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文檔簡介

在這個生產(chǎn)工藝過程中按照工作區(qū)域可分為9個模組(M1M9)。硅片進M2模組時，它與液面保有一定的距離，然后通過骨輪帶動藥液進行硅片的單邊刻蝕。另外還通過一套升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)對其它兩邊進行刻蝕。M模組有兩個單獨藥缸，升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)在它們中間。藥液通過骨輪只對背面硅片進行化學腐蝕，其目的就是完全打斷硅片正反的聯(lián)系，移走磷酸鹽玻璃增強抗反射膜，使背結(jié)吸收的光更好。M2硝酸濃度為63%、氫氟酸為50%進行刻蝕。藥缸濃度采用樣品滴定控制。藥液一直保持不斷循環(huán)，藥液通過熱交換器進行冷卻。左邊圖形是一個控制開關(guān)，它是用來控制設(shè)備上滑動門窗的。當鑰匙方向指向1時，通過門窗邊緣的傳感器給PC指令，使門窗上定位銷通過氣缸的作用撤出，這時門窗就可以打開但不影響機器正常運轉(zhuǎn)。如按下機器按鈕，右邊輔助菜單我們可以接受使用的文件。按下右所需邊按鈕就可獲取機器信息。如果按下F3按鈕，那么維護開關(guān)是打開的，其余開關(guān)是受約束的。如果按下F4按鈕，那么恢復信息，復位信號。 如果按下F6，在這菜單中能準確反應(yīng)一星期的工作情況的時間。 如果按下F7，在這菜單中顯示不同測試數(shù)據(jù)及管理信息系統(tǒng)。如果按下F9,在這菜單中顯示機器全部預警和警告菜單如果按下F10,在這菜單中顯示機器控制的單元參數(shù)診斷說明。7在F1 Sta

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