磁控濺射鍍膜工藝介紹學(xué)習(xí)教案

1、會(huì)計(jì)學(xué)1磁控濺射鍍膜工藝磁控濺射鍍膜工藝(gngy)介紹介紹第一頁(yè)，共26頁(yè)。第1頁(yè)/共25頁(yè)第二頁(yè)，共26頁(yè)。第2頁(yè)/共25頁(yè)第三頁(yè)，共26頁(yè)。第3頁(yè)/共25頁(yè)第四頁(yè)，共26頁(yè)。DC電源RF電源MF電源可鍍膜材料 導(dǎo)電材料非導(dǎo)電材料 非導(dǎo)電材料靶材形狀平面單靶平面單靶孿生靶頻率0 HZ13.65MHZ24 KHZ可靠性好較好較好第4頁(yè)/共25頁(yè)第五頁(yè)，共26頁(yè)。第5頁(yè)/共25頁(yè)第六頁(yè)，共26頁(yè)。第6頁(yè)/共25頁(yè)第七頁(yè)，共26頁(yè)。第7頁(yè)/共25頁(yè)第八頁(yè)，共26頁(yè)。第8頁(yè)/共25頁(yè)第九頁(yè)，共26頁(yè)。第9頁(yè)/共25頁(yè)第十頁(yè)，共26頁(yè)。第10頁(yè)/共25頁(yè)第十一頁(yè)，共26頁(yè)。第11頁(yè)/共25頁(yè)第十二頁(yè)

2、，共26頁(yè)。第12頁(yè)/共25頁(yè)第十三頁(yè)，共26頁(yè)。第13頁(yè)/共25頁(yè)第十四頁(yè)，共26頁(yè)。第14頁(yè)/共25頁(yè)第十五頁(yè)，共26頁(yè)。第15頁(yè)/共25頁(yè)第十六頁(yè)，共26頁(yè)。晶粒過(guò)大晶粒過(guò)大缺陷缺陷(quxin)增多增多 v基片溫度(wnd)的影響晶界散射晶界散射(snsh)多多電阻率升高電阻率升高溫度較低溫度較低薄膜晶粒小薄膜晶粒小溫度過(guò)高溫度過(guò)高電阻率下降電阻率下降第16頁(yè)/共25頁(yè)第十七頁(yè)，共26頁(yè)。溫度溫度(wnd)過(guò)高過(guò)高 晶粒過(guò)大晶粒過(guò)大缺陷缺陷(quxin)增多增多 v沉積時(shí)間(shjin)的影響電阻率下降電阻率下降電阻率升高電阻率升高沉積時(shí)間延長(zhǎng)沉積時(shí)間延長(zhǎng)薄膜厚度增加薄膜厚度增加透過(guò)率

3、下降透過(guò)率下降沉積時(shí)間過(guò)長(zhǎng)沉積時(shí)間過(guò)長(zhǎng)溫度升高溫度升高晶化率增加晶化率增加電阻率下降電阻率下降第17頁(yè)/共25頁(yè)第十八頁(yè)，共26頁(yè)。v濺射功率(gngl)的影響濺射功率濺射功率(gngl)增加增加濺射濺射(jin sh)粒子增加粒子增加粒子能量增加粒子能量增加濺射功率過(guò)高濺射功率過(guò)高薄膜致密性增加薄膜致密性增加膜層與基體粘附力增加膜層與基體粘附力增加濺射粒子能量過(guò)大濺射粒子能量過(guò)大氬離子能量過(guò)大氬離子能量過(guò)大陶瓷靶易開(kāi)裂陶瓷靶易開(kāi)裂薄膜致密性下降薄膜致密性下降第18頁(yè)/共25頁(yè)第十九頁(yè)，共26頁(yè)。氬離子氬離子(lz)過(guò)多過(guò)多 碰撞碰撞(pn zhun)增多增多 v氬氣氣壓(qy)的影響薄膜薄、

4、晶化率低薄膜薄、晶化率低薄膜晶化率低薄膜晶化率低氬氣氣壓過(guò)低氬氣氣壓過(guò)低氬離子少氬離子少濺射原子少濺射原子少氬氣氣壓過(guò)高氬氣氣壓過(guò)高第19頁(yè)/共25頁(yè)第二十頁(yè)，共26頁(yè)。散射散射(snsh)增大增大 轟擊轟擊(hngj)過(guò)大過(guò)大 v靶基距的影響(yngxing)薄膜薄、晶化率低薄膜薄、晶化率低薄膜致密性下降薄膜致密性下降距離過(guò)小距離過(guò)小加速不夠加速不夠動(dòng)能過(guò)小動(dòng)能過(guò)小距離過(guò)大距離過(guò)大部分粒子不能濺射到基片上部分粒子不能濺射到基片上第20頁(yè)/共25頁(yè)第二十一頁(yè)，共26頁(yè)。使用時(shí)，直接使用時(shí)，直接(zhji)刪除刪除本頁(yè)！本頁(yè)！精品精品(jn pn)課件，你值課件，你值得擁有！得擁有！精品課件，你值得精品課件，你值得(zh d)擁有！擁有！第21頁(yè)/共25頁(yè)第二十二頁(yè)，共26頁(yè)。使用時(shí)，直接使用時(shí)，直接(zhji)刪除刪除本頁(yè)！本頁(yè)！精品課件，你值得精品課件，你值得(zh d)擁有！擁有！精品課件，你值得精品課件，你值得(zh d)擁有！擁有！第22頁(yè)/共25頁(yè)第二十三頁(yè)，共26頁(yè)。使用時(shí)，直接使用時(shí)，直接(zhji)刪除刪除本頁(yè)！本頁(yè)！精品課件，你值得精品課件，你值得(zh d)擁有！擁有！精品精品(jn pn)課件，你值課件，你值得擁有！得擁有！第23頁(yè)/