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1、AIXTRON和VEECO的MOCVD型號(hào)及產(chǎn)能總結(jié)GaN基材料德國(guó)艾思強(qiáng)（AIXTRON）公司（1999年英國(guó)Thomas Swan公司已被其收購(gòu)）型號(hào)一覽型號(hào)一覽容量容量典型溫度典型溫度典型應(yīng)用典型應(yīng)用月產(chǎn)能月產(chǎn)能（24hr/day）單價(jià)單價(jià)行星式反應(yīng)器G3G324x21200-1300C氮化鎵(GaN)基材料G4 G4 HTHT(AIX2800G4 HT2007年推出）42x21200-1300C氮化鎵(GaN)基材料G5 G5 HTHT56x21200-1300C氮化鎵(GaN)基材料3500-4000片近耦合噴淋頭CRIUSCRIUS31x21200-1300氮化鎵(GaN)基材料C

2、RIUS IICRIUS II55x21200-1300氮化鎵(GaN)基材料4200-4700片CRIUS II-LCRIUS II-L69x21200-1300氮化鎵(GaN)基材料美國(guó)維易科精密儀器（VeecoInstruments）公司型號(hào)一覽型號(hào)一覽容量容量典型應(yīng)用典型應(yīng)用月產(chǎn)能月產(chǎn)能（24hr/day）特點(diǎn)特點(diǎn)K465i HPGaN MOCVD 系統(tǒng)HB-LED單反應(yīng)腔MOCVD設(shè)備的高性能版與K465i相比片內(nèi)波長(zhǎng)均勻性提高20%而使用成本更低。K465i(2007年推出，目前的主打機(jī)型，）2片 45片一爐GaN MOCVD 系統(tǒng)最高的生產(chǎn)效率，并在同類產(chǎn)品中具有最高的良品率K4652片 45片一爐GaN MOCVD 系統(tǒng)GaN 基藍(lán)光、綠光 LED 和藍(lán)光激光器生產(chǎn)領(lǐng)域，具有業(yè)界最高的 MOCVD 產(chǎn)能 E475As/P MOCVD 系統(tǒng)HB-LED、聚光太陽(yáng)能電池、激光二極管K475As/P MOCVD 系統(tǒng)ROY LED（紅色、橙色、黃色發(fā)光二極管）激光二極管CPV（聚光光伏）太陽(yáng)能電池MaxBright MHP多反應(yīng)腔系統(tǒng)MaxBright M多反應(yīng)腔系統(tǒng)CRIUS II-XL 外觀圖TurboDisc K465iVEECO K465i MOCVD系統(tǒng)模組設(shè)計(jì)圖AI

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