工業(yè)半導(dǎo)體 硅_第1頁
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文檔簡介

1、硅在自然界分布極廣,地殼中約含27.6%,硅主要以化合物的形式,作為僅次 于氧的最豐富的元素存在于地殼中,約占地表巖石的四分之一,廣泛存在于硅酸 鹽和硅石中。因此不存在“硅礦”的說法。地殼的主要部分都是由含硅的巖石 層構(gòu)成的。這些巖石幾乎全部是由硅石和各種硅酸鹽組成。工業(yè)上,通常是在電爐中由碳還原二氧化硅而制備硅?;瘜W(xué)反應(yīng)方程式:SiO2 + 2C 一 Si + 2CO這樣制得的硅純度為9798%,叫做金屬硅。再將它融化后重結(jié)品,用酸除去雜 質(zhì),得到純度為99.799.8%的金屬硅。如要將它做成半導(dǎo)體用硅,還要將其轉(zhuǎn) 化成易于提純的液體或氣體形式,再經(jīng)蒸餾、分解過程得到多晶硅。如需得到高 純度

2、的硅,則需要進(jìn)行進(jìn)一步的提純處理。長石、云母、黏土、橄欖石、角閃石等等都是硅酸鹽類;水品、瑪瑙、碧石、蛋 白石、石英、砂子以及燧石等等都是硅石。但是,硅與氧、碳不同,在自然界中 沒有單質(zhì)狀態(tài)存在。造房子用的磚、瓦、砂石、水泥、玻璃,吃飯,喝水用的瓷碗、水杯,洗臉間的 潔具,它們看上去截然不同,其實主要成分都是硅的化合物。雖然人們早在遠(yuǎn)古 時代便使用硅的化合物粘土制造陶器。它是構(gòu)成礦物與巖石的主要元素。在自然 界硅無游離狀態(tài),都存在于化合物中。硅的化合物主要是二氧化硅(硅石)和硅 酸鹽。例如,花崗巖是由石英、長石、云母混合組成的,石英即是二氧化硅的一 種形式,長石和云母是硅酸鹽。砂子和砂巖是不純

3、硅石的變體,是天然硅酸鹽巖 石風(fēng)化后的產(chǎn)物。二氧化硅(硅石)是最普遍的化合物,在自然界中分布極廣,構(gòu)成各種礦物和巖 石。最重要的品體硅石是石英。半導(dǎo)體硅semiconductor silicon 質(zhì)量符合半導(dǎo)體器件要求的硅材料包括多晶硅、單晶硅、硅晶片(包括切片、磨片、拋光片)、外延片、非晶硅薄膜 微晶硅薄膜等。半導(dǎo)體硅用量或產(chǎn)量以單晶硅數(shù)量(以噸計)和硅片面積(平方英寸)來表述。是一類具有半導(dǎo)體性能,用來制作半導(dǎo)體器件的 硅材料,主要包括硅粉、硅棒、 硅片、籽晶、單晶硅、多晶硅、半導(dǎo)體晶體管、單晶硅棒、單晶硅片、單晶硅切磨片、 單晶硅拋光片、單晶硅外延片、單晶硅太陽能電池板、單晶硅芯片、神化

4、鎵、單晶錯、 太陽能電池圓片、方片、二級管、三級管、 硅堆、復(fù)合半導(dǎo)體器件、微波射頻器件、 可控硅器件、高頻管、低頻管、功率管、MOS管、集成電路等等。硅產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域有四個方面: 用作冶煉鋁材和鋼材的添加劑;二、用于合成各種郵寄硅材料;三、用于制造半 導(dǎo)體硅、硅陶瓷、碳化硅等新材料;四、經(jīng)提純后生成電子級高純工業(yè)硅和太陽 級高純工業(yè)硅。硅礦石中鐵、鋁、鈣、磷等有害成分非常少。用全焦油工藝生產(chǎn)高純工業(yè)硅的主要原料是硅石和石油焦。另外在冶煉過程中還 要消耗石墨電極。石油焦是石化副產(chǎn)品,可從南京、荊門等地石化企業(yè)購買。石墨電極可從國內(nèi)購 買河南購買。石墨電極是采用石油焦為骨料,煤瀝青為粘接劑,經(jīng)

5、過破碎、配料、 混捏、成型、焙燒、石墨化機(jī)械加工等一系列工藝生產(chǎn)的一種耐高溫抗氧化的導(dǎo) 電材料。硅是非金屬元素,是介于金屬和非金屬之間的半導(dǎo)體材料,呈灰色,有金屬光澤, 性硬且脆。硅的含量約占地殼質(zhì)量的26%,位居第二。氧和硅結(jié)合形成二氧化硅, 約占地殼87%,緣自來能28.8,密度為2.33,熔點為1410,沸點為2355,電阻 率為2140.硅按含量不同可分為:冶金級硅(MG)硅含量在9095%以上,太陽 能級硅(SG) 99.9999.9999 (4N 6N)和電子級硅(EG)6N 以上,一 般達(dá)到11N級一14N級。品名代 號化學(xué)成分SI含量(%)雜質(zhì)含量(%)FeAlCaP1101

6、級99.80.010.010.00199.70.0150.0150.0199.60.50.20.01599.50.20.20.0299.50.20.20.0399.50.20.20.0399.40.30.30.0399.30.30.30.0399.20.40.40.0899.2-0.40.40.150.1工業(yè)硅牌號 工業(yè)硅產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB2881-91名稱牌號主要化學(xué)成分(%)si不小于雜質(zhì)不大于FeAlCaA級硅si-A化學(xué)用硅99.30.40.20.1B級硅si-B化學(xué)用硅990.50.30.2一級硅si-1冶金用硅98.50.60.30.3二級硅si-2冶金用硅98.50.70.30.5

7、三級硅si-3冶金用硅9710.31國際工業(yè)硅消費分析:鋁工業(yè)占:50%, 有機(jī)硅占:30%;鋼鐵冶煉占:15%;太陽能、半導(dǎo)體、電子占:5%。世界工業(yè)硅材料的生產(chǎn)高度集中,國外共有工業(yè)硅生產(chǎn)廠家34個,主要集中 在美國、巴西、挪威三國。我國有工業(yè)硅生產(chǎn)廠家300多家,但總體規(guī)模小,技術(shù)落后,產(chǎn)品以低檔次的4 41、553、和中檔的3303、2202為主,工業(yè)硅生產(chǎn)企業(yè)主要分布在:云南、貴 州和四川、黑龍江、吉林、內(nèi)蒙古、福建,由于云貴川電力資源豐富,價格低廉, 這三個省工業(yè)硅的生產(chǎn)企業(yè)占到總數(shù)的一半以上。冶煉過程:先經(jīng)人工挑選,再將合格硅石用水清洗除去泥土等雜質(zhì),再用破 碎機(jī)破碎至20100mm,然后篩分,在水洗除去碎石、石粉、等,稱量后

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