FPCDES工藝規(guī)程參考模板

1、LONGXIN龍芯柔性電路板有限公司DongGuan Long Xin FPC Co.,Ltd.DES工作指示內(nèi)部受控文件嚴(yán)禁私自以任何形式全部或部分復(fù)制 姓名部門職位簽名日期擬制陶興平工藝部主管審核陶興平工藝部主管馮永陣生產(chǎn)部主管陶興平品質(zhì)部主管批準(zhǔn)李松?？偨?jīng)辦懂事 文件編號(hào)：LX-MEI-TD-004 版次：A.0 頁(yè)碼： 1/15 1 / 22修改履歷版次修改原因文件名作成日期修改人A.0新規(guī)作成LX-MEI-TD-0042011-04-01陶興平A.1新增內(nèi)容LX-MEI-TD-0042011-07-01陶興平文件編號(hào)：LX-MEI-TD-004 版次：A.0 頁(yè)碼： 2/15作業(yè)指導(dǎo)

2、書作成審核批準(zhǔn)編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)3/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程1. 目的：1.1 本規(guī)程規(guī)范DES工藝及操作，滿足其生產(chǎn)品質(zhì)要求；1.2 本規(guī)程為生產(chǎn)、品質(zhì)、工藝等有關(guān)人員提供操作和監(jiān)控的依據(jù)。2. 適用范圍：適用于本公司DES工序的作業(yè)控制。3. 使用材料、工具、設(shè)備：工業(yè)碳酸鈉，氫氧化鈉、硫酸（CP級(jí)）、消泡劑、顯影機(jī)、引導(dǎo)板、工業(yè)鹽酸、蝕刻子液、氫氧化鈉、蝕刻機(jī)、脫膜機(jī)、百倍鏡。4. 作用或原理： 4.1 各藥水缸的作用：缸 名作用或原理顯影感光膜中未曝光部分的活性基團(tuán)與稀堿溶液反應(yīng)生成可溶性物質(zhì)而溶解下來(lái)，留下已感光交聯(lián)固化的圖形部分

3、蝕刻1、以化學(xué)的方法去除線路板上銅箔表面多余部分的銅，使之形成所需的電路圖形；2、在蝕刻過(guò)程中，CuCl2中的二價(jià)銅具有氧化性,將板面銅氧化為一價(jià)銅：Cu+CuCl2= Cu2Cl23、為了達(dá)到再生的目的,利用氧化劑將Cu2Cl2中的一價(jià)銅氧化為二價(jià)銅： Cu2Cl2+2HCl+H2O2 = 2CuCl2+2H2O脫膜將板面的抗蝕干膜（或油墨）徹底的退除干凈、露出新鮮的Cu面以便于后制程的生產(chǎn)5. 作業(yè)方法：5.1 作業(yè)準(zhǔn)備：5.1.1作業(yè)前準(zhǔn)備：（每班檢查一次）檢查各連接處有無(wú)滲漏 檢查進(jìn)、排水總閥是否打開 檢查各水洗缸進(jìn)水循環(huán)管是否打開 檢查各藥液排出閥是否關(guān)閉 檢查各缸內(nèi)液位是否足夠,如

4、不夠,則加水至液位，攪拌后通知化驗(yàn)室分析調(diào)整 檢查傳動(dòng)系統(tǒng)是否正常 滾輪表面是否有異物 檢查噴淋、壓力是否正常 需加溫的藥缸提前預(yù)熱 進(jìn)產(chǎn)品前藥缸開泵循環(huán)2分鐘以上后,觀察控制面板上溫度是否到達(dá)操作的溫度，否則需繼續(xù)加熱 。作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)4/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程5.1.2 作業(yè)前具體檢查項(xiàng)目（每班檢查一次）5.1.2.1 液位：各缸液位偏低則按各自方法補(bǔ)加與調(diào)整，偏高則視具體情況決定是否排出；5.1.2.2 溫度：各缸液實(shí)測(cè)溫度與設(shè)定值允許偏差±2；5.1.2.3 過(guò)濾：過(guò)濾器不允許有漏液、漏氣、空轉(zhuǎn)、停轉(zhuǎn)、堵塞

5、等問(wèn)題；5.1.2.4 噴嘴：噴淋無(wú)堵塞、傾斜；5.1.2.5 儀表：各儀表顯示準(zhǔn)確、無(wú)異常；5.1.2.6 搖擺：是否正常工作；5.1.2.7 風(fēng)刀：無(wú)堵塞，氣流溫度正常；5.1.2.8 吸水海棉：目視及用手捏擠看其是否有污水滲出，如異常則須清洗至合格，正常生產(chǎn)每個(gè)月更換一次吸水海棉，新吸水海棉需用清水浸泡4個(gè)小時(shí)才能使用；每天每班二次清洗一次5.1.2.9濾膜系統(tǒng)，濾渣系統(tǒng)無(wú)干膜渣堆積，脫膜缸內(nèi)無(wú)大量干膜渣漂浮，脫膜后水洗段傳送輪上不允許有膜碎，必須用自來(lái)水將其沖干凈。5.2 作業(yè)流程：5.2.1 工藝（作業(yè)）流程：FPC上導(dǎo)板(單面板) 入板顯影1和2隔離壓力水洗壓力水洗壓力水洗市水洗吸

6、干強(qiáng)風(fēng)吹干熱風(fēng)吹干出板蝕刻進(jìn)板蝕刻1、2和3隔離壓力水洗壓力水洗市水洗吸干中檢脫膜1、2和3壓力水洗隔離壓力水洗壓力水洗壓力水洗市水洗吸干強(qiáng)風(fēng)吹干熱風(fēng)吹干 FPC下導(dǎo)板。5.2.2 工藝（作業(yè)）流程示意圖：無(wú)5.3 作業(yè)步驟：5.3.1開機(jī)方法：5.3.1.1打開控制柜電源開關(guān)；5.3.1.2按下面板上“啟動(dòng)START”按鈕；5.3.1.3依據(jù)流轉(zhuǎn)單規(guī)定值,調(diào)整參數(shù)后,做首板確認(rèn)具體的參數(shù)；5.3.1.4從左至右將總控制面板上所有按鈕打至綠燈亮。5.3.2 關(guān)機(jī)方法：（先確認(rèn)缸內(nèi)無(wú)產(chǎn)品）5.3.2.1 從左至右將總控制面板上所有旋鈕關(guān)至“綠燈滅”位置，“O”位置或直接按紅色“STOP” 鍵；

7、作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)5/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程5.3.2.2 關(guān)控制柜總電源；5.3.2.3 關(guān)掉總進(jìn)水閥。5.3.3 槽液控制：工序槽名控制項(xiàng)目單位控制范圍控制點(diǎn)DES線顯影Na2CO3%0.8-1.21.0蝕刻HClmol/L2-32.5Cu2+g/L120-160140退膜NaOH%3-5 45.3.4 參數(shù)控制：工作段名稱參數(shù)控制范圍顯影工作速度干膜 2.0-3.0m/min濕膜2.0-3.0m/min感光油墨1.0-2.0 m/min噴淋壓力1.5-2.5kg/cm2（控制點(diǎn)2.0kg/cm2）水洗壓力1.5-2.5kg

8、/cm2（控制點(diǎn)2.0kg/cm2）溫度28-32（控制點(diǎn)30）烘干溫度45-65（控制點(diǎn)50）蝕刻工作速度（以首板速度為準(zhǔn)）單面1/2OZ 2.5-3.5m/min1OZ 1.5-2.5m/min雙 面多 層1/3OZ 1.5-2.5m/min1/2OZ 2.2±0.21OZ 1.5-2.5m/min鏤空1OZ 1.6±0.2噴淋壓力 1.5-2.5kg/cm2（控制點(diǎn)2.0 kg/cm2）水洗壓力1.5-2.5kg/cm2（控制點(diǎn)2.0 kg/cm2）溫度 45-50（控制點(diǎn)50）脫膜溫度 48-52（控制點(diǎn)50）噴淋壓力1.5-2.5kg/cm2 （控制點(diǎn)2.0kg/

9、cm2）速度濕膜 2.0-3.0m/min干膜 2.0-3.0m/min水洗壓力1.0-1.5kg/cm2溢流水洗壓力1.0-1.5 kg/cm2（控制點(diǎn)1.0 kg/cm2）烘干溫度 80-90（控制點(diǎn)85）作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)6/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程5.3.5 溶液開缸及藥水添加：缸號(hào)體積及控制要求開缸用量添加要求換缸要求顯影1000LNa2CO3 濃度:1.0（0.8%-1.2%）8Kg1手動(dòng)加藥：每生產(chǎn)4小時(shí)化驗(yàn)；2化驗(yàn)室取樣分析后，生產(chǎn)根據(jù)化驗(yàn)分析結(jié)果進(jìn)行添加且做好藥水添加記錄，加藥時(shí)，應(yīng)將藥品溶解后加入；3非正常連續(xù)

10、生產(chǎn)過(guò)程中，生產(chǎn)前應(yīng)通知化驗(yàn)室分析并根據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行調(diào)整藥品濃度后方可生產(chǎn)。每生產(chǎn)100更換一次蝕刻1230LHCL： 2mol/L-3 mol/L由供應(yīng)商提供蝕刻母液化驗(yàn)調(diào)整成分后使用1、鹽酸的添加量按化驗(yàn)結(jié)果添加；2，鹽酸與再生劑的添加比例按3：1添加，再生劑應(yīng)分次少量添加（每次不超過(guò)500ML，如超過(guò)應(yīng)分次添加）3、液位過(guò)低及時(shí)反饋通知設(shè)備部檢查系統(tǒng)運(yùn)行情況。由化驗(yàn)室通知Cu2+ 120-160g/L脫 膜1000LNaOH 4.0%( 3.0-5.0%)1.加水約1/2體積；正常生產(chǎn)時(shí)依據(jù)每班分析結(jié)果補(bǔ)加NaOH。 每?jī)商鞊Q缸一次2.加入25kgNaoH；3.補(bǔ)足水位，開循環(huán)泵攪拌。作

11、業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)7/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程5.3.6 各缸換缸步驟和頻次：缸名換缸頻次換缸操作步驟顯影 (830L)按照平米計(jì)算每生產(chǎn)100更換一次顯影液1.開泵循環(huán)2-5分鐘后,關(guān)泵后再將舊藥水排放干凈；2.用市水沖洗缸壁及缸底,再用干凈掃把擦洗干凈缸壁及缸底污垢；3.注入市水至液位處,開泵循環(huán)10-20分鐘；4.關(guān)泵,放干缸內(nèi)水,關(guān)排水閥；5.加水,稱取10kg碳酸鈉，溶解后加入缸內(nèi)；6.通知化驗(yàn)室分析調(diào)整濃度；7.水洗段每過(guò)4小時(shí)更換一次純水；7蝕刻 1230L由化驗(yàn)室通知1.用5微米聚丙烯濾芯的泵,抽出所有蝕刻液至備用缸

12、；2.見蝕刻缸大保養(yǎng)方法；3.加DI水至液位循環(huán)30min后排水；4.將藥液抽回至缸內(nèi)。循環(huán)30min后通知化驗(yàn)室分析。脫膜 800L1次/兩天1. 開泵循環(huán)2-5分鐘后,關(guān)泵后再將舊藥水排放干凈。2.用清水沖洗缸壁及缸底,再用干凈塑料掃把擦拭干凈缸壁及缸底污垢。3.注入市水600L,開噴淋、開泵循環(huán)10-20分鐘。4.關(guān)泵、關(guān)噴淋，放干缸內(nèi)水,關(guān)排水閥。5.加入3/4缸市水,將稱取25kg NaOH溶解后加入缸內(nèi)。6.加水稀釋到液位700L,循環(huán)10分鐘以上。7.通知化驗(yàn)室分析調(diào)整濃度。水洗1次/每班1.關(guān)機(jī)后將水洗缸排水閥打開至水排干；2.用干凈塑料掃把擦洗缸壁及用水管沖洗缸底；3.加市水

13、至液位6. 維護(hù)與保養(yǎng)：6.1 日常維護(hù)和保養(yǎng)：作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)8/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程保養(yǎng)頻率保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法保養(yǎng)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) 一次/四小時(shí)壓水轆（吸水轆）浸泡、擠壓，自來(lái)水沖洗,嚴(yán)禁用堿性洗潔精清洗.無(wú)滑膩感，無(wú)污染及污水，無(wú)殘留物，表面潔凈，保持濕潤(rùn)一次/班1、周邊環(huán)境清掃、清潔、整理地面不積水，雜物等清掃干凈，生產(chǎn)板及其它物品擺放整齊2、機(jī)身、滾輪用海綿或抹布擦拭、清潔污跡、灰塵、藥水跡、結(jié)晶已清除3、各水洗段、水缸用水沖洗水洗段、清洗缸體、缸壁、清洗網(wǎng)內(nèi)殘?jiān)妆诋愇锛拔圹E已清除；過(guò)濾網(wǎng)無(wú)殘?jiān)氯?、噴嘴每日檢查噴嘴是否

14、堵塞,用清水清洗。清潔干凈、無(wú)堵塞5、溫度探頭清洗溫度探頭外結(jié)晶物及其它雜質(zhì)。清潔干凈、無(wú)結(jié)晶物及其它雜質(zhì)6、過(guò)濾筒、過(guò)濾網(wǎng)（濾芯）用清水沖洗過(guò)濾筒內(nèi)殘?jiān)斑^(guò)濾網(wǎng)紗過(guò)濾筒內(nèi)殘?jiān)斑^(guò)濾網(wǎng)紗殘?jiān)亚逑锤蓛?、脫膜后水洗段用自來(lái)水沖洗傳送輪和用刷子刷滾輪和傳送軸傳送輪和軸上無(wú)碎膜殘?jiān)淮?周顯影缸周保養(yǎng)1、排放藥液及水洗缸水2、 用自來(lái)水沖洗傳送輪和用刷子刷滾輪和傳送軸，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質(zhì)清洗干凈；3、放水入缸至水位開泵洗缸10分鐘將水放掉4、清洗噴嘴、噴管、行轆等相關(guān)的部件用專用掃把擦洗水缸內(nèi)壁水垢和雜物，保養(yǎng)完畢之后必須更換過(guò)濾棉芯。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無(wú)堵塞

15、，噴出的水形為扇形；行轆上無(wú)殘留物；一次/周蝕刻缸周保養(yǎng)1、清洗噴嘴，噴管、行轆等.安裝時(shí)要按原裝編號(hào)裝入，裝噴水管時(shí)要注意噴嘴方向要一致。各噴嘴無(wú)堵塞，噴出的水形為圓錐形或扇形；行轆上無(wú)殘留物，運(yùn)行順暢一次/周脫膜缸周保養(yǎng)1、排放藥液2、取出過(guò)濾網(wǎng)，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質(zhì)清洗干凈；3、放水入缸至水位開泵洗缸10分鐘將水放掉。4 清洗噴嘴、噴管、行轆、過(guò)濾網(wǎng)系統(tǒng)和濾膜系統(tǒng)等相關(guān)的部件；用專用掃把擦洗水缸內(nèi)壁水垢和雜物，保養(yǎng)完畢。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無(wú)堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無(wú)殘留物；過(guò)濾網(wǎng)和濾膜系統(tǒng)無(wú)異物堵塞或粘附.作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-00

16、4 版 次A.1頁(yè)9/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程保養(yǎng)頻率保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法保養(yǎng)驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) 一次/月 顯影缸大保養(yǎng)1.排放藥液及水洗缸水；2.再將入口處與烘干段的行轆全部拆除下來(lái)，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質(zhì)清洗干凈；3. 加水至約2/3液位，加入溶解好的30kg NaOH，升溫至45-50開機(jī)噴淋120分鐘后將溶液排掉，然后用干凈的塑料掃把擦洗缸體加滿自來(lái)水開機(jī)噴淋15分鐘，排水加水至約2/3液位，加入30L H2SO4并補(bǔ)充水至液位，升溫至45-50酸洗30分鐘，排掉加滿自來(lái)水開機(jī)噴淋15分鐘，排水將缸放滿水，開機(jī)噴淋10分鐘，排放掉；加水至2/3液位，加

17、入6kg Na2CO3正常噴淋15min后放掉，取出各段過(guò)濾棉芯清洗干凈或換新棉芯（包括水洗段和顯影段的過(guò)濾棉芯）；4.取出各段行轆，把殘余物擦拭干凈，再用清水洗凈后正確安裝好；5.拆下噴嘴、噴管等相關(guān)的部件清洗，清除殘留在噴管里的異物、雜物,并小心疏通噴咀，用專用掃把擦洗水缸內(nèi)壁水垢和雜物；6.吸水棉轆先泡洗后用潔精液清洗，再用清水清洗干凈；各段壓轆如清洗不掉，需用酒精檫洗掉。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無(wú)堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無(wú)殘留物；檢查，損壞的必須更換；檢查傳動(dòng)輪有無(wú)破損，傳動(dòng)有無(wú)異常，如果有找設(shè)備部修理。一次/月蝕刻段大保養(yǎng)1.蝕刻機(jī)里的蝕刻液抽至干凈的桶內(nèi)存放；2.放清水入

18、缸，將缸底沉積的雜質(zhì)清洗干凈；3.加水至液位，開機(jī)噴淋15分鐘排放掉。重新加水至3/4液位，稱取NaOH約25Kg，溶解后加入缸中，加水至液位，升溫至50±5。開機(jī)噴淋120鐘后將溶液排放一半，然后用干凈的塑料掃把、刷子擦洗缸體，擦洗干凈后排掉余下溶液；4.加滿水開機(jī)噴淋15分鐘排放掉，重復(fù)此步驟一次；5.加水至3/4液位，緩慢加入 H2SO4約20L，加水至液位，升溫至50±5，開機(jī)噴淋60分鐘，將溶液排放掉；再次加滿水開機(jī)噴淋15分鐘后排放掉；6.將缸放滿水，開泵10分鐘后將殘?jiān)盟疀_走；7.清洗滾輪上的臟污（如膠漬等）、過(guò)濾網(wǎng)；清洗噴嘴，安裝時(shí)要按原裝編號(hào)裝入，裝噴水

19、管時(shí)要注意噴嘴方向要一致；8.蝕刻機(jī)清洗完畢后，將蝕刻液抽回藥水缸。蝕刻缸內(nèi)無(wú)結(jié)晶、殘留物；各噴嘴無(wú)堵塞，噴出的水形為圓錐形或扇形；行轆上無(wú)殘留物，運(yùn)行順暢；檢查、清洗噴嘴，如有堵塞的需疏通或更換一次/月脫膜段大保養(yǎng)1排放藥液及水洗缸水；2 再將烘干段的行轆全部拆除下來(lái)，取出過(guò)濾網(wǎng)，然后放清水入缸，將缸底沉積的濕膜和干膜渣等雜質(zhì)清洗干凈；3 再對(duì)各缸加入30L H2SO4升溫至50±5酸洗120分鐘，排掉加滿自來(lái)水循環(huán)水洗30分鐘，排水，用5% NaOH堿洗30分鐘，排掉加滿自來(lái)水循環(huán)水洗30分鐘排水；4.清洗噴嘴、噴管、行轆、過(guò)濾網(wǎng)系統(tǒng)和濾膜系統(tǒng)等相關(guān)的部件；5.用專用掃把擦洗水缸

20、內(nèi)壁水垢和雜物；保養(yǎng)完畢。缸壁異物及污跡已清除；各噴嘴無(wú)堵塞，噴出的水形為扇形；行轆上無(wú)殘留物；過(guò)濾網(wǎng)和濾膜系統(tǒng)無(wú)異物堵塞或粘附.一次/月水洗缸保養(yǎng)1.將水洗缸溶液排放完后，加水至3/4液位，稱取NaOH約5 kg，溶解后加入缸中，加水到液位后，開啟噴淋60-120分鐘，然后排放掉；2.加水至3/4液位，加入濃H2SO4約5L，加水到液位后，噴淋30分鐘后排放掉；3.加水至液位后噴淋30分鐘后排放掉，然后用水沖洗干凈缸體。缸壁異物及污跡已清除；過(guò)濾網(wǎng)無(wú)殘?jiān)氯淮?月壓水轆、風(fēng)刀每月更換一次壓水海綿轆，清潔并調(diào)整風(fēng)刀無(wú)殘留物、污跡作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)10/

21、15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程6.2 定期維護(hù)(大保養(yǎng))溶液配制用量：工作段名稱液缸體積L（max）NaOH用量(kg)濃HCL用量(L)濃H2SO4用量(L)顯影缸83030/30蝕刻123025/20脫膜800/30水洗缸100或1555/57. 放板要求：7.1 放板時(shí)作業(yè)人員一定要戴上干凈的手指套，輕拿輕放防止折皺,嚴(yán)禁裸手取板；7.2 單面板均需用引導(dǎo)板（或框架板）拖動(dòng)，顯影、蝕刻和脫膜時(shí)均需膠帶膠粘牢,貼引導(dǎo)板（或框架板）時(shí)注意板上應(yīng)該無(wú)殘膠（帶、紙）并應(yīng)貼在板的邊緣；7.3 放板前核對(duì)工作板的型號(hào)、數(shù)量等應(yīng)與流程卡一致，如有疑問(wèn)，立即找當(dāng)班組長(zhǎng)或主管處理。7.4

22、 干膜顯影撕保護(hù)膜時(shí),注意一定把板邊小碎塊保護(hù)膜一起撕掉,以免進(jìn)入顯影機(jī)堵塞噴嘴；7.5 曝光后的板須停置15分鐘后方可顯影，但最長(zhǎng)停留時(shí)間不可超過(guò)8小時(shí)；7.6 根據(jù)物料的類型調(diào)節(jié)傳送速度等參數(shù)，批量生產(chǎn)須在試生產(chǎn)首板合格后方可批量生產(chǎn)；7.7 放板入機(jī)器時(shí)作業(yè)者應(yīng)自檢每張產(chǎn)品,確認(rèn)無(wú)誤后方可放入機(jī)器，板與板之間應(yīng)間隔25cm（1-2個(gè)輪距）間距，以防疊板、卡板；7.8 放板人員放板時(shí)必須每3-5分鐘內(nèi)巡視一次機(jī)器工作情況,以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理卡板等異?，F(xiàn)象；7.9 每班顯影,蝕刻作業(yè)員對(duì)當(dāng)班顯影板的數(shù)量、型號(hào)以及工藝檢查、維護(hù)項(xiàng)目必須作詳細(xì)記錄；7.10 生產(chǎn)時(shí)采用將線路面（若兩面有線路，則線

23、隙較小或線路較密的一面）朝上顯影和蝕刻的原則；7.11 放板前需確認(rèn)各段藥水溫度達(dá)到設(shè)定溫度后方可放板；7.12 顯影與蝕刻放板時(shí)必須遵循短邊與轉(zhuǎn)送方向相垂直的原則，為防止卡板板子可傾斜20-30°角放板。作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)11/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程8.接板要求： 8.1 接板時(shí)一定要戴上干凈干燥的防靜電手套，輕拿輕放防止折皺,嚴(yán)禁裸手接板，以免造成板面油漬和手指印，雙手對(duì)角接板,不允許拖、拉板，接的板必須用干凈的藍(lán)膠片隔開，防止檫花；8.2 接板操作時(shí)要輕拿輕放，逐塊接板放好，然后小心從導(dǎo)板上撕下來(lái)，小心撕破產(chǎn)品；

24、8.3 從顯影出來(lái)的板件，接板人員必須進(jìn)行自檢，顯影出板后，接板時(shí)必須板與板之間用干凈的藍(lán)膠片隔開，以免兩張板粘在一起，影響產(chǎn)品品質(zhì)；8.4 蝕刻接板檢查是否有蝕刻不凈，蝕刻不凈的板需單獨(dú)挑出，禁止蝕刻不凈的板進(jìn)行脫膜；在正常生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)同一型號(hào)連續(xù)出現(xiàn)5PNL蝕刻不凈時(shí)必須暫停放板，重新調(diào)整作業(yè)參數(shù)直至合格才能繼續(xù)作業(yè)；8.5 脫膜接板員要檢查板面是否脫膜干凈，若脫膜不凈須重新脫膜； 8.6 蝕刻后接板和脫膜接板時(shí)必須將蝕刻干凈和不干凈的分開標(biāo)識(shí)處理；8.7 蝕刻后未能及時(shí)脫膜的板必須放置于盛水的盆子里,正常板需在30mins內(nèi)脫膜。9. 首板控制：9.1 每班或在生產(chǎn)每一種型號(hào)板前必須要

25、做首板檢查，首件須用周轉(zhuǎn)框或首件盒盛放，以免折傷；9.2 每款產(chǎn)品按菲林號(hào)各生產(chǎn)2張，經(jīng)品質(zhì)部IPQC確認(rèn)，合格后方可按照試板參數(shù)批量生產(chǎn)，注意在試板未檢驗(yàn)合格之前，其余批量板不能生產(chǎn)；9.3 首檢項(xiàng)目：檢查是否有曝光不良,顯影不盡,顯影過(guò)度,蝕刻不凈或蝕刻過(guò)度現(xiàn)象，用百倍鏡測(cè)量線寬線距是否符合MI要求，線寬/線距必須控制在要求的20%以內(nèi)，有特殊要求按MI要求控制；9.4 每班必須準(zhǔn)確、如實(shí)的做好首檢記錄。10.生產(chǎn)注意事項(xiàng)：10.1 機(jī)器啟動(dòng)前必須嚴(yán)格按照點(diǎn)檢表中項(xiàng)目進(jìn)行點(diǎn)檢確認(rèn),并在點(diǎn)檢表上做好記錄； 10.2 生產(chǎn)時(shí)各水洗槽必須溢流水洗；10.3 除顯影撕麥拉外，蝕刻、放板、中間檢板、

26、磨板、放板；所有取板、放板、點(diǎn)數(shù)動(dòng)作須帶防靜電手套或指套；10.4 鹽酸及再生劑要及時(shí)補(bǔ)充，以免液位不足；鹽酸生產(chǎn)100PNL需添加4升，蝕刻子液每100PNL添加800毫升；10.5 待顯影的物料不可以拿出顯影室或被白光照射；10.6 曝光好的基材須于15min后48H之前完成顯影、蝕刻、脫膜烘干等作業(yè)作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)12/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程10.7 調(diào)整生產(chǎn)時(shí)要打開蝕刻槽的日光燈，以隨時(shí)掌握蝕刻槽狀況；10.8 每班加藥前要認(rèn)真核對(duì)化驗(yàn)室提供的化驗(yàn)單上需加藥水的名稱、數(shù)量，對(duì)于已超出工藝控制范圍的必須在在接到化驗(yàn)單后必

27、須立即停止作業(yè)，15分鐘內(nèi)添加完畢，對(duì)于未超出工藝控制范圍而化驗(yàn)單上注名需要添加的必須在1小時(shí)內(nèi)添加完畢，加藥時(shí)要攪拌或過(guò)濾，直至藥水溶解、混和均勻，并在加藥時(shí)通知工藝或品質(zhì)人員進(jìn)行監(jiān)督，并做好相關(guān)記錄；加完藥后需再次分析藥水確認(rèn)10.9 所有固體藥劑必須稱量后添加，所有液體藥劑必須用量具測(cè)量后方可添加，量杯在使用之前須用純水洗干凈；10.10 員工不能隨便更改各段壓力和作業(yè)參數(shù)；10.11 生產(chǎn)中須隨時(shí)檢查設(shè)備是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，如發(fā)現(xiàn)異常應(yīng)立即停止作業(yè)，應(yīng)第一時(shí)間通知設(shè)備部修理，嚴(yán)禁擅自維修；10.12 過(guò)板厚度最厚不得超過(guò)0.8mm，如有超過(guò)此厚度的必須要有工藝的相關(guān)指示方可過(guò)機(jī)，以免影響機(jī)器

28、性能；10.13 機(jī)器的各段零部件不得隨意調(diào)換使用，以免影響機(jī)器的整體性能，在機(jī)器保養(yǎng)過(guò)程中應(yīng)將各段滾輪，吸水轆編號(hào)，先拆下一段保養(yǎng)后裝回原處再拆另一段保養(yǎng)并依此類推；10.14生產(chǎn)雙面板時(shí)，在蝕刻后脫膜前應(yīng)對(duì)其在線全檢，確認(rèn)無(wú)問(wèn)題方可進(jìn)入剝膜工序；10.15 蝕刻缸保養(yǎng)后，如果銅含量偏低，不允許添加電鍍用的磷銅（球），只能采取其它方法（如補(bǔ)加備用液、補(bǔ)加不含磷的廢銅箔等）；10.16 一般情況下，顯影后的產(chǎn)品（特指干膜產(chǎn)品）必須在24小時(shí)內(nèi)蝕刻完畢；蝕刻后的產(chǎn)品必須在24小時(shí)內(nèi)進(jìn)行化學(xué)清洗/磨板后立即轉(zhuǎn)貼合或其它流程；10.17 生產(chǎn)過(guò)程中如發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品加工異常時(shí)，應(yīng)立即停止作業(yè)并報(bào)告相應(yīng)管理者

29、解決；10.18 作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡上操作參數(shù)或其他事項(xiàng)異于本工藝規(guī)程時(shí),應(yīng)咨詢當(dāng)班工藝工程師，根據(jù)工藝工程師的指示進(jìn)行作業(yè)并要求工藝工程師在作業(yè)指示流轉(zhuǎn)卡上簽注；10.19停產(chǎn)時(shí)關(guān)掉電源、水閥等。11. 作業(yè)中生產(chǎn)品質(zhì)自檢：11.1 顯影板11.1.1生產(chǎn)板型號(hào)、版本必須與MI符合；11.1.2顯影作業(yè)參數(shù)必須符合首板作業(yè)時(shí)的參數(shù)；作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)13/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程11.1.3檢查板面是否有顯影不盡、殘膠、干膜起翹、短線、斷路、干膜壓不實(shí)、氣泡等不良現(xiàn)象；11.1.4單元內(nèi)有效圖形必須符合MI要求，線寬、線距控制在要求

30、范圍內(nèi)。11.2 蝕刻板11.2.1板面不允許出現(xiàn)開路、短路、過(guò)蝕、線細(xì)線粗、銅顆粒、板面藥水腐蝕、缺口、針孔、殘膠等；11.2.2線寬、線距控制在公差范圍內(nèi)。12.安全操作：12.1 手上有水不可以操作電源和設(shè)備上的按鈕；12.2 開機(jī)之前必須確保所有的過(guò)濾器蓋已鎖緊，各藥水段頂門或側(cè)門已經(jīng)關(guān)好，各藥水添加缸藥水充足，發(fā)動(dòng)機(jī)無(wú)異常情況，管道無(wú)跑冒滴漏現(xiàn)象，否則嚴(yán)禁啟動(dòng)機(jī)器；12.3在需要打開相關(guān)的玻璃門窗前必須先關(guān)閉相應(yīng)的噴淋程式，另外在打開各藥水缸時(shí)還必須在關(guān)閉總電源后方可作業(yè)；12.4 開機(jī)之前必須確認(rèn)抽風(fēng)系統(tǒng)已經(jīng)打開，以免氣體泄露影響身體健康和污染車間環(huán)境；12.5 機(jī)器須由指定的人操

31、作，操作者必須是經(jīng)過(guò)培訓(xùn)且考核合格的人員，其他人員一律不許私自操作機(jī)器，否則視作違規(guī)；12.6 加藥,換缸等接觸化學(xué)藥品的操作，需戴耐酸堿橡膠手套、穿好水鞋、防護(hù)圍裙防護(hù)眼鏡及防毒口罩等防護(hù)用品后方可作，嚴(yán)格按規(guī)定操作；加H2SO4時(shí)一定要緩慢加入,防止一次加入量過(guò)多,槽液升溫過(guò)快而燒毀槽體，固體化學(xué)物質(zhì)一定要先溶解，再加入缸內(nèi)；12.7 各種化學(xué)藥品對(duì)人體都有不同的危害，故添加要十分小心，如不慎傷及皮膚或眼睛，要用適量的水沖洗至少15分鐘，嚴(yán)重者送醫(yī)生處救治； 12.8 添加藥品之后，應(yīng)將蓋口蓋好，確保密封，添加完的空瓶、空桶須將蓋子蓋好，放在指定廢品存放處，不可亂扔；12.9 設(shè)備維修或維

32、護(hù)時(shí),開機(jī)需征得維修人員的同意,否則不得開機(jī)。13. 顯影點(diǎn)的測(cè)試（每周一、四，換缸后4小時(shí)內(nèi)必須開始檢測(cè)，并做好記錄）13.1 取6塊經(jīng)過(guò)貼膜未曝光的光銅板，尺寸最好400×300mm；13.2 按正常開機(jī)程序開機(jī)，并根據(jù)工藝要求將機(jī)速調(diào)好，然后將6塊板按序放入機(jī)中，待第6塊板完全進(jìn)入顯影缸后，立即關(guān)閉噴淋，同時(shí)以相同的速度將板送出；作業(yè)指導(dǎo)書編 號(hào)LX-MEI-TD-004 版 次A.1頁(yè)14/15生效日2011-07-01名稱DES工藝規(guī)程13.3測(cè)量第一塊至第6塊最后顯影完全干凈的地方的長(zhǎng)度,記錄其數(shù)值除以缸的長(zhǎng)度（顯影缸長(zhǎng)度為220CM）再乘以100%即為顯影點(diǎn)的百分?jǐn)?shù)，顯影點(diǎn)控制在40%-60%。14. DES線故障的產(chǎn)生,原因分析和解決辦法：故障類型產(chǎn)生主要原因解決方法顯影不凈1.藥液溫度等參數(shù)沒(méi)達(dá)到規(guī)定要求1.確認(rèn)溫度操作條件（2832）等參數(shù)；2.藥液失調(diào)2.分析確認(rèn)碳酸根濃度；3.曝光能量過(guò)高3.做曝光尺檢查是否能量過(guò)高；4.傳動(dòng)裝置清洗不干凈4.檢查傳動(dòng)裝置是否清洗干凈；5.前工序停放時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或材