低溫泵知識徐玉峰通用PPT課件

1、低溫泵相關(guān)知識交流浙江博開機(jī)電科技有限公司（徐玉峰）2013年7月3日浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司1、低溫泵的構(gòu)造、低溫泵各部件的功用及工作原理、低溫泵實(shí)用案例 4、 低溫的維護(hù)保養(yǎng)及特點(diǎn)目次浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司2什么是低溫泵 利用小型氦制冷機(jī)作為冷源，產(chǎn)生10K（-263)左右的低溫，通過冷凝和吸附被抽容器的氣體來獲得和保持高真空的設(shè)備。浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司3采用技術(shù) 浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司低溫技術(shù) 低溫的獲得（即降溫）、保持與應(yīng)用技術(shù)真空技術(shù) 真空的獲得、保持與應(yīng)用技術(shù)4 *壓縮機(jī)將氦氣壓縮之后送

2、到制冷機(jī)里 *制冷機(jī)使被壓縮的氦氣在制冷機(jī)里壓縮，膨脹，持續(xù)降溫，達(dá)到冷卻作用 *泵體泵體內(nèi)（障板處）將氣體凝固，使氣體被吸附獲得更高真空上述的三個(gè)系統(tǒng)組成一個(gè)整體的低溫泵系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)。低溫泵的構(gòu)成浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司5低溫泵的構(gòu)造10k制冷機(jī)低溫泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)（氦）壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司67障板因?yàn)楸砻娌还饣椛涑鰜淼臒崃繉⒈晃?，使溫度上升因?yàn)楸砻婀饣瑢⑤椛涑鰜淼臒崃糠瓷涞?，防止溫度上升?江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司77 冷屏黑漆處理層面如果脫落了，輻射的熱量被反射，增加15 K冷板的負(fù)載。熱輻射浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技

3、 有 限 公 司8如果表面污染了將吸收輻射出來的熱量，使溫度上升成為可能輻射熱20 冷板吸附陣浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司9制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)制冷機(jī)的物理學(xué)依據(jù) 根據(jù)熱力學(xué)第二定律，封閉系統(tǒng)內(nèi)部熱能自發(fā)的流動方向是單向的，即只能從高熱流向低熱。 低溫泵的熱負(fù)載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。 氣體在低溫泵內(nèi)遇冷從而凝華變成固態(tài)，凝華的過程中釋放熱量。熱量被一級、二級冷凝頭吸收，再通過熱交換從壓縮機(jī)轉(zhuǎn)移出去。一級冷頭50-70k二級冷頭10-20k浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司10氦氣循環(huán)原理浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司11

4、低溫泵的抽氣方式抽氣的主要方式低溫冷凝 氣體分子冷凝在表面上或冷凝板在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫吸附氣體分子以一個(gè)單分子層厚 (10-8厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。低溫捕集在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司12溫度的換算制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司13低溫泵抽氣原理H2ON2ArNe65 - 100 K15 K15 KH2通過這層，水蒸汽被冷凝，其

5、它氣體被預(yù)冷N2、Ar等氣體通過這層被冷凝H2, He和Ne氣體通過這層被低溫吸附 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司14氣體成分第一層次為 水氣類第二層次為 氮?dú)?、氬氣等第三層次?氫氣等制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司15制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司低溫泵的抽速16氣體吸附效果圖 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司17 低溫泵應(yīng)用案例制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司博開DZB500低溫泵在無錫某微電子公司鍍膜機(jī)上

6、的應(yīng)用18 實(shí)用案例制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司 博開DZB500低溫泵在南京某光電公司紅外鏡片鍍膜機(jī)上的應(yīng)用19 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司博開DZB550低溫泵在浙江某裝鈽品鍍膜機(jī)上的應(yīng)用20 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司博開DZB300在某LCD顯示屏鍍膜線上的的應(yīng)用21 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司博開DZB250在昆山某臺資企業(yè)EMI膜磁控濺射生產(chǎn)線上的的應(yīng)用22 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限

7、 公 司博開DZB400低溫 泵與分子泵組合使用在多弧離子鍍膜機(jī)上23 制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司為長春某研究所研制的液氮輔助制冷型1250mm口徑低溫泵24低溫泵的再生什么是低溫泵的再生 低溫泵的再生是使泵內(nèi)吸附凝結(jié)所貯存的氣體解析和脫附的過程，再生的方式有多種，其所需時(shí)間和再生效果也有所不同。再生的方式自然加熱再生 它是利用泵壁與周圍空氣的熱交換來使泵升溫的，這個(gè)升溫過程相當(dāng)緩慢。氣體沖洗再生 氣體沖洗再生是普遍的一種方法，它利用沖入泵內(nèi)的室溫或加熱的干燥的惰性氣體（N2 或Ar）對泵進(jìn)行加熱，因?yàn)槟軌蜻M(jìn)行有效的對流熱交換，所以可以縮短再生時(shí)間，而

8、且氣體沖洗有利于水蒸氣從活性炭中脫附出來，提高了低溫泵的再生質(zhì)量。電加熱再生 電加熱再生是一種經(jīng)濟(jì)的再生方法，目前有兩種不同的加熱方式，一種是利用加熱帶裹在泵壁外表進(jìn)行加熱，另一種是利用泵內(nèi)冷頭上的加熱板進(jìn)行加熱。由于低溫泵中的部分元件不能承受高溫，因而需要對加熱過程進(jìn)行控制。浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司25 低溫泵的優(yōu)勢-真空度制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司 一臺標(biāo)準(zhǔn)型的低溫泵，其極限真空度可達(dá)10-7Pa，必要時(shí)，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa，而理論上，甚至于達(dá)到更高。26 低溫泵的優(yōu)勢-抽速制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙

9、 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司 。在同口徑的情況下差不多比分子泵和油擴(kuò)散泵大1/3 。對水具有超高的抽速 。大多數(shù)情況下，水蒸氣是真空系統(tǒng)的主要負(fù)荷，低溫泵的高抽速使得建立真空的速度比其他真空泵快，可以大大提高產(chǎn)品產(chǎn)出量。27 低溫泵的優(yōu)勢-潔凈制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司 。 真空室無任何運(yùn)動部件；真正意義上的“無油”真空泵 。切換壓力高。減少抽氣時(shí)間，不會產(chǎn)生返油28 低溫泵的優(yōu)勢-成本低制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開 機(jī) 電 科 技 有 限 公 司 。節(jié)約電力；。無需液氮。維護(hù)費(fèi)用低；。低溫泵工作，前級泵休息。29 低溫泵的優(yōu)勢-安全可靠制冷裝置制冷機(jī)、壓縮機(jī)浙 江 博 開