清凈室(Clean Room)管理資料

1、1Clean Room清清凈凈室管理資料室管理資料2什么么是 Clean Room? 無塵塵，潔凈潔凈的 房間間 (淸淸:清凈清凈的清清, 淨(jìng)淨(jìng):潔凈潔凈的凈凈) 即,灰塵塵的濃濃度(浮塵塵粒子), 溫溫度, 濕濕度, 氣氣流,次壓壓等 綜綜合管理 下的封閉閉空間間清凈清凈室(Clean Room) 1. Clean Room 基本 浮游粒子(Airborne Particle) 大小在 0.1m 5 m 之間間， 存在于空氣氣中的固體或液體物質(zhì)質(zhì) 浮游粒子 3濕濕度 (Humidity) 濕濕度管理的重要性 -濕濕度和靜電靜電有密切的關(guān)關(guān)系. - Fab內(nèi)內(nèi) 濕濕度低度低時(shí)時(shí)，產(chǎn)產(chǎn)生生靜電靜

2、電的機(jī)率高的機(jī)率高. - Fab內(nèi)內(nèi) 濕濕度度 高高時(shí)時(shí)，雖雖然然減減少少靜電發(fā)靜電發(fā)生率，但因生率，但因濕氣發(fā)濕氣發(fā)生生裝裝備備腐腐蝕蝕（銹銹），故而粒子的發(fā)發(fā)生率變變高。1. Clean Room 基本41. Clean Room 基本清凈清凈度(Class)?1 ft1 ft1ft = 30.48cm1CF = 0.028m3CFM(Cubic Feet Minute) 0.028 空間內(nèi)間內(nèi)的粒子，用1分鐘鐘抽樣樣測測量的數(shù)數(shù)量. (橫橫向*縱縱向*高度 30.48cm 空間間) Class1 ： 0.028 空間內(nèi)間內(nèi)的粒子，1分鐘內(nèi)鐘內(nèi)抽取測測量結(jié)結(jié)果存在1個(gè)個(gè) 以下粒子時(shí)時(shí)叫 C

3、lass 1. (0.5um以上的粒子 1個(gè)個(gè)/CFM 空間間)51. Clean Room 基本 ClassParticle Size ()0.10.20.30.55.0ABCDEF11010010001000010000035350-7.575750-58.7587.5875-110100100010000100000-770700Class 表 (FED-STD 209C)61. Clean Room 基本Clean Room 業(yè)種別業(yè)種別 區(qū)區(qū)分及清凈清凈業(yè)種別業(yè)種別產(chǎn)業(yè)產(chǎn)業(yè)系列 區(qū)區(qū)分清凈清凈度 (Class)粒子大小形式電子產(chǎn)業(yè)- 半導(dǎo)體(上級(jí))- LCD- Wafer 制造1 1

4、00.1m垂直 對流式,層流式C/RClean Bench式- 宇宙火箭, 人工衛(wèi)星- 半導(dǎo)體 (中級(jí) 以下)10 1000.3m- FILM, CRT- 微接觸, 光學(xué)儀器類100 1,0000.3m- 精密儀器組立, 半導(dǎo)體器件 ，鏡頭加工1,000 10,0000.5m- Computer組裝- 精明軸承，電子計(jì)算室10,000 100,0000.5m制藥產(chǎn)業(yè)- 藥品制造,包裝100 1,0000.3m- 發(fā)酵, 釀造, 保管1,000 10,0000.5m醫(yī)院,醫(yī)療- 實(shí)驗(yàn)室,培養(yǎng)室100 1,0000.3m-無菌手術(shù)室,新生兒室- 精密醫(yī)療器械制造10,000 100,0000.5m

5、71. Clean Room 基本Class 表 (FED-STD 209E)粒子數(shù) 粒徑81. Clean Room 基本Class 表 (FED-STD 209E的主要修訂訂)項(xiàng)項(xiàng) 目內(nèi)內(nèi) 容單單位主要使用Miter法，并并用英國單國單位記錄記錄CLASS標(biāo)識(shí)標(biāo)識(shí)0.5以上的 粒子數(shù)為數(shù)為 10/ ,X用 Class標(biāo)識(shí)標(biāo)識(shí). 為為了明確Miter法，附加了M CLASS分類類增加了清凈清凈度大于209D Class 1的 Class M1 及 清凈清凈度小于 Class 100,000的 Class M7.微粒子計(jì)測計(jì)測計(jì)測時(shí)計(jì)測時(shí)可以使用 CNC,此時(shí)時(shí) 計(jì)測計(jì)測粒子直徑為徑為 0.0

6、2以上. 此時(shí)時(shí)的標(biāo)記為標(biāo)記為 Class U(X).U = 微粒子 計(jì)測標(biāo)識(shí)計(jì)測標(biāo)識(shí) X = 最大 允許許粒子濃濃度 P/標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)測計(jì)測粒子0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 Micron 為為基準(zhǔn).但 可以使用其他粒子直徑徑.抽樣樣根據(jù)計(jì)測場計(jì)測場所，計(jì)測時(shí)計(jì)測時(shí)可以使用其他抽樣類樣類型.但，粒子濃濃度標(biāo)記為個(gè)標(biāo)記為個(gè)/單單位體積積.抽樣樣點(diǎn)多于 10處時(shí)處時(shí)，測測量值值可以取平均值值. 清凈清凈度高于Class M2.5時(shí)時(shí)，為為了節(jié)節(jié)省計(jì)測時(shí)間計(jì)測時(shí)間可以連續(xù)連續(xù)抽樣樣.附錄錄209D的相關(guān)規(guī)關(guān)規(guī)格,用語語被刪刪除，增加了等速吸引法，超微粒子濃濃度測測量法，清凈清凈度高于Cla

7、ss M2.5時(shí)時(shí)的連續(xù)連續(xù)抽樣樣法 3個(gè)項(xiàng)個(gè)項(xiàng)目.91. Clean Room 基本大氣氣中 粒子 大小 煙 霧 GAS 粒子 病毒 油煙 發(fā)霉 頭發(fā) 花粉 植物胞子甲醇酵母菌 霧 噴霧 雨 細(xì)菌 下記大小是與人的頭發(fā)厚度（100m）相比較時(shí)的大小 人能見得著的最小大?。?0m）表示直徑大小為0.3m，HEPA Filter清除99.97%的粒子表示1m，VLS1(1M)線幅大小 人的頭發(fā)厚度100 m101. Clean Room 基本大氣氣中的 粒子 濃濃度地球環(huán)境的 清凈水準(zhǔn)大氣的位置Class 水準(zhǔn)備注平流層 上層以上Class 1,000漢拿山 頂部Class 10,000高原地帶

8、Class 100,000大都市Class 1,000,000工廠地帶Class 10,000,000越往上空走，清凈清凈度水準(zhǔn)越高11Clean Room污污染 污污染源 發(fā)發(fā)生 要素 污污染發(fā)發(fā)生要因 (4M) Man (人) Machine (機(jī)器) Material (材料) Method (方法/環(huán)環(huán)境/設(shè)設(shè)施)現(xiàn)現(xiàn)象精神要素污污染 (Contamination)無意識(shí)識(shí)灰塵塵 (Particle)無關(guān)關(guān)心劃劃痕 (Scratch)無改善1. Clean Room 基本12 污污染往 Clean Room移動(dòng)動(dòng)的路徑為徑為 ? 1) 空氣氣中(Gas中) 混合 (Airborne)

9、2) 貼貼附表面上 (Surface) 3) 貼貼附工具上 (Tool) 4) 業(yè)業(yè)體(藥藥品)中 混合 (Liquid) 污污染移動(dòng)動(dòng). 污污染引起的最終終影響為響為? 1) 收率低下 2) 品質(zhì)質(zhì)不良 3) 信賴賴性不良1. Clean Room 基本13區(qū)分遏制 灰塵流入遏制 灰塵發(fā)生灰塵及時(shí)排除Man(人)n通過風(fēng)過風(fēng)淋室進(jìn)進(jìn)入清凈清凈室n限制 清凈清凈室出入人員員n穿著符合規(guī)規(guī)格的防塵塵服n禁止不必要的言行n出入門門口設(shè)設(shè)置防塵墊塵墊Machine(裝備備)n放入清凈清凈室裝備時(shí)實(shí)備時(shí)實(shí)施清掃清掃n灰塵塵排除用過濾過濾器設(shè)設(shè)置n驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部的低震動(dòng)動(dòng) 對對策樹樹立n灰塵塵無堆積積的結(jié)構(gòu)

10、結(jié)構(gòu) (位置選選定)Material(材料)n物品通過傳遞過傳遞窗返入n符合清凈清凈等級(jí)級(jí)(Class)的基材使用n資資材 /備備品 整理整頓頓Method(方法/環(huán)環(huán)境/設(shè)設(shè)施)n清凈清凈室 正壓維壓維持n裝備備反入口 設(shè)設(shè)置2層層 Doorn低 防震性專專用清凈清凈室設(shè)備設(shè)備使用n清凈清凈室靜電靜電管理n周期性清掃實(shí)清掃實(shí)施n換氣換氣次數(shù)數(shù) 維維持主要 污污染源別別 發(fā)發(fā)生 占有率區(qū)區(qū)分人生產(chǎn)產(chǎn)裝備備制造工程產(chǎn)產(chǎn)品空氣氣1980年代3040%2030%2030%10%5%1990年代以后20%35%35%10%5%Clean Room 管理 3大 運(yùn)營運(yùn)營原則則1. Clean Room

11、基本14Clean Room 5原則則1. Clean Room 基本 為為了有效使用清凈清凈室并維并維持，應(yīng)該應(yīng)該遵守的事項(xiàng)項(xiàng).防止 微粒子的 侵入 (preventing)維持所需的溫濕度及室內(nèi)壓 （providing) 祛除 產(chǎn)生的微粒子 (purging) 防止 微粒子的 發(fā)生 （prohibiting)防止 微粒子的 累積 （protecting)151. Clean Room 基本Clean Room 主要管理項(xiàng)項(xiàng)目及影響響項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響粒子(Particle)-粒子(Particle): 通常具有0.01 1000大小的固體或者其混合狀態(tài)狀態(tài)的物質(zhì)質(zhì) -空氣氣浮游粒子（

12、Airborne Particle): 空氣氣中浮游的粒子-氣氣容劑劑(Aerosol): 氣氣體中分散的固體或液體狀態(tài)狀態(tài)的粒子或者其狀態(tài)狀態(tài)-氧氧化膜的形成工程前后 附著時(shí)時(shí) 妨礙氧氧化膜的 成長長 或 加速化-Photo 工程中 誘發(fā)誘發(fā) Bridge 不良 及 Open 不良. -Inplantation 或 Diffusion 工程中 起Masking作用. -Etching工程中 誘發(fā)蝕誘發(fā)蝕刻不良. -結(jié)論結(jié)論:Process中 D/D (Defect Density:Defect/cm3)為為 主要要因.161. Clean Room 基本項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響溫溫度計(jì)計(jì)/

13、濕濕度-為為了確保像Photo 工程那樣樣需要超恒溫溫性的工程或者粒子的帶電帶電及基板（wafer）的吸著等靜電帶電靜電帶電特性及發(fā)發(fā)生腐蝕蝕有關(guān)關(guān)系的決決定性工程的安全性。 -溫溫度(Temperature):與與通常意義義的溫溫度相同-相對濕對濕度(Relative Humidity):根據(jù)實(shí)際溫實(shí)際溫度變變化的相對濕對濕度量-絕對濕絕對濕度(Absolute Humidity) : 單單位質(zhì)質(zhì)量包含的濕濕度量-空間間分布不穩(wěn)穩(wěn)定時(shí)時(shí)，熱擴(kuò)熱擴(kuò)散效果引發(fā)發(fā) 清凈清凈室 內(nèi)內(nèi) 氣氣流移動(dòng)動(dòng)，起誘發(fā)誘發(fā)粒子擴(kuò)擴(kuò)散的因子作用-由于濕濕度上升發(fā)發(fā)生 PR涂布工程中的 基板（Wafer）表面的 Li

14、fing 誘發(fā)誘發(fā)或設(shè)備設(shè)備腐蝕現(xiàn)蝕現(xiàn)象-濕濕度的 Drop(35% 以下)提升靜電靜電 Level后，根據(jù)上升的靜電靜電力發(fā)發(fā)生粒子附著及設(shè)設(shè)備備 膜質(zhì)質(zhì)破壞現(xiàn)現(xiàn)象171. Clean Room 基本項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響流速(Velocity)-清凈清凈室內(nèi)內(nèi)空調(diào)調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)的最終終排出口(BFU,FFU,CFU等的Hepa, Ulpa Filter) 中 層層流狀態(tài)順狀態(tài)順流而下的空氣氣速度 (Air Velocity). -迅速祛除持續(xù)產(chǎn)續(xù)產(chǎn)生的粒子，相互不同的清凈領(lǐng)清凈領(lǐng)域間間確保積極積極（ Positive）氣氣流-管理Room的每小時(shí)時(shí)室內(nèi)內(nèi)空氣氣循環(huán)數(shù)環(huán)數(shù) 及風(fēng)風(fēng)量，確保垂直層層

15、流形的空間間-Process 和 作業(yè)區(qū)業(yè)區(qū)域的 風(fēng)風(fēng)速不均衡產(chǎn)產(chǎn)生逆氣氣流，此氣氣流流入到設(shè)備內(nèi)發(fā)設(shè)備內(nèi)發(fā)生污污染-主要為為粒子（ Particle）不良-風(fēng)風(fēng)量增加及減減少引起的 Area, Zone別別 逆氣氣流形成 -不能確保風(fēng)風(fēng)速低下時(shí)時(shí)的層層流, 即 暖流 or偏流發(fā)發(fā)生-風(fēng)風(fēng)速變變化 溫溫度變變化 改變變系統(tǒng)參數(shù)統(tǒng)參數(shù)（Process Parameter）后誘發(fā)誘發(fā)不良-風(fēng)風(fēng)速變變化時(shí)時(shí)生產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)設(shè)備及基板（ Wafer）等的表面特性發(fā)發(fā)生變變化，因此直接或間間接影響響到表面污污染，膜質(zhì)質(zhì)特性.181. Clean Room 基本項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響次壓壓-清凈清凈室內(nèi)內(nèi)是否

16、保持規(guī)規(guī)定的室內(nèi)壓內(nèi)壓 ，由相鄰鄰空間間的壓壓力差判定.與與空氣氣 流入量,排氣氣量,循環(huán)環(huán)量及流速等有相關(guān)關(guān)性. -防止粒子流入方面管理.-粒子流入清凈清凈室內(nèi)內(nèi)部, 使溫濕溫濕度及流速發(fā)發(fā)生變變化-對清凈對清凈室的污污染起到最大幅度變變化的參數(shù)參數(shù),Class1000的清凈清凈室形成瞬間間逆次壓壓后清凈清凈度惡惡化到100萬-壓壓力增加時(shí)時(shí)作業(yè)環(huán)業(yè)環(huán)境使作業(yè)業(yè)人員員感受的疲勞勞度上升-復(fù)層結(jié)構(gòu)復(fù)層結(jié)構(gòu)的清凈清凈室中，因?qū)娱g層間次壓壓不均衡，發(fā)發(fā)生粒子通過清凈過清凈室樓樓梯或升降機(jī)移動(dòng)動(dòng)的現(xiàn)現(xiàn)象.-Bay Service Area間間 壓壓力差的變變化是改變變生產(chǎn)產(chǎn)設(shè)備條設(shè)備條件的重要因素.

17、 (特別別是, Diffusion Tube, Photo Stepper & Coater 等)* 排氣壓氣壓力的變動(dòng)變動(dòng)是-起到改變變Diffusion Tube內(nèi)內(nèi) Wafer的 Oxide Thickness, Uniformity等的重要因子作用,-因破壞Wet Station內(nèi)內(nèi) Laminar Flow，加重了粒子的污污染, 低的時(shí)時(shí)候起到Chemical Fume 污污染排放的主要因子作用. .191. Clean Room 基本項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響震動(dòng)動(dòng)物體被外力瞬間間或連續(xù)連續(xù)性施加或消除后失去平衡的現(xiàn)現(xiàn)象-Photo 曝光工程的Miss Align的要因來顯現(xiàn)

18、來顯現(xiàn).-因精密測測量儀儀器(SEM, TEM等)上降低了 Measuring Quality，Data的信賴賴性無法保證證的要因. -建筑物,內(nèi)內(nèi)部設(shè)設(shè)施(Partition, Work Station, 保管架等)的 Macro Vibration成為誘發(fā)為誘發(fā)自體發(fā)發(fā)震的因子，并并且成為導(dǎo)為導(dǎo)致設(shè)備設(shè)備故障，熱熱化的原因.-Sem,Stepper,E-Beam使用設(shè)備時(shí)設(shè)備時(shí)，震動(dòng)誘動(dòng)誘發(fā)發(fā) Pattern缺陷.-作業(yè)環(huán)業(yè)環(huán)境噪音導(dǎo)導(dǎo)致作業(yè)業(yè)人疲勞勞，因此成為為作業(yè)業(yè)能率低下的要因.201. Clean Room 基本目的及定義義影響響TOC在超純純水中的能氧氧化的碳碳素化合物.-損傷凈

19、損傷凈水 System的離子交換樹換樹脂或逆滲透膜. -導(dǎo)導(dǎo)致Gate氧氧化膜的厚度 的不均勻勻，誘誘發(fā)絕緣發(fā)絕緣破壞現(xiàn)現(xiàn)象(Break Down Voltage). -根據(jù)有機(jī)物的增加，誘發(fā)細(xì)誘發(fā)細(xì)菌的增加. D.O表示Liquid內(nèi)內(nèi)溶解的氧氣氧氣量.-Develop或 Rinse時(shí)發(fā)時(shí)發(fā)生的水印降低均勻勻性，誘發(fā)誘發(fā) Wsi的 Lifting 現(xiàn)現(xiàn)象. -與與Wafer接觸時(shí)觸時(shí)形成自然氧氧化膜或氧氧化膜生成工程時(shí)誘發(fā)時(shí)誘發(fā)低密度氧氧化膜. 211. Clean Room 基本項(xiàng)項(xiàng)目目的及定義義影響響D.I Resistivity D.I Water內(nèi)內(nèi)含有量最多的不純純物用于電電解質(zhì)質(zhì)

20、(通常稱為稱為離子)來評(píng)來評(píng)價(jià)水質(zhì)純質(zhì)純度的情況況.我司對對 D.I的水質(zhì)變質(zhì)變化進(jìn)進(jìn)行監(jiān)監(jiān)控，決決定是否適合工程使用 -UV Light引起的氧氧化作用,有機(jī)物的 CO2化引起的非電電阻低下-D.I內(nèi)內(nèi) 氣氣泡(Bubble)發(fā)發(fā)生引起非電電阻減減. -配管的長長度和流速的不同，非電電阻的低下幅不同. -非電電阻測測量時(shí)時(shí)不能轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)移的微粒子，有機(jī)物，微生物不能測測量.22 Clean Room內(nèi)內(nèi)的 5S是? 整理 : 清清除非清凈清凈物品 整頓頓 : 指定的干凈場凈場所中保管管理 清掃清掃 : 設(shè)備設(shè)備,設(shè)設(shè)施,工裝器具的 污污染排除 清潔清潔 : 設(shè)備設(shè)備,工裝器具, 人的狀態(tài)狀態(tài)保持

21、Clean 規(guī)規(guī)范 : 清凈清凈守則徹則徹底遵守 干凈凈的 Clean Room管理作業(yè)業(yè) 前.後 5分鐘鐘做5S.1. Clean Room 基本232. 出入流程 /著裝順順序入室出室脫脫工作服防塵塵手套 佩戴 (PVC GLOVE) 防塵塵口罩罩 佩戴 防塵塵帽 佩戴防塵塵服 穿戴防塵塵鞋 穿戴Hand Shower & DryAir Shower 實(shí)實(shí)施Clean Room內(nèi)內(nèi)部Air Shower 通過過 脫脫防塵塵口罩罩脫脫防塵塵帽脫脫防塵塵手套 (PVC GLOVE)脫脫防塵塵服脫脫防塵塵鞋穿工作服 出入流程Hand Shower & Dry241.口罩罩2.防塵

22、塵帽5.Hand Shower &Dry3.防塵塵服4.防塵塵鞋7.Air Shower6.防塵塵手套(PVC Glove)入室2. 出入流程 /著裝順順序防塵塵服穿戴順順序25- 按報(bào)報(bào)警按鈕鈕 (前.后門門 同時(shí)開啟時(shí)開啟)風(fēng)風(fēng)淋室內(nèi)內(nèi) 被囚禁時(shí)時(shí)2. 出入流程 /著裝順順序263. 防塵塵服穿戴方法穿戴合適的防塵塵帽.頭發(fā)頭發(fā)，眼毛不能外露口罩罩塞進(jìn)進(jìn)防塵塵帽內(nèi)內(nèi)手套塞進(jìn)進(jìn)防塵塵服袖口內(nèi)內(nèi)穿戴清清洗后防塵塵服, 不應(yīng)應(yīng)接觸觸化工藥藥品防塵塵服的褲褲腳撫撫平后塞進(jìn)進(jìn)防塵塵鞋內(nèi)內(nèi).防塵塵鞋提上穿戴不做濃妝濃妝領(lǐng)領(lǐng)口帶處帶處不能有縫縫隙，適當(dāng)當(dāng)勒緊緊 拉鎖鎖拉到末尾（鄂下） 手套干凈凈

23、使用防塵塵鞋拉鎖鎖完全提上穿戴，注意不能接觸觸化工藥藥品，污污染物質(zhì)質(zhì).AIR SHOWER 前 在 CLEAN MAT上 清清除灰塵塵防塵塵服穿戴 例273. 防塵塵服 穿戴方法1 1 1 1. . . . M M M Ma a a as s s sk k k k 0 0. .1 1 0 067671501500306090120150 (EA)6 67 71 15 50 0 1.口罩罩正確佩戴防塵口罩正確佩戴狀態(tài)防塵口罩露鼻不良佩戴狀態(tài)防塵口罩露鄂不良佩戴狀態(tài)防塵塵衣類類正確穿戴法不同姿勢測量 比正常穿戴增加150倍增加67倍正常 露鼻 露鄂283.防塵塵服 穿戴方法- 1 - 2 2 2

24、 2. . . . 0 022222285685602004006008001000 (E A )2 22 22 28 85 56 6 0 0. .1 1 2.防塵塵帽正確穿戴防塵塵衣類類正確穿戴法防塵帽 正確 佩戴狀態(tài)防塵帽 露眼眉 不良狀態(tài)防塵帽 領(lǐng)口系帶松緊不良狀態(tài)不動(dòng)姿勢測量比正常穿戴增加858倍增加222倍正常 露眼眉 露系帶293.防塵塵服 穿戴方法- 1 -5 5 5 5. . . . 2302301501509090050100150200250 (EA)1 1. .5 53 3 0 0. .1 1 3.防塵塵服正確穿戴防塵塵衣類類正確穿戴法防塵服正確穿戴不良狀態(tài)粘合扣 不良狀

25、態(tài)拉鎖 不良狀態(tài)流動(dòng)姿勢測量比正常穿戴增加3倍增加1.5倍正常 粘合扣不良 拉鎖不良303.防塵塵服 穿戴方法4 4 4 4. . . . ( () ) 4.防塵塵鞋正確穿戴防塵塵衣類類正確穿戴法防塵鞋正確穿戴狀態(tài)防塵鞋套筒穿戴不良狀態(tài)防塵鞋套筒未完全提上時(shí)，因摩擦引起防塵衣類（碳素紗）損傷313.防塵塵服 穿戴方法 V in yl G love V inyl G love V inyl G lo ve 3 3 3 3. . . . V V V Vi i i in n n ny y y yl l l l G G G Gl l l lo o o ov v v ve e e e 555565653

26、5035026602660050010001500200025003000V/Glove (EA)6 64 40 0 0 0. .1 1 5.防塵塵手套正確穿戴防塵塵衣類類正確穿戴法防塵手套正確穿戴狀態(tài)防塵手套手腕不良穿戴狀態(tài)防塵手套手指不良穿戴狀態(tài)比正常穿戴增加40倍增加6倍手套測量 正常 露手腕 手指不良流動(dòng)姿勢測量323.防塵塵服 穿戴方法 Vinyl Glove(塑料手套)的 另外名稱稱 - PVC Glove 穿戴PVC Glove的 理由? - 遏制 異異物接觸觸皮膚膚 及 灰塵塵 ,靜電靜電的發(fā)發(fā)生Clean Room入室時(shí)時(shí) 必須須! 穿戴防塵塵服穿戴理由 : 盡盡可能遏制灰塵

27、塵的發(fā)發(fā)生穿戴防塵塵服也不能完全封鎖鎖灰塵塵33人為為引起的灰塵發(fā)塵發(fā)生量4. Clean Room 遵守守則則動(dòng)動(dòng) 作灰塵發(fā)塵發(fā)生量(個(gè)個(gè)/分, 0.5m)坐著不動(dòng)30,000坐著輕微動(dòng)150,000從坐姿站立時(shí)800,000定速步行時(shí)(1.0m/s)2,500,000定速步行時(shí)(1.5m/s)3,000,000做體操時(shí)/跑步時(shí)5,000,000 10,000,000化妝妝品中發(fā)發(fā)生的灰塵數(shù)塵數(shù)化妝品口紅指甲油眼霜灰塵數(shù)8,0006,000800500200單單位 : 萬個(gè)個(gè)344. Clean Room 遵守守則則 (1) 防塵塵服,防塵塵鞋 及防塵塵帽 按規(guī)規(guī)定穿戴 (2) Air Sh

28、ower 按規(guī)規(guī)定時(shí)間運(yùn)時(shí)間運(yùn)行 (3) 扎堆,雜談雜談等 個(gè)個(gè)人行動(dòng)動(dòng) 禁止 (4) 嚼口香糖行為為, 食物的反入及攝攝取 禁止 (5) 走廊或?qū)嶒?yàn)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)內(nèi)禁止跑跑步 (6) Clean Paper 之外的 一般書書籍,紙類紙類反入 禁止Clean Room 遵守守則則35 (7) 圓圓珠筆筆, 油性筆筆外的筆筆(鉛筆鉛筆,自動(dòng)鉛筆動(dòng)鉛筆,簽簽字筆筆)禁止入內(nèi)內(nèi) (8) 原輔輔材進(jìn)進(jìn)入時(shí)清時(shí)清除灰塵塵后入內(nèi)內(nèi) (9) 臨時(shí)員臨時(shí)員工先得到管理者許許可后出入 (10) 設(shè)備進(jìn)設(shè)備進(jìn)出入時(shí)時(shí)先得到管理者的許許可 (11) Utility 工程 ,保修, 設(shè)備設(shè)備安裝等作業(yè)時(shí)應(yīng)業(yè)時(shí)應(yīng)事先得到許許

29、 (12) 其他,產(chǎn)產(chǎn)生灰塵塵的一切行為為禁止4. Clean Room 遵守守則則36化學(xué)學(xué)品 使用安全守則則 (1) 化學(xué)學(xué)品應(yīng)應(yīng)在專專用保管場場所(試藥柜試藥柜)保管 (2) 使用人熟記記 化學(xué)學(xué)品的危的危險(xiǎn)險(xiǎn)性，性，樹樹立危立危險(xiǎn)發(fā)險(xiǎn)發(fā)生的生的對對策要策要領(lǐng)領(lǐng) (3) 使用人 熟記記 使用的化學(xué)學(xué)品正式名稱稱外，還還要熟記簡稱記簡稱,性質(zhì)質(zhì), 毒性程度,使用上的注意點(diǎn)及識(shí)別識(shí)別法 (4) 容器上需記錄記錄名稱稱及注意事項(xiàng)項(xiàng) (5) 使用時(shí)時(shí)必須須用指定的容器4. Clean Room 遵守守則則37 (6) 作業(yè)現(xiàn)場業(yè)現(xiàn)場保管化學(xué)學(xué)品時(shí)時(shí)只保管1日使用量 (7) 使用人必須須佩戴保護(hù)護(hù)

30、裝備備(護(hù)護(hù)眼鏡鏡,護(hù)護(hù)面,橡膠膠鞋,橡膠膠手套) (8) 廢廢棄的藥藥品立即移動(dòng)動(dòng)到廢廢棄物處處理場場所 (9) 使用后的空瓶擰緊瓶擰緊蓋后扔扔掉 (10) 粘上化學(xué)學(xué)品的抹布分離收集后單獨(dú)處單獨(dú)處理4. Clean Room 遵守守則則38Miss Clean 重點(diǎn)點(diǎn)檢檢事項(xiàng)項(xiàng)1. 防塵塵服,防塵塵鞋、防塵塵手套,防塵塵帽,1次用口罩罩佩戴狀態(tài)狀態(tài)不良者2. 未取得清凈清凈室入室資資格者事前沒聯(lián)絡(luò)沒聯(lián)絡(luò)管理人進(jìn)進(jìn)入清凈清凈室者3. 內(nèi)訪內(nèi)訪客業(yè)業(yè)體,外來來人 入室時(shí)時(shí) 事先與與管理者沒聯(lián)絡(luò)沒聯(lián)絡(luò)，未接受教教育入室者4. 攜帶清凈帶清凈室禁入物品入室者 一般紙紙,清凈清凈室用圓圓珠筆筆外,一

31、般抹布, 具有粉塵塵性的物品5. 酸, 堿堿作業(yè)時(shí)業(yè)時(shí) 未穿戴安全保護(hù)護(hù)裝備備者6. 使用的物品 燒燒杯,搬運(yùn)車運(yùn)車,安全保護(hù)護(hù)口,一次性 用品未整理整頓頓者7. 課題別課題別 特殊試藥試藥上未貼標(biāo)簽貼標(biāo)簽保管者8. Pass box中 樣樣品及物品1日以上保管者 1日以后的物品無條條件廢廢棄9. 清凈清凈室內(nèi)進(jìn)內(nèi)進(jìn)行禁止行動(dòng)動(dòng)者 跑跑步,高聲聲放歌 等 10. LIMS 沒沒有登入，但Run 進(jìn)進(jìn)行者11. 未取得裝備備使用資資格,但使用裝備備者揭發(fā)時(shí)發(fā)時(shí) 措施事項(xiàng)項(xiàng)1. 按照各司規(guī)規(guī)定采取措施4. Clean Room 遵守守則則39NoImageS-LineD-LineC-LineP-L

32、ine5. 技術(shù)術(shù)院 Fab 位置 及 環(huán)環(huán)境基準(zhǔn)Fab位置40區(qū)區(qū)分S-LineC.P-LineD-Line竣工年度1987年(整修 05年 11月)1998年 5月2005年 11月(P)05年 11月2005年 07月形式對對流形( Return down flow type)對對流形( Return down flow type)FFU方式(FAN Filter Unit)面積積總總面積積 320平, 使用面積積 240平總總面積積 180平, 使用面積積 165平 總總面積積 240平Class0.5 1000Class0.5 1000Class0.1 10, 100Class溫溫.

33、濕濕度溫溫度 22 2濕濕度 45% 5%溫溫度 22 2 濕濕度 45% 5%溫溫度 22 1 濕濕度 45% 5%次壓壓0.51.0 mmAq0.51.0 mmAq0.51.0 mmAqP-Line 面積積 80平Fab別別 環(huán)環(huán)境基準(zhǔn)5. Fab 41對對流形 Clean Room (S,C,P-Line) 有利于清凈清凈室內(nèi)內(nèi)局部區(qū)區(qū)域設(shè)設(shè)置超清凈清凈空間間. CLEAN ROOM中 比較較粒子清清除效率低. 物流的入室管理及室內(nèi)壓內(nèi)壓管理起到非常重要的作用6. 技術(shù)術(shù)院 Clean Room的 方式Clean 空氣流向地下層空調(diào)器42FFU Clean Room (D-Line) 每

34、1個(gè)個(gè)Filter 由1個(gè)個(gè) Motor構(gòu)構(gòu)成 噪音震動(dòng)動(dòng)少，易于 High Class 及 驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng) 雖雖然運(yùn)營費(fèi)運(yùn)營費(fèi)用低，但維維持管理有難處難處 因沒沒有PRE Filter，所以 ULPA Filter的壽壽命短費(fèi)費(fèi)用貴貴.6. 技術(shù)術(shù)院 Clean Room方式 Clean 空氣流向43內(nèi)內(nèi)部門門外部門門內(nèi)內(nèi)部電話電話Pass Box設(shè)備設(shè)備,試藥試藥Gas鋼瓶鋼瓶 移動(dòng)動(dòng)路不能同時(shí)開啟時(shí)開啟 不開啟內(nèi)開啟內(nèi)部門門，內(nèi)內(nèi)外部人通話話內(nèi)內(nèi)部人和外部人不能共存樣樣品及其他防塵資塵資材 Pass7. 設(shè)備設(shè)備反出入使用要領(lǐng)領(lǐng)反出.入口用 安全通道.設(shè)備反入口內(nèi)內(nèi)部電話電話448. FAB內(nèi)

35、內(nèi) 非常時(shí)時(shí) 要領(lǐng)領(lǐng)發(fā)發(fā)生火災(zāi)時(shí)時(shí) : 首先確認(rèn)認(rèn)火勢勢是否自己能控制 - 可控火災(zāi) : 用滅滅火器 控制 - 不可控火災(zāi) : 無條條件躲躲避Gas 泄露時(shí)時(shí) : 無條條件躲躲避Clean Room內(nèi) 作業(yè)業(yè)途中 報(bào)報(bào)警燈 響響起時(shí)時(shí)躲躲避時(shí)時(shí) 跑跑步，迅速45Clean Room 469. Clean Room的 分類類(方式)根據(jù)控制對對象的分類類I.C.R (Industrial Clean Room)B.C.R (Biological Clean Room)區(qū)區(qū)分工業(yè)業(yè)用 清凈清凈室生物學(xué)學(xué) 清凈清凈室控制對對象浮游粒子(灰塵塵)生物粒子(微生物)空氣氣室內(nèi)壓內(nèi)壓Positive (

36、+ ) - 防止灰塵塵的侵入Negative ( - ) - 遏制細(xì)細(xì)菌的污污染 細(xì)細(xì)菌控制適用 半導(dǎo)導(dǎo)體,電電子.精密工學(xué)學(xué), 光學(xué)計(jì)測學(xué)計(jì)測制藥藥,食品,醫(yī)醫(yī)院,動(dòng)動(dòng)物飼養(yǎng)飼養(yǎng)室技術(shù)術(shù)院 清凈清凈室479. Clean Room的 分類類(方式)根據(jù)氣氣流的 分類類層層流型和亂亂流型的差異異 層流型為活塞效果(排放方式),亂亂流型為為稀釋釋空氣氣(引入干凈凈空氣氣)方式48比較項(xiàng)較項(xiàng)目OPEN BAY方式FAN FILTER UNIT 方式(D-Line)A.H.U 方式(對對流形)基本 概概念圖圖 初 清凈清凈度 維維持良好良好良好溫溫.濕濕度 控制性根據(jù)DRY-COIL的總控制各 LI

37、NE 保持相同溫度根據(jù)DRY-COIL的總控制各 LINE 保持相同溫度各個(gè)ZONE可以控制微震動(dòng)動(dòng) 對應(yīng)對應(yīng)需要 循環(huán) FAN的 防塵對應(yīng)FFU防塵 LEVEL低需要防塵對策氣氣流現(xiàn)現(xiàn)象確保PLENUM CHAMBER的 高度每臺(tái)FFU，可以確保層流BAY別層流 可能噪音 對應(yīng)對應(yīng)需要對FAN的噪音對策(COST )可以用低噪音型對應(yīng)噪音對應(yīng)上有限度FLEXIBILITYLAYOUT變更時(shí)自由循環(huán) FAN不可 UPGRADELAYOUT變更時(shí)自由可以通過FFU 風(fēng)速變更對應(yīng)BAY變更很難.MAINTENANCE易于保修.SERVICE AREA及 底層內(nèi)部中保修易于保修INITIAL COS

38、T指數(shù) 100指數(shù) 90指數(shù) 85RUNNING COST指數(shù) 100指數(shù) 90指數(shù) 90施工性 & 工期施工性 良好, 可以縮短工期施工性非常優(yōu)秀，可以縮短工期施工性良好, 工期非常短針對針對安全對對策的 對應(yīng)對應(yīng)可能可能可能9. Clean Room的 分類類(方式)根據(jù)空氣氣循環(huán)環(huán)的 分類類4910. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解CLEAN Room 空調(diào)調(diào) SYSTEMFFU Type50 1. FILTER是? 一定時(shí)間內(nèi)時(shí)間內(nèi)，一定量的任何流體(air, gas, oil, water, etc)以 一定空氣氣粒子通過過, 特別別是清清除空氣氣中存在的粉塵

39、塵，制造所需的清凈清凈空氣氣 (清清除效率:99.9995%, 0.1) 2. 清凈清凈室空氣氣由 FILTER過濾過濾后的干凈凈空氣氣供給給到清凈清凈室，以此來維來維持清凈清凈的環(huán)環(huán)境.CLEAN Room 空調(diào)調(diào) SYSTEM 基本 FLOW 說說明10. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解51 3. 空調(diào)調(diào) Flow OA Air(20 30%) 及 Return Air (ZONE A.H.U) 70 80%的空氣繼續(xù)氣繼續(xù)供給給. 由ULPA FILTER供給給的 Air通過清凈過清凈室后再通過過 Grating(地板)，并并移動(dòng)動(dòng)到 PLENUM(地下層層) 因PLEN

40、UM(地下層層)中 污污染的空氣氣及各種種排氣損氣損失的空氣氣通 過過OA(外調(diào)調(diào)機(jī))供給給 ZONE A.H.U吸入空氣氣后制造清凈清凈空氣并氣并供給風(fēng)給風(fēng)道（天井）. 在這這里排除污污染的空氣氣后持續(xù)續(xù)反復(fù)復(fù)的供給給新鮮鮮的空氣氣.10. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解5210. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解空調(diào)設(shè)備總調(diào)設(shè)備總流程圖圖5310. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解 (空氣調(diào)和器) 空氣調(diào)氣調(diào)和器 : 室內(nèi)內(nèi)空氣調(diào)氣調(diào)整到舒適狀態(tài)狀態(tài)的裝置, 調(diào)調(diào)整溫溫度,濕濕度,氣氣流的分布, 同時(shí)清時(shí)清除空氣氣中的灰塵塵. 5410. Cle

41、an Room空調(diào)調(diào) System 理解 空氣調(diào)氣調(diào)和器(Air Handling Unit) 內(nèi)內(nèi)部圖圖片 5510. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解Heating Coil (制熱盤熱盤)- 制熱時(shí)為了加熱空氣的制熱盤Cooling Coil(制冷盤盤)- 制冷時(shí)為時(shí)為了減濕減濕空氣氣的制冷盤盤Air Filter(空氣過濾氣過濾器)- 為為了清清除空氣氣中混入的灰塵塵等不純純物的濾劑濾劑-Humidifier(加濕濕器)- 制熱時(shí)為熱時(shí)為了增加濕濕度，噴噴灑水或蒸汽的加濕噴濕噴嘴Mixing Box(混合箱)- 混合室內(nèi)內(nèi)再循環(huán)環(huán)的氣氣流和外部新鮮氣鮮氣流的混合室空氣調(diào)氣

42、調(diào)和器的用語說語說明5610. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解Damper(通風(fēng)調(diào)節(jié)風(fēng)調(diào)節(jié)器)- 調(diào)節(jié)空氣量的裝置Fan (送風(fēng)風(fēng)機(jī))- 引發(fā)發(fā)空氣氣流動(dòng)動(dòng)的裝置Casing(殼殼)- 上述 各件（Unit）組組合在一起，達(dá)達(dá)到使用目的排列的包裝空氣調(diào)氣調(diào)和器用語說語說明5710. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解S-Line 外調(diào)調(diào)機(jī)(參參照)外氣給氣5810. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解S-Line 空調(diào)調(diào)機(jī)(參參照)5910. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解溫濕溫濕度允許許偏差和通風(fēng)風(fēng)次數(shù)數(shù)的關(guān)關(guān)系溫度允許差()210.5

43、0.25標(biāo)準(zhǔn)通風(fēng)次數(shù)(次/h)153060120通風(fēng)風(fēng)?室內(nèi)污內(nèi)污染空氣氣排除到室外，并并和干凈凈的外氣氣交換換.通風(fēng)風(fēng)次數(shù)數(shù)? Clean Room室內(nèi)內(nèi)容積積相當(dāng)當(dāng)?shù)目諝鈿饬客ㄟ^過 Filter循環(huán)環(huán)的次數(shù)數(shù)每小時(shí)時(shí)通風(fēng)風(fēng)次數(shù)數(shù) = 室內(nèi)內(nèi)容積積 平均氣氣流速度( m/sec)突出面積積() 3,600sec6010. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解Clean Room的 Class別別 標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)循環(huán)風(fēng)環(huán)風(fēng)量清凈度 (Class)通風(fēng)次數(shù)Class 100200 600次/hrClass 1,00050 70次/hrClass 10,00030 40次/hrClass 100

44、,00020 30次/hrC =(1-Pr) x Qr +Qe(Po x Qo x Co) +MC : 清凈室的清凈度, Particle 濃度 (個(gè)/m3)Co : 外氣粉塵/Particle 濃度 (個(gè)/m3)Po : 外氣系統(tǒng)過濾器的透過率 (1-收集效率)Pr : 循環(huán)/返回系統(tǒng)過濾器的透過率(1- 收集效率)Qo : 外氣 導(dǎo)入量(m3)Qr : 循環(huán)/返回 風(fēng)量(m3/hr)Qe : 清凈室的排氣量 (m3/hr)M : Clean Room內(nèi) 產(chǎn)塵量,Particle 發(fā)生量(個(gè)/hr)6110. Clean Room空調(diào)調(diào) System 理解Clean Room 各室間間 所需

45、壓壓力差Room壓力差清凈度相互不同的 Clean Room間0.5mmAq清凈室和清凈室走廊,更衣室等0.51.0mmAq清凈室走廊,更衣室等和普通室走廊1.0mmAq清凈室和普通室1.5mmAq必要風(fēng)風(fēng)量 QQ = A xv =(0.9x1.8)x1.22x9.8x1.0 x0.9991X 3600 =23.559CMH假設(shè)設(shè)設(shè)設(shè)定1.0mmAq正壓壓后開啟開啟 900mm x1800mm的片開門時(shí)開門時(shí)，根據(jù)伯努利定義義需要 23.559CMH(m3/hr)的 Make-up Air(風(fēng)風(fēng)量)6211. Clean Room用 附屬屬機(jī)器清凈清凈室一般組組成6311. Clean Roo

46、m用 附屬屬機(jī)器Clean Bench空氣氣浮游粒子的濃濃度控制在規(guī)規(guī)定清凈清凈度界限內(nèi)內(nèi)，使污污染得到控制的作業(yè)業(yè)臺(tái)6411. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Clean Booth根據(jù)設(shè)設(shè)置位置可以移動(dòng)動(dòng)的垂直層層流形簡簡易清凈清凈室 . 天井上設(shè)設(shè)置了清凈清凈空氣氣供給給裝置，墻墻壁用塑料隔斷斷等. 6511. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Air Shower(照片)6611. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Air Shower(風(fēng)風(fēng)淋室)1) 風(fēng)風(fēng)淋室用于 Smock Room和清凈清凈室之間間人員進(jìn)員進(jìn)出入的出口使用2) 風(fēng)風(fēng)淋室的入口和出口門為門為了不能同時(shí)開啟時(shí)開啟，

47、設(shè)設(shè)置Interlock 裝置. 但 緊緊急狀態(tài)狀態(tài)下可以開啟設(shè)開啟設(shè)置.3) 風(fēng)風(fēng)淋室的入口門關(guān)閉時(shí)門關(guān)閉時(shí)立即對對入室者吹風(fēng)風(fēng)1820秒的強(qiáng)烈清凈清凈空氣氣，并并能 自動(dòng)動(dòng)停止.4) 風(fēng)風(fēng)淋室內(nèi)內(nèi)部壓壓力應(yīng)應(yīng)低于清凈清凈室設(shè)設(shè)置.5) 僅僅限于1次使用人員員使用.6) 鎖鎖住(Interlock)狀態(tài)狀態(tài)下不能強(qiáng)制開門開門.7) 實(shí)實(shí)施風(fēng)風(fēng)淋期間間，入室者應(yīng)輕輕搖應(yīng)輕輕搖晃身體.6711. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Air Shower 效果灰塵粒徑5m以下520 m2050 m50 m以上清除效率80%85%90%95%Air Shower的 清清除灰塵塵 效率灰塵粒徑未實(shí)施風(fēng)淋

48、風(fēng)淋后風(fēng)淋+Ionizer0.3 m以下571,000個(gè)121,000個(gè)35,000個(gè)0.5 m以下367,000個(gè)72,000個(gè)26,000個(gè)6811. Clean Room用 附屬屬機(jī)器FFU (Fan Filter Unit ) 節(jié)節(jié)省空間間 : 僅僅用單單體裝備備可以清凈清凈所需空間間. 簡簡便的安裝 : F.F.U 只需插插上電電源可以啟動(dòng)啟動(dòng)，所以不太需要安裝時(shí)間時(shí)間和 安裝技術(shù)術(shù). 易于結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)的變變更.UNIT的處處置能力和構(gòu)構(gòu)造簡單簡單，有利于擴(kuò)張擴(kuò)張及改造. 6911. Clean Room用 附屬屬機(jī)器HEPA Filter Unit 可以收集大于0.3 m粒徑徑的粒子狀

49、狀物質(zhì)質(zhì) 99.97%以上的 Filter Box 這這是說說明 0.3 m 粒子 10,000個(gè)個(gè)中 可以通過過HEPA的粒子數(shù)數(shù)最多為為 3個(gè)個(gè)(0.03%). 用內(nèi)內(nèi)置HEPA Filter的 Unit，在天井附著安裝 (Duct 連連接)7011. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Pass BoxPASS BOX是 CLEAN ROOM中的內(nèi)內(nèi)部清凈清凈度保持原先基準(zhǔn)，并并且物品能從從外部自由進(jìn)進(jìn)出的 CLEAN UNIT. (以物品傳遞為傳遞為目的使用)PASS BOX安裝在 CLEAN ROOM 和 非 CLEAN ROOM的界限上，防止污污染的空氣氣混入.7111. Clean

50、 Room用 附屬屬機(jī)器Relief Damper 維維持室內(nèi)內(nèi)正壓壓的穩(wěn)穩(wěn)定, 控制空氣氣流向的室內(nèi)內(nèi)外或者相鄰鄰室空氣氣次壓壓的機(jī)器，防止室外污污染空氣進(jìn)氣進(jìn)入Clean Room的裝置7211. Clean Room用 附屬屬機(jī)器Clean LockerClean Room內(nèi)進(jìn)內(nèi)進(jìn)出入作業(yè)業(yè)人員員的服裝（無塵塵服）保管柜柜，是保持服裝清凈清凈及防止污污染的裝備備. 7312. Clean Room 用 FilterFilter 用語語 HEPA : High Efficiency Particulate Air Filter (高性能空氣過濾氣過濾器 : 0.3m, 99,97%以上) ULPA : Ultra L