抗反射膜介紹

1、大面積多層膜沉積技術(shù)一、大面積薄膜沉積設(shè)備介紹及工藝流程1、濺射原理定義：濺射鍍膜是一個(gè)極其復(fù)雜的過(guò)程，濺射沉積過(guò)程中，一般把受到離子轟擊的表面看作供應(yīng)材料，作為生長(zhǎng)薄膜的源。1.電離工作氣體，Ar等；2.使工作粒子獲得足夠的能量，并轟擊源物質(zhì)的固體表面；3.與源物質(zhì)分子或者原子交換能量，使源物質(zhì)從固體表面濺射出來(lái)；4.固體分子或者原子濺射出來(lái)后，向基片方向輸運(yùn)；5.薄膜的形成 2、連續(xù)濺射鍍膜線配置靶材的結(jié)構(gòu)和尺寸Si靶或者Ti靶110mm×1150mm§中頻交流反應(yīng)磁控濺射3、基架回件與抽氣系統(tǒng)4、靶材的結(jié)構(gòu)和尺寸5、設(shè)備工作流程6、工藝流程過(guò)程控制二、 &#

2、160;           大面積AR Coating 連續(xù)濺射技術(shù)1、需有高折射率（H）和低折射率（L）兩種材料（中折射率（M）材料）；1、多層介質(zhì)膜干涉理論光束在多層介質(zhì)膜中的傳輸模型2、多層膜干涉的條件2、需有高低折射率材料形成交替的疊層，產(chǎn)生對(duì)特定波長(zhǎng)光的干涉效應(yīng)； 3、各層材料需由真空蒸發(fā)、濺射或者溶膠凝膠法（SolGel）等方法形成膜層，高低折射率層形成干涉界面；4、同一層必須保證為各向同性（保證膜層厚度一致，折射率一致）；5、各層膜層在工作波長(zhǎng)內(nèi)區(qū)域內(nèi)吸收很小或者沒(méi)有吸收。3、抗

3、反射（AR）增透膜定義：減反射增透膜（ AntiRefletance簡(jiǎn)稱AR膜） 是在玻璃基片上鍍多層復(fù)合光學(xué)膜，采用低折射率（L）和高折射率（H）材料交替形成膜堆，通過(guò)精心的膜層設(shè)計(jì)和膜厚嚴(yán)格控制，利用干涉效應(yīng)減少基片表面反射。抗反射增透膜的應(yīng)用領(lǐng)域。§ 液晶顯示（LCD） § 液晶電視（LCDTV） § 觸摸屏液晶顯示（TPLCD） § 汽車玻璃 § 太陽(yáng)能電池 § 陰極射線管顯示（CRT） § 等離子顯示（PDP） § 手機(jī)屏 § 汽車表盤 § 儀表顯示板 作用：增加背光源的透射率，減少外

4、界光線的反射；獲得高的色彩對(duì)比度；同時(shí)獲得好的外觀色彩。4、抗反射增透射的LCD效果5、傳統(tǒng)LCD顯示和鍍AR Coating的LCD顯示屏的對(duì)比：目前防反射技術(shù)：可以減少外部光線的反射強(qiáng)度。缺點(diǎn)：1、反射光將使圖像模糊；2、使LCD的圖像失真。AR Coating的LCD顯示屏1、減小反射光強(qiáng)度，表面反射降低到0.5%以下，防止產(chǎn)生眩光；2、表面為光滑的鍍膜面，減少圖像失真；3、增加LCD的出射光強(qiáng)度，增加圖像的對(duì)比度；4、可以產(chǎn)生更寬的視角；5、LCD顯示色彩更鮮明。6、抗反射膜的膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)AR（Anti-Reflective Glass）光學(xué)技術(shù)與護(hù)眼涂層的結(jié)合，不僅可以有效防眩防反光，

5、同時(shí)具備最高達(dá)99.5%的超高的透光率及超亮彩性能。 抗反射膜的膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì):應(yīng)用領(lǐng)域：汽車玻璃、太能電池等；抗反射特點(diǎn)：1、可見光透過(guò)率最高峰值99%可見光平均透過(guò)率超過(guò)95，大幅提高LCD、PDP原有亮度。2、 平均反射率低于4%，最低谷值0.5%有效削弱因背后強(qiáng)光導(dǎo)致畫面變白之缺憾，享受更清晰的影像畫質(zhì)。3、色彩更艷麗、對(duì)比更強(qiáng)使圖像色彩對(duì)比更強(qiáng)烈，景物更清晰。4、抗紫外線，有效保護(hù)眼睛紫外線光譜區(qū)透過(guò)率大幅降低，可有效阻絕紫外線對(duì)眼睛之傷害。5、良好的導(dǎo)熱性良好的導(dǎo)熱性能，克服了目前使用的鍍膜壓克力不易導(dǎo)熱的弱勢(shì)，從而防止PANEL過(guò)熱，延長(zhǎng)了LCD壽命。6、膜層附著能力強(qiáng)"新

6、濟(jì)達(dá)“AR玻璃使用是磁控濺射沉積膜層，通過(guò)光學(xué)折射原理，提高玻璃透光度。7、 耐高溫AR玻璃耐溫>500度(一般壓克力只能耐溫80度)8、防刮耐磨性最佳AR玻璃膜層硬度與玻璃相當(dāng),大于7H，（一般PC板硬度約為2H至3H）。9、可耐各種清潔劑清洗耐酸、堿清洗劑之擦拭，膜層不受損壞。10、抗沖擊性強(qiáng)3mm厚度玻璃的沖擊性能相當(dāng)于6mm壓克力。11、保持視角一般壓克力在安裝后，視角會(huì)邊??；而AR玻璃裝上后，視角不會(huì)變小。12、外觀AR玻璃表面平整度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于鍍膜壓克力，并且尺寸越大，相差越明顯。13、AR玻璃冷熱變形幾乎可以省略不計(jì)，適用于各類環(huán)境；同時(shí)，AR玻璃具有琉璃感，外觀更漂亮。7、技術(shù)難點(diǎn)§         1、多層膜連續(xù)反應(yīng)濺射氣路設(shè)計(jì)；§         2、多層膜連續(xù)反應(yīng)濺射靶材布置；§