潔凈室潔凈度的測試方法

1、潔凈室潔凈度測定工藝范圍本工藝規(guī)定了（59級）潔凈室中懸浮粒子的測試方法和就懸浮粒 子而言的空氣潔凈度的評價。本工藝適用于潔凈室中懸浮粒子潔凈度的監(jiān)測和潔凈度等級的驗 證。本工藝不包括潔凈度14級潔凈系統(tǒng)的測試。規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款，其最新 版本適用于本標準。JGJ71 潔凈室施工及驗收規(guī)范GB50073 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB50243 通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范術(shù)語潔凈室 clean room對塵粒及微生物污染規(guī)定需進行環(huán)境控制的房間或區(qū)域。其建筑結(jié) 構(gòu)、裝備及其使用均具有減少對該區(qū)域內(nèi)污染源的介入、產(chǎn)生和滯留的 功能。粒子 particle一

2、般尺寸為0.0011000 u m的固態(tài)和液態(tài)物質(zhì)。潔凈度 cleanliness潔凈環(huán)境內(nèi)單位體積空氣中含大于或等于某一粒徑的懸浮粒子的允 許統(tǒng)計數(shù)。單向流 unidirectional air flow （曾稱為層流 laminar flow）沿著平行流線，以一定流速向單一方向流動的氣流。非單向流 non-unidirectional air flow （曾稱為亂流）具有多個通路循環(huán)特性或氣流方向不平行的，不滿足單向流定義的 氣流。t 分布 t distribution正態(tài)總體中的一種抽樣分布，其分布函數(shù)為總體平均值樣本平均值t = （1）標準誤差置信度上限（UCL） upper conf

3、idence limit從正態(tài)分布抽樣得到的實際均值按給定的置信度（此處為95%）計 算得到的估計上限將大于此實際均值，則稱計算得到的這一均值估計上 限為置信度上限。靜態(tài)測試 at-rest test潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處正常運行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，潔 凈室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況進行的測試。工程施工質(zhì)量竣工驗收的測試 為靜態(tài)測試。動態(tài)測試 operational test潔凈室已處正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行的測試。工藝過程方框圖圖1 工藝過程方框圖測試方法方法提要本測試方法采用計數(shù)濃度法，即通過測定潔凈室內(nèi)單位體積空氣中 含大于或等于某粒徑的懸浮粒子數(shù)，來評定潔凈室的懸浮粒子潔凈度等 級。儀器檢測

4、儀器的選用：應(yīng)使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計數(shù)器， 在儀器選用時應(yīng)考慮粒徑鑒別能力，粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率，儀表應(yīng)有有效的標準合格證書。光散射粒子計數(shù)器使用要點使用儀器時應(yīng)按照儀器說明書操作。儀器開機，預(yù)熱至穩(wěn)定后，方可按說明書的規(guī)定對儀器進行校正。采樣管必須干凈，嚴禁滲漏。采樣管的長度應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度。除另有規(guī)定外，長度不得 大天1.5m。計數(shù)器采樣口和儀器工作位置應(yīng)處在同一氣壓和溫度下，以免產(chǎn) 生測量誤差。采樣管口置采樣點采樣時，在確認計數(shù)穩(wěn)定后方可開始連續(xù)讀 數(shù)。必須按照儀器的檢定周期，定期對儀器作檢定。以保證測試數(shù)據(jù) 的可靠性。測試規(guī)則測試條件送、回風系統(tǒng)，排風系統(tǒng)均

5、能正常運轉(zhuǎn)。送風量平衡風管系統(tǒng)風量已經(jīng)測試與平衡。總風量及各送風口風量均滿足設(shè)計要求。壓差空氣潔凈度不同的潔凈室之間的壓差滿足設(shè)計要求，空氣潔凈度級 別要求高的潔凈室對相鄰的空氣潔凈度級別低的潔凈室一般要求呈相對正壓。溫度和濕度潔凈室的溫度和相對濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)（溫度控制 在1824,相對濕度控制在45%60%之間為宜）。清潔工作潔凈室及全部風管系統(tǒng)清潔工作應(yīng)完成且確認。測試狀態(tài)分靜態(tài)測試和動態(tài)測試，測試報告中應(yīng)標明測試時所采用的狀態(tài)。靜態(tài)測試時，室內(nèi)測試人員不得多于2人。動態(tài)測試時，室內(nèi)測試人員規(guī)定同靜態(tài)。測試時間對單向流，測試應(yīng)在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于10min

6、后開始。對非單向流，測試應(yīng)在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運行時間不少于 30min后開始。采樣點的規(guī)定表1最低限度的采樣點數(shù)N最低限度的采樣點數(shù)NL （見表1）測點數(shù)Nl2345678910潔凈區(qū)面積2.16.112.120.130.142.156.172.190.1A叫6.012.020.030.042.056.072.090.0110.0注：1在水平單向流時，面積A為與氣流方向呈垂直的流動空氣截面的面積。2最低限度的采樣點數(shù)Nl= A0.5計算（四舍五入取整數(shù)）。L采樣點應(yīng)均勻分布于整個面積內(nèi)，并位于工作區(qū)的高度（或距地平0.8m的水平面），或設(shè)計單位、業(yè)主特指的位置。采樣點布置圖列潔凈室采樣點布

7、置力求均勻，避免采樣點在基本局部區(qū)域過于稀疏。下列采樣點圖示可作參考。注：為采樣點。采樣量的確定（1）每次采樣的最少采樣量（見表2）表2每次采樣的最少采樣量VS （L）潔凈度 等級粒 徑（口 m）0.10.20.30.51.05.0522262468062222268722782229222（2）每次采樣的最少采樣時間為1min，采樣量最少為2L。（3）每個潔凈室最少采樣次數(shù)為3次。當潔凈室僅有一個采樣點時， 則在該點至少采樣3次。檢測采樣的規(guī)定采樣口處的氣流速度應(yīng)盡可能接近室內(nèi)的設(shè)計氣流速度。對于單向流，計數(shù)器采樣管口朝向應(yīng)正對氣流方向，對于非單向 流采樣管口宜向上。布置采樣口時應(yīng)避開回風口

8、。測試人員的規(guī)定室內(nèi)的測定人員必須穿潔凈工作服，且站立在采樣口的下風側(cè)。高效過濾器檢漏測試適用范圍本條主要適用于56級潔凈室內(nèi)的高效過濾器。測試目的驗證高效過濾器及安裝質(zhì)量。使用儀表同4.2條。測試方法在高效過濾器下風側(cè)距高效過濾器20100mm處沿整個過濾器的表面、邊框進行掃描，掃描速度取520mm/s。對計數(shù)突然遞增的部位進行定點檢驗，確認泄漏部位為過濾器本身 的，應(yīng)調(diào)換；泄漏點為邊框處的，則進行重新安裝或堵漏并進行復(fù)測， 直至不泄漏。8 結(jié)果計算懸浮粒子濃度的采樣數(shù)據(jù)應(yīng)按t分布或下述步驟作統(tǒng)計計算：采樣點的平均粒子濃度CM+CNA = (2)N式中：A 某一采樣點的平均粒子濃度，粒/m3

9、；Ci -某一采樣點的粒子濃度(i =1,2,N),粒/m3；N 某一采樣點上的采樣次數(shù)，次。平均值的均值A(chǔ)+A2+ +AL M = (3)L式中：M 平均值的均值，即潔凈室的平均粒子濃度，粒/m3；Ai 某一采樣點的平均粒子濃度(i =1,2,L),粒/m3L 某一潔凈室內(nèi)的總采樣點數(shù)，個。標準誤差(A1M) 2+(A2N) 2+(ALN) 2 05SE =(4)L(L1)式中：SE 平均值均值的標準誤差，粒/m3。置信度上限UCL = M+iXSE (5)式中：UCL 平均值均值的95%置信度上限，粒/m395%置信度上限的i分布系數(shù)，見表3表395%置信度上限的i分布系數(shù)采樣點數(shù)L234

10、567899i6.312.922.352.132.021.941.901.86注：當采樣點數(shù)多于9點時，不需要計算UCL。9 結(jié)果評定判斷懸浮粒子潔凈度級別應(yīng)依據(jù)下述二個條件。每個采樣點的平均粒子濃度必須低于或等于規(guī)定的級別界限，即A.W級別界限。級別界限見表4。i表4 潔凈度等級及懸浮粒子濃度限值潔凈度 等級大于或等于表中粒徑D的最大濃度Cn（pc/m3）0.1 口 m0.2 口 m0.3 口 m0.5 口 m1.0 u m5.0 u m510000023700102003520832296100000023700010200035200832029373520008320029308352

11、0000832000293009352000008320000293000全部采樣點的粒子濃度平均值均值的95%置信度上限必須低于或等于規(guī)定的級別界限，即UCLW級別界限。附錄A（規(guī)范性附錄）凈化空調(diào)系統(tǒng)測試報告建設(shè)單位施工單位區(qū)域系統(tǒng)名稱系統(tǒng)編號檢測依據(jù)委托單編號報告編號施工技術(shù)員房間編號房間用途潔凈度（粒/m3）0.1 Um潔凈度（粒/m3 ）0.2 M m潔凈度（粒/m3 ） 0.3Mm潔凈度（粒/m3 ） 0.5pm潔凈度（粒/m3 ） 1pm潔凈度（粒/m3 ） 5Pm設(shè)計值實測值設(shè)計值實測值設(shè)計值實測值設(shè)計值實測值設(shè)計值實測值設(shè)計值實測值備建設(shè)單位或監(jiān)理單位（章）檢測單位（章）附錄B（規(guī)范性附