掃描電子顯微鏡實驗室管理條例

1、掃描電子顯微鏡實驗室管理條例1 目的 掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡為大型精密儀器設(shè)備，為保證設(shè)備安全及正常運行，加強對大型精密設(shè)備的管理，充分發(fā)揮其使用率、完好率，更好地服務(wù)于檢驗工作，結(jié)合公司實驗室實際情況，特制定本管理條例。 范圍適用于掃描電子顯微鏡實驗室的管理。3 參考文件 設(shè)備管理程序 SEM標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書AFM測試標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書4 定義 SEM:掃描電子顯微鏡AFM：原子力顯微鏡5 職責(zé)5.1 實驗室主管工程師 a) 負責(zé)儀器工藝的驗收、協(xié)助設(shè)備工程師建檔；b) 負責(zé)建立儀器用具清單，定期檢查；c) 監(jiān)控作業(yè)人員是否按要求操作，糾正作業(yè)人員的錯誤操作；d) 測試數(shù)據(jù)記錄或報告的審核發(fā)

2、送；e) 及時跟進處理異常。5.2 實驗人員 a) 負責(zé)儀器的規(guī)范操作，樣品的測試，結(jié)果記錄或報告的發(fā)送； b) 一般常用的用具和測試輔料的領(lǐng)用申請；c) 日常維護保養(yǎng)（清潔、除塵）；c) 操作時如出現(xiàn)異常必須及時反饋給實驗室主管工程師和設(shè)備工程師。5.3 設(shè)備工程師 負責(zé)儀器的建檔，設(shè)備異常的處理和定期狀態(tài)檢查、維護。6 資歷與訓(xùn)練6.1 實驗室作業(yè)人員 須掌握SEM和AFM的基本知識, 系統(tǒng)掌握測試方法和各來樣的測試標(biāo)準(zhǔn)條件，了解測試過程。須經(jīng)過專門的培訓(xùn)且操作技術(shù)合格并獲得部門負責(zé)人授權(quán)者才能操作儀器，未經(jīng)授權(quán)者擅用儀器將依據(jù)公司相關(guān)條例進行處罰。7 作業(yè)內(nèi)容7.1 實驗室管理制度 7.

3、1.1 儀器管理7.1.1.1 實驗室貴重儀器（SEM、EDS、AFM）由實驗室主管工程師和設(shè)備工程師按照設(shè)備管理程序分別進行工藝、設(shè)備的驗收，設(shè)備工程師依據(jù)設(shè)備驗收建檔清單 建立儀器檔案。7.1.1.2 對所領(lǐng)用的專用儀器用具要加強管理，建立儀器用具清單，實驗室主管工程師每月底進行檢查，如有損壞、丟失，必須上報主管領(lǐng)導(dǎo)研究處理。對已超過規(guī)定使用年限、損壞嚴重?zé)o法修理的儀器、用具，實驗室統(tǒng)一上報，按照設(shè)備管理程序要求進行妥善處理，任何人不得擅自拆改拿用。7.1.1.3 一般常用的用具（剪刀、燒杯、鑷子等）和測試輔料如擦拭紙等的領(lǐng)用由實驗人員填寫領(lǐng)用單，主管工程師審核，分管領(lǐng)導(dǎo)批準(zhǔn)后領(lǐng)用，任何人

4、不得將實驗室任何物品攜帶出實驗室。7.1.1.4 儀器做到每月底檢查、并進行日常維護保養(yǎng)，精密儀器不得隨意移動，若有損壞不得私自拆動，應(yīng)及時報告通知設(shè)備工程師和分管領(lǐng)導(dǎo)，確定維修方案。7.1.1.5 實驗人員使用儀器時，應(yīng)嚴格按SEM標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書和AFM測試標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書進行，對違反操作規(guī)程和因保管不善致使儀器、器械損壞，要追究當(dāng)事人責(zé)任，并按儀器使用登記表進行登記。7.1.1.6 一切儀器設(shè)備用具未經(jīng)部門主管同意，不得外借。7.1.1.7 SEM每周固定開機一次（每次開啟GUN電壓需穩(wěn)定2H左右方可進行測試），每次工作2天。若有特殊情況申請開機測試，需填寫SEM開機測試特別工作申請單，經(jīng)公

5、司分管領(lǐng)導(dǎo)批準(zhǔn)后方可開機使用。7.1.2 安全管理a) 禁止實驗室用具另做其他功能使用。b) 嚴禁用濕手去開啟電閘和電器開關(guān)，凡漏電儀器不要使用，以免觸電。c) 消防器材要放在明顯位置，嚴禁將消防器材移作別用。d) 使用儀器設(shè)備前要記錄設(shè)備開機相關(guān)參數(shù)并對照以往的參數(shù)，符合要求后方可使用。e) 更換樣品時，一定要檢查樣品高度，樣品高度不得超過30mm，以防止樣品碰到極靴，禁止在掃描電鏡下觀察有腐蝕性的化學(xué)試劑，液態(tài)及強磁性樣品。 f) 禁止在主控計算機上安裝其它軟件，實驗結(jié)果和數(shù)據(jù)須由專用移動硬盤和優(yōu)盤（無病毒）。 g) 注意安全，發(fā)生意外必須立即切斷電源，嚴格保持現(xiàn)場，不得擅自處理。h） 門

6、禁只允許部門負責(zé)人指定的人員開通，其他人員禁止開通電鏡室門禁。7.1.3 作業(yè)人員要求 7.1.3.1 遵守實驗室制度，工作時要堅守崗位，配合主管加強對實驗室的安全管理工作。7.1.3.2 實驗室人員要保持實驗室的環(huán)境衛(wèi)生，進入實驗室必須戴好口罩、手套,使用的儀器要經(jīng)常洗滌、擦拭，做到臺面整潔，放置有序，標(biāo)志分明，使用方便。SEM定期用吸塵器清理樣品腔,不能用具有揮發(fā)性的液體拭擦腔壁。7.1.3.3 做好測試前的一切準(zhǔn)備工作（包括儀器，設(shè)備，實驗材料，實驗用具，樣品等），并保證達到測試要求。7.1.3.4 進行高壓工作時，實驗人員不得擅離現(xiàn)場，認真觀察儀器參數(shù)。 7.1.3.5 使用中要嚴格遵

7、守操作手冊上的規(guī)程，并認真填寫儀器使用登記表。7.1.3.6 在實驗過程中如果儀器出現(xiàn)異常現(xiàn)象和問題，實驗人員應(yīng)立即停止使用，并將情況記錄在儀器使用登記表上，并向主管實驗室人員通報。 7.1.3.7 實驗人員要本著節(jié)約精神，嚴格控制實驗中各類用品的使用量，不得隨意浪費。7.1.3.8 完成上級主管交給的其他任務(wù)。 7.2 SEM測試流程7.2.1 SEM測試申請及樣品提供 掃描電鏡測試前送樣人要弄清楚樣品材質(zhì)，樣品導(dǎo)電性，樣品尺寸大小等，并認真填寫SEM/AFM測試申請表，注明測試項目（如SEM照片、EDS能譜分析），告知測試樣品是否保留。每周五下班前送到的申請表可于下周測試時間段安排測試，而

8、周五下班后至測試日間送到的申請單則順延至下一測試時間段。7.2.2 申請審批 SEM/AFM測試申請表先由實驗主管工程師審核，確定樣品是否可以進行測試，再交由部門領(lǐng)導(dǎo)批準(zhǔn)同意，方可進行測試。 7.2.3 電鏡測試前檢查 電鏡測試前，實驗人員要認真檢查樣品，要求樣品的高度不超過30mm（以防止樣品碰到極靴），樣品需外形規(guī)則、表面干凈無雜質(zhì)、無強磁性、干燥無水分、以及不能具有揮發(fā)性成分并確定儀器的工作狀態(tài)是否穩(wěn)定（Gun vacc5*10-9mBa及Sys vacc6*10-5mBa）。每次使用時記錄Fil I、Extractor V和Extractor I的數(shù)值，抽真空的時間。N2不能超過0.3

9、Bar，否則對EDX探頭造成損傷。在停機一天之后，必須對Gun腔室進行真空烘烤（烘烤的必要條件：Gun真空和系統(tǒng)真空相差兩個真空級別），烘烤過程中用錫紙包住電纜頭和孔頭；7.2.4 電鏡測試7.2.4.1 實驗人員進行電鏡測試時，原則上是不允許公司集團外的送樣人到現(xiàn)場，若是特殊情況需到實驗室一同測試的，要向公司分管領(lǐng)導(dǎo)申請，待同意后才能進入；s7.2.4.2 實驗人員進行電鏡測試時要嚴格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書上的規(guī)范來操作， 牢記操作手冊上的禁止和注意事項，做到規(guī)范操作；7.2.4.3 實驗過程中若儀器遇到異?，F(xiàn)象和問題，實驗人員應(yīng)立即停止使用，按下緊急停止按鈕，然后向?qū)嶒炇抑鞴芄こ處熀驮O(shè)備

10、工程師匯報，實驗室主管工程師根據(jù)儀器的狀態(tài)和異常情況，判斷是否需要設(shè)備的維修，如不需要，主管工程師處理異常后在儀器使用登記表上詳細記載異常及處理，如需要，上報分管領(lǐng)導(dǎo)，并通知設(shè)備工程師處理；7.2.4.4 實驗人員在測試過程中要專注測試工作，時刻注意儀器上的參數(shù)顯示信息，不得做與測試工作無關(guān)的事情。7.2.5 結(jié)果記錄 測試結(jié)果由實驗人員用專用U盤從電腦上拷貝，然后根據(jù)各送樣人的不同要求，以郵件或其他形式發(fā)給送樣人。 7.2.6 測試完樣品的處理 測試完的樣品會有不同程度的污染，一般是做廢物處理，若送樣人填寫測試申請的時候提到樣品的處理，則根據(jù)送樣人的要求處理測試完的樣品。7.2.7 測試完成儀器的關(guān)機以及工具的放置 a) 實驗人員在測試完之后，讓它處于待機狀態(tài)，只要將測試時的高壓及GUN電壓關(guān)閉即可，并記錄關(guān)機前的相關(guān)參數(shù)。 b) 實驗人員在測試完成之后應(yīng)該將用過的工具放回原位，以便下次使用，并整理桌面，做到整潔有序。7.3 AFM測試流程7.3.1作業(yè)流程具體操作參照AFM測試標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書。由于長時間工作會造成某些元件短路，每周四17點30到周五早上8：30關(guān)閉AFM控制器，由實驗室工程師進行開關(guān)維護，如有緊急測試，AFM關(guān)閉時間可以調(diào)整到其他空閑時間。7.3.2 異常處理實驗過程中若儀器遇到異常現(xiàn)象和問題，實驗人員應(yīng)立即停止使用，然后