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文檔簡介
1、輻射固化技術(shù)輻射固化技術(shù)在電子及顯示行業(yè)的應(yīng)用在電子及顯示行業(yè)的應(yīng)用 (2007.52007.5廣州高級(jí)研討班培訓(xùn)相關(guān)內(nèi)容節(jié)選)廣州高級(jí)研討班培訓(xùn)相關(guān)內(nèi)容節(jié)選) 一、在電路板(一、在電路板(PCB)方面的應(yīng)用方面的應(yīng)用相關(guān)知識(shí)相關(guān)知識(shí)電路版制作工藝電路版制作工藝基版基版覆銅覆銅鉆孔鉆孔涂覆抗蝕劑涂覆抗蝕劑固化成像固化成像刻蝕刻蝕涂覆阻焊油墨涂覆阻焊油墨成像(留出焊孔)成像(留出焊孔) 焊接保形涂料焊接保形涂料主要應(yīng)用:主要應(yīng)用:光致抗蝕劑、阻焊油墨、光致抗蝕劑、阻焊油墨、保形涂料(三防保形涂料(三防涂料、塑封涂料)涂料、塑封涂料) 減除法減除法銅箔基板銅箔基板鑽鑽 孔孔化銅化銅+鍍銅鍍銅影像轉(zhuǎn)
2、移影像轉(zhuǎn)移蝕蝕 刻刻防防 焊焊銅箔基板銅箔基板鑽鑽 孔孔化銅化銅+鍍銅鍍銅影像轉(zhuǎn)移影像轉(zhuǎn)移蝕蝕 刻刻鍍銅鍍銅,錫鉛錫鉛防防 焊焊全加成法全加成法樹脂積層板樹脂積層板(不含銅箔不含銅箔)鑽鑽 孔孔樹脂表面活化樹脂表面活化印阻劑印阻劑(抗鍍也抗焊抗鍍也抗焊)化學(xué)銅析鍍化學(xué)銅析鍍防防 焊焊半加成法半加成法PCB制造方法制造方法1.1干膜抗蝕劑(干膜抗蝕劑(DFR)DFR結(jié)構(gòu):結(jié)構(gòu):聚乙烯覆膜聚乙烯覆膜抗蝕劑層抗蝕劑層聚酯支持膜聚酯支持膜干膜成品干膜成品DFRDFR的特點(diǎn):的特點(diǎn):有較高的分辨率,一般線寬可做到有較高的分辨率,一般線寬可做到0.1mm;干膜應(yīng)用在圖形電鍍工藝中,電鍍加厚在高而垂直的夾干
3、膜應(yīng)用在圖形電鍍工藝中,電鍍加厚在高而垂直的夾壁間進(jìn)行,在鍍層厚度小于抗蝕劑厚度時(shí),可以防止產(chǎn)壁間進(jìn)行,在鍍層厚度小于抗蝕劑厚度時(shí),可以防止產(chǎn)生鍍層突延和防止去膜時(shí)抗蝕劑嵌入鍍層下面,保證線生鍍層突延和防止去膜時(shí)抗蝕劑嵌入鍍層下面,保證線條精度;條精度;干膜的厚度和組成一致,避免成像時(shí)的不連續(xù)性,可靠干膜的厚度和組成一致,避免成像時(shí)的不連續(xù)性,可靠性高;性高;應(yīng)用干膜,大大簡化了印制板制造工序,有利于實(shí)現(xiàn)機(jī)應(yīng)用干膜,大大簡化了印制板制造工序,有利于實(shí)現(xiàn)機(jī)械化、自動(dòng)化。械化、自動(dòng)化。 DFR的局限性:的局限性:n膠層與覆銅板的貼合性難以達(dá)到理想,間層總會(huì)存在一些膠層與覆銅板的貼合性難以達(dá)到理想,
4、間層總會(huì)存在一些微孔、氣泡等缺陷,影響圖形品質(zhì);微孔、氣泡等缺陷,影響圖形品質(zhì);n曝光時(shí),表面所覆曝光時(shí),表面所覆PET被膜有幾十微米厚度,對(duì)光線產(chǎn)生折被膜有幾十微米厚度,對(duì)光線產(chǎn)生折射、反光等作用,降低線路刻制精度。是制約線寬細(xì)化的射、反光等作用,降低線路刻制精度。是制約線寬細(xì)化的關(guān)鍵之一;關(guān)鍵之一;n膠層較厚,同樣影響分辨率;膠層較厚,同樣影響分辨率;n鑒于分辨率限制,不適用于當(dāng)今高密度鑒于分辨率限制,不適用于當(dāng)今高密度PCB制造制造n雖然使用方便,但貼合工藝要求高,專用設(shè)備。邊角余料雖然使用方便,但貼合工藝要求高,專用設(shè)備。邊角余料多,浪費(fèi)大;多,浪費(fèi)大;nDFR生產(chǎn)工藝控制要求高,設(shè)備
5、及檢測儀器投資較大生產(chǎn)工藝控制要求高,設(shè)備及檢測儀器投資較大 。1.2 PCB濕膜光成像抗蝕劑(濕膜光成像抗蝕劑(LPR)基本特點(diǎn):基本特點(diǎn):n常溫成液態(tài),含有溶劑,粘度低,適合絲??;常溫成液態(tài),含有溶劑,粘度低,適合絲??;n絲網(wǎng)滿版印于覆銅版,絲網(wǎng)滿版印于覆銅版,80烘干溶劑,達(dá)到一定硬度干烘干溶劑,達(dá)到一定硬度干燥的感光層,不能粘掩膜;燥的感光層,不能粘掩膜;n膠層固態(tài)或半固態(tài)狀感光聚合交聯(lián),形成潛像,掩膜無需膠層固態(tài)或半固態(tài)狀感光聚合交聯(lián),形成潛像,掩膜無需定位;定位;n溶劑或堿性水溶液顯影,前者毒害較大,易燃,溶脹交聯(lián)溶劑或堿性水溶液顯影,前者毒害較大,易燃,溶脹交聯(lián)區(qū)域,導(dǎo)致尺寸不穩(wěn)
6、定;后者為當(dāng)前主流。區(qū)域,導(dǎo)致尺寸不穩(wěn)定;后者為當(dāng)前主流。Na2CO3溶液溶液為顯影液,為顯影液,NaOH溶液為余膠剝離液。溶液為余膠剝離液。濕膜使用流程濕膜使用流程基板前處理基板前處理涂布涂布預(yù)烘預(yù)烘冷卻冷卻曝光曝光顯顯像像固化固化電鍍電鍍?nèi)コ湍コ湍g刻蝕刻后處理后處理涂布:絲網(wǎng)印刷、浸涂、輥涂涂布:絲網(wǎng)印刷、浸涂、輥涂n能夠?qū)崿F(xiàn)縮小焊盤或沒有焊盤的能夠?qū)崿F(xiàn)縮小焊盤或沒有焊盤的PCB 設(shè)計(jì)設(shè)計(jì); n可做出最佳的正交矩形圖形可做出最佳的正交矩形圖形; n板面的線寬和圖形高度公差最小。容易獲得較高的分辨率,適合于當(dāng)前高板面的線寬和圖形高度公差最小。容易獲得較高的分辨率,適合于當(dāng)前高密度密度
7、PCB制造,線寬制造,線寬0.050.25 mm;n成本較低,價(jià)格只有干膜的成本較低,價(jià)格只有干膜的1/2 或或2/3;n幾乎是零的廢物排放(而干膜則需處理揭下的滌綸薄膜);幾乎是零的廢物排放(而干膜則需處理揭下的滌綸薄膜);n無需增添專用設(shè)備(凡具備制造雙面板的公司都具備使用濕膜的條件);無需增添專用設(shè)備(凡具備制造雙面板的公司都具備使用濕膜的條件);n因濕膜在一定條件下能耐堿性蝕刻,所以生產(chǎn)廠家只備一臺(tái)堿性蝕刻機(jī),因濕膜在一定條件下能耐堿性蝕刻,所以生產(chǎn)廠家只備一臺(tái)堿性蝕刻機(jī),既能完成多層板內(nèi)層的圖形蝕刻又能完成以錫鉛或錫層為掩膜的外層圖形既能完成多層板內(nèi)層的圖形蝕刻又能完成以錫鉛或錫層為
8、掩膜的外層圖形蝕刻。蝕刻。濕膜的優(yōu)點(diǎn):濕膜的優(yōu)點(diǎn):PCB阻焊油墨的作用阻焊油墨的作用n防焊:留出板上待焊的通孔及其焊徑,將所有線路及防焊:留出板上待焊的通孔及其焊徑,將所有線路及銅面都覆蓋住,防止波焊時(shí)造成的短路,并節(jié)省焊錫銅面都覆蓋住,防止波焊時(shí)造成的短路,并節(jié)省焊錫之用量之用量 。 n護(hù)板:防止?jié)駳饧案鞣N電解質(zhì)的侵害使線路氧化而危護(hù)板:防止?jié)駳饧案鞣N電解質(zhì)的侵害使線路氧化而危害電氣性質(zhì),并防止外來的機(jī)械傷害以維持板面良好害電氣性質(zhì),并防止外來的機(jī)械傷害以維持板面良好的絕緣,的絕緣, n絕緣:由于板子愈來愈薄絕緣:由于板子愈來愈薄,線寬距愈來愈細(xì)線寬距愈來愈細(xì),故導(dǎo)體間的故導(dǎo)體間的絕緣問題日
9、形突顯絕緣問題日形突顯,也增加防焊漆絕緣性質(zhì)的重要性也增加防焊漆絕緣性質(zhì)的重要性. 光成像阻焊油墨使用工藝流程光成像阻焊油墨使用工藝流程 面板預(yù)處理面板預(yù)處理油墨涂布油墨涂布預(yù)熱烘干預(yù)熱烘干高溫后固化高溫后固化曝光曝光堿液顯影堿液顯影3.印刷電子線路板保形涂料印刷電子線路板保形涂料n保形涂料保形涂料( (Conformal coating)Conformal coating):涂敷在已焊插接元件的涂敷在已焊插接元件的印刷線路板上的保護(hù)性涂料。印刷線路板上的保護(hù)性涂料。n防潮、防塵、防腐蝕、防霉、防刮傷等防潮、防塵、防腐蝕、防霉、防刮傷等n用于民用電子工業(yè)(通訊器材、高檔家電等)、汽車用于民用電
10、子工業(yè)(通訊器材、高檔家電等)、汽車工業(yè)、航天航空工業(yè)、國防工業(yè)和生物工程等領(lǐng)域。工業(yè)、航天航空工業(yè)、國防工業(yè)和生物工程等領(lǐng)域。 對(duì)保形涂料的主要性能要求對(duì)保形涂料的主要性能要求n優(yōu)良的電絕緣性(包括電阻、介電常數(shù)、優(yōu)良的電絕緣性(包括電阻、介電常數(shù)、 擊穿強(qiáng)度及潮濕環(huán)境下的電性能)擊穿強(qiáng)度及潮濕環(huán)境下的電性能)n表面硬度表面硬度n良好的附著力良好的附著力n柔韌性柔韌性n重涂性重涂性n熱固化:線路板不耐熱熱固化:線路板不耐熱n室溫自然固化:固化時(shí)間長,不環(huán)保室溫自然固化:固化時(shí)間長,不環(huán)保n光固化:不規(guī)則凹凸面,暗區(qū)難以固化光固化:不規(guī)則凹凸面,暗區(qū)難以固化n光光/暗雙固化:理想的固化方式,環(huán)
11、保并且兼暗雙固化:理想的固化方式,環(huán)保并且兼顧效率和效果。顧效率和效果。n光光/空氣固化空氣固化n光光/潮氣固化潮氣固化n光光/熱固化熱固化保形涂料的固化方式保形涂料的固化方式二、顯示行業(yè)二、顯示行業(yè) 顯示種類顯示種類 LCD: Liquid Crystal DisplayPDP: Plasma Display PanelOELD: Organic Electro Luminescent DisplayIELD: Inorganic Electro Luminescent Displaye-paper: Electronic Paper DisplayMicrodisplayEFD Panel
12、: Field Emission Diode PanelRPD: Rear Projection DisplayCRT: Cathode Ray Tube 1、LCDn保護(hù)涂層保護(hù)涂層n偏光片偏光片n延遲片延遲片n導(dǎo)電玻璃導(dǎo)電玻璃n定向?qū)佣ㄏ驅(qū)觧彩色濾光膜彩色濾光膜n液晶液晶n液晶隔離框液晶隔離框n密封劑密封劑n粘結(jié)劑粘結(jié)劑n增亮膜增亮膜n光導(dǎo)膜光導(dǎo)膜n反射膜反射膜1.11.1四防膜(涂層)四防膜(涂層)n作用:增透、減反及提高其它性能(抗劃傷、作用:增透、減反及提高其它性能(抗劃傷、防靜電等)用于光學(xué)器件、顯示(防靜電等)用于光學(xué)器件、顯示(PDP、LCD等)等)減反膜應(yīng)用及效果減反膜應(yīng)用及
13、效果鏡頭未經(jīng)減反增透處理鏡頭經(jīng)減反增透處理1.21.2偏光片偏光片n壓敏膠壓敏膠n隔離膜隔離膜PETPETUVUV隔離涂隔離涂層層n復(fù)合粘合劑專利復(fù)合粘合劑專利n反射膜反射膜PETPETUVUV發(fā)射涂發(fā)射涂層(不了解,但完全可實(shí)層(不了解,但完全可實(shí)施)施)nTACTAC膜是否可以用膜是否可以用UVUV方式實(shí)方式實(shí)現(xiàn)流延本人設(shè)想(問現(xiàn)流延本人設(shè)想(問題是光性能和復(fù)合重新設(shè)題是光性能和復(fù)合重新設(shè)計(jì))計(jì))1.31.3液晶液晶n導(dǎo)電玻璃:制造工藝是先在硼硅玻璃基板上濺射柵極材料導(dǎo)電玻璃:制造工藝是先在硼硅玻璃基板上濺射柵極材料膜,經(jīng)掩膜曝光、顯影、干法蝕刻后形成柵極布線圖案膜,經(jīng)掩膜曝光、顯影、干法
14、蝕刻后形成柵極布線圖案UVUV刻蝕技術(shù)刻蝕技術(shù)nUVUV膠框:玻璃基版在配向后直接涂布膠框,滴入液晶,然膠框:玻璃基版在配向后直接涂布膠框,滴入液晶,然后減壓對(duì)位等工序,固化,加熱液晶重排。后減壓對(duì)位等工序,固化,加熱液晶重排。 n液晶盒封口:液晶盒封口:UVUV粘合劑(封口膠)粘合劑(封口膠)1.41.4彩色濾光膜彩色濾光膜彩色濾光片著色部分的形成方法有染料法、顏料分散法、印彩色濾光片著色部分的形成方法有染料法、顏料分散法、印刷法、電解沉積法、噴墨法。目前以顏料分散法為主。刷法、電解沉積法、噴墨法。目前以顏料分散法為主。 n顏料分散法的第一步是將顆粒均勻的微細(xì)顏料(平均粒徑顏料分散法的第一步
15、是將顆粒均勻的微細(xì)顏料(平均粒徑小于小于0.10.1mm)(R(R、G G、B B三色三色) )分散在透明分散在透明感光樹脂感光樹脂中。然中。然后將它們依次用涂敷、曝光、顯影工藝方法,依次形成后將它們依次用涂敷、曝光、顯影工藝方法,依次形成R. R. G. BG. B三色圖案。在制造中使三色圖案。在制造中使用光蝕刻用光蝕刻技術(shù),所用裝置主要技術(shù),所用裝置主要是涂敷、曝光、顯影裝置。是涂敷、曝光、顯影裝置。 n印刷法可以使用印刷法可以使用UVUV油墨。油墨。n噴墨法可以使用噴墨法可以使用UVUV噴墨油墨。噴墨油墨。 1.51.5背光源背光源 背光模塊由光源背光模塊由光源, , 導(dǎo)光板導(dǎo)光板, ,
16、 反射板反射板, , 擴(kuò)擴(kuò)散板散板, , 增光片增光片. .組合而成組合而成 。背光模組的作背光模組的作用無非就是把冷陰極熒光燈組成的線光源用無非就是把冷陰極熒光燈組成的線光源的線光源通過漫反射使之形成亮度均勻并的線光源通過漫反射使之形成亮度均勻并垂直射出的面光源。垂直射出的面光源。1.5.21.5.2背光源導(dǎo)光板背光源導(dǎo)光板n導(dǎo)光板是呈鍥形的平板,它負(fù)責(zé)把線光源霧化成均勻的導(dǎo)光板是呈鍥形的平板,它負(fù)責(zé)把線光源霧化成均勻的面光源面光源 。n導(dǎo)光板是背光模塊的心臟導(dǎo)光板是背光模塊的心臟, , 既然要導(dǎo)光既然要導(dǎo)光. . 當(dāng)然要選擇光當(dāng)然要選擇光折射低折射低. . 穿透性高的材料穿透性高的材料.
17、. 玻璃是不錯(cuò)的玻璃是不錯(cuò)的, , 可是太重又可是太重又易碎易碎. .所以有所以有 PMMA,PMMA, PC,PC, 等等塑料材質(zhì)來選擇等等塑料材質(zhì)來選擇. . 為了將測為了將測面光引導(dǎo)到正面面光引導(dǎo)到正面, , 于是各種光學(xué)設(shè)計(jì)紛紛出籠于是各種光學(xué)設(shè)計(jì)紛紛出籠. . 有人用有人用射出的射出的. . 有用印刷的有用印刷的. . 還有用滾壓的還有用滾壓的.網(wǎng)點(diǎn)的設(shè)計(jì)有凸網(wǎng)點(diǎn)的設(shè)計(jì)有凸的的. . 凹的凹的. . V V型槽的型槽的.只要輝度亮又均勻只要輝度亮又均勻. .其中主要的其中主要的方法將丙烯壓制成表面光滑的楔形板塊,然后用具高反方法將丙烯壓制成表面光滑的楔形板塊,然后用具高反射率且不吸光
18、的材料,在導(dǎo)光板底面用網(wǎng)版印刷印上圓射率且不吸光的材料,在導(dǎo)光板底面用網(wǎng)版印刷印上圓形或方形的擴(kuò)散點(diǎn),導(dǎo)光板主要功能在于導(dǎo)引光線方向,形或方形的擴(kuò)散點(diǎn),導(dǎo)光板主要功能在于導(dǎo)引光線方向,提高面板光輝度及控制亮度均勻。提高面板光輝度及控制亮度均勻。 因此,光固化技術(shù)因此,光固化技術(shù)可以協(xié)助這些工藝的實(shí)現(xiàn)。如噴繪、印刷、刻蝕等??梢詤f(xié)助這些工藝的實(shí)現(xiàn)。如噴繪、印刷、刻蝕等。1.5.41.5.4背光源反射板、擴(kuò)散膜背光源反射板、擴(kuò)散膜n反射板用于將沒有直接散射出去的雜亂光線再次引入導(dǎo)反射板用于將沒有直接散射出去的雜亂光線再次引入導(dǎo)光板以提高光源的利用率;反射板光板以提高光源的利用率;反射板( (ref
19、lector)reflector)也有人叫也有人叫它反射片它反射片, , 顧名思義就是將側(cè)投光反射到面板顧名思義就是將側(cè)投光反射到面板. . 既然反射既然反射效率要好效率要好, , 想當(dāng)然耳就是白色最棒想當(dāng)然耳就是白色最棒. .n它上面的擴(kuò)散膜同樣具備把光線形成漫反射并均勻擴(kuò)散它上面的擴(kuò)散膜同樣具備把光線形成漫反射并均勻擴(kuò)散的能力。擴(kuò)散層的表面處理就是一門學(xué)問的能力。擴(kuò)散層的表面處理就是一門學(xué)問, , 從銘板工業(yè)壓從銘板工業(yè)壓花處理的花處理的 PCPC材料到內(nèi)加擴(kuò)散劑的薄膜材料或涂布式的擴(kuò)材料到內(nèi)加擴(kuò)散劑的薄膜材料或涂布式的擴(kuò)散材料或是結(jié)合增光膜功能的復(fù)合型擴(kuò)散材料不一。如散材料或是結(jié)合增光膜
20、功能的復(fù)合型擴(kuò)散材料不一。如果是涂布的果是涂布的UVUV技術(shù)也是有一席之地。技術(shù)也是有一席之地。 1.5.51.5.5增亮膜增亮膜n用途:增加亮度用途:增加亮度n基本原理:基本原理:nmnm級(jí)小棱鏡(垂直級(jí)小棱鏡(垂直和水平相間隔)把光線聚攏,和水平相間隔)把光線聚攏,使其垂直進(jìn)入液晶模塊以提高使其垂直進(jìn)入液晶模塊以提高輝度輝度 n 制作方式:制作方式:V V 型槽(棱鏡)電型槽(棱鏡)電鑄模仁壓出來鑄模仁壓出來, ,然后涂布一層然后涂布一層UVUV耐磨涂料;也可以切一些耐磨涂料;也可以切一些V V槽涂槽涂上上UVUV樹脂硬化后轉(zhuǎn)印下來。樹脂硬化后轉(zhuǎn)印下來。 2 2、PDPPDP AC型型PD
21、P的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu) 前基板上設(shè)有放電用的透明電極,前基板上設(shè)有放電用的透明電極,正對(duì)著該透明電極的稍下方將發(fā)正對(duì)著該透明電極的稍下方將發(fā)生氣體放電。生氣體放電。為使透明電極線電為使透明電極線電阻下降,透明電極上要附有匯流阻下降,透明電極上要附有匯流電極電極。電極內(nèi)側(cè)覆有透明介電層。電極內(nèi)側(cè)覆有透明介電層。為保護(hù)電極還要覆以為保護(hù)電極還要覆以MgO保護(hù)保護(hù)層。該保護(hù)層除保護(hù)透明電極之層。該保護(hù)層除保護(hù)透明電極之外,還有發(fā)射電子、維持放電狀外,還有發(fā)射電子、維持放電狀態(tài)、限制放電過流等作用。在后態(tài)、限制放電過流等作用。在后基板上,設(shè)有寫入用的選址電極,基板上,設(shè)有寫入用的選址電極,電極覆以白色介電層,
22、再在其上電極覆以白色介電層,再在其上設(shè)置條狀障壁,該障壁的作用是設(shè)置條狀障壁,該障壁的作用是分隔放電空間,并作為放電空間分隔放電空間,并作為放電空間的墻壁。為了實(shí)現(xiàn)可見光發(fā)光及的墻壁。為了實(shí)現(xiàn)可見光發(fā)光及彩色化,在每個(gè)放電空間內(nèi)側(cè),彩色化,在每個(gè)放電空間內(nèi)側(cè),按一定規(guī)律涂上按一定規(guī)律涂上R,G,B三原三原色熒光體。色熒光體。2 2、PDPPDPnDC型型PDP的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu) DC型型PDP與與AC型型結(jié)構(gòu)的主要不同之處結(jié)構(gòu)的主要不同之處是,前者前基板的陰是,前者前基板的陰極、后基板的陽極都極、后基板的陽極都暴露于放電空間中。暴露于放電空間中。而且而且AC型型PDP保護(hù)層保護(hù)層所起的作用在所起的作
23、用在DC型型PDP中分別由幾種部中分別由幾種部件及材料來承擔(dān),這件及材料來承擔(dān),這幾部分是為放電而發(fā)幾部分是為放電而發(fā)射電子用的陰極、維射電子用的陰極、維持放電用的輔助放電持放電用的輔助放電胞和限制多余放電電胞和限制多余放電電流用的電阻。流用的電阻。lPDPPDP專用光固化材料(彩色專用光固化材料(彩色PDPPDP專用光刻漿料):專用光刻漿料): 1 1)制作電極的黑色光刻銀漿和光刻導(dǎo)電銀)制作電極的黑色光刻銀漿和光刻導(dǎo)電銀漿;漿; 2 2)制作障壁的耐噴砂光致抗蝕劑;)制作障壁的耐噴砂光致抗蝕劑; 3 3)制作)制作RGBRGB熒光粉點(diǎn)陣的含三基色熒光粉光熒光粉點(diǎn)陣的含三基色熒光粉光刻漿料等
24、??虧{料等。2.12.1微電極微電極n透明前板電極:透明前板電極: ITOITO層層/ /導(dǎo)電銀墨涂覆光刻膠或干膜,掩膜曝光,顯影,導(dǎo)電銀墨涂覆光刻膠或干膜,掩膜曝光,顯影,F(xiàn)e(NOFe(NO3 3) )3 3刻蝕,剝刻蝕,剝離余膠,得透明前板微電極。離余膠,得透明前板微電極。n被板微電極:被板微電極: 抗蝕性導(dǎo)電銀墨。抗蝕性導(dǎo)電銀墨。ITO玻璃上制作匯流電極:玻璃上制作匯流電極:ITOITO玻璃表面涂覆光刻膠玻璃表面涂覆光刻膠 (堿溶性)(堿溶性)加覆條形圖案的掩膜,曝光加覆條形圖案的掩膜,曝光噴淋噴淋NaNa2 2COCO3 3溶液顯影溶液顯影用用50%50%鹽酸鹽酸 刻蝕裸露刻蝕裸露I
25、TOITO層層抗蝕劑保護(hù)條兩端清除,露出部分抗蝕劑保護(hù)條兩端清除,露出部分ITOITO在刻蝕部位在刻蝕部位 及及 裸露裸露ITOITO部位部位 電鍍金屬電鍍金屬強(qiáng)堿洗脫固化膠層強(qiáng)堿洗脫固化膠層2.22.2壁障壁障 無論對(duì)無論對(duì)AC型還是對(duì)型還是對(duì)DC型型PDP來說,都需要在后基板來說,都需要在后基板上形成障壁(隔斷),其作用是確保微小的放電空間,上形成障壁(隔斷),其作用是確保微小的放電空間,防止防止3色熒光體的混合。在色熒光體的混合。在AC型型PDP中,要做成寬中,要做成寬50m以下、高以下、高150m左右的條狀;在左右的條狀;在DC型型PDP中,要中,要做成寬做成寬6080m,高高1502
26、00m左右的方形胞狀。左右的方形胞狀。AC型型PDP的條狀障壁節(jié)距,對(duì)于的條狀障壁節(jié)距,對(duì)于42英寸英寸VGA來說,大來說,大約為約為220m;對(duì)于對(duì)于25英寸英寸XGA來說,大約為來說,大約為150m。應(yīng)該說,上述障壁的形成是應(yīng)該說,上述障壁的形成是PDP制造中最關(guān)鍵、也是制造中最關(guān)鍵、也是最困難的工藝。最困難的工藝。2.22.2壁障壁障 無論對(duì)無論對(duì)AC型還是對(duì)型還是對(duì)DC型型PDP來說,都需要在后基板來說,都需要在后基板上形成障壁(隔斷),上形成障壁(隔斷),其作用是確保微小的放電空間,其作用是確保微小的放電空間,防止防止3色熒光體的混合。色熒光體的混合。在在AC型型PDP中,要做成寬中
27、,要做成寬50m以下、高以下、高150m左右的條狀;在左右的條狀;在DC型型PDP中,要中,要做成寬做成寬6080m,高高150200m左右的方形胞狀。左右的方形胞狀。AC型型PDP的條狀障壁節(jié)距,對(duì)于的條狀障壁節(jié)距,對(duì)于42英寸英寸VGA來說,大來說,大約為約為220m;對(duì)于對(duì)于25英寸英寸XGA來說,大約為來說,大約為150m。應(yīng)該說,上述障壁的形成是應(yīng)該說,上述障壁的形成是PDP制造中最關(guān)鍵、也是制造中最關(guān)鍵、也是最困難的工藝。最困難的工藝。n第一代第一代PDPPDP的障壁結(jié)構(gòu)是直條狀結(jié)構(gòu),制作工的障壁結(jié)構(gòu)是直條狀結(jié)構(gòu),制作工藝采用絲網(wǎng)印刷法和噴砂法。為降低工藝成本,藝采用絲網(wǎng)印刷法和噴
28、砂法。為降低工藝成本,業(yè)界相繼研發(fā)了制作障壁的填平法、模壓法、業(yè)界相繼研發(fā)了制作障壁的填平法、模壓法、光敏障壁漿料的光刻法。其中,第二代光敏障壁漿料的光刻法。其中,第二代PDPPDP中中主要采用了蜂窩型障壁結(jié)構(gòu)。主要采用了蜂窩型障壁結(jié)構(gòu)。光固化制作壁障示意圖光固化制作壁障示意圖壓模直接光固化玻璃漿料制作壓模直接光固化玻璃漿料制作PDP壁障壁障Photoresist for barrier ribs:Photoresist for barrier ribs: RFW030 RFW030玻璃粉玻璃粉( (Asahi Glass Co) 80 Asahi Glass Co) 80 份,份, 環(huán)氧丙烯
29、酸樹脂環(huán)氧丙烯酸樹脂 8.034 8.034 份,份, TEGDMA 4.326 TEGDMA 4.326 份,份, 1,3- 1,3-丁二醇丁二醇 7 7 份,份, POCAII (phosphate polyoxyalkyl polyol, POCAII (phosphate polyoxyalkyl polyol, 分散劑分散劑, , 3 3M) 0.12 M) 0.12 份,份, A174 A174 (硅烷偶聯(lián)劑)硅烷偶聯(lián)劑) 0.16 0.16份,份, Irgacure 819 0.16 Irgacure 819 0.16 份,份, BYK A555 BYK A555 (消泡劑)消泡
30、劑) 0.20 0.20 份份混勻磨細(xì),得玻璃漿料。涂布于玻璃基板上,混勻磨細(xì),得玻璃漿料。涂布于玻璃基板上,壓印透明模板壓印透明模板( (PCPC或光固化材料,凸?;蚬夤袒牧希鼓? ),以,以3030WW藍(lán)色光源(藍(lán)色光源(400400500500nmnm)輻照輻照3030secsec固化,揭膜,燒結(jié)。固化,揭膜,燒結(jié)。2.3 2.3 RGBRGB熒光粉點(diǎn)陣制作熒光粉點(diǎn)陣制作n將紅、綠、藍(lán)熒光顏料分散到將紅、綠、藍(lán)熒光顏料分散到UV固化體系,固化體系,通過絲網(wǎng)印刷(噴繪等亦可)印刷成熒光通過絲網(wǎng)印刷(噴繪等亦可)印刷成熒光粉點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)(亦可按彩色濾光膜的各種方粉點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)(亦可按彩色濾光膜的
31、各種方式制作)。式制作)。3、FEDn場發(fā)射顯示器場發(fā)射顯示器( (Field Emission DisplayField Emission Display,F(xiàn)EDFED)是一種新是一種新型自發(fā)光平板顯示器件,其技術(shù)原理極類似傳統(tǒng)的陰極射型自發(fā)光平板顯示器件,其技術(shù)原理極類似傳統(tǒng)的陰極射線管線管 ( (Cathode-Ray TubeCathode-Ray Tube,CRT)CRT),因此又被稱為因此又被稱為“薄的薄的CRTCRT”。nUVUV固化技術(shù)可以用于制作電子發(fā)射微尖。固化技術(shù)可以用于制作電子發(fā)射微尖。4 4、LEDLED1 1)發(fā)光芯片上直接滴膠)發(fā)光芯片上直接滴膠 簡單簡單 光固化
32、膠光固化膠 + + 熒光粉,環(huán)氧丙烯酸樹脂為主。熒光粉,環(huán)氧丙烯酸樹脂為主。2 2) 光固化間隔膠光固化間隔膠背景:熒光粉膠膜直接接觸發(fā)光芯片,芯片工作發(fā)熱,導(dǎo)致熒光背景:熒光粉膠膜直接接觸發(fā)光芯片,芯片工作發(fā)熱,導(dǎo)致熒光粉升溫,發(fā)光效率下降。粉升溫,發(fā)光效率下降。對(duì)策:將熒光粉膠膜與發(fā)光芯片用透光材料隔離。對(duì)策:將熒光粉膠膜與發(fā)光芯片用透光材料隔離。方法:光固化透明間隔膠。方法:光固化透明間隔膠。5、OLEDn OLED有機(jī)發(fā)光二極管有機(jī)發(fā)光二極管 (Organic Light Emitting Diode),某些有機(jī)分某些有機(jī)分子或大分子具有與半導(dǎo)體類似性質(zhì),低子或大分子具有與半導(dǎo)體類似性
33、質(zhì),低電壓刺激發(fā)光,并可快速開關(guān)。電壓刺激發(fā)光,并可快速開關(guān)。n 號(hào)稱終極顯示器(手機(jī)、相機(jī)、電腦、號(hào)稱終極顯示器(手機(jī)、相機(jī)、電腦、電視等等);電視等等);n 亮度高、視角寬、自發(fā)光、超薄(亮度高、視角寬、自發(fā)光、超薄(1.6mm)、)、可繞曲、高亮環(huán)境可視、可繞曲、高亮環(huán)境可視、驅(qū)動(dòng)電壓低(幾伏十多伏);驅(qū)動(dòng)電壓低(幾伏十多伏);n 成本高、壽命短。成本高、壽命短。Sony OLED TV, SamplePaper-like display不同類型不同類型OLED 不同密封部位不同密封部位三、其它應(yīng)用1 1、薄膜鋰電池固態(tài)聚合物電介質(zhì)膜可用光固化原位制作完、薄膜鋰電池固態(tài)聚合物電介質(zhì)膜可用
34、光固化原位制作完成??焖佟⒂行Ы宦?lián)成。快速、有效交聯(lián)液體鋰離子電池的安全性液體鋰離子電池的安全性機(jī)遇和事故常常相伴。機(jī)遇和事故常常相伴。2. 2. 光固化光固化 與與 PDLCPDLCPDLC (polymer dispersed liquid crystal) PDLC (polymer dispersed liquid crystal) 聚合物分散液晶聚合物分散液晶PDLCPDLC薄膜是一種具有光電響應(yīng)的功能膜材料,液晶以微小液滴形式彌散地分薄膜是一種具有光電響應(yīng)的功能膜材料,液晶以微小液滴形式彌散地分布到固體聚合物基材中,可以通過外加電壓使分散膜實(shí)現(xiàn)透光失透狀態(tài)變布到固體聚合物基材中,可
35、以通過外加電壓使分散膜實(shí)現(xiàn)透光失透狀態(tài)變換。也可利用分散的液晶微滴作為微透鏡,進(jìn)行投影成像等操作。在光電顯換。也可利用分散的液晶微滴作為微透鏡,進(jìn)行投影成像等操作。在光電顯示器件、光開關(guān)、非線性光學(xué)材料、選擇透過性膜、熱敏或壓敏器件等方面示器件、光開關(guān)、非線性光學(xué)材料、選擇透過性膜、熱敏或壓敏器件等方面顯示出較強(qiáng)應(yīng)用前景,成為液晶材料領(lǐng)域中比較活躍的研究前沿。顯示出較強(qiáng)應(yīng)用前景,成為液晶材料領(lǐng)域中比較活躍的研究前沿。 Switching window 3 3、UVUV固化抗靜電涂料固化抗靜電涂料抗靜電劑:抗靜電劑:l 季銨鹽型,本身有一定電導(dǎo),涂層吸潮,消除靜電積累;季銨鹽型,本身有一定電導(dǎo),
36、涂層吸潮,消除靜電積累; 3- 3-甲基丙烯酰氧丙基三甲基氯化銨(甲基丙烯酰氧丙基三甲基氯化銨(MAPTACMAPTAC) 甲基丙烯酰氧乙基三甲基銨硫酸單甲酯鹽(甲基丙烯酰氧乙基三甲基銨硫酸單甲酯鹽(Ageflex FMIQ80DMSAgeflex FMIQ80DMS) 丙烯酰氧乙基三甲基氯化銨(丙烯酰氧乙基三甲基氯化銨(Ageflex FA1Q80MCAgeflex FA1Q80MC) 甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化銨(甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化銨(Ageflex FMIQ75MCAgeflex FMIQ75MC) 丙烯酰氧乙基三甲基銨硫酸單甲酯鹽(丙烯酰氧乙基三甲基銨硫酸單甲酯鹽(Agefle
37、x FA1Q80DMSAgeflex FA1Q80DMS) 丙烯酰氧乙基二乙基甲基銨硫酸單甲酯鹽(丙烯酰氧乙基二乙基甲基銨硫酸單甲酯鹽(Ageflex FA2Q80DMSAgeflex FA2Q80DMS) 二甲基二烯丙基氯化銨(二甲基二烯丙基氯化銨(Ageflex DMDACAgeflex DMDAC) l 金屬金屬 或或 金屬氧化物金屬氧化物 填充填充( (氧化錫、氧化鋅、四針狀氧化鋅等氧化錫、氧化鋅、四針狀氧化鋅等) );l 堿金屬鹽堿金屬鹽 以以LiLi、NaNa的復(fù)雜陰離子鹽為主,如的復(fù)雜陰離子鹽為主,如LiCFLiCF3 3SOSO3 3、LiBFLiBF4 4、NaBFNaBF4
38、 4等。等。l 導(dǎo)電聚合物等導(dǎo)電聚合物等4、CMOS 制作n類似于晶園加工制作IC,采用精密光刻工藝:比較成熟的晶園光刻工藝5、CCDn什么是什么是CCD?CCD? CCDCCD,是英文是英文Charge Coupled Device Charge Coupled Device 即電荷即電荷耦合器件的縮寫,它是一種特殊半導(dǎo)體器件,上耦合器件的縮寫,它是一種特殊半導(dǎo)體器件,上面有很多一樣的感光元件,每個(gè)感光元件叫一個(gè)面有很多一樣的感光元件,每個(gè)感光元件叫一個(gè)像素。像素。CCDCCD在攝像機(jī)里是一個(gè)極其重要的部件,在攝像機(jī)里是一個(gè)極其重要的部件,它它起到將光線轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的作用,起到將光線轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的作用,類似于人的類似于人的眼睛,因此其性能的好壞將直接影響到攝像機(jī)的眼睛,因此其性能的好壞將直接影響到攝像機(jī)的性能。性能。nCCDCCD的結(jié)構(gòu)為三層,第一層是的結(jié)構(gòu)為三層,第一層是“微型鏡頭微型鏡頭”,第,第二層是二層是“分色濾色片分色濾色片”以及第三層以及第三層“感光層感光層”。nn第一層第一層“微型鏡頭微型鏡頭” 我們知道,數(shù)碼相機(jī)成像的關(guān)鍵是在于其感光層,為了我們知道,數(shù)碼相機(jī)成像的關(guān)鍵是在于其感光層,為了擴(kuò)展擴(kuò)展CCDCCD的采光率,必須擴(kuò)展單一
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