切片工藝培訓課件

1、主要單元裝置 1工裝 1工件尺寸 選用可掛工裝時可適應： 156mm長840 mm1 156 mm長420 mm2（采用） 2工件夾緊方式 自動夾緊 3液壓裝置 0.75KW 泵 3.5MPa 10L 2主輥軸 主輥軸數(shù)量 2根 主輥長 860 mm 主輥外徑 350 mm 340 mm 主輥間距 560 mm 軸冷卻方式 水冷 電機輸出功率 52 KW2臺 電機額定扭矩 250Nm2臺NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹3線筒軸 最大鋼絲儲量 120 mm750km 鋼絲卷螺距 0.6 mm/0.15mm 電機輸出功率 16 KW2臺 線筒設(shè)置方式 立式 選購規(guī)格 采用一次性放線

2、筒時，線與線的繞線間距必 須控制0.6 mm（廠家推薦） 收線筒采用廠家標準（非一次性）4線筒排線準換裝置行程 370mm 電機輸出功率 0.4 KW（帶制動）2臺5張力調(diào)整輪位置行程 385 mm 鋼線張力 1050N 電機輸出功率 5.5 KW（帶制動）2臺6 鋼線導向輪 導向輪直徑 80（兩個槽） 個數(shù) 12個 7工作臺 行程 370 mm（最大380 mm） 進刀速度 0.12.5 mmmin 升棒速度 0500mmmin 電機輸出功率 0.2 KW8 砂漿箱 箱容量 400L 泵輸出功率 7.5 KW 液面檢測 浮動式NTCPV800結(jié)構(gòu)介紹砂漿1.砂漿由懸浮液和研磨砂構(gòu)成2.目前切

3、片使用混合砂-新舊砂比例為6.5:3.53.研磨砂與懸浮液配置比例為1:1.1（重量比）4.配置完砂漿密度為1.621.64之間5.切片時砂漿流量控制在7085L/min粘棒1. 配膠（A膠水：B膠固化劑=1：1）迅速攪拌直到膠變成均勻紫紅色2. 根據(jù)晶棒一端所標識的晶體編號區(qū)分晶棒頭尾，要求粘棒時晶棒頭 對頭粘接3.對接棒粘接方法: 1 對接中間空出5mm空隙;2 單根棒長度小于210mm 4.檢查晶棒是否粘歪，確保晶棒與玻璃板邊緣平行，玻璃與晶棒倒角邊緣無膠殘留粘度對切片影響1.黏度范圍在100210cps2.黏度過大導致砂漿抱團致使砂漿在線網(wǎng)上分布不均，黏度過低鋼線帶砂能力 下降,切割能

4、力變低產(chǎn)生線痕嚴重導致斷線3.溫度升高黏度降低,溫度降低黏度變高;目前砂漿溫度控制在23254.砂漿流量對黏度也會有影響硅片厚度1.砂子用的是盛達混合砂粒徑范圍917um2.線鋸上裝配導輪有350槽距360槽距3.鋼線直徑有120um;130um4.硅片厚度=槽距-線徑-粒徑25.理論片數(shù)= 晶棒長度導輪槽距工藝模擬曲線進刀位置工作臺速度進刀位置鋼線速度工藝參數(shù)分析進刀位置進刀速度線速送線距離收線距離溫度分割數(shù)-1.50.2450100024000.22450100024050.2550010002410100.40650100024201500.4065010002401550.24550100024101600.2500100024101660.1845010002410砂漿更換方案切片注意事項1.上棒設(shè)置零點時，棒沾到線網(wǎng)即可，不必把零點設(shè)置太深2.下棒時注意晶棒是否切透（注意線網(wǎng)是否切到玻璃倒角以上位置）3.由于目前現(xiàn)場鋼線螺距不同，在換放線輪時；注意鋼線螺距是否與機器上的螺 距一致4.熱機后準備開機前，確保線網(wǎng)無跳線，導輪上沒有碎硅碴。5.機