真空檢漏技術(shù)在電廠中的應(yīng)用

1、真空檢漏在電廠中的應(yīng)用隨著社會的發(fā)展，市場化的逐漸形成，發(fā)電廠在重視機(jī)組運(yùn)行運(yùn)行的前提下，現(xiàn)在正越來越重視機(jī)組運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性，穩(wěn)定性。因?yàn)樗粌H關(guān)系到電廠的經(jīng)濟(jì)效益，還關(guān)系到電廠的生存。而影響電廠經(jīng)濟(jì)性的原因有很多，諸如高加投入率、給水溫度、凝汽器真空等，其中凝汽器真空是很重要的一項(xiàng) ，因?yàn)槟髡婵盏母叩筒粌H涉及機(jī)組的經(jīng)濟(jì)性，還涉及機(jī)組的安全性。凝汽器在現(xiàn)代大型電站凝汽機(jī)組熱力循環(huán)中起著冷源作用，主要任務(wù)是一是將汽輪機(jī)排氣凝結(jié)成水,而且這種凝結(jié)水的品質(zhì)純凈，最適合作為鍋爐給水用，二是在汽輪機(jī)排氣口建立與維持一定的真空度，使進(jìn)入汽輪機(jī)的蒸汽在汽輪機(jī)內(nèi)能膨脹到遠(yuǎn)低于大氣壓的壓力,使蒸汽所含的熱量盡

2、可能多的轉(zhuǎn)變成機(jī)械功，以提高汽輪機(jī)的工作效率。所以汽輪機(jī)的真空度的高低對機(jī)組運(yùn)行有很大的關(guān)系。凝汽器真空受多方面影響，如設(shè)計(jì)制造，系統(tǒng)搭配，安裝檢修、運(yùn)行調(diào)整等等，但主要原因一般有四條：1、漏入的空氣量增多；2、凝汽器熱交換效率下降；3、循環(huán)水量不足或進(jìn)水溫度偏高。4、抽氣系統(tǒng)效率下降。一、 低真空的危害1對經(jīng)濟(jì)性的影響：當(dāng)機(jī)組真空很低時，會降負(fù)荷，甚至停機(jī)，因此提高機(jī)組真空，已成為電廠節(jié)能降耗、經(jīng)濟(jì)活動分析的熱點(diǎn)。汽輪機(jī)運(yùn)行時凝汽器真空的惡化，對汽輪機(jī)的經(jīng)濟(jì)性影響甚大，如果汽輪機(jī)在最有利的真空下運(yùn)行，其經(jīng)濟(jì)性最高，若真空偏離設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)值幅度過大，此時汽輪機(jī)若仍帶原負(fù)荷，勢必得改變進(jìn)汽量，進(jìn)汽量

3、的變化，勢必得改變汽機(jī)的進(jìn)汽量，進(jìn)汽量的變化，也改變了機(jī)組的汽耗率、熱耗率。當(dāng)凝汽器真空降低時，有其在夏季循環(huán)水溫度高的情況下，有的真空較差的廠，必須開兩臺射水泵和循環(huán)泵。 據(jù)測算，一臺100MW以上機(jī)組，真空每提高1kPa ，發(fā)電煤耗將降低2g/kw·h左右(另有資料表明，當(dāng)凝汽器真空下降1，則影響機(jī)組輸出功率減少約0.71)，（陡河200MW）凝汽器真空度平均提高0.9左右，可降低煤耗1.81g/kw.h。（豐鎮(zhèn)電廠#1機(jī)200MW哈汽）從廠里降低真空的值來看，3月份改進(jìn)后排氣壓力降低下降了2.25kPa，（從哈汽制造廠提供的真空變化對熱耗及出力修正曲線來看，200MW機(jī)組真空變

4、化980Pa（0.01ata），可影響熱耗0.7，影響出力0.80.9。計(jì)算熱耗可下降135kj/kw.h，發(fā)電標(biāo)煤可降低5g/kw.h，每小時節(jié)標(biāo)煤1噸，該方式下運(yùn)行按3000小時計(jì)。年節(jié)標(biāo)煤3000噸。節(jié)煤量計(jì)算公式： q×103b （g/kw·h） gd·g·29308式中：q降低熱耗（kj/ kw·h），gd管道效率（設(shè)計(jì)值0.99），g鍋爐效率（設(shè)計(jì)值0.923）。按12月份真空值，排汽壓力下降3.92kPa（0.04ata），熱耗可降低235kj/kw.h，相同進(jìn)汽量情況下，出力可增加6800kw，扣除一臺循環(huán)泵耗功1000千瓦，凈

5、效益5300kw，發(fā)電煤耗按360g/kw.h計(jì)，每小時節(jié)煤2.088噸，該方式全年按3000小時于運(yùn)行，年節(jié)標(biāo)煤6264噸，兩項(xiàng)合計(jì)年節(jié)標(biāo)煤9千余噸。（洛河電廠300MW，上汽產(chǎn)N300-165/550/550）凝汽器真空每提高1kPa，汽輪機(jī)汽耗就減少1.52.5。以國產(chǎn)300MW機(jī)組為例，多開一臺射水泵，每年就要多耗電140萬kwh，（各廠情況不同）消耗驚人。（國產(chǎn)300MW）真空下降980.6Pa，熱耗大約增加60kj/kwh，每小時多耗標(biāo)煤200kg，汽輪機(jī)軸功率降低1000-2000kw。 （邢臺電廠）汽輪機(jī)的空氣泄漏速度大的危害：汽輪機(jī)空氣泄漏速度大可謂是“百害而無一利），主要表

6、現(xiàn)在五個方面。一、因凝汽器內(nèi)的壓力是凝汽器內(nèi)蒸汽和空氣的混合物之和，空氣進(jìn)入凝汽器后，使凝汽器壓力升高，引起排氣壓力和排氣溫度升高，導(dǎo)致真空度降低，降低了經(jīng)濟(jì)性。二、凝汽器內(nèi)漏入的空氣量必然增加了凝汽器內(nèi)的空氣壓力，也就增加了凝汽器內(nèi)凝結(jié)水的含氧量的增加，加快了回?zé)嵯到y(tǒng)低壓管道和低壓加熱器的腐蝕速度，縮短了設(shè)備的使用壽命。同時也增加了除氧器的負(fù)擔(dān)。三、空氣積聚在凝汽器 銅管的周圍，增加了傳熱阻力，降低了凝汽器的傳熱效果，使傳熱端差增大。通常200MW機(jī)組每升高1，影響供電煤耗率升高0.95g/kw.h，年多耗標(biāo)煤1400噸，最佳凝汽器端差是5-7。四、蒸汽凝結(jié)在凝汽器內(nèi)蒸汽分壓力下凝結(jié)。凝汽器

7、內(nèi)壓力是蒸汽和空氣的分壓力之和，因空氣分壓力增大，必然是蒸汽分壓力降低，導(dǎo)致凝結(jié)水的過冷度增加，通常200MW機(jī)組過冷度增加1，影響供電煤耗率升高0.1g/kwh，年多耗標(biāo)煤量140噸。最佳過冷度為1.5。五、增加了抽氣器、射水泵、循環(huán)泵的負(fù)擔(dān)和耗電量。凝結(jié)水含氧量的增加：1、凝結(jié)水過冷造成溶氧升高（不細(xì)講，水滴由上至下流動，淹沒銅管）2、空氣侵入造成溶氧升高，假定設(shè)計(jì)合理的凝汽器在過冷度為零時，空氣漏入量為0.17m3/min時，凝結(jié)水的溶氧量為7ug/L，當(dāng)空氣漏入量為0.283 m3/min時，凝結(jié)水含氧量為14ug/L?？諝饴┤肽?，增大了空氣的分壓力，因而增大了空氣在水中的溶解度，

8、使凝結(jié)水中的含氧量增加，增加了低加給水系統(tǒng)的腐蝕3、從熱井至凝泵、以及低加疏水、疏水?dāng)U容器等設(shè)備水管道直接進(jìn)入，對凝結(jié)水的含氧量影響更大。2、對安全性的影響：汽輪機(jī)真空降低，若仍維持原負(fù)荷，就意味著汽耗量須增大，這樣會使推力軸承過載，如果過載值超過設(shè)計(jì)值過多，推力軸承就有燒毀的危險(xiǎn)，假如保護(hù)出現(xiàn)問題，就有可能出現(xiàn)動靜部分碰撞發(fā)生惡性事故。由于真空低，排汽缸的溫度也就升高，這樣位于低壓缸下的汽輪機(jī)軸瓦就會被動往上抬，從而使低壓轉(zhuǎn)子也往上臺抬，軸系的中心就會發(fā)生變化，中心的偏離能引起汽輪機(jī)振動加大，長期運(yùn)行，很容易造成設(shè)備損壞。另一方面，汽輪機(jī)如果經(jīng)常在低真空下運(yùn)行，會引起低壓缸尾部變形，使結(jié)合面

9、出現(xiàn)間隙，加劇空氣泄漏，這樣有可能形成惡性循環(huán)，真空進(jìn)一步惡化。 真空如果很低，尤其是夏天，有可能被迫投入備用循環(huán)泵、射水泵，造成沒有備用設(shè)備，一旦一臺設(shè)備出現(xiàn)問題，就會導(dǎo)致真空降低，降負(fù)荷，嚴(yán)重時有可能打閘停機(jī)。所以低真空對設(shè)備安全造成的威脅也很大。3 河北南網(wǎng)汽輪機(jī)組真空系統(tǒng)分析在對全網(wǎng)汽輪機(jī)組真空系統(tǒng)全年的有關(guān)數(shù)據(jù)進(jìn)行匯總的基礎(chǔ)上，發(fā)現(xiàn)了其中的規(guī)律和影響因素分析如下：3.1 真空系統(tǒng)全年變化規(guī)律 上圖清楚地顯示了汽輪機(jī)組真空系統(tǒng)有關(guān)參數(shù)全年的變化趨勢，隨著時間和季節(jié)的變化，循環(huán)水溫、凝汽器端差、機(jī)組真空度也周而復(fù)始地循環(huán)變化，真空泄漏率則與機(jī)組情況有關(guān)，和季節(jié)沒有直接關(guān)系；影響凝汽器端差

10、的主要因素是循環(huán)水溫，在循環(huán)水溫一定的情況下，受凝汽器傳熱情況的影響；上圖也說明，循環(huán)水溫對機(jī)組真空度的影響是主要因素，對整個系統(tǒng)的溫度水平起到了拉動作用。3.2 網(wǎng)內(nèi)機(jī)組真空情況 圖中匯集了網(wǎng)內(nèi)100MW以上機(jī)組全年真空度的情況，與邯峰發(fā)電廠1機(jī)組相比，網(wǎng)內(nèi)機(jī)組的差距主要表現(xiàn)在兩個方面：一是真空度較低，二是全年變化幅度較大。3.3 網(wǎng)內(nèi)機(jī)組循環(huán)水溫的變化情況 網(wǎng)內(nèi)機(jī)組循環(huán)水溫全年變化趨勢和幅度基本相同，溫度差距在3至4左右，反應(yīng)出網(wǎng)內(nèi)冷卻塔工作情況有較大的差異，應(yīng)重視改善冷卻塔的工作狀況。3.4 真空泄漏率的變化情況真空泄漏情況最好的是邯峰發(fā)電廠1機(jī)組，最高在100Pa/min左右，最低為0

11、，與其相比，國產(chǎn)機(jī)組差距較大，其原因是該機(jī)組采用了清潔疏水系統(tǒng)和先進(jìn)的汽封控制系統(tǒng)，可供國產(chǎn)機(jī)組借鑒。真空泄漏率變化雖不規(guī)則，但其突變應(yīng)由系統(tǒng)產(chǎn)生了新的明顯的漏點(diǎn)引起，有關(guān)人員應(yīng)及時采取措施。3.5 抽空氣設(shè)備對真空的影響 抽空氣設(shè)備對真空度也有相當(dāng)程度的影響，容量較大的抽空氣設(shè)備在漏量較大時也能維持凝汽器內(nèi)保持較低的空氣含量，在一定程度上降低凝汽器端差，上圖反應(yīng)的是采用較大容量的射水抽氣器的邯鄲12機(jī)與馬頭發(fā)電廠6機(jī)的對比情況。因而，在抽空氣設(shè)備選型時，應(yīng)加以考慮。3.6 機(jī)組經(jīng)濟(jì)性對真空的影響 較高的汽輪機(jī)組內(nèi)效率使其排汽量較低，降低凝汽器的熱負(fù)荷，提高機(jī)組的真空，興泰發(fā)電公司5機(jī)經(jīng)通流部

12、分改造，熱耗明顯降低，與7機(jī)組相比，真空度較高，所以，改進(jìn)機(jī)組真空狀況是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，應(yīng)注意多方提高機(jī)組熱效率。從去年全年南網(wǎng)的真空情況來看，形式不太樂觀。二、檢漏在汽機(jī)真空系統(tǒng)上的應(yīng)用 從以上這些情況，這些情況來看，其中空氣泄漏造成的真空降低沒有季節(jié)的變化，隨時都有可能發(fā)生，而且靠運(yùn)行調(diào)整的余地比較小，所以就有必要采取一些手段在停機(jī)和運(yùn)行時進(jìn)行查找，消除漏點(diǎn)，提高真空。1、靜態(tài)檢漏（停機(jī)狀態(tài)）（1）灌水找漏：灌水找漏最為常見，各廠都在用，當(dāng)停機(jī)時，在缸溫管道溫度允許的情況下，向凝汽器灌水，現(xiàn)在一般灌水至低壓缸軸封洼窩，并維持24小時（因?yàn)橛行┎课?，?、8抽等一些蘭盤包著保溫，一些小漏點(diǎn)滲到

13、表面并被人發(fā)現(xiàn)需要一定時間），然后查找泄漏的地方，有其要留意一些細(xì)微的泄漏，然后處理，處理之后最好再次灌水找漏，以確定消除情況，灌水找漏比較直觀，容易發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)，也容易操作，所以各電廠應(yīng)用比較多。但有一個問題，就是必須在停機(jī)時才能，而且在冷態(tài)檢漏，一些細(xì)小的裂紋只有在熱態(tài)設(shè)備膨脹或有壓力的情況下才發(fā)生泄漏，冷態(tài)不易察覺，另外灌水即便高水位也只能灌到汽封洼窩處，對汽缸結(jié)合面及以上均無能為力。所以有局限性。(2)高位灌水加壓找漏：（唐山發(fā)電總廠新區(qū)熱電廠1、2機(jī)組，2.5萬）高位灌水加壓找漏區(qū)別于一般灌水找漏的地方，就是在高、低壓缸前后軸封做一個專用擋板，在擋板內(nèi)側(cè)加牛油盤根，并用鉛絲綁住，目的是保

14、證灌水過程中不向外漏水（微漏不影響效果），然后打開某一級的壓力表管或低壓缸打壓絲堵，監(jiān)視水位。然后打開凝汽器補(bǔ)水門，隨時監(jiān)視最后一級指示壓力，保證壓力不超過防暴門動作壓力，并保正保護(hù)膜不受水侵（石棉紙），當(dāng)水位漲至監(jiān)視水位時，立即關(guān)小補(bǔ)水門，然后保持水位4小時，檢修、運(yùn)行人員共同查漏，查漏后放水，消除漏點(diǎn)后再次灌水查漏，直至漏點(diǎn)全部查出消除。(3)充壓法：（開封火電廠94年）充壓法原理基本與灌水法一樣，不同的是負(fù)壓系統(tǒng)不灌水，而是從汽封汽源處接一根低溫低壓汽源，送到凝汽器喉部，用差壓計(jì)換下真空表，以監(jiān)視凝汽器壓力，防止超壓，凝汽器保持微正壓狀態(tài)，這樣就可以觀察到低溫蒸汽從漏點(diǎn)冒出的情況。效果還

15、可以。2、動態(tài)檢漏（運(yùn)行狀態(tài)）（1）焰燭法：所謂焰燭法就是在設(shè)備運(yùn)行時，用蠟燭火焰靠近可能泄漏的負(fù)壓部位，觀察火焰是否被吸入來判斷泄漏是否存在，同理也可以用雞毛等輕浮之物來查漏，若泄漏很大，有時甚至可用手感覺出來。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是比較方便，不用投資，隨時都可以查。但這種方法比較原始，有很大局限性，首先氫冷機(jī)組受明火使用限制，其次受周圍空氣擾動的影響比較大，在有，管束密集的地方及高溫部位無法靠近。而且很多地方泄漏都在保溫里面，一般發(fā)現(xiàn)不了，所以現(xiàn)在只作為一種輔助手段來用，應(yīng)用以比較少。(2)超聲檢漏：（頻率大于20千赫的聲波）超聲檢漏是后來發(fā)展起來的一種技術(shù)，它是利用泄漏處產(chǎn)生的超聲訊號，由調(diào)制

16、器將其調(diào)制成可音頻信號，放大后送到顯示及輸出。接受的信號越強(qiáng)，發(fā)光二極管或電表的顯示越明顯，耳機(jī)中輸出的音調(diào)也越高。一般成品超聲檢漏儀按接受探頭分單探頭和雙探頭兩種。（在國外電廠中超聲檢漏儀應(yīng)用的比較多），超聲檢漏儀在國內(nèi)一些電廠有一些應(yīng)用，也取得了一定的效果。但使用超聲檢漏儀需要比較熟練的工作人員，因?yàn)楣ぷ鳜F(xiàn)場（汽機(jī)房）噪音很大，各種噪音都會被檢漏儀采集到，工作人員所聽到的聲音也非常雜亂，這就要求工作人員能從各種噪音中分辨出那種是泄漏點(diǎn)發(fā)出的。使用超聲檢漏儀需要有豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)和使用經(jīng)驗(yàn)。所以在南網(wǎng)應(yīng)用比較少。但在其他一些噪音較少的行業(yè)應(yīng)用比較多。(3)運(yùn)行分析法：（隔離法）有時候泄漏處發(fā)生

17、在和真空系統(tǒng)相同的管道中而不是凝汽器本身，如低壓抽氣管，低加空氣管、低加疏水管，某些管道在接入凝汽器喉部前裝有閥門，通過開啟和關(guān)閉這些閥門，也就是切斷可疑部位與凝汽器的聯(lián)絡(luò)，來察看真空系統(tǒng)的真空變化情況，來判斷可疑部位的泄漏。這種方法切實(shí)可行，在很多電廠都有應(yīng)用。但這種方法只能用在一些運(yùn)行中可以解列設(shè)備。對一些無法解列的設(shè)備仍無法檢漏。另外，還有一些諸如利用工況變化來分析軸封漏氣情況，當(dāng)機(jī)組啟停時有些設(shè)備投運(yùn)，為正壓，當(dāng)開機(jī)后停用，如泄漏，也能降低真空（如低壓旁路泄漏）（后面講，不細(xì)講）(4)鹵素法：以前比較常用的鹵素法，就是利用鹵素（氟利昂CF2Cl2、氯仿CHCl3、四氯化碳CCl4）作為

18、示蹤氣體檢漏。（其中氟利昂無毒、不可燃等優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用最廣）。其工作原理是在汽輪機(jī)組的抽氣口處布置接受探頭，配用一臺真空泵在接受探頭內(nèi)抽氣，使在探頭接收腔內(nèi)形成真空，隨后，用配有噴槍的攜帶式鹵素鋼瓶在可能泄漏的部位噴氣，如有泄漏，則鹵素會從泄漏處進(jìn)入汽機(jī)的真空系統(tǒng)，最后由射水抽氣器抽出，而被接受探頭檢測到，再將其轉(zhuǎn)換為聲光信號顯示出來，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)。 陰極 風(fēng)扇 吸嘴 陽極 燈絲以北京真空儀表廠生產(chǎn)的LX-2A型鹵素檢漏儀的為例，其原理圖如上圖所示，它分為鹵素檢漏管（鉑二極管）和測量線路兩部分，鉑二極管由陽極A和陰極K及加熱絲組成，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時不斷吸入氣體。工作時，二極管的陽極由燈絲加熱到8

19、50950,陰極對陽極加250V左右的負(fù)電壓。當(dāng)鉑加熱到800以上時，鉑表面就產(chǎn)生正離子發(fā)射，被收集極收集，形成原始離子流，當(dāng)風(fēng)扇被啟動吸入空氣中混有鹵素氣體后，正離子發(fā)射加劇產(chǎn)生鹵素離子電流，離子電流急劇增加，由電子電路放大后，進(jìn)入儀表顯示，指針發(fā)生偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)越大，吸入的鹵素氣體就越多，表明泄漏越大。湖南電研所從86年開始對鹵素檢漏在汽輪機(jī)真空系統(tǒng)進(jìn)行應(yīng)用研究，三年時間為湖南局屬各電廠檢漏機(jī)組共22臺，檢測部件累計(jì)1500多個，發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)260多處，經(jīng)堵漏處理后，真空值均有明顯提高。遼寧在82年以后開始應(yīng)用鹵素檢漏，曾在大連第二發(fā)電廠、朝陽發(fā)電廠、清河發(fā)電廠使用，效果還可以。 河北南網(wǎng)衡水電

20、廠也一直在使用鹵素檢漏儀，也取得了一定的效果。缺點(diǎn)：A；鹵素檢漏儀在找漏過程中，應(yīng)防止離子室“中毒”現(xiàn)象，否則會使離子室靈敏度下降，。如果有“中毒”現(xiàn)象，應(yīng)及時用酒精清洗離子室。B：使用鹵素檢漏儀找漏過程中，應(yīng)按說明書操作，以免損壞儀器及充電系統(tǒng)。C：如果在室外找漏，環(huán)境溫度不應(yīng)低于20，否則離子室的鉑絲溫度達(dá)不到額定溫度，會使靈敏度下降。D:（R12）對水的溶解度大，靈敏度低，在高溫下分解產(chǎn)生有毒成分，擴(kuò)散速度低，響應(yīng)時間長，F(xiàn)：最主要是破壞臭氧層，1995年德國就不允許使用氟利昂，而我國也已開始禁止使用。（5）氦質(zhì)譜檢漏氦質(zhì)譜檢漏在以前其他領(lǐng)域已應(yīng)用幾十年，尤其在航天、電子、制冷方面應(yīng)用比

21、較廣泛，技術(shù)已相當(dāng)成熟。用在電廠汽輪機(jī)上檢漏是九十年代發(fā)展起來的。河北所 是在 98年開始氦質(zhì)譜檢漏的應(yīng)用研究，在 九九年對河北南網(wǎng)衡水、上安、邯鄲的大小七、八臺機(jī)組進(jìn)行了檢漏，說取得了很好的效果。在去年和今年對南網(wǎng)幾乎所有的電廠大小二、三十臺機(jī)組進(jìn)行檢漏，除個別機(jī)組有一些客觀原因外，應(yīng)該說真空漏率都有不同的降低，其中有的機(jī)組下降達(dá)到1500到2000Kpa，（后面還要講，不細(xì)講）。氦質(zhì)譜檢漏原理跟鹵素檢漏原理基本是一樣的。所不同的是它用氦氣取代了鹵素。在一般情況下，氦分子比除氫分子外的任何其他氣體都具有更高的粒子速度，因此氦比大多數(shù)其他探測氣體都能更快的穿過漏孔，選用氦氣主要是由于氦氣是一種

22、無毒、不易燃、不易爆的惰性氣體，它分子量小，難溶于水，大氣中含量僅為5mg/kg，不易受外界環(huán)境影響。更主要的是它是一種環(huán)保氣體，不污染設(shè)備、環(huán)境。不像鹵素污染環(huán)境，破壞臭氧層。氦檢漏的反應(yīng)速度快，以我們檢漏經(jīng)驗(yàn)，一般5秒左右就能顯示，并在十秒之內(nèi)就可以清除本底。靈敏準(zhǔn)確，能檢測1000萬份空氣中的一份氦氣。不論氣側(cè)還是水測，能反應(yīng)泄漏大小，各種部位都可以方便的查找。一些細(xì)小的裂紋也能查出，所以有很多的優(yōu)點(diǎn)。它分為真空法和吸槍法兩種參見下圖 壓力表 吸槍法 接吸槍 抽氣器 射水池 吸槍法A：氦質(zhì)譜檢漏原理（根據(jù)圖）氦質(zhì)譜檢漏是將吸入的氣體在質(zhì)譜室中將氣體電離，利用不同荷質(zhì)比的離子具有不同電磁特

23、性的特點(diǎn)將示蹤氣體氦分子分離檢測，質(zhì)譜儀主要質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)組成和電子學(xué)控制組成，其原理是質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和機(jī)械泵之間，當(dāng)氣體被前級泵吸進(jìn)時，少一部分進(jìn)入復(fù)合分子泵，根據(jù)逆擴(kuò)散原理，進(jìn)入質(zhì)譜室的電離室，由高溫離子源燈絲將吸進(jìn)的不同氣體分子電離成不同的氣體離子，因?yàn)椴煌碾x子具有不同的荷質(zhì)比，只有氦離子會通過過濾小孔（阻擋膜片），然后通過一塊永磁鐵，將離子偏轉(zhuǎn)90°，最后打在收集集（接收板）上，變成電信號傳到遙控器的液晶顯示屏上顯示出來，從而看到泄漏的情況。泄漏的大小主要看吸入氦氣的多少，吸入越多，電離成氦離子就越多，所顯示的漏率就越大。B：真空法：是將儀器直接聯(lián)至射水抽氣器，后部或真空泵進(jìn)口真空表接頭處，通過截流閥調(diào)節(jié)氣流，以衰減檢漏儀和被檢件之間的壓強(qiáng)，使檢漏儀正常工作，入口壓強(qiáng)可高至100pa，然后向負(fù)壓系統(tǒng)斷續(xù)噴吹氦氣。優(yōu)點(diǎn)：是反應(yīng)快，本地消失快，反應(yīng)準(zhǔn)確。所不利的是在必須拆掉射水抽氣器的真空表，而且對真空表的位置也有