切片工藝培訓(xùn)課件

1、主要單元裝置 1工裝 1工件尺寸 選用可掛工裝時(shí)可適應(yīng)： 156mm長(zhǎng)840 mm1 156 mm長(zhǎng)420 mm2（采用） 2工件夾緊方式 自動(dòng)夾緊 3液壓裝置 0.75KW 泵 3.5MPa 10L 2主輥軸 主輥軸數(shù)量 2根 主輥長(zhǎng) 860 mm 主輥外徑 350 mm 340 mm 主輥間距 560 mm 軸冷卻方式 水冷 電機(jī)輸出功率 52 KW2臺(tái) 電機(jī)額定扭矩 250Nm2臺(tái)NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹3線筒軸 最大鋼絲儲(chǔ)量 120 mm750km 鋼絲卷螺距 0.6 mm/0.15mm 電機(jī)輸出功率 16 KW2臺(tái) 線筒設(shè)置方式 立式 選購(gòu)規(guī)格 采用一次性放線

2、筒時(shí)，線與線的繞線間距必 須控制0.6 mm（廠家推薦） 收線筒采用廠家標(biāo)準(zhǔn)（非一次性）4線筒排線準(zhǔn)換裝置行程 370mm 電機(jī)輸出功率 0.4 KW（帶制動(dòng)）2臺(tái)5張力調(diào)整輪位置行程 385 mm 鋼線張力 1050N 電機(jī)輸出功率 5.5 KW（帶制動(dòng)）2臺(tái)6 鋼線導(dǎo)向輪 導(dǎo)向輪直徑 80（兩個(gè)槽） 個(gè)數(shù) 12個(gè) 7工作臺(tái) 行程 370 mm（最大380 mm） 進(jìn)刀速度 0.12.5 mmmin 升棒速度 0500mmmin 電機(jī)輸出功率 0.2 KW8 砂漿箱 箱容量 400L 泵輸出功率 7.5 KW 液面檢測(cè) 浮動(dòng)式NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹砂漿1.砂漿由懸浮液和研磨砂構(gòu)成2.目前切

3、片使用混合砂-新舊砂比例為6.5:3.53.研磨砂與懸浮液配置比例為1:1.1（重量比）4.配置完砂漿密度為1.621.64之間5.切片時(shí)砂漿流量控制在7085L/min粘棒1. 配膠（A膠水：B膠固化劑=1：1）迅速攪拌直到膠變成均勻紫紅色2. 根據(jù)晶棒一端所標(biāo)識(shí)的晶體編號(hào)區(qū)分晶棒頭尾，要求粘棒時(shí)晶棒頭 對(duì)頭粘接3.對(duì)接棒粘接方法: 1 對(duì)接中間空出5mm空隙;2 單根棒長(zhǎng)度小于210mm 4.檢查晶棒是否粘歪，確保晶棒與玻璃板邊緣平行，玻璃與晶棒倒角邊緣無(wú)膠殘留粘度對(duì)切片影響1.黏度范圍在100210cps2.黏度過(guò)大導(dǎo)致砂漿抱團(tuán)致使砂漿在線網(wǎng)上分布不均，黏度過(guò)低鋼線帶砂能力 下降,切割能

4、力變低產(chǎn)生線痕嚴(yán)重導(dǎo)致斷線3.溫度升高黏度降低,溫度降低黏度變高;目前砂漿溫度控制在23254.砂漿流量對(duì)黏度也會(huì)有影響硅片厚度1.砂子用的是盛達(dá)混合砂粒徑范圍917um2.線鋸上裝配導(dǎo)輪有350槽距360槽距3.鋼線直徑有120um;130um4.硅片厚度=槽距-線徑-粒徑25.理論片數(shù)= 晶棒長(zhǎng)度導(dǎo)輪槽距工藝模擬曲線進(jìn)刀位置工作臺(tái)速度進(jìn)刀位置鋼線速度工藝參數(shù)分析進(jìn)刀位置進(jìn)刀速度線速送線距離收線距離溫度分割數(shù)-1.50.2450100024000.22450100024050.2550010002410100.40650100024201500.4065010002401550.24550100024101600.2500100024101660.1845010002410砂漿更換方案切片注意事項(xiàng)1.上棒設(shè)置零點(diǎn)時(shí)，棒沾到線網(wǎng)即可，不必把零點(diǎn)設(shè)置太深2.下棒時(shí)注意晶棒是否切透（注意線網(wǎng)是否切到玻璃倒角以上位置）3.由于目前現(xiàn)場(chǎng)鋼線螺距不同，在換放線輪時(shí)；注意鋼線螺距是否與機(jī)器上的螺 距一致4.熱機(jī)后準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)前，確保線網(wǎng)無(wú)跳線，導(dǎo)輪上沒(méi)有碎硅碴。5.機(jī)