無塵室管制計(jì)劃

1、附件C無塵室管制方案一、工業(yè)用無塵室管理需求無塵室的建設(shè)工程除了控制污染的重大目的外，還必須達(dá)成一般空調(diào)設(shè)備需要的室內(nèi)環(huán)境所無可比擬的嚴(yán)格要求。其要素為溫濕度條件、氣流控制、噪音、振動(dòng)對策等。另外，無塵室設(shè)備與制品的制造設(shè)備直接連結(jié)，直接影響制品的品質(zhì)，因此必須提供能夠柔性對應(yīng)控制制程相關(guān)設(shè)備 (局部排氣、生產(chǎn)冷卻水等) 或、注重品質(zhì)、變更生產(chǎn)線 (除塵區(qū)域的擴(kuò)大與縮小、熱源與諸設(shè)備的增強(qiáng)等) 的設(shè)備 (表1-1、表1-2)。半導(dǎo)體生產(chǎn)用無塵室所代表的工業(yè)用無塵室中，由于制造裝置的電氣使用量或排氣風(fēng)量非常大，因此熱處理設(shè)備、送風(fēng)設(shè)備、排氣處理設(shè)備極大型化且復(fù)雜化，是一般大樓空調(diào)設(shè)備容量的數(shù)倍

2、(圖1-1)。LCD (TPT) 工場0.70.93 kw/m2(600800 kcal/h、m2) 半導(dǎo)體工場1.162.32 kw/m2(10002000 kcal/h、m2)圖1-1 無塵室工場的熱負(fù)荷比率與概略模塊值熱負(fù)荷構(gòu)造 (冷熱源) 表1-1 無塵室的要求品質(zhì) (256M、IG對應(yīng)之無塵室規(guī)格值例)項(xiàng) 目部位對象規(guī)格值備考1.清凈度制成區(qū)域服務(wù)區(qū)域256Mbit1Gbit0.05m等級1(JIS等級1以下)0.05m等級0.1(JIS規(guī)定范圍外)0.1m等級1000(JIS等級4)參考半導(dǎo)體工場道路圖S1：T.T.#94062428 B-TRLaser Particle Coun

3、terCNC Counter并用2.溫濕度制成區(qū)域服務(wù)區(qū)域溫度濕度溫度濕度230.5(空間分布) 230.2(時(shí)間變動(dòng))453232455Photo AreaS1：無規(guī)定S1：無規(guī)定3.氣流制成區(qū)域服務(wù)區(qū)域形狀速度傾斜角形狀一方向流0.3m/s (-10%20%)14度非一方向流S1：9,37N./s12%施工調(diào)整上8度以下(絹系#80之測定值)4.過濾ULPA0.1M粒子99.9999%以上(風(fēng)速：0.35m/s)測試粒子使用二氧化硅粒子5.噪音全域65Db(A)以下(無設(shè)置消音材時(shí))6.振動(dòng)振域0.2并且0.2Gal(1100Hz(p-p)(暫定標(biāo)準(zhǔn)1G)7.靜電地皮面漏電抵抗105109

4、奧姆(末規(guī)定Wafer上之靜電壓)8.磁場交流磁場變動(dòng)值1mG以下1mG(gauss)=0.1uT(tesla)S2：N. T. R. S. 0.5mG以下9.分子狀污染物質(zhì)Photolithograph氧化形成接觸胺有機(jī)物dopant酸dopant酸有機(jī)物1.0ppb以下(Wafer環(huán)境)1.0ppb0.1ppt0.18ppb1.0ppb5ppt2ppbS3：T. T. #95052812 A-TR注 S1：Technology Transfer 9406428 B-TR (SEMATECH) S2：THE NATIONAL TECHNOLOGY ROADMAP FOR SEMICONDUC

5、TORS(SIA) S3：Technology Transfer 95052812 A-TR(SEMATECH)表1-2 無塵室建設(shè)要求事項(xiàng)高機(jī)能高品質(zhì)Quality 室內(nèi)環(huán)境(溫度、濕度、氣流等) Flexibility 高清靜空間(Particle/Chemical Free)經(jīng)濟(jì)性Cost 基本成本 運(yùn)轉(zhuǎn)成本 維修成本安全性Safety Fare Safe 預(yù)防二次災(zāi)害 防震、耐震對策環(huán)境安全Environment 資源回收之推進(jìn) 節(jié)約能源 地球環(huán)境保全(臭氧層破壞，ISO)保守管理Maintenance 構(gòu)筑免維修系統(tǒng) 機(jī)器簡易操作配置短工期Derive 采用機(jī)械化工法 單元化、模塊化

6、下省力化工法之推進(jìn)基于以上各點(diǎn)，無塵室的施工管理不只在于管理無塵室中細(xì)微塵埃，更要同時(shí)以基礎(chǔ)技術(shù)檢討解決大量化設(shè)備機(jī)器、輸送管、配管所造成的應(yīng)力、伸縮、膨脹等構(gòu)造上問題或接續(xù)方法、支撐方法等施工面考慮或建筑構(gòu)造引發(fā)的振動(dòng)、噪音、Ceiling等各種問題。一般來說，在最后的試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整階段后才能開始評估無塵室整體性能，因此此時(shí)所浮現(xiàn)施工粗糙、檢討不足所引起的各種問題，須投入大量相關(guān)人員解決改善以符合需求條件。為了避免后期引發(fā)此類無謂的浪費(fèi)，前期的施工管理顯得尤為重要，如表13、表14所示。表13 無塵室工事施工之注意要點(diǎn)特 記 事 項(xiàng)留 意 點(diǎn)1)減少輸送管之外漏。合適的Seal劑 開發(fā)輸送管的施

7、工法。接口、調(diào)節(jié)閥等之氣密性2)選定內(nèi)裝、修飾方法，須滿足無塵室之條件。須不易堆積垃圾。須方便清掃。經(jīng)過長時(shí)間后也不會(huì)成為發(fā)塵源。須不易腐蝕。污染物須不致從排水口、下水道口入侵3)送風(fēng)量、熱源容量較大時(shí)。必須有防振動(dòng)、噪音對策。須檢討針對大量工事量之施工材料4)須有高精確溫濕度、部份必要潔凈度。氣流形狀之確認(rèn)。換氣回?cái)?shù)（適當(dāng)?shù)兀┲O(shè)定。照明、生產(chǎn)機(jī)械之配置5)濾網(wǎng)安裝時(shí)間上注意重點(diǎn)。須不使破損。勿弄臟HEPA濾網(wǎng)下流處6) Air Balance(差壓的維持)為重點(diǎn)。無塵室及周圍污染部之隔間不致外泄。確定電氣、衛(wèi)生配管、設(shè)備管路貫通孔之封閉管理人員。排氣多，設(shè)計(jì)變更多。無管部份多Return用

8、地下Free Access HEPA吹出用Plenum Chamber。重要地點(diǎn)安裝差壓計(jì)外氣濾網(wǎng)、HEPA濾網(wǎng)需要差壓之空間中。天花板中不加壓7)工事完成后發(fā)生變更、修改工事情形。確保制造裝置大型機(jī)材移動(dòng)出入道。排氣輸送管，設(shè)備配管以便利接續(xù)方式配置。維修基地、進(jìn)入辨法在施工時(shí)先決定8)生化實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行消毒、滅菌。瓦斯熏蒸時(shí)，須有不外漏至鄰接處內(nèi)裝及管路構(gòu)造。是否可單獨(dú)滅菌之隔間。洗凈消毒內(nèi)裝面時(shí)，須有完全之漏水防止及排水（Return Grill、吹出口等）9)在作業(yè)中之工場內(nèi)施工。細(xì)心假設(shè)及小心養(yǎng)護(hù)下方有高價(jià)之制造生產(chǎn)線。研究不使用火氣之施工法。執(zhí)行完全之作業(yè)管理守秘義務(wù)、香煙、破損等1

9、0)一般短工期。確認(rèn)工程表中對各業(yè)種之施工順序與他業(yè)種在同一工場時(shí)。工場制作品為主體時(shí)根據(jù)施工圖之確認(rèn)及早期配置11)使用危險(xiǎn)化學(xué)藥品或瓦斯之制造工程較多。所選用之材料是否為合適之耐久材、內(nèi)裝材。針對危險(xiǎn)的瓦斯作配管材料的選定及施工方法的檢討（輸送管亦同）。確認(rèn)緊急時(shí)之排氣、警報(bào)、避難方法12)無法忍受振動(dòng)之制造工程。半導(dǎo)體工場之蝕刻工程，特別對露光裝置須有高度之除震對策。光學(xué)檢查、測定器、顯微鏡作業(yè)等13)工事各階段中必須有之特別污染防治對策。輸送管端口之養(yǎng)護(hù)。管線活門之清掃、管理。針對易揚(yáng)塵作業(yè)之對策表14 無塵室建設(shè)之要求事項(xiàng)清凈度開口端、尾端疏于養(yǎng)護(hù)導(dǎo)至塵埃附著 (輸送管尾端、供給單元

10、開口等)濾網(wǎng)安裝不良，因此破損外泄氣體供給輸送管系統(tǒng)因封閉不良引起外泄 (Frunge、Revet、Packing等)地下Return Plenum因氣流障礙導(dǎo)致橫流、上吹現(xiàn)象錯(cuò)誤選定無塵室中機(jī)材 (劣化、磨損、靜電等)室壓調(diào)整不良所引起之壓力逆轉(zhuǎn)現(xiàn)象系統(tǒng)壓力損失過大所引起之風(fēng)向不足噪音振動(dòng)輸送管、管線因支撐不良所引起之振動(dòng)傳播輸送管內(nèi)因風(fēng)速、合流、分岐不良引起之振動(dòng)、氣穴現(xiàn)象不合適或選擇不當(dāng)之振震機(jī)材 (共振、笛音、振動(dòng)傳播等)急擴(kuò)大、急縮小所產(chǎn)生水切音、風(fēng)切音、動(dòng)脈音溫度濕度選擇不合適控制方法所引起的變形(蒸氣、冷水)由Sensor安裝位置不良所引起之誤指示、誤動(dòng)作供給Plenum、回流P

11、lenum內(nèi)封閉不良 (外氣流入所引起濕度異常等)氣流壓力供給Plenum等因形狀不良引起過大動(dòng)能壓力感應(yīng)器安裝位置不良(耐末壓力不足、風(fēng)量不足)室內(nèi)氣流偏流、橫流(吹出口、吸入口不良)室內(nèi)壓異常所引起之內(nèi)裝材破損(差壓Damper不良等)BCR相關(guān)福爾馬林熏蒸臭氣外泄 (輸送管系統(tǒng)、輸送管系統(tǒng)施工不良(seal)等)交差污染導(dǎo)致對實(shí)驗(yàn)動(dòng)物之惡影響 (不合適之室內(nèi)壓、氣流、相關(guān)支持等)二、施工管理階段與管理項(xiàng)目(1) 無塵室施工管理要點(diǎn) 無塵室施工管理項(xiàng)目中最重要項(xiàng)目為微塵污染防止對策。施工時(shí)是否有采取有效污染防止對策將左右往后無塵室各作業(yè)或生產(chǎn)產(chǎn)品良率。特別是近年來，除粒子污染外更有擴(kuò)大化的

12、化學(xué)污染問題，故施工階段的管理則更為重要。 為有效實(shí)施污染防止管理，對人，也就是包含施工管理者在內(nèi)的施工者的教育及意識(shí)傳達(dá)不可或缺。在建設(shè)的基礎(chǔ)工事各階段，無塵室內(nèi)部細(xì)部修飾階段、試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整的全部工程中，須確實(shí)管理指導(dǎo)參與無塵室建設(shè)作業(yè)全員對污染防制形成一致概念。在進(jìn)入無塵室建設(shè)區(qū)域時(shí)，以空氣噴槍從鞋上吹落紙屑、砂粒及統(tǒng)一作業(yè)用制服等雖為無塵室中不可或缺的清潔作業(yè)，但如能提高作業(yè)者的防污染意識(shí)則為很有效的手段。無塵室施工管理流程如圖15所示。(2) 無塵室工事施工時(shí)的污染防止對策無塵室施工時(shí)的污染防止對策代表項(xiàng)目如下所示：輸送管、配管、機(jī)器、機(jī)材等開口端關(guān)閉保養(yǎng)或搬入時(shí)清掃防止無塵室因室內(nèi)送風(fēng)

13、加壓引起的塵埃入侵防止無塵室室內(nèi)的空調(diào)引起作業(yè)員發(fā)汗去除搬入前室等配置時(shí)引起所搬入資材上附著的塵埃指定進(jìn)入室內(nèi)外鞋交換作業(yè)或作業(yè)服裝上述幾點(diǎn)，雖是施工時(shí)污染控制上非常重要的措施，但最重要的還是直接參與無塵室建設(shè)的作業(yè)人員及環(huán)境的管理對策。(3) 無塵室施工階段的管理要領(lǐng)無塵室建設(shè)各階段中對作業(yè)者之教育管理要領(lǐng)如下例解說。表15無塵室施工管理流程教育入場者，建立觀念勿攜帶臟污物品入內(nèi)注意材料徹底清潔原則第一階段出入口規(guī)制4處重發(fā)塵作業(yè)終止配置區(qū)分(配置)第二階段出入口規(guī)制2處搬入材料捆包、清掃內(nèi)部配置區(qū)分(配置)作業(yè)服統(tǒng)一第三階段出入口1處搬入處前路線潔凈浴專用服簡易潔凈襯杉 第四階段外調(diào)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)

14、噴氣浴搬入室潔凈浴專用服第五階段全體運(yùn)轉(zhuǎn)主體施工時(shí)(1)勿帶入塵埃 材料適時(shí)知量地搬入，并隨時(shí)徹底清出無用的廢棄材料 規(guī)定材料倉儲(chǔ)地點(diǎn)、方法、設(shè)施(防止材料臟污，不曝露于風(fēng)雨中)(2)迅速除去塵埃 作業(yè)終止時(shí)徹底清掃及整體清掃 施工區(qū)域內(nèi)暫設(shè)廁所區(qū)域(3)無塵室中作業(yè)員進(jìn)行教育訓(xùn)練 12/12主體工事完工后(1) 勿帶入塵埃 限定外部入口數(shù)，換鞋用鞋柜、鞋的準(zhǔn)備(2) 迅速清除塵埃，勿使其堆積 徹底清掃方法、清掃規(guī)則 清潔區(qū)域設(shè)置機(jī)材、鐵材的清掃，事前補(bǔ)修徹底(防止水分附著引起生銹)(3) 無塵室中作業(yè)員教育訓(xùn)練實(shí)施 無塵室設(shè)施的說明(性能及機(jī)能) 清凈度、化學(xué)污染相關(guān)知識(shí) 確認(rèn)無塵室中動(dòng)線(

15、人、機(jī)材) 室內(nèi)清掃要領(lǐng) 緊急避難方法、安全對策內(nèi)裝修飾施工時(shí)(1) 人員進(jìn)入不得帶入塵埃 地板涂布、長尺Sheet部入室規(guī)制及限制 無塵室入室用粘著墊的設(shè)置 無塵室內(nèi)作業(yè)服的指定(2) 迅速清除塵埃，勿使堆積 中央清凈機(jī)的設(shè)置(3) 無塵室中作業(yè)員教育訓(xùn)練教育內(nèi)容補(bǔ)充 無塵服類穿脫及入場順序 無塵室內(nèi)動(dòng)線(人機(jī)材)的確認(rèn)及攜入機(jī)材的清掃，作業(yè)方法的規(guī)制 緊急時(shí)避難方法、安全對策、作業(yè)順序(4) 外調(diào)機(jī)等本設(shè)機(jī)材、假設(shè)機(jī)材的無塵室內(nèi)加壓及假設(shè)空調(diào)的實(shí)施(5) 防止塵埃侵入，防止人體發(fā)汗，半潔凈化作業(yè)之實(shí)施HEPA濾網(wǎng)安裝時(shí)(1) 不得帶入塵埃 作業(yè)服裝為穿無塵服、鞋、手套、面具(2) 迅速清除

16、塵埃，不得堆積 用無塵紙、托把使用純水擦拭內(nèi)部構(gòu)成部材(天花板橫梁、面板、進(jìn)出樓層等)(2) 無塵室中作業(yè)員教育訓(xùn)練，教育內(nèi)容補(bǔ)充 入室者的限定及登記 作業(yè)場所、作業(yè)時(shí)間的事前進(jìn)入許可申請 出入場管理，警備室的配置 發(fā)塵作業(yè)的限定及事前許可申請無塵室全體運(yùn)轉(zhuǎn)(1) 不得帶入塵埃 無塵室內(nèi)服裝的統(tǒng)一規(guī)制(客戶管理要領(lǐng)) 攜入機(jī)材、書籍薄(夾)板化(2) 迅速清除塵埃，勿使堆積 發(fā)塵作業(yè)區(qū)隔化 以中央清凈機(jī)隨時(shí)清掃(3) 無塵室中作業(yè)員教育訓(xùn)練 作業(yè)安全、機(jī)材防護(hù)、確保性能維持、機(jī)密保持的再確認(rèn) 更嚴(yán)格持有及攜入機(jī)材規(guī)則 入場者的事前登錄及平時(shí)識(shí)別表的明示以上，雖以塵埃及化學(xué)污染防止為主所提出的施

17、工階段管理項(xiàng)目，但除此之外，溫濕度、氣流、壓力等品質(zhì)相關(guān)之管理也不可遺忘。三、完工前的施工管理與試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整(1) 完工前的施工管理無塵室建設(shè)現(xiàn)場直至完工前，由許多業(yè)者、許多人員入場進(jìn)行工作，因此，常有許多不熟悉現(xiàn)場規(guī)則，或工事經(jīng)驗(yàn)不足人員入場。并且，作業(yè)場所或時(shí)間，因?yàn)轫毰浜掀渌嚓P(guān)工事或試運(yùn)轉(zhuǎn)事前作業(yè)準(zhǔn)備，機(jī)器的進(jìn)入通道或作業(yè)員的入退室、室內(nèi)動(dòng)線就隨之頻繁變動(dòng)了。換言之，完工前現(xiàn)場有許許多多造成事故、阻礙的潛在因素，而事故一旦發(fā)生就產(chǎn)生很大的影響，對往后等待進(jìn)行的試運(yùn)轉(zhuǎn)、生產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)有極大障礙。為防止阻礙、事故發(fā)生，須細(xì)心實(shí)行以下相關(guān)措施。A無塵室內(nèi)作業(yè)的入場教育 以無塵室來說，具某程度運(yùn)轉(zhuǎn)狀

18、態(tài)，且因制造裝置關(guān)連業(yè)者也在場，要求作業(yè)安全、機(jī)器保護(hù)、性能維持機(jī)密保持的確立。 機(jī)密保持再確認(rèn)及教育 電氣、瓦斯、藥品等之危險(xiǎn)性及阻礙發(fā)生時(shí)的應(yīng)對教育 入場者事前登錄制度等的徹底執(zhí)行B無塵室內(nèi)作業(yè)規(guī)則 作業(yè)者、作業(yè)場所、作業(yè)時(shí)間的事前報(bào)告及許可制 入場者的Card管理及識(shí)別卡常備 無塵服、鞋的管理 入場、退場管理，警備員的配置 前室中以純水再清掃搬入物 機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)管理者的限定及職責(zé) 試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整事項(xiàng)的明示及責(zé)任者的公布 緊急連絡(luò)時(shí)，指揮中心的確立(2) 試運(yùn)轉(zhuǎn)前之確認(rèn)及試運(yùn)關(guān)于試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整項(xiàng)目及實(shí)施時(shí)期如表16所示表1-6評價(jià)試驗(yàn)項(xiàng)目層流形無塵室非層流形無塵室As-builtAt-restAs-builtAt-rest1濾網(wǎng)泄漏測試0 0 2清凈度000 3氣流速度及均勻性0根據(jù)協(xié)議 4氣流平行性0 5風(fēng)量0 0 6溫濕度00007噪音0 0 8振動(dòng)0根據(jù)協(xié)議0 9室壓0000試運(yùn)轉(zhuǎn)前的最終確認(rèn)事項(xiàng)及試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整的順序如圖13所示。此外，試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整時(shí)之阻礙及其原因、對應(yīng)方法則如表17所示。表17試運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)整時(shí)的事故、原因、對策事故的現(xiàn)象原因?qū)Σ邿o塵室內(nèi)墻破損1.室內(nèi)給排氣平衡異常2.排氣端未風(fēng)管開放3.循環(huán)空調(diào)維修門開放4.送風(fēng)端的運(yùn)轉(zhuǎn)異常1.運(yùn)轉(zhuǎn)前的確認(rèn)，、操作部的固定等2.開放禁止標(biāo)示3.實(shí)施計(jì)劃性的手動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)程序（暫不采全自動(dòng)化控制