真空泵的選型及數(shù)據(jù)計(jì)算

1、第一部分：選用真空泵時(shí)需要注意事項(xiàng)： 1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。

2、3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)

3、格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆粒灰塵，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。第二部分：水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類

4、型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。2.應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無(wú)法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要

5、求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡(jiǎn)單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長(zhǎng)。二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來(lái)選用泵的型號(hào)。真空泵選擇相關(guān)計(jì)算公式1、玻義爾定律體積V，壓強(qiáng)P，PV常數(shù)一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓

6、強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2V2/V12、蓋呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對(duì)溫度T成正比：V1/V2T1/T2常數(shù)當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1，則它的體積比原來(lái)增加(或縮小)1/273。3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其絕對(duì)溫度T成正比，即：P1/P2T1/T2在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1，它的壓強(qiáng)比原來(lái)增加(或減少)1/273。4、平均自由程：(510-3)/P (cm)5、抽速：Sdv/dt (升/秒)或 SQ/PQ流量(托升/秒) P壓強(qiáng)(托)V體積(升) t時(shí)間(秒)6、通導(dǎo)：

7、 CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽氣時(shí)間：對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)V為體積，S為抽氣速率，通常t在510分鐘內(nèi)選擇。 8、維持泵選擇：S維S前/109、擴(kuò)散泵抽速估算：S3D2 (D直徑cm）10、羅茨泵的前級(jí)抽速：S(0.10.2)S羅 (l/s)11、漏率：Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏系統(tǒng)漏率(mmHgl/s)V系統(tǒng)容積(l)P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2真空室經(jīng)過(guò)時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過(guò)的時(shí)間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：SQ1/P預(yù) (l/s)S=2.3Vlg(Pa/P預(yù))/tS機(jī)械泵有效

8、抽速Q(mào)1真空系統(tǒng)漏氣率(托升/秒)P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V真空系統(tǒng)容積(升)t達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa大氣壓值(托）13、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來(lái)維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSgPgS 或SgPgs/PnSg前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：SQ/P(Kn)/(Pt)(升/秒)式中：S被試

9、泵的抽氣速率(l/s)n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)(托)K滴管系數(shù)(托升/秒)KV0(L/n)(0/m)+PaVt其中V0滴管和真空膠管的原始容積(升)L滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm)n滴管刻度部分的格數(shù)(格)0油的比重(克/厘米3)m汞的比重(克/厘米3)Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)Vt滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格)15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：SZnLKv(D2-d2)/(24104) (l/s)式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長(zhǎng)度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95)。16、O型橡膠槽

10、深B0.7DD為橡膠直徑，槽寬C1.6B17、方形橡膠槽深B0.8AA為方形橡膠邊長(zhǎng)，槽寬C1.67B其它幾個(gè)公式： 真空容器的排氣時(shí)間對(duì)于低真空和中真空的排氣時(shí)間，當(dāng)泄漏量較小時(shí)，真空設(shè)備從壓強(qiáng)P1降低到P2所需的排氣時(shí)間為： t2.3（V/S）lg(P1/P2) 式中 t： 排氣時(shí)間，sV: 真空設(shè)備容積，LS: 泵的有效抽氣速率，L/SP1, P2: 開始時(shí)容器的壓強(qiáng)和抽至所需的壓強(qiáng)，mmHg。真空系統(tǒng)抽氣速率Se的計(jì)算方法： 連續(xù)操作系統(tǒng)1、 計(jì)算真空系統(tǒng)的總泄漏量Qs。根據(jù)真空系統(tǒng)的容積進(jìn)行的泄漏量估算：表1容積 / m30.1135102550100200空氣平均泄漏量/kg/h0

11、.1-0.50.5-1.01-22-43-64-85-108-2010-30根據(jù)接頭密封長(zhǎng)度進(jìn)行的泄漏量估算：表2接頭密封質(zhì)量非常好好正常泄漏量kg /h*m0.030.10.22、 計(jì)算總抽氣量Q Q=Q1+Q2+Q3Q: 總抽氣量，kg/hQ1: 真空系統(tǒng)工作過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量，kg/hQ2: 真空系統(tǒng)的放氣量，kg/hQ3: 真空系統(tǒng)總泄漏量，kg/h3、計(jì)算Se： SeQR(273+Ts)/PsMR: 通用氣體常數(shù) R8.31kJ /（kmol*K）Ts：抽出氣體的溫度，CPs：真空系統(tǒng)的工作壓力，kPa，GM：抽出氣體的平均分子量Se：真空系統(tǒng)的抽氣速率，m3 / h 間歇操作系統(tǒng)

12、Se138V/t *lg(P1/P2) m3 / h真空泵的選用1 根據(jù)真空系統(tǒng)的真空度和泵進(jìn)口管道的壓力降，確定泵吸入口處的真空度（絕壓）2 確定真空系統(tǒng)的抽氣速率Se3 將Se換算成泵廠規(guī)定條件下的抽氣速率Se一般可按照下式計(jì)算：Se Se（273+Ts）/（273+Ts）Ts：泵標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)氣溫度4 根據(jù)抽氣速率和真空度要求，按照下式選擇確定真空泵的類型 要求真空泵的抽氣速率S滿足： S （20%-30%）Se真空泵的選型指導(dǎo) 選用真空泵時(shí)的注意事項(xiàng)：1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6m

13、mHg。 通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。 3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互

14、相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升 華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好 的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。 6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空

15、泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。 水環(huán)式真空泵的選擇 : 泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。 泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：1.盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。2.應(yīng)避免在最大真

16、空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無(wú)法工作。 根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。 如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。 如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)?/p>

17、單作用泵的構(gòu)造簡(jiǎn)單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。 如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動(dòng)平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長(zhǎng)。 真空泵選擇相關(guān)計(jì)算公式 1、玻義爾定律體積V，壓強(qiáng)P，PV常數(shù) 一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時(shí)，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。 即P1/P2V2/V12、蓋呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，其體積V 與絕對(duì)溫度T成正比： V1/V2T1/T2常數(shù) 當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí)，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P 降低)1，則它的體積比原來(lái)增加(或縮小)1/273。 3、查理定律 當(dāng)氣體

18、的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其絕對(duì)溫度T成正比，即： P1/P2T1/T2 在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1，它的壓強(qiáng)比原來(lái)增加(或減少)1/273。 4、平均自由程： (510-3)/P (cm) 5、抽速： Sdv/dt (升/秒)或 SQ/P Q流量(托升/秒) P壓強(qiáng)(托) V體積(升) t時(shí)間(秒) 6、通導(dǎo)： CQ/(P2-P1) (升/秒) 7、真空抽氣時(shí)間：對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式： t8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式) V為體積，S為抽氣速率，通常t在510分鐘內(nèi)選擇。 8、維持泵選擇：S 維S 前/10 9、擴(kuò)散泵抽速估算：S3D2 (D直徑

19、cm） 10、羅茨泵的前級(jí)抽速：S(0.10.2)S 羅 (l/s) 11、漏率：Q 漏V(P2-P1)/(t2-t1) Q 漏系統(tǒng)漏率(mmHgl/s) V系統(tǒng)容積(l) P1真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg) P2真空室經(jīng)過(guò)時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg) t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過(guò)的時(shí)間(s) 12、粗抽泵的抽速選擇：SQ1/P 預(yù) (l/s) S=2.3Vlg(Pa/P 預(yù))/t S機(jī)械泵有效抽速 Q1真空系統(tǒng)漏氣率(托升/秒) P 預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度(托) V真空系統(tǒng)容積(升) t達(dá)到P 預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間 Pa大氣壓值(托） 13、前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散

20、泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來(lái)維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有： PnSgPgS 或 SgPgs/Pn Sg前級(jí)泵的有效抽速(l/s) Pn主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s) Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托) S主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s) 14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：SQ/P(Kn)/(Pt)(升/秒) 式中：S被試泵的抽氣速率(l/s) n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格) t油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒) P在泵口附近測(cè)得的壓強(qiáng)(托) K滴管系數(shù)(托升/秒) KV0(L/n)(0/m)+

21、PaVt 其中V0滴管和真空膠管的原始容積(升) L滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm) n滴管刻度部分的格數(shù)(格) 0油的比重(克/厘米3) m汞的比重(克/厘米3) Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托) Vt滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格) 15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：SZnLKv(D2-d2)/(24104) (l/s) 式中：Z 為旋片數(shù)，n 為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L 為泵腔長(zhǎng)度，D 為泵腔直徑，d 為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95)。 16、 真空容器的排氣時(shí)間對(duì)于低真空和中真空的排氣時(shí)間，當(dāng)泄漏量較小時(shí)，真空設(shè)備從壓強(qiáng)P1 降低到P2 所需的排氣時(shí)間為： t2.3（V/S）l

22、g(P1/P2) 式中 t： 排氣時(shí)間，s V: 真空設(shè)備容積，L S: 泵的有效抽氣速率，L/S P1, P2: 開始時(shí)容器的壓強(qiáng)和抽至所需的壓強(qiáng)，mmHg。17、真空系統(tǒng)抽氣速率Se的計(jì)算方法： 連續(xù)操作系統(tǒng) 1、 計(jì)算真空系統(tǒng)的總泄漏量Qs。 根據(jù)真空系統(tǒng)的容積進(jìn)行的泄漏量估算： 根據(jù)接頭密封長(zhǎng)度進(jìn)行的泄漏量估算：2、 計(jì)算總抽氣量Q Q=Q1+Q2+Q3 Q: 總抽氣量，kg/h Q1: 真空系統(tǒng)工作過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量，kg/h Q2: 真空系統(tǒng)的放氣量，kg/h Q3: 真空系統(tǒng)總泄漏量，kg/h 3、計(jì)算Se： SeQR(273+Ts)/PsM R: 通用氣體常數(shù) R8.31kJ

23、/（kmol*K） Ts：抽出氣體的溫度，oC Ps：真空系統(tǒng)的工作壓力，kPa，G M：抽出氣體的平均分子量 Se：真空系統(tǒng)的抽氣速率，m3 / h 間歇操作系統(tǒng) Se138V/t *lg(P1/P2) m3 / h 真空泵的選用 1 根據(jù)真空系統(tǒng)的真空度和泵進(jìn)口管道的壓力降，確定泵吸入口處的真空度（絕壓） 2 確定真空系統(tǒng)的抽氣速率Se 3 將Se 換算成泵廠規(guī)定條件下的抽氣速率Se 一般可按照下式計(jì)算： Se Se（273+Ts）/（273+Ts） Ts：泵標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)氣溫度 4 根據(jù)抽氣速率和真空度要求，按照下式選擇確定真空泵的類型 要求真空泵的抽氣速率S滿足： S （20%-30%）Se

24、為一個(gè)工藝選擇真空泵時(shí)，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到最大，需要筆直的抽氣管道(長(zhǎng)度短)并使用直徑盡可能大的管道。 真空泵中抽氣管道的選擇為一個(gè)工藝選擇真空泵時(shí)，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達(dá)到最大，需要筆直的抽氣管道(長(zhǎng)度短)并使用直徑盡可能大的管道?？雌饋?lái)似乎很簡(jiǎn)單，但是這里有許多因素需要考慮。實(shí)際上，如果我們從物理學(xué)角度考慮，就可以明確哪些是關(guān)鍵因素。 在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內(nèi)沒(méi)有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝)，抽氣管道任何截面的質(zhì)量流量必須相同。簡(jiǎn)單而言，進(jìn)入工藝室的氣體必須從泵出來(lái)。 已知?dú)怏w摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、絕對(duì)溫度為T(開爾文)，則質(zhì)量流