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文檔簡介

1、改變世界的改變世界的MEMSMEMS背景背景 在過去的40 多年里, 集成電路的集成度和性能一直在按照摩爾定律不斷地提高, 但CMOS 晶體管的尺寸縮小終將遇到物理極限，研究人員一方面在積極尋找新的替代器件和電路結(jié)構(gòu), 另一方面將目光投到整個系統(tǒng)的尺寸縮小和性能提高上。 1988 年美國加州大學(xué)伯克利分校的Tai等成功地用微電子平面加工技術(shù)研制出了直徑僅有100 微米左右硅微機械馬達, 使人們看到了將可動機械結(jié)構(gòu)與電路集成在一個芯片內(nèi), 構(gòu)成完整的微型機電系統(tǒng)的可能. 微機電系統(tǒng)MEMS 的概念應(yīng)運而生。 當微機電系統(tǒng)的特征尺寸縮小到100 納米以下時, 又被稱為 納機電系統(tǒng)NEMS, 由于尺

2、寸更小及納米結(jié)構(gòu)所導(dǎo)致的新效應(yīng), NEMS 器件可以提供很多MEMS 器件所不能提供的特性和功能, 例如超高頻率、低能耗、高靈敏度、對表面質(zhì)量和吸附性前所未有的控制能力等.MEMS基本工藝基本工藝光刻剝離濕法刻蝕 干法刻蝕氧化摻雜化學(xué)氣相沉積真空鍍膜MEMS工藝流程工藝流程MEMS傳感器分類傳感器分類MEMS系統(tǒng)組成系統(tǒng)組成MEMSMEMS的應(yīng)用的應(yīng)用MEMS在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用傳感器對汽車的作用傳感器對汽車的作用：汽車是傳感器第二大市場，每臺車40到上百個傳感器汽車發(fā)展趨勢（智能化）需要更多傳感器，特別是安全方面應(yīng)用位置應(yīng)用位置：安全氣囊、ABS制動、測速、防撞、發(fā)動機燃燒狀態(tài)、減振等主要應(yīng)用產(chǎn)品主要應(yīng)用產(chǎn)品：MEMS加速度傳感器、 MEMS壓力傳感器MEMS在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用 替代器官植入 體內(nèi)量微手術(shù) 微量檢測 醫(yī)學(xué)成像 微流控微流控MEMS在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用在軍事領(lǐng)域的應(yīng)用武器制導(dǎo)和個人導(dǎo)航芯片上的慣性導(dǎo)航組合超小型、超低功率無線通信（RF MEMS）的機電信號處理軍備跟蹤、環(huán)境監(jiān)控、安全勘測的無人值導(dǎo)分布式傳感器系統(tǒng)小型分析儀器、推進和燃燒控制的集成微流量系統(tǒng)微型無人駕駛飛機微型無人駕駛飛機MEMSMEMS發(fā)展

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