗(yàn)室工作人員和用戶必須認(rèn)真閱讀并嚴(yán)格執(zhí)行*大學(xué)和實(shí)驗(yàn)室的各項(xiàng)規(guī)章制度二、用戶須知所有使用微納加工實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備從事研究工作的個(gè)人或單位都是微納加工實(shí)驗(yàn)室的用戶。申請(qǐng)注冊(cè)成為微納加工實(shí)驗(yàn)室用戶請(qǐng)參閱“微納加工實(shí)驗(yàn)室用戶申請(qǐng)注冊(cè)流程”（登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè) HYP

4、ERLINK / ，在下載專(zhuān)區(qū)），成功注冊(cè)并通過(guò)審核成為實(shí)驗(yàn)室用戶后，享有實(shí)驗(yàn)室相應(yīng)權(quán)利和義務(wù)。微納加工實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)聯(lián)絡(luò)用戶。用戶在注冊(cè)時(shí)請(qǐng)?zhí)峁﹤€(gè)人詳細(xì)信息。微納加工實(shí)驗(yàn)室將利用用戶提供的信息建立一套完整的用戶信息庫(kù)。實(shí)驗(yàn)室的各種狀況，設(shè)備信息與狀態(tài)，培訓(xùn)信息等實(shí)驗(yàn)室相關(guān)信息均會(huì)在實(shí)驗(yàn)室主頁(yè)發(fā)布，同時(shí)會(huì)通過(guò)郵件方式通知用戶。因此，用戶請(qǐng)保持經(jīng)常關(guān)注實(shí)驗(yàn)室網(wǎng)站的更新。任何申請(qǐng)進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室并使用設(shè)備的用戶，均必須參加實(shí)驗(yàn)室組織的綜合培訓(xùn)課程，并通過(guò)綜合培訓(xùn)考試后，簽署“微納加工實(shí)驗(yàn)室超凈間使用公約”（登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè) HYPERLINK / ，在下載專(zhuān)區(qū)），方可開(kāi)通實(shí)驗(yàn)室門(mén)禁，允許其進(jìn)入。綜合培訓(xùn)課程內(nèi)

5、容包括：實(shí)驗(yàn)室整體情況介紹，管理規(guī)則，安全措施，儀器使用規(guī)則等。獲得進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室權(quán)限后，任何申請(qǐng)獨(dú)立操作微納加工實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的用戶，都必須參加設(shè)備實(shí)驗(yàn)室安排的設(shè)備培訓(xùn)，經(jīng)過(guò)設(shè)備培訓(xùn)后，用戶須在設(shè)備管理員的陪同下能夠獨(dú)立無(wú)誤的操作設(shè)備3次，并在設(shè)備管理員確認(rèn)申請(qǐng)人了解儀器工作原理和儀器操作規(guī)程后，方可授權(quán)其獨(dú)立使用該設(shè)備并在培訓(xùn)單上簽字。綜合培訓(xùn)通常需要半天時(shí)間，每臺(tái)儀器的培訓(xùn)通常需要23次，視申請(qǐng)培訓(xùn)的用戶人數(shù)而定。原則上所有培訓(xùn)每個(gè)學(xué)期舉辦一次，一般在每學(xué)期初開(kāi)始。設(shè)備管理員原則上不接受臨時(shí)性、單獨(dú)的設(shè)備培訓(xùn)申請(qǐng)。具備獨(dú)立操作微納加工實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備的用戶必須嚴(yán)格執(zhí)行儀器的操作規(guī)程和實(shí)驗(yàn)室的各

6、項(xiàng)規(guī)章制度。用戶根據(jù)設(shè)備工程師提供的用戶名和密碼進(jìn)入計(jì)算機(jī)系統(tǒng)方可操作儀器；計(jì)算機(jī)系統(tǒng)自動(dòng)記錄用戶登陸后的一切操作指令；用戶應(yīng)對(duì)所有錯(cuò)誤操作及產(chǎn)生的后果負(fù)責(zé)；實(shí)驗(yàn)完成后，將儀器恢復(fù)到使用前狀態(tài)或待機(jī)狀態(tài)。不得冒用他人帳戶。對(duì)于違反儀器操作規(guī)程和實(shí)驗(yàn)室規(guī)章制度的人經(jīng)警告無(wú)效后將被取消獨(dú)立操作資格，造成儀器設(shè)備損壞的要追究其責(zé)任并賠償。使用微納加工實(shí)驗(yàn)室的儀器必須經(jīng)過(guò)預(yù)約登記。儀器設(shè)備預(yù)約方法請(qǐng)參考“實(shí)驗(yàn)室刷卡預(yù)約系統(tǒng)使用說(shuō)明“（登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè)HYPERLINK /，在下栽專(zhuān)區(qū)）。如果因個(gè)人原因無(wú)法按預(yù)約時(shí)間前來(lái)使用，將按一下說(shuō)明執(zhí)行：（1）撤銷(xiāo)毀約說(shuō)明：用戶預(yù)約后，如因個(gè)人原因無(wú)法在預(yù)約時(shí)間前來(lái)

7、使用，請(qǐng)?zhí)崆耙惶爝M(jìn)入預(yù)約系統(tǒng)撤銷(xiāo)，對(duì)于單臺(tái)儀器，撤銷(xiāo)次數(shù)限制為每學(xué)期12次，達(dá)到上限后相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周；如果過(guò)了撤銷(xiāo)時(shí)間，即在預(yù)約時(shí)間當(dāng)天決定不來(lái)使用，請(qǐng)?zhí)崆斑M(jìn)入預(yù)約系統(tǒng)毀約，對(duì)于單臺(tái)儀器，毀約次數(shù)限制為每學(xué)期6次，達(dá)到上限后相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周。微納實(shí)驗(yàn)室在每學(xué)期初會(huì)清空撤銷(xiāo)毀約記錄。（2）預(yù)約沒(méi)來(lái)說(shuō)明：如因個(gè)人原因既沒(méi)有前來(lái)使用，也沒(méi)有撤銷(xiāo)毀約，當(dāng)天預(yù)約機(jī)時(shí)在半個(gè)小時(shí)以上者，將按毀約處理，相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周,并收取預(yù)約機(jī)時(shí)費(fèi)用的50%。（3）預(yù)約遲到說(shuō)明：在預(yù)約時(shí)間開(kāi)始十五分鐘后，預(yù)約用戶沒(méi)有前來(lái)刷卡使用，該用戶將自動(dòng)失去預(yù)約時(shí)間，其它用戶有權(quán)隨時(shí)刷卡上機(jī)使用

8、儀器，此情況將被視為毀約。（4）提前結(jié)束說(shuō)明:預(yù)約用戶使用儀器順利或因其它原因提前結(jié)束使用相關(guān)儀器時(shí)，提前時(shí)間在半個(gè)小時(shí)以上，請(qǐng)通知下一預(yù)約用戶或者其它想臨時(shí)使用該臺(tái)儀器的用戶前來(lái)使用，以免造成儀器機(jī)時(shí)的浪費(fèi)。如提前結(jié)束時(shí)間超過(guò)一小時(shí)，又沒(méi)有通知其它用戶前來(lái)使用，按毀約一次處理。微納加工實(shí)驗(yàn)室工作人員保證不向第三者透露用戶所從事的研究?jī)?nèi)容和未公開(kāi)發(fā)表的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，不擅自利用用戶實(shí)驗(yàn)結(jié)果發(fā)表論文。用戶有義務(wù)向微納加工實(shí)驗(yàn)室提供利用微納加工實(shí)驗(yàn)室設(shè)備完成的論文抽印本，ppt文件或總結(jié)報(bào)告等。微納加工實(shí)驗(yàn)室工作人員和用戶之間應(yīng)保持和諧友善的態(tài)度。實(shí)驗(yàn)室工作人員應(yīng)公平對(duì)待每一位用戶。如果用戶發(fā)現(xiàn)自己受到

9、不公正對(duì)待，請(qǐng)直接向?qū)嶒?yàn)室主管領(lǐng)導(dǎo)反映。三、凈化間工作須知（1）工作時(shí)間微納加工實(shí)驗(yàn)室原則上全天24小時(shí)開(kāi)放，用戶可在任意時(shí)間進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各大型設(shè)備的預(yù)約開(kāi)放時(shí)間根據(jù)設(shè)備特點(diǎn)由相應(yīng)設(shè)備工程師制定，用戶在預(yù)約時(shí)可看到每臺(tái)設(shè)備提供服務(wù)的時(shí)間。實(shí)驗(yàn)室管理團(tuán)隊(duì)與技術(shù)工程師的工作時(shí)間為8:00-17:00，與學(xué)校的固定工作時(shí)間一致。請(qǐng)用戶嚴(yán)格遵守預(yù)約時(shí)間，不要遲到。為了安全起見(jiàn)，實(shí)驗(yàn)室嚴(yán)禁夜間（17：00-次日8：00）只有一名用戶工作且沒(méi)有工作人員陪同的情況發(fā)生。（2）進(jìn)入凈化間通過(guò)綜合培訓(xùn)考試并取得儀器獨(dú)立操作資格的用戶在認(rèn)真閱讀實(shí)驗(yàn)室相關(guān)制度，并簽名保證嚴(yán)格執(zhí)行的協(xié)議后，方能進(jìn)入凈化間工作

10、。不具備進(jìn)入凈化間工作資格的人員嚴(yán)禁進(jìn)入凈化間。確因工作關(guān)系（例如，訪問(wèn)，參觀等），需要進(jìn)入凈化間者，須經(jīng)實(shí)驗(yàn)室管理團(tuán)隊(duì)批準(zhǔn)，在實(shí)驗(yàn)室工作人員全程陪同下，方可進(jìn)入凈化間。在凈化間內(nèi)嚴(yán)禁擅自觸動(dòng)任何儀器設(shè)備，負(fù)責(zé)陪同的實(shí)驗(yàn)室工作人員對(duì)所陪同人員在實(shí)驗(yàn)室的一切行為負(fù)有監(jiān)督責(zé)任。實(shí)驗(yàn)室不允許攜帶除了手機(jī)和一卡通之外任何與實(shí)驗(yàn)無(wú)關(guān)的個(gè)人物品（例如筆記本電腦，平板電腦，紙張，筆等）進(jìn)入凈化間。如需將手機(jī)帶入，須用塑料手套將其包裹住。在實(shí)驗(yàn)室門(mén)口放置有鎖柜，用戶在進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室之前須將外套，書(shū)包等個(gè)人物品寄存在鎖柜中并鎖好（錢(qián)包、現(xiàn)金等貴重物品請(qǐng)隨身保管），方可進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室。對(duì)于不確定的情況，需先報(bào)告實(shí)驗(yàn)室工作

11、人員，確認(rèn)是否可以帶入凈化間。在實(shí)驗(yàn)室工作人員不能確定該物品是否可以帶入凈化間的情況下，須請(qǐng)示實(shí)驗(yàn)室管理團(tuán)隊(duì)。（鎖柜的使用方法請(qǐng)參見(jiàn)“鎖柜使用說(shuō)明“，登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè) HYPERLINK / ，在下載專(zhuān)區(qū)）本實(shí)驗(yàn)室進(jìn)入權(quán)限由門(mén)禁系統(tǒng)控制并記錄，取得凈化間進(jìn)入權(quán)限的用戶須由實(shí)驗(yàn)室管理人員開(kāi)通其一卡通的門(mén)禁功能方能刷卡進(jìn)出凈化間。進(jìn)入凈化間后，須在鞋柜外黏塵紙上脫鞋，并把鞋放入鞋柜內(nèi)，跨過(guò)鞋柜，帶好口罩，頭套，一次性手套然后進(jìn)入更衣間。在更衣間內(nèi)，按照要求穿好凈化服，凈化鞋，注意將褲腳放入凈化鞋的護(hù)腿中，并帶好凈化服連體帽。對(duì)照衣帽鏡檢查凈化服穿戴是否合格，然后進(jìn)入風(fēng)淋室，除塵12秒后進(jìn)入凈化間。注

12、意：進(jìn)出風(fēng)淋室都須將門(mén)關(guān)好。在凈化間內(nèi)要輕關(guān)門(mén)，避免引起震動(dòng)。在凈化間過(guò)風(fēng)淋室旁邊還配有個(gè)人實(shí)驗(yàn)物品儲(chǔ)物架，請(qǐng)自己準(zhǔn)備一個(gè)標(biāo)示有姓名等信息的儲(chǔ)物盒，將樣品，光刻版，光刻膠，防護(hù)用品，鑷子等無(wú)須帶出實(shí)驗(yàn)室的個(gè)人實(shí)驗(yàn)物品放在儲(chǔ)物盒內(nèi)，并放置于儲(chǔ)物架上。注意：微納加工實(shí)驗(yàn)室要求潔凈的工作環(huán)境，進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的任何人都必須穿著凈化服。在實(shí)驗(yàn)室工作的人是最大的污染源。衣物、皮膚、頭發(fā)等產(chǎn)生的顆粒物將危及您的研究目標(biāo)。嚴(yán)格執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室規(guī)章制度和我們提出的如下要求，將是實(shí)現(xiàn)研究目標(biāo)的根本保證。下列規(guī)則必須遵守： 不要帶入任何與工作無(wú)關(guān)的物品，包括個(gè)人背包、外套，筆記本電腦等 不要化妝 不要將頭發(fā)露出凈化服，不要在

13、更衣間和凈化間梳頭不得在凈化間內(nèi)打開(kāi)凈化服拉鏈、脫下凈化服、頭套或凈化鞋。不要在凈化間使用鉛筆和橡皮擦 不要將包裝材料帶進(jìn)凈化間，應(yīng)在凈化間外打開(kāi)包裝紙盒 帶入凈化間的任何儀器、配件和工具等必須在凈化間外預(yù)先清潔 不得在凈化間內(nèi)進(jìn)食，吸煙 不得在實(shí)驗(yàn)室聽(tīng)音樂(lè)和從事任何娛樂(lè)活動(dòng) 禁止在凈化間內(nèi)高聲談?wù)摶虼舐曅鷩W!凈化間工作規(guī)則在凈化間工作的人員應(yīng)保持凈化間的回風(fēng)口暢通，不要堵塞。不同房間的門(mén)應(yīng)保持關(guān)閉，樣品傳遞應(yīng)放在傳遞窗中傳送，盡量減少開(kāi)門(mén)次數(shù)。嚴(yán)格在實(shí)驗(yàn)室劃分的工作區(qū)域和指定的設(shè)備上從事相應(yīng)工作。凈化間的溫度（2022）和濕度（4060RH）都是由空調(diào)和控濕系統(tǒng)精確控制的，在實(shí)驗(yàn)室工作的任何

14、人發(fā)現(xiàn)室內(nèi)溫度、濕度或其它異?，F(xiàn)象及安全隱患時(shí)，應(yīng)停止工作，立即通知實(shí)驗(yàn)室工作人員檢查，延誤報(bào)告造成損失者要承擔(dān)責(zé)任。嚴(yán)禁用戶未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室工作人員允許擅自進(jìn)入服務(wù)區(qū)，如有特殊需求（例如，進(jìn)入電子離子顯微區(qū)的服務(wù)區(qū)對(duì)樣品做噴金處理等），需提前通知工作人員，獲得許可后方可進(jìn)入。在任何情況下，嚴(yán)禁用戶進(jìn)入刻蝕區(qū)的服務(wù)區(qū)，即特氣間。在刻蝕區(qū)和特氣間內(nèi)以及門(mén)口均安裝有特氣偵測(cè)報(bào)警系統(tǒng)，任何人一旦發(fā)現(xiàn)報(bào)警信號(hào)（亮黃燈或紅燈）或聽(tīng)到報(bào)警鈴聲，應(yīng)停止工作，立即通知實(shí)驗(yàn)室其他用戶離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室，同時(shí)通知工作人員，延誤報(bào)告造成損失者要承擔(dān)責(zé)任。只有具備儀器獨(dú)立操作資格的人員才能操作實(shí)驗(yàn)室的相關(guān)設(shè)備，操作者必須詳細(xì)填寫(xiě)實(shí)

15、驗(yàn)記錄。實(shí)驗(yàn)過(guò)程中出現(xiàn)任何故障，應(yīng)首先報(bào)告實(shí)驗(yàn)室工作人員，并記錄故障發(fā)生的過(guò)程及現(xiàn)象。不得擅自維修或改動(dòng)儀器參數(shù)，實(shí)驗(yàn)進(jìn)行中不得擅自離開(kāi)。微納加工實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備價(jià)格昂貴，系統(tǒng)復(fù)雜，用戶不得擅自拆卸儀器，人為因素造成儀器損壞，應(yīng)承擔(dān)責(zé)任并賠償。實(shí)驗(yàn)結(jié)束后應(yīng)及時(shí)取出樣品，并保管好，實(shí)驗(yàn)室有專(zhuān)門(mén)的存放個(gè)人實(shí)驗(yàn)物品的儲(chǔ)物架。實(shí)驗(yàn)完成后請(qǐng)清理實(shí)驗(yàn)桌并恢復(fù)到使用前的狀態(tài)，禁止在儀器設(shè)備或?qū)嶒?yàn)臺(tái)上亂放實(shí)驗(yàn)物品，注意保持實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的整潔。沒(méi)有按照要求存放的樣品及物品將由工作人員定期清除，實(shí)驗(yàn)室不予保留。所有化學(xué)處理都必須在通風(fēng)柜內(nèi)完成，用戶要確保了解所使用化學(xué)試劑的物理化學(xué)性質(zhì)，并正確操作。使用通風(fēng)柜或化學(xué)藥

16、品和試劑后，應(yīng)保持通風(fēng)柜清潔。將所用化學(xué)藥品、試劑和器皿清潔后放回原處，廢液倒入指定的回收瓶?jī)?nèi)并將瓶蓋蓋好。實(shí)驗(yàn)室工作人員負(fù)責(zé)凈化間衛(wèi)生的定期清掃和監(jiān)督。進(jìn)入百級(jí)凈化間前，必須佩帶口罩和手套，不得將書(shū)、實(shí)驗(yàn)本、紙張以及任何可能攜帶灰塵顆粒的物品帶入百級(jí)凈化間，如確需帶入請(qǐng)把紙張裝入封閉的塑料帶或用無(wú)塵紙，以避免對(duì)樣品和百級(jí)凈化環(huán)境的直接污染。實(shí)驗(yàn)完成后離開(kāi)百級(jí)實(shí)驗(yàn)間時(shí)，檢查使用過(guò)的儀器是否關(guān)閉，并檢查水、電、氣是否安全關(guān)閉。使用勻膠機(jī)的用戶在使用完成后應(yīng)認(rèn)真清理勻膠臺(tái)；使用熱板進(jìn)行烘烤樣品時(shí)嚴(yán)禁在熱板面上直接涂光刻膠，以免弄臟熱板影響熱板加熱的均勻性；如發(fā)現(xiàn)熱板上有殘膠，請(qǐng)及時(shí)清理，保證熱板的

17、清潔。使用完成后要及時(shí)關(guān)閉電源。離開(kāi)凈化間完成實(shí)驗(yàn)工作后，從風(fēng)淋室旁邊小門(mén)出凈化間，在更衣間內(nèi)將凈化服脫下，連同帽子掛在衣架上，鞋放在鞋架上，注意保持整潔。用過(guò)的一次性手套，頭套，口罩等放入垃圾箱，然后出更衣室?？绯鲂瘢瑥男駜?nèi)取出鞋后，請(qǐng)?jiān)谡硥m紙上或拎到門(mén)外再穿。刷卡離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室。進(jìn)入凈化間工作資格的取消所有在凈化間工作的人員必須遵守以上各項(xiàng)規(guī)定，并簽名確保嚴(yán)格執(zhí)行。違反上述規(guī)定，經(jīng)警告無(wú)效者，將被取消進(jìn)入凈化間工作的資格。注：凈化間內(nèi)所有區(qū)域均在錄像監(jiān)控中。四、安全須知實(shí)驗(yàn)室安全在實(shí)驗(yàn)室工作的所有人員都必須堅(jiān)持安全第一、預(yù)防為主的原則，都應(yīng)熟悉實(shí)驗(yàn)室安全制度和其他有關(guān)安全的規(guī)章制度，掌握消

18、防安全知識(shí)、化學(xué)危險(xiǎn)品安全知識(shí)和化學(xué)實(shí)驗(yàn)的安全操作規(guī)程。實(shí)驗(yàn)室安全負(fù)責(zé)人應(yīng)定期進(jìn)行安全教育和檢查。實(shí)驗(yàn)室和研究生導(dǎo)師都有責(zé)任對(duì)學(xué)生進(jìn)行實(shí)驗(yàn)前的安全教育，并要求學(xué)生遵守實(shí)驗(yàn)室的安全制度。所有進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的人員應(yīng)經(jīng)常留意是否有氣體和冷卻水泄漏，溫度和濕度是否正常，發(fā)現(xiàn)異常時(shí)應(yīng)停止工作并立即向?qū)嶒?yàn)室工作人員報(bào)告。整個(gè)實(shí)驗(yàn)室裝有統(tǒng)一的廢氣排放管道，機(jī)械泵的排氣口應(yīng)連結(jié)到廢氣管路上，使用時(shí)打開(kāi)閥門(mén)。不用時(shí)關(guān)閉閥門(mén)，以免回氣。設(shè)備附近有冷卻水機(jī)的隨時(shí)觀察是否有漏水。不得使用運(yùn)行狀態(tài)不正常(處于維護(hù)或待修狀態(tài))的儀器設(shè)備進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，不得運(yùn)行因震動(dòng)大或噪音大而對(duì)周?chē)鷮?shí)驗(yàn)室造成干擾的設(shè)備，不得超負(fù)荷使用電源和器件(

19、配電箱、插座、插銷(xiāo)板、電源線等)，不得使用老化或裸露的電線，不得擅自改接電源線，不得遮擋實(shí)驗(yàn)室的電閘箱、給水閥門(mén)等。如遇突然停電，化學(xué)藥品潑灑，有害氣體泄露、跑水及儀器報(bào)警等嚴(yán)重事故，應(yīng)立即停止工作，并立即聯(lián)系實(shí)驗(yàn)室工程師和負(fù)責(zé)人。實(shí)驗(yàn)人員應(yīng)熟悉安全設(shè)施(如滅火器、緊急洗眼器、急救藥箱等)的位置及使用方法；滅火器使用后不可放回原處，使用者應(yīng)及時(shí)報(bào)告實(shí)驗(yàn)室工作人員進(jìn)行更換；應(yīng)熟悉實(shí)驗(yàn)室的疏散通道和自己所在位置的疏散方向。實(shí)驗(yàn)室安裝有煙霧自動(dòng)探測(cè)系統(tǒng)，當(dāng)火警響起時(shí)，應(yīng)立即停止工作，離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室到樓門(mén)前集合。同時(shí)撥打“119”通知消防隊(duì)，告知火情。等待完全確認(rèn)沒(méi)有任何危險(xiǎn)后方可回實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)工作。重新回

20、到實(shí)驗(yàn)室后，應(yīng)首先檢查所用儀器的工作狀態(tài)，確認(rèn)儀器正常后才可以繼續(xù)實(shí)驗(yàn)。非工作需要不得在實(shí)驗(yàn)室過(guò)夜。用戶因工作需要在深夜做實(shí)驗(yàn)的（20：00-次日8：00），必須有2人或2人以上同在。進(jìn)出實(shí)驗(yàn)室時(shí)確保實(shí)驗(yàn)室門(mén)關(guān)閉，最后離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室的人員有責(zé)任檢查水、電、氣是否正常，每個(gè)房間的門(mén)和照明燈是否關(guān)好，鎖好實(shí)驗(yàn)室門(mén)再離開(kāi)?；瘜W(xué)品安全進(jìn)行具有危險(xiǎn)性的新實(shí)驗(yàn)的任何人員都必須事先制定縝密的操作規(guī)程并嚴(yán)格遵守，應(yīng)熟悉所用試劑及反應(yīng)產(chǎn)物的性質(zhì)，對(duì)實(shí)驗(yàn)中可能出現(xiàn)的異常情況應(yīng)有足夠的防備措施（如防爆、防火、防濺、防中毒等）；進(jìn)行具有危險(xiǎn)性實(shí)驗(yàn)（如劇毒、易燃、強(qiáng)腐蝕性，強(qiáng)酸強(qiáng)堿等）的過(guò)程中，房間內(nèi)不應(yīng)少于2人；操作者必

21、須佩戴防護(hù)器具（防護(hù)鏡、口罩、手套等）實(shí)驗(yàn)室刻蝕區(qū)和特氣區(qū)有專(zhuān)門(mén)的特氣偵測(cè)報(bào)警系統(tǒng)，目前針對(duì)實(shí)驗(yàn)室使用的硅烷，氨氣，溴化氫，三氯化硼，以及氧氣進(jìn)行偵測(cè)與預(yù)警。在這兩個(gè)區(qū)域門(mén)口上方，以及房間內(nèi)均安裝有報(bào)警燈，一旦檢測(cè)到泄漏，根據(jù)泄漏程度會(huì)報(bào)黃色/紅色信號(hào)燈，同時(shí)出發(fā)警鈴。任何人應(yīng)時(shí)刻注意特氣報(bào)警系統(tǒng)的狀態(tài)，一旦發(fā)現(xiàn)黃燈/紅燈報(bào)警，或聽(tīng)到報(bào)警警鈴，立即停止工作并通知其他實(shí)驗(yàn)室用戶，離開(kāi)實(shí)驗(yàn)室，同時(shí)通知實(shí)驗(yàn)室工作人員。實(shí)驗(yàn)室提供專(zhuān)門(mén)的化學(xué)藥品和樣品柜，應(yīng)擺放有序，標(biāo)識(shí)清楚?；瘜W(xué)廢料應(yīng)收集在專(zhuān)門(mén)的容器內(nèi)，由實(shí)驗(yàn)室工作人員統(tǒng)一處理。貴重金屬、貴重試劑、劇毒試劑等，都應(yīng)有專(zhuān)人負(fù)責(zé)保管。所有化學(xué)試劑及其溶液

22、均不得敞口存放，均須保持清晰的標(biāo)簽。嚴(yán)禁往下水口、垃圾道傾倒有機(jī)溶劑和有毒、有害廢物，有毒有害廢液和廢舊試劑須按規(guī)定進(jìn)行分類(lèi)收集和處理。其他涉及化學(xué)品管理規(guī)定以及清洗間的使用按照“清洗間安全操作規(guī)則”（登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè) HYPERLINK / ，在下載專(zhuān)區(qū)）進(jìn)行管理。計(jì)算機(jī)安全微納加工實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的計(jì)算機(jī)及網(wǎng)絡(luò)，只能用于與實(shí)驗(yàn)室工作相關(guān)事情，下列情況是嚴(yán)格禁止的：禁止帶入實(shí)驗(yàn)室并使用個(gè)人電腦禁止未經(jīng)允許使用微納加工實(shí)驗(yàn)室的計(jì)算機(jī)或登陸屬于他人的用戶帳戶；禁止在儀器專(zhuān)用計(jì)算機(jī)上安裝任何軟件；禁止修改、復(fù)制、散發(fā)屬于微納加工實(shí)驗(yàn)室所有的軟件或數(shù)據(jù)；禁止使用計(jì)算機(jī)玩游戲和上網(wǎng)聊天等娛樂(lè)活動(dòng)；禁止使用自帶的移動(dòng)存儲(chǔ)設(shè)備傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)傳輸只能通過(guò)實(shí)驗(yàn)室FTP服務(wù)，關(guān)于FTP傳輸數(shù)據(jù)請(qǐng)參見(jiàn)“實(shí)驗(yàn)室FTP服務(wù)使用說(shuō)明”（登錄實(shí)驗(yàn)室主頁(yè) HYPERLINK / ，在下栽專(zhuān)區(qū)）。個(gè)人安全注意個(gè)人在實(shí)驗(yàn)室的安全，進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的人員應(yīng)認(rèn)真閱讀并嚴(yán)格執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室的各項(xiàng)規(guī)章制度，并被視為已了解并將嚴(yán)格執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室的各項(xiàng)安全措施。因此，進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室的人員應(yīng)對(duì)實(shí)驗(yàn)中可能出現(xiàn)的一切人身傷害負(fù)責(zé)。五、微納加