標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》課件

1、國家標(biāo)準(zhǔn)電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范中強制性條文GB 50472-20081、電子工廠潔凈廠房特點2、章節(jié)內(nèi)容簡介3、強制性條文等介紹4、結(jié)語1、電子工廠潔凈廠房特點電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛 IC特征尺寸0.05m,1216 ，64G TFT第六代產(chǎn)品對化學(xué)污染物的嚴格要求大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房投資大、能量消耗大1、電子工廠潔凈廠房特點年份 1995 1997-1998 1999-2001 2003-2004 2006-2007 2009-2010 DRAM 集成度 64M 256M 1G 4G 16G 64G 純度(m) 0.35 0.25 0.18-1.15 0.13 0.10 0.

2、07 硅片直徑(mm) 200 200 300 300 400-450 400-450 受控粒子尺寸 (m) 0.12 0.08 0.06 0.04 0.03 0.02 粒子數(shù) (柵清洗)(個/m2) 1400 950 500 250 200 150 重金屬(Fe) (原子/cm2) 51010 2.51010 11010 5109 2.5109 2.5109 有機物(C)(原子/cm2) 11014 51013 31013 11013 51012 31012 集成電路對化學(xué)污染物的控制指標(biāo) 電子工廠潔凈廠房的特點：微粒控制十分嚴格、要求控制0.02m甚至更小粒徑 ISO1級或更嚴格。高純物質(zhì)

3、，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸 送。對微振控制十分嚴格、需制定切實可行的規(guī)定對防靜電、電磁兼容等大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬m2。1、電子工廠潔凈廠房特點1、電子工廠潔凈廠房特點表1 國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點表1 國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點表22 幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種1、電子工廠潔凈廠房特點表 25 集成電路芯片（64M）生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求1、電子工廠潔凈廠房特點表12 8大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用高純水質(zhì)量指標(biāo)（前工序） 1、電子工廠潔凈廠房特點集中新風(fēng)處理+各種循環(huán)

4、新風(fēng)集中送風(fēng)方式 FFU 隧道送風(fēng) 1、電子工廠潔凈廠房特點 美國消防標(biāo)準(zhǔn)（強制性標(biāo)準(zhǔn)）NFPA318潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)（Standard for the Protection of Clean rooms,2000） 第1章總則，范圍、目的、適用性、等同性、術(shù)語等；第2章消防自動滅火系統(tǒng)、報警系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)(煙感、可燃氣體等);第3章通風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng),送風(fēng)和循環(huán)風(fēng),局部排風(fēng),排煙系統(tǒng)；第4章土建、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的分隔等；第5章化學(xué)品貯存和處理,對危險化學(xué)品貯存、分配間的設(shè)計、建造要求等；第6章危險氣體鋼瓶的存放、分配；第7章大宗硅烷系統(tǒng)，管式拖車、集裝氣瓶；第8章生產(chǎn)與輔助設(shè)備、工藝液體加熱設(shè)備

5、、電氣設(shè)備、真空泵等；第9章出入口方式，按NFPA101生命安全規(guī)范進行設(shè)計；第10章參照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被認為是標(biāo)準(zhǔn)的一部分。1、電子工廠潔凈廠房特點2、章節(jié)內(nèi)容安排1、總則2、術(shù)語3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求 3.1 一般規(guī)定 3.2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求 4、總體設(shè)計 4.1 位置選擇和總平面布置 4.2 潔凈室形式 4.3 潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào) 5、工藝設(shè)計 5.1 一般規(guī)定 5.2 工藝布局 5.3 人員凈化 5.4 物料凈化 5.5 設(shè)備及工器具 6、潔凈建筑設(shè)計 6.1 一般規(guī)定 6.2 防火與疏散 6.3 室內(nèi)裝修7、 空氣凈化 7.1 一般規(guī)定 7.2

6、 氣流流型和送風(fēng)量 7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng) 7.4 空氣凈化設(shè)備 7.5 采暖通風(fēng) 7.6 排煙 7.7 風(fēng)管、附件8、給水排水設(shè)計 8.1 一般規(guī)定 8.2 給水 8.3 排水 8.4 雨水 8.5 消防給水和滅火設(shè)備9、純水 9.1 一般規(guī)定 9.2 純水系統(tǒng) 9.3 管材、閥門和附件 10、氣體供應(yīng) 10.1 一般規(guī)定 10.2 常用氣體系統(tǒng) 10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng) 10.4 特種氣體系統(tǒng)11、化學(xué)品供應(yīng) 11.1 一般規(guī)定 11.2 化學(xué)品儲存、輸送 11.3 管材、閥門12、電氣設(shè)計 12.1 配電 12.2 照明 12.3 通信及安全保護裝置 12.4 自動控制 12.5 接地1

7、3、防靜電與接地設(shè)計 13.1 一般規(guī)定 13.2 防靜電措施 13.3 防靜電接地 14、噪聲控制 14.1 一般規(guī)定 14.2 噪聲控制設(shè)計15、微振控制 15.1 一般規(guī)定 15.2 容許振動值 15.3 微振動控制設(shè)計2、章節(jié)內(nèi)容安排附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對潔凈度等級的要求附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序火災(zāi)危險性分類舉例附錄C 一些精密設(shè)備、儀器儀表的允許振動值附錄D 潔凈室（區(qū)）性能測試和認證本規(guī)范用詞說明附：條文說明2、章節(jié)內(nèi)容安排3、強制性條文等介紹1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計。1.0.3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝

8、要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進的需要預(yù)留條件。1.0.5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。322 各種電子產(chǎn)品/有關(guān)工序的空氣潔凈度等級根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定；無要求時，可參照附錄A要求確定。3.2.3 潔凈室（區(qū)）的溫度和相對濕度應(yīng)按表3.2.3確定。 3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。表3.2.3 潔凈室(區(qū))溫度和相對濕度要求 3、強制性條文等介紹4.2.2 電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間應(yīng)包括活動地板以下的下技

9、術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3 潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。 4.3.3 潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)設(shè)隔墻：潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)設(shè)隔墻：1 按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時；2 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；3 生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨立房間。3、強制性條文等介紹5.4

10、.2 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。556 電子工廠潔凈廠房內(nèi)，設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣排入排氣系統(tǒng)。2對傳輸含有可燃氣體的真空泵，若可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，去除（稀釋）可燃氣體組份后才能排入排氣系統(tǒng)。3傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃，吹掃控制閥與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。3、強制性條文等介紹6.2.l 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。6.2.3 潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的有關(guān)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工

11、業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4 潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上、下技術(shù)夾層的面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。3、強制性條文等介紹3、強制性條文等介紹3、強制性條文等介紹空氣采樣煙霧報警裝置空氣采樣煙霧報警裝置 3、強制性條文等介紹3、強制性條文等介紹VESDA與一般煙霧探測器的比較與一般煙霧探測器的比較傳傳統(tǒng)統(tǒng)典典型型煙煙霧霧探探測測

12、系系統(tǒng)統(tǒng) 空空氣氣取取樣樣探探測測系系統(tǒng)統(tǒng) 離離子子 光光電電 取樣方式 主 動 抽取 環(huán) 境的 空氣 ，只 要空 氣 中有 煙 霧， 就能 及時 警報，屬主動式探測 環(huán)境煙霧擴散至探測器內(nèi)， 并達到一定濃度才能探測并警報，屬于被動式探測 探測原理 激光散射 電離方式 紅外散射方式 探測范圍 各 種 材料 的 煙霧 ，探 測范 圍寬，粒子直徑：0.001-20m 天然物 質(zhì)的 煙霧 ，粒子 直 徑 ： 0.01-0.1m。 合成材 料的 煙霧 ，粒子直徑：1-10m。 靈敏度 0.005-20%obs/m（ 每 米 遮 光率）連續(xù)可調(diào) 5-9% obs/m（ 每 米 遮光率） 5-9% obs

13、/m（ 每 米 遮光率） 測量方式 絕對測量 相對測量 報警時間 火 災(zāi) 形成 前 數(shù)小 時， 早期 預(yù)警 火災(zāi)形成前數(shù)分鐘，先預(yù)警 安裝方法 標(biāo) 準(zhǔn) 型、 回 風(fēng)口 、毛 細管 等多 種 取樣 形 式可 橫向 、縱 向安裝 天花板下安裝，不可水平安裝，沒有回風(fēng)口和毛細管取樣方式 使用維護 一 次 工廠 校 準(zhǔn)， 十年 可不 維護 每兩年清除、校準(zhǔn)一次 不適合粉塵、潮濕、 應(yīng)用場合 適 用 于潮 濕 、粉 塵、 高速 氣流、電磁干擾、大空間 離子型 不適 合風(fēng) 速大于 5m/s 的場合 光電型 不適 合電 磁干擾強的場合 3、強制性條文等介紹6.2.6 在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)

14、域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50073的有關(guān)規(guī)定。6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50073的有關(guān)規(guī)定； 2 安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗； 3 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火

15、災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。 注：對于玻璃基板尺寸大于注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm1500mm1850mm 1850mm 的的TFT-LCDTFT-LCD廠房，且廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.020.02人人/m2/m2，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于但不得大于120m120m。3、強制性條文等介紹6.2.8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50073的有關(guān)

16、規(guī)定； 2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。6.2.9 潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的有關(guān)規(guī)定。3、強制性條文等介紹6.3.1 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級

17、應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.4 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。3、強制性條文等介紹7.1.6 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；2 不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。7.2.1 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝

18、和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?5級時，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為69級時，宜采用非單向流；2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。3、強制性條文等介紹7.2.2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50073的有關(guān)規(guī)定。7.2.3 潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7.2.3計算。表7.2.3 潔凈送風(fēng)量（靜態(tài)）和氣流流型注：1 換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室。2 室內(nèi)人員少、熱源少時，宜采用下限值。3、強制性條文等介紹7.3.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠離本建筑或其它建筑物

19、排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時；2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時；3 對其它工序有危害或不能避免交叉污染時。3、強制性條文等介紹7.5.1 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。7.5.3 潔凈室（區(qū)）的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；3 局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過排放標(biāo)準(zhǔn)時，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)

20、定；4 對含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計；8 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。3、強制性條文等介紹7.5.4 對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值。7.5.6 潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計

21、，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；2 應(yīng)設(shè)置自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點；3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。3、強制性條文等介紹7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。7.6.2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的有關(guān)規(guī)定，當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室（區(qū)）人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室（區(qū)）可不設(shè)機械排煙設(shè)施。3、強制性條文等介紹7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范GB 50073的有關(guān)規(guī)定

22、。含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。7.7.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。7.7.7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。3、強制性條文等介紹8.1.1 潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設(shè)。潔凈

23、室（區(qū)）內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。8.3.1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。8.3.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。3、強制性條文等介紹8.5.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的有關(guān)規(guī)定。8.5.2 潔凈廠房消火栓的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），

24、應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；2 室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/s，同時使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L/s；3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L/s。8.5.3 潔凈室（區(qū)）設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 設(shè)置的自動噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范GB 50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強度不應(yīng)小于8L/minm2，作用面積不應(yīng)小于160m2； 2 設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范GB 50193和二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范GB 50193 的有關(guān)規(guī)定；3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動滅火

25、設(shè)施。3、強制性條文等介紹9.2.3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計供水量的30%；2 干管流速應(yīng)大于等于1.5m/s ；3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍；4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表；對純水水質(zhì)要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。9.3.1 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求；2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；4 不得有滲氣現(xiàn)象。3、強制性條文等介紹10.1.

26、5 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃氣體管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。10.1.6 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。10.1.7 高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm;2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。3、強制性條文等介紹10.1.8 潔凈廠房的可燃氣體管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施： 1 可燃氣體管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)

27、置氣體泄漏報警可燃氣體管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖；和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖；2 接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；3 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施；引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施；應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10.2.5 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；2 2 氫氣

28、等可燃氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥；氫氣等可燃氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥；3 3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；4 4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；5 5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。3、強制性條文等介紹10.2.6 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：1 管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴格的脫脂處理；2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。10.2.8 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：1 氣

29、體純度大于或等于99.999999%時，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；2 氣體純度大于或等于99.999%、露點低于-76時，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；3 氣體純度大于或等于99.99%、露點低于-60時，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃氣體管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。3、強制性條文等介紹10.4.2 潔凈廠房內(nèi)的特種氣體的儲存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗。10.4.3 潔凈室（區(qū)

30、）內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機械排風(fēng)的特氣柜中；2 排風(fēng)機、泄漏報警、自動切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；3 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10.1和10.2節(jié)的有關(guān)規(guī)定。3、強制性條文等介紹10.4.4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置；2 應(yīng)設(shè)置過流量控制裝置；3 應(yīng)設(shè)置手動隔離閥；4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)；5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔

31、凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定： 1 儲存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3.0m；3 儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。3、強制性條文等介紹11.2.1 潔凈廠房內(nèi)各種化學(xué)品儲存間（區(qū)）的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 化學(xué)品儲存間（區(qū)）的儲量不應(yīng)超過該化學(xué)品24h的消耗量；2 化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲存，當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應(yīng)采用實體墻分隔；3 危險化學(xué)品應(yīng)儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；4 危險化學(xué)品儲存、分配間宜靠外墻布置；5 各類化學(xué)品儲存、分配間應(yīng)設(shè)置機

32、械排風(fēng)。機械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源；6 易爆化學(xué)品儲存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面；7 輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動和手動切斷閥。3、強制性條文等介紹11.2.2 潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學(xué)品。潔凈廠房內(nèi)運送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)；2 運送危險化學(xué)品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應(yīng)超過20L； 3 物理化學(xué)特性不相容的危險化學(xué)品不得采用同一推車運送。11.2.3 當(dāng)采用壓力罐輸送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1

33、輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì)；2 壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)口，減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域；3 輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮氣增壓；4 在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動切斷閥；5 應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動關(guān)閉裝置，并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對設(shè)施。3、強制性條文等介紹11.2.5 液態(tài)危險化學(xué)品的儲存、分配間，應(yīng)設(shè)置溢出保護設(shè)施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 儲存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護堤，保護堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲罐的容積或20min消防用水量；保護堤的高度不應(yīng)低于500mm；2 化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲罐或罐組之間，應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400

34、mm；3 應(yīng)設(shè)置液體泄露報警；4 應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。11.3.1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)按所輸送的化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。3、強制性條文等介紹12.1.6 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置落地安裝的配電設(shè)備。配電設(shè)備宜設(shè)置在下技術(shù)夾層，并應(yīng)在頂部設(shè)擋水設(shè)施。12.1.7 潔凈廠房的電氣管線宜敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)采取密封措施。12.1.8 潔凈廠房內(nèi)，可燃氣體

35、或液體的儲存、分配間的電氣設(shè)計，應(yīng)根據(jù)可燃氣體或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范GB 50058的有關(guān)規(guī)定。3、強制性條文等介紹12.2.3 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明；2 備用照明宜作為正常照明的一部份，且不應(yīng)低于該場所一般照明照度值的20%；3 備用照明的電源宜由變電所專線供電。12.2.4 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。3、強制性條文等介紹12.3.2 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng)，

36、其防護等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應(yīng)提高為一級。12.3.4 潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測器；2 當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)建筑設(shè)計防火規(guī)范GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計要求時，在潔凈室（區(qū)）內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴于0.01% obs/m的早期煙霧報警探測器；3 硅烷儲

37、存、分配間（區(qū)），應(yīng)設(shè)置紅外線紫外線火焰探測器；4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層（不包括不通行的技術(shù)夾層）應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。3、強制性條文等介紹12.3.6 潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置：1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間（區(qū)）；2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。12.3.7 潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 應(yīng)自動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置；2 應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的進氣閥；3 應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門；4 報警信號應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應(yīng)

38、急廣播。12.3.8 潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。3、強制性條文等介紹12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護。12.5.2 當(dāng)電子設(shè)備的功能接地要求分開設(shè)置時，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊設(shè)施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。3、強制性條文等介紹13.1.2 防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序（設(shè)備）進行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)分為三級，防靜電環(huán)境設(shè)計分級適用場所應(yīng)

39、符合表13.1.2的要求。表13.1.2 防靜電環(huán)境設(shè)計分級適用場所 3、強制性條文等介紹13.2.1 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：1 防靜電地面的面層的選擇,應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求;2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.51041109； 3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應(yīng)為11051108。13.2.3 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：1 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；2 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層，并應(yīng)接地； 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時

40、，玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。13.3.4 對電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范GB 50058的有關(guān)規(guī)定。3、強制性條文等介紹14.2.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?？照{(diào)機房、動力站房宜采取下列措施：1 圍護結(jié)構(gòu)宜采取吸聲和隔聲處理；2對輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等；3 機房、站房內(nèi)的控制室的圍護結(jié)構(gòu)，宜采用隔聲性能良好的材料。14

41、.2.4 潔凈室（區(qū)）內(nèi)的各類排風(fēng)系統(tǒng)（不包括事故排風(fēng)系統(tǒng)）應(yīng)設(shè)置消聲器等降噪設(shè)施。3、強制性條文等介紹15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2 設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3 對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4 潔凈室（區(qū)）內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。15.2.1 微振動控制設(shè)計應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施。3、強

42、制性條文等介紹15.2.3 精密儀器、設(shè)備的容許振動值，應(yīng)由制造商提供。無法確定時，可按附錄C或根據(jù)其工作特性確定。15.3.2 有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2 應(yīng)設(shè)置獨立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。3、強制性條文等介紹1、GB50472是依據(jù)電子工廠潔凈廠房特點，參照國際標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)過國內(nèi)調(diào)研后制定。2、強制性標(biāo)準(zhǔn)中的“強條”必須嚴格遵守。許多推薦性條文也是行之有效的要求、規(guī)定，對電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造、運行具有指導(dǎo)性。3、規(guī)定執(zhí)行中，不可避免有各種各樣的問題，歡迎提出建議，加強溝通交流。3、強制性條文等介紹 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對潔凈度等級的要求產(chǎn)品、工序 空氣潔凈度等級 控制粒徑 半導(dǎo)體材料： 拉單晶 68 0.5m 切、磨、拋 57 0.3m0.5m 清洗 35 0.3m0.5m 外延 35 0.3m