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文檔簡介

1、微納加工和器件公共實驗室微納加工實驗室管理制度與規(guī)范一、總則為加強和規(guī)范*大學(xué)微納加工實驗室的運行管理,制定本制度。微納加工實驗室是*大學(xué)公共技術(shù)條件和知識創(chuàng)新的重要組成部分,是開展校內(nèi)外學(xué)術(shù)交流和合作研究的重要基地。微納加工實驗室的主要任務(wù)是為介觀和納米尺度上開展物理基本問題研究和相關(guān)的應(yīng)用基礎(chǔ)研究提供重要手段,使*大學(xué)各相關(guān)學(xué)科基礎(chǔ)和應(yīng)用研究的能力得到實質(zhì)性提高。實驗室根據(jù)*大學(xué)的研究方向和需求配置實驗室設(shè)備,吸引所內(nèi)外優(yōu)秀人才利用微納加工實驗室的設(shè)備開展研究工作,積極促進所內(nèi)外的合作與國際學(xué)術(shù)交流。實驗室管理團隊的職責(zé)是編制和組織實施實驗室發(fā)展規(guī)劃,爭取多渠道籌措實驗室運轉(zhuǎn)經(jīng)費,通過制定

2、一系列規(guī)章制度保證實驗室正常運行,聯(lián)絡(luò)所內(nèi)外的研究人員使用實驗室的資源。對實驗室儀器設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)與功能開發(fā)負有領(lǐng)導(dǎo)責(zé)任。實驗室工程技術(shù)人員負責(zé)設(shè)備和潔凈實驗室的日常維護和提高設(shè)備的利用率。對實驗室設(shè)備的正常運轉(zhuǎn)和功能開發(fā)負有直接責(zé)任。儀器的使用及安全直接由實驗室工程技術(shù)人員負責(zé)。對本實驗室學(xué)生和獨立操作用戶的設(shè)備操作規(guī)范和上機時間安排負有直接責(zé)任。微納加工實驗室工作人員和用戶之間應(yīng)保持和諧友善的態(tài)度。實驗室工作人員應(yīng)公平對待每一位用戶。實驗室工作人員嚴(yán)格執(zhí)行*大學(xué)的作息時間,不得無故遲到、早退。實驗室工作人員應(yīng)加強對知識產(chǎn)權(quán)的保護,不得向第三者透露用戶所從事的研究內(nèi)容和未公開發(fā)表的實驗結(jié)果,

3、不得擅自利用用戶實驗結(jié)果發(fā)表論文。實驗室工作人員要與用戶保持經(jīng)常聯(lián)系,收集用戶反饋的實驗結(jié)果和利用本實驗室儀器設(shè)備發(fā)表的研究成果,用作個人年終工作總結(jié)、實驗室年度報告或?qū)嶒炇页晒麉R編。在做好技術(shù)服務(wù)的前提下,實驗室工作人員要積極鉆研業(yè)務(wù),注重儀器設(shè)備的使用效率、功能開發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新,參與國際國內(nèi)的技術(shù)與學(xué)術(shù)交流。實驗室要建立健全的內(nèi)部規(guī)章制度。實驗室工作人員和用戶必須認(rèn)真閱讀并嚴(yán)格執(zhí)行*大學(xué)和實驗室的各項規(guī)章制度二、用戶須知所有使用微納加工實驗室儀器設(shè)備從事研究工作的個人或單位都是微納加工實驗室的用戶。申請注冊成為微納加工實驗室用戶請參閱“微納加工實驗室用戶申請注冊流程”(登錄實驗室主頁 HYP

4、ERLINK / ,在下載專區(qū)),成功注冊并通過審核成為實驗室用戶后,享有實驗室相應(yīng)權(quán)利和義務(wù)。微納加工實驗室負責(zé)聯(lián)絡(luò)用戶。用戶在注冊時請?zhí)峁﹤€人詳細信息。微納加工實驗室將利用用戶提供的信息建立一套完整的用戶信息庫。實驗室的各種狀況,設(shè)備信息與狀態(tài),培訓(xùn)信息等實驗室相關(guān)信息均會在實驗室主頁發(fā)布,同時會通過郵件方式通知用戶。因此,用戶請保持經(jīng)常關(guān)注實驗室網(wǎng)站的更新。任何申請進入實驗室并使用設(shè)備的用戶,均必須參加實驗室組織的綜合培訓(xùn)課程,并通過綜合培訓(xùn)考試后,簽署“微納加工實驗室超凈間使用公約”(登錄實驗室主頁 HYPERLINK / ,在下載專區(qū)),方可開通實驗室門禁,允許其進入。綜合培訓(xùn)課程內(nèi)

5、容包括:實驗室整體情況介紹,管理規(guī)則,安全措施,儀器使用規(guī)則等。獲得進入實驗室權(quán)限后,任何申請獨立操作微納加工實驗室儀器設(shè)備的用戶,都必須參加設(shè)備實驗室安排的設(shè)備培訓(xùn),經(jīng)過設(shè)備培訓(xùn)后,用戶須在設(shè)備管理員的陪同下能夠獨立無誤的操作設(shè)備3次,并在設(shè)備管理員確認(rèn)申請人了解儀器工作原理和儀器操作規(guī)程后,方可授權(quán)其獨立使用該設(shè)備并在培訓(xùn)單上簽字。綜合培訓(xùn)通常需要半天時間,每臺儀器的培訓(xùn)通常需要23次,視申請培訓(xùn)的用戶人數(shù)而定。原則上所有培訓(xùn)每個學(xué)期舉辦一次,一般在每學(xué)期初開始。設(shè)備管理員原則上不接受臨時性、單獨的設(shè)備培訓(xùn)申請。具備獨立操作微納加工實驗室儀器設(shè)備的用戶必須嚴(yán)格執(zhí)行儀器的操作規(guī)程和實驗室的各

6、項規(guī)章制度。用戶根據(jù)設(shè)備工程師提供的用戶名和密碼進入計算機系統(tǒng)方可操作儀器;計算機系統(tǒng)自動記錄用戶登陸后的一切操作指令;用戶應(yīng)對所有錯誤操作及產(chǎn)生的后果負責(zé);實驗完成后,將儀器恢復(fù)到使用前狀態(tài)或待機狀態(tài)。不得冒用他人帳戶。對于違反儀器操作規(guī)程和實驗室規(guī)章制度的人經(jīng)警告無效后將被取消獨立操作資格,造成儀器設(shè)備損壞的要追究其責(zé)任并賠償。使用微納加工實驗室的儀器必須經(jīng)過預(yù)約登記。儀器設(shè)備預(yù)約方法請參考“實驗室刷卡預(yù)約系統(tǒng)使用說明“(登錄實驗室主頁HYPERLINK /,在下栽專區(qū))。如果因個人原因無法按預(yù)約時間前來使用,將按一下說明執(zhí)行:(1)撤銷毀約說明:用戶預(yù)約后,如因個人原因無法在預(yù)約時間前來

7、使用,請?zhí)崆耙惶爝M入預(yù)約系統(tǒng)撤銷,對于單臺儀器,撤銷次數(shù)限制為每學(xué)期12次,達到上限后相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周;如果過了撤銷時間,即在預(yù)約時間當(dāng)天決定不來使用,請?zhí)崆斑M入預(yù)約系統(tǒng)毀約,對于單臺儀器,毀約次數(shù)限制為每學(xué)期6次,達到上限后相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周。微納實驗室在每學(xué)期初會清空撤銷毀約記錄。(2)預(yù)約沒來說明:如因個人原因既沒有前來使用,也沒有撤銷毀約,當(dāng)天預(yù)約機時在半個小時以上者,將按毀約處理,相關(guān)儀器使用權(quán)限將被禁止一周,并收取預(yù)約機時費用的50%。(3)預(yù)約遲到說明:在預(yù)約時間開始十五分鐘后,預(yù)約用戶沒有前來刷卡使用,該用戶將自動失去預(yù)約時間,其它用戶有權(quán)隨時刷卡上機使用

8、儀器,此情況將被視為毀約。(4)提前結(jié)束說明:預(yù)約用戶使用儀器順利或因其它原因提前結(jié)束使用相關(guān)儀器時,提前時間在半個小時以上,請通知下一預(yù)約用戶或者其它想臨時使用該臺儀器的用戶前來使用,以免造成儀器機時的浪費。如提前結(jié)束時間超過一小時,又沒有通知其它用戶前來使用,按毀約一次處理。微納加工實驗室工作人員保證不向第三者透露用戶所從事的研究內(nèi)容和未公開發(fā)表的實驗結(jié)果,不擅自利用用戶實驗結(jié)果發(fā)表論文。用戶有義務(wù)向微納加工實驗室提供利用微納加工實驗室設(shè)備完成的論文抽印本,ppt文件或總結(jié)報告等。微納加工實驗室工作人員和用戶之間應(yīng)保持和諧友善的態(tài)度。實驗室工作人員應(yīng)公平對待每一位用戶。如果用戶發(fā)現(xiàn)自己受到

9、不公正對待,請直接向?qū)嶒炇抑鞴茴I(lǐng)導(dǎo)反映。三、凈化間工作須知(1)工作時間微納加工實驗室原則上全天24小時開放,用戶可在任意時間進入實驗室。實驗室內(nèi)各大型設(shè)備的預(yù)約開放時間根據(jù)設(shè)備特點由相應(yīng)設(shè)備工程師制定,用戶在預(yù)約時可看到每臺設(shè)備提供服務(wù)的時間。實驗室管理團隊與技術(shù)工程師的工作時間為8:00-17:00,與學(xué)校的固定工作時間一致。請用戶嚴(yán)格遵守預(yù)約時間,不要遲到。為了安全起見,實驗室嚴(yán)禁夜間(17:00-次日8:00)只有一名用戶工作且沒有工作人員陪同的情況發(fā)生。(2)進入凈化間通過綜合培訓(xùn)考試并取得儀器獨立操作資格的用戶在認(rèn)真閱讀實驗室相關(guān)制度,并簽名保證嚴(yán)格執(zhí)行的協(xié)議后,方能進入凈化間工作

10、。不具備進入凈化間工作資格的人員嚴(yán)禁進入凈化間。確因工作關(guān)系(例如,訪問,參觀等),需要進入凈化間者,須經(jīng)實驗室管理團隊批準(zhǔn),在實驗室工作人員全程陪同下,方可進入凈化間。在凈化間內(nèi)嚴(yán)禁擅自觸動任何儀器設(shè)備,負責(zé)陪同的實驗室工作人員對所陪同人員在實驗室的一切行為負有監(jiān)督責(zé)任。實驗室不允許攜帶除了手機和一卡通之外任何與實驗無關(guān)的個人物品(例如筆記本電腦,平板電腦,紙張,筆等)進入凈化間。如需將手機帶入,須用塑料手套將其包裹住。在實驗室門口放置有鎖柜,用戶在進入實驗室之前須將外套,書包等個人物品寄存在鎖柜中并鎖好(錢包、現(xiàn)金等貴重物品請隨身保管),方可進入實驗室。對于不確定的情況,需先報告實驗室工作

11、人員,確認(rèn)是否可以帶入凈化間。在實驗室工作人員不能確定該物品是否可以帶入凈化間的情況下,須請示實驗室管理團隊。(鎖柜的使用方法請參見“鎖柜使用說明“,登錄實驗室主頁 HYPERLINK / ,在下載專區(qū))本實驗室進入權(quán)限由門禁系統(tǒng)控制并記錄,取得凈化間進入權(quán)限的用戶須由實驗室管理人員開通其一卡通的門禁功能方能刷卡進出凈化間。進入凈化間后,須在鞋柜外黏塵紙上脫鞋,并把鞋放入鞋柜內(nèi),跨過鞋柜,帶好口罩,頭套,一次性手套然后進入更衣間。在更衣間內(nèi),按照要求穿好凈化服,凈化鞋,注意將褲腳放入凈化鞋的護腿中,并帶好凈化服連體帽。對照衣帽鏡檢查凈化服穿戴是否合格,然后進入風(fēng)淋室,除塵12秒后進入凈化間。注

12、意:進出風(fēng)淋室都須將門關(guān)好。在凈化間內(nèi)要輕關(guān)門,避免引起震動。在凈化間過風(fēng)淋室旁邊還配有個人實驗物品儲物架,請自己準(zhǔn)備一個標(biāo)示有姓名等信息的儲物盒,將樣品,光刻版,光刻膠,防護用品,鑷子等無須帶出實驗室的個人實驗物品放在儲物盒內(nèi),并放置于儲物架上。注意:微納加工實驗室要求潔凈的工作環(huán)境,進入實驗室的任何人都必須穿著凈化服。在實驗室工作的人是最大的污染源。衣物、皮膚、頭發(fā)等產(chǎn)生的顆粒物將危及您的研究目標(biāo)。嚴(yán)格執(zhí)行實驗室規(guī)章制度和我們提出的如下要求,將是實現(xiàn)研究目標(biāo)的根本保證。下列規(guī)則必須遵守: 不要帶入任何與工作無關(guān)的物品,包括個人背包、外套,筆記本電腦等 不要化妝 不要將頭發(fā)露出凈化服,不要在

13、更衣間和凈化間梳頭不得在凈化間內(nèi)打開凈化服拉鏈、脫下凈化服、頭套或凈化鞋。不要在凈化間使用鉛筆和橡皮擦 不要將包裝材料帶進凈化間,應(yīng)在凈化間外打開包裝紙盒 帶入凈化間的任何儀器、配件和工具等必須在凈化間外預(yù)先清潔 不得在凈化間內(nèi)進食,吸煙 不得在實驗室聽音樂和從事任何娛樂活動 禁止在凈化間內(nèi)高聲談?wù)摶虼舐曅鷩W!凈化間工作規(guī)則在凈化間工作的人員應(yīng)保持凈化間的回風(fēng)口暢通,不要堵塞。不同房間的門應(yīng)保持關(guān)閉,樣品傳遞應(yīng)放在傳遞窗中傳送,盡量減少開門次數(shù)。嚴(yán)格在實驗室劃分的工作區(qū)域和指定的設(shè)備上從事相應(yīng)工作。凈化間的溫度(2022)和濕度(4060RH)都是由空調(diào)和控濕系統(tǒng)精確控制的,在實驗室工作的任何

14、人發(fā)現(xiàn)室內(nèi)溫度、濕度或其它異?,F(xiàn)象及安全隱患時,應(yīng)停止工作,立即通知實驗室工作人員檢查,延誤報告造成損失者要承擔(dān)責(zé)任。嚴(yán)禁用戶未經(jīng)實驗室工作人員允許擅自進入服務(wù)區(qū),如有特殊需求(例如,進入電子離子顯微區(qū)的服務(wù)區(qū)對樣品做噴金處理等),需提前通知工作人員,獲得許可后方可進入。在任何情況下,嚴(yán)禁用戶進入刻蝕區(qū)的服務(wù)區(qū),即特氣間。在刻蝕區(qū)和特氣間內(nèi)以及門口均安裝有特氣偵測報警系統(tǒng),任何人一旦發(fā)現(xiàn)報警信號(亮黃燈或紅燈)或聽到報警鈴聲,應(yīng)停止工作,立即通知實驗室其他用戶離開實驗室,同時通知工作人員,延誤報告造成損失者要承擔(dān)責(zé)任。只有具備儀器獨立操作資格的人員才能操作實驗室的相關(guān)設(shè)備,操作者必須詳細填寫實

15、驗記錄。實驗過程中出現(xiàn)任何故障,應(yīng)首先報告實驗室工作人員,并記錄故障發(fā)生的過程及現(xiàn)象。不得擅自維修或改動儀器參數(shù),實驗進行中不得擅自離開。微納加工實驗室儀器設(shè)備價格昂貴,系統(tǒng)復(fù)雜,用戶不得擅自拆卸儀器,人為因素造成儀器損壞,應(yīng)承擔(dān)責(zé)任并賠償。實驗結(jié)束后應(yīng)及時取出樣品,并保管好,實驗室有專門的存放個人實驗物品的儲物架。實驗完成后請清理實驗桌并恢復(fù)到使用前的狀態(tài),禁止在儀器設(shè)備或?qū)嶒炁_上亂放實驗物品,注意保持實驗室環(huán)境的整潔。沒有按照要求存放的樣品及物品將由工作人員定期清除,實驗室不予保留。所有化學(xué)處理都必須在通風(fēng)柜內(nèi)完成,用戶要確保了解所使用化學(xué)試劑的物理化學(xué)性質(zhì),并正確操作。使用通風(fēng)柜或化學(xué)藥

16、品和試劑后,應(yīng)保持通風(fēng)柜清潔。將所用化學(xué)藥品、試劑和器皿清潔后放回原處,廢液倒入指定的回收瓶內(nèi)并將瓶蓋蓋好。實驗室工作人員負責(zé)凈化間衛(wèi)生的定期清掃和監(jiān)督。進入百級凈化間前,必須佩帶口罩和手套,不得將書、實驗本、紙張以及任何可能攜帶灰塵顆粒的物品帶入百級凈化間,如確需帶入請把紙張裝入封閉的塑料帶或用無塵紙,以避免對樣品和百級凈化環(huán)境的直接污染。實驗完成后離開百級實驗間時,檢查使用過的儀器是否關(guān)閉,并檢查水、電、氣是否安全關(guān)閉。使用勻膠機的用戶在使用完成后應(yīng)認(rèn)真清理勻膠臺;使用熱板進行烘烤樣品時嚴(yán)禁在熱板面上直接涂光刻膠,以免弄臟熱板影響熱板加熱的均勻性;如發(fā)現(xiàn)熱板上有殘膠,請及時清理,保證熱板的

17、清潔。使用完成后要及時關(guān)閉電源。離開凈化間完成實驗工作后,從風(fēng)淋室旁邊小門出凈化間,在更衣間內(nèi)將凈化服脫下,連同帽子掛在衣架上,鞋放在鞋架上,注意保持整潔。用過的一次性手套,頭套,口罩等放入垃圾箱,然后出更衣室??绯鲂?,從鞋柜內(nèi)取出鞋后,請在粘塵紙上或拎到門外再穿。刷卡離開實驗室。進入凈化間工作資格的取消所有在凈化間工作的人員必須遵守以上各項規(guī)定,并簽名確保嚴(yán)格執(zhí)行。違反上述規(guī)定,經(jīng)警告無效者,將被取消進入凈化間工作的資格。注:凈化間內(nèi)所有區(qū)域均在錄像監(jiān)控中。四、安全須知實驗室安全在實驗室工作的所有人員都必須堅持安全第一、預(yù)防為主的原則,都應(yīng)熟悉實驗室安全制度和其他有關(guān)安全的規(guī)章制度,掌握消

18、防安全知識、化學(xué)危險品安全知識和化學(xué)實驗的安全操作規(guī)程。實驗室安全負責(zé)人應(yīng)定期進行安全教育和檢查。實驗室和研究生導(dǎo)師都有責(zé)任對學(xué)生進行實驗前的安全教育,并要求學(xué)生遵守實驗室的安全制度。所有進入實驗室的人員應(yīng)經(jīng)常留意是否有氣體和冷卻水泄漏,溫度和濕度是否正常,發(fā)現(xiàn)異常時應(yīng)停止工作并立即向?qū)嶒炇夜ぷ魅藛T報告。整個實驗室裝有統(tǒng)一的廢氣排放管道,機械泵的排氣口應(yīng)連結(jié)到廢氣管路上,使用時打開閥門。不用時關(guān)閉閥門,以免回氣。設(shè)備附近有冷卻水機的隨時觀察是否有漏水。不得使用運行狀態(tài)不正常(處于維護或待修狀態(tài))的儀器設(shè)備進行實驗,不得運行因震動大或噪音大而對周圍實驗室造成干擾的設(shè)備,不得超負荷使用電源和器件(

19、配電箱、插座、插銷板、電源線等),不得使用老化或裸露的電線,不得擅自改接電源線,不得遮擋實驗室的電閘箱、給水閥門等。如遇突然停電,化學(xué)藥品潑灑,有害氣體泄露、跑水及儀器報警等嚴(yán)重事故,應(yīng)立即停止工作,并立即聯(lián)系實驗室工程師和負責(zé)人。實驗人員應(yīng)熟悉安全設(shè)施(如滅火器、緊急洗眼器、急救藥箱等)的位置及使用方法;滅火器使用后不可放回原處,使用者應(yīng)及時報告實驗室工作人員進行更換;應(yīng)熟悉實驗室的疏散通道和自己所在位置的疏散方向。實驗室安裝有煙霧自動探測系統(tǒng),當(dāng)火警響起時,應(yīng)立即停止工作,離開實驗室到樓門前集合。同時撥打“119”通知消防隊,告知火情。等待完全確認(rèn)沒有任何危險后方可回實驗室繼續(xù)工作。重新回

20、到實驗室后,應(yīng)首先檢查所用儀器的工作狀態(tài),確認(rèn)儀器正常后才可以繼續(xù)實驗。非工作需要不得在實驗室過夜。用戶因工作需要在深夜做實驗的(20:00-次日8:00),必須有2人或2人以上同在。進出實驗室時確保實驗室門關(guān)閉,最后離開實驗室的人員有責(zé)任檢查水、電、氣是否正常,每個房間的門和照明燈是否關(guān)好,鎖好實驗室門再離開?;瘜W(xué)品安全進行具有危險性的新實驗的任何人員都必須事先制定縝密的操作規(guī)程并嚴(yán)格遵守,應(yīng)熟悉所用試劑及反應(yīng)產(chǎn)物的性質(zhì),對實驗中可能出現(xiàn)的異常情況應(yīng)有足夠的防備措施(如防爆、防火、防濺、防中毒等);進行具有危險性實驗(如劇毒、易燃、強腐蝕性,強酸強堿等)的過程中,房間內(nèi)不應(yīng)少于2人;操作者必

21、須佩戴防護器具(防護鏡、口罩、手套等)實驗室刻蝕區(qū)和特氣區(qū)有專門的特氣偵測報警系統(tǒng),目前針對實驗室使用的硅烷,氨氣,溴化氫,三氯化硼,以及氧氣進行偵測與預(yù)警。在這兩個區(qū)域門口上方,以及房間內(nèi)均安裝有報警燈,一旦檢測到泄漏,根據(jù)泄漏程度會報黃色/紅色信號燈,同時出發(fā)警鈴。任何人應(yīng)時刻注意特氣報警系統(tǒng)的狀態(tài),一旦發(fā)現(xiàn)黃燈/紅燈報警,或聽到報警警鈴,立即停止工作并通知其他實驗室用戶,離開實驗室,同時通知實驗室工作人員。實驗室提供專門的化學(xué)藥品和樣品柜,應(yīng)擺放有序,標(biāo)識清楚?;瘜W(xué)廢料應(yīng)收集在專門的容器內(nèi),由實驗室工作人員統(tǒng)一處理。貴重金屬、貴重試劑、劇毒試劑等,都應(yīng)有專人負責(zé)保管。所有化學(xué)試劑及其溶液

22、均不得敞口存放,均須保持清晰的標(biāo)簽。嚴(yán)禁往下水口、垃圾道傾倒有機溶劑和有毒、有害廢物,有毒有害廢液和廢舊試劑須按規(guī)定進行分類收集和處理。其他涉及化學(xué)品管理規(guī)定以及清洗間的使用按照“清洗間安全操作規(guī)則”(登錄實驗室主頁 HYPERLINK / ,在下載專區(qū))進行管理。計算機安全微納加工實驗室內(nèi)的計算機及網(wǎng)絡(luò),只能用于與實驗室工作相關(guān)事情,下列情況是嚴(yán)格禁止的:禁止帶入實驗室并使用個人電腦禁止未經(jīng)允許使用微納加工實驗室的計算機或登陸屬于他人的用戶帳戶;禁止在儀器專用計算機上安裝任何軟件;禁止修改、復(fù)制、散發(fā)屬于微納加工實驗室所有的軟件或數(shù)據(jù);禁止使用計算機玩游戲和上網(wǎng)聊天等娛樂活動;禁止使用自帶的移動存儲設(shè)備傳輸數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)傳輸只能通過實驗室FTP服務(wù),關(guān)于FTP傳輸數(shù)據(jù)請參見“實驗室FTP服務(wù)使用說明”(登錄實驗室主頁 HYPERLINK / ,在下栽專區(qū))。個人安全注意個人在實驗室的安全,進入實驗室的人員應(yīng)認(rèn)真閱讀并嚴(yán)格執(zhí)行實驗室的各項規(guī)章制度,并被視為已了解并將嚴(yán)格執(zhí)行實驗室的各項安全措施。因此,進入實驗室的人員應(yīng)對實驗中可能出現(xiàn)的一切人身傷害負責(zé)。五、微納加

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