鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書REV01

1、 普通作業(yè)指導(dǎo)書鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書DOC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 1 OF 7簽 名日 期一、目的：規(guī)范鑄錠爐的保養(yǎng)檢修作業(yè)，以確保鑄錠爐得到應(yīng)有的保養(yǎng)檢修，使該類設(shè)備在生產(chǎn)中安全正常運(yùn)行。二、范圍：本操作指導(dǎo)書適用于所有多晶鑄錠爐。三、定義：無四、保養(yǎng)要求如下表：做任何檢查前應(yīng)首先確認(rèn)有無觸電、撞傷、夾傷、燙傷等各種危險(xiǎn)，特別是在電源端子，真空泵、風(fēng)機(jī)等處；必要時(shí)停止設(shè)備運(yùn)行，甚至關(guān)閉水、電、氣開關(guān)、閥門等做必要的安全

2、防護(hù)措施。以下所有保養(yǎng)項(xiàng)目均由維修技術(shù)員執(zhí)行，并記入DSS爐月季年保養(yǎng)記錄。保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)1.下腔提升系統(tǒng)維護(hù)1. 絲杠系統(tǒng)加潤滑油。用黃油槍從加油口加黃油，每個(gè)絲杠加黃油約7克.2檢查每個(gè)剎車，確保摩擦材料無磨損和松弛。抓住連接軸并試著用手轉(zhuǎn)動(dòng)，應(yīng)該不動(dòng)。檢查所有的連接螺絲是否緊固。2.冷卻水流量計(jì)清潔及放出進(jìn)水出水銅總管底部沉淀雜物1. 先關(guān)閉供水閥,再關(guān)閉對應(yīng)回水閥。在維護(hù)爐腔的任一流量計(jì)時(shí)，要確保其他流入爐腔的水是關(guān)閉的（流入爐腔的不同水路之間可能沒有封死）；2. 折彎捏住要清潔流量計(jì)的紅色水管；3. 移開流量計(jì)的塑料蓋。用一個(gè)的內(nèi)六角套筒反時(shí)針旋轉(zhuǎn)塑料蓋中心六方柱大約

3、30度以移開塑料蓋；4. 拆下葉輪、陶瓷軸和墊片。檢查其是否完好并用干凈的白潔布清除上述零件上的沉積物；5. 拆下蓋子上的O型圈進(jìn)行檢查是否完好，若完好則進(jìn)行清潔；若O型圈已損壞，則更換。裝回O型圈前，先給其表面抹少許真空油，再將它裝在蓋子上或流量計(jì)腔室中；6. 清除流量計(jì)腔室中的沉積物,檢查腐蝕情況及內(nèi)部結(jié)構(gòu)；7. 將陶瓷軸裝在軸孔上；8. 裝上葉輪,任一面朝里都可以；9. 將蓋子裝在流量計(jì)上：將蓋子邊緣突起部分與腔室中的對應(yīng)狹槽的位置對好； 普通作業(yè)指導(dǎo)書鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書DOC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部

4、 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 2 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)10. 用雙手平穩(wěn)地按壓蓋子使其突起部分少許插入流量計(jì)腔室的狹槽中并使蓋子的孔與陶瓷軸配合好，然后用內(nèi)六角套筒順時(shí)針旋轉(zhuǎn)蓋子約30度以鎖定；11. 松開紅色回水管；12. 清潔完所有流量計(jì)后，緩慢打開進(jìn)水出水銅管底部球閥，使沉淀雜物排出，直至排出的水干凈無雜物。13. 要恢復(fù)水流至正常工作狀態(tài)時(shí)，一定要緩慢開啟各球閥，以免水流壓力沖擊給水路造成損壞；關(guān)球閥時(shí)也要緩慢。14. 檢查各流量計(jì)是否有泄漏。若有泄漏，可能是蓋子不緊，將蓋子緊到位。若還不能解決泄

5、漏，則卸掉蓋子清潔重裝再看結(jié)果。15. 檢查冷卻水管、接頭部分是否有滲漏。3.熱區(qū)檢查1.用手?jǐn)Q動(dòng)檢查加熱器上螺母是否有松動(dòng)，若有松動(dòng)則用手?jǐn)Q緊。2. 驗(yàn)證絕緣性：a)用萬用表檢查加熱器與隔熱籠頂部隔熱板及隔熱籠側(cè)壁是否絕緣，測得電阻必須在1000歐以上，否則予以維修處理（清理絕緣陶瓷片和絕緣陶瓷套上的石墨灰塵）；b)用萬用表檢查加熱器與上爐腔是否絕緣測得電阻必須在1000歐以上（清理絕緣陶瓷片和絕緣陶瓷套上的石墨灰塵）。3.用水平尺檢查隔熱籠是否水平以及位置是否正確，否則調(diào)整。4檢查DS-BLOCK上氧化鋯管的完好性，如果有斷、裂則予以更換。5檢查DS-BLOCK上熱電偶在“手動(dòng)屏

6、幕”上的顯示讀數(shù)：當(dāng)爐腔完全冷卻時(shí)，讀數(shù)應(yīng)當(dāng)接近室溫（20-30°C）。4.MFC檢查及校正1回到Manual screen,抽真空到600mbar左右；2從V/G框中選G，從In/Outlet框中選Outlet，并將Inlet%設(shè)定到20，壓力設(shè)定在600，V2和V3必須是開（按扭顯示綠色）；3從MFC測量出的反饋值應(yīng)該快速停留在19-21%（20%±1%）；4如果反饋值不正確，確保氬氣壓力在mbar，然后按照MFC制造商手冊中控制閥機(jī)械調(diào)零程序進(jìn)行調(diào)整。如果反饋值讀數(shù)還不正確，則須換MFC或發(fā)外校正。 普通作業(yè)指導(dǎo)書DSS鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書DOC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)

7、：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 3 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)5.Herion 閥工作狀況檢查1. 按照“MFC檢查及校正”中的第1第2步建立各參數(shù)，在“Overview screen”的“Gas out”框中觀察Outlet 信號(hào)，它應(yīng)該在50%到60%之間，壓力應(yīng)該控制在600±1mbar范圍內(nèi)；2. 將Inlet的值變成30%，等壓力穩(wěn)定后（約2分鐘），Outlet的值必須圍繞一個(gè)比第一步更高的值變動(dòng)，同時(shí)壓力

8、還須控制在600±1mbar范圍內(nèi)；3. 將Inlet的值變成10%，過約2分鐘后等壓力穩(wěn)定后，Outlet的值必須圍繞一個(gè)比第一步更低的值變動(dòng)，同時(shí)壓力還須控制在600±1mbar范圍內(nèi)；4. 如果Herion 閥不能按照上述方式執(zhí)行并控制壓力，先檢查Outlet的PID值是否正確。如果PID值正常，則按照季保養(yǎng)中的“Herion閥清潔”所述的方法清潔閥。如果還不能解決問題，則換閥體和/或閥的放大器。6.控制柜及電源柜和相關(guān)配件檢查、試驗(yàn)1. 風(fēng)扇檢查。所有的若不正常則更換，若正常則斷電進(jìn)行清潔（在不拆卸零部件的情況下）。還須拆下電氣控制柜上風(fēng)扇濾網(wǎng)進(jìn)行清潔。必要時(shí)用吸塵

9、器對電氣部件上的灰塵進(jìn)行清潔。2. 打開空氣控制盒子，慢慢調(diào)小調(diào)節(jié)器的壓力直到報(bào)警被激活PS1000空氣檢測器上的紅色LED將熄滅。報(bào)警在壓力50-55psi時(shí)將被激活，若不是這樣，則調(diào)節(jié)PS1000開關(guān)上的紅色螺絲直到正常。確認(rèn)在臨界點(diǎn)附近升降壓力時(shí)工作正常，再將壓力調(diào)節(jié)到65-68psi（不要超過70psi）；GENERAL WI 普通作業(yè)指導(dǎo)書鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書DOC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 4 OF 7簽 名日

10、期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法月保養(yǎng)4. 檢查UPS的LED的顯示。檢查頂部和底部的LED的Line和INV.應(yīng)亮并穩(wěn)定，Bat和Load各至少有一個(gè)亮，若有其它燈亮或者上述的燈不亮，參考制造商手冊；7.真空泵異常音異常震動(dòng)檢查泵的固定螺絲螺母有沒松動(dòng)，吸氣管道有沒松動(dòng)，閥門有沒松動(dòng)8.機(jī)械泵上油霧分離器壓力檢查拆開油霧分離器排氣管，讓機(jī)械泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)，檢查排出的霧是否看得見。正常應(yīng)該是看不見的。如果看得見，則說明濾芯破損（如果壓力表讀數(shù)是0.5PSI以下，則說明是濾芯破損）或?yàn)V芯安裝不正確，則進(jìn)行對應(yīng)處理；9.真空泵油標(biāo)線和系統(tǒng)檢查檢查機(jī)械泵的玻璃視窗口的油標(biāo)線，油標(biāo)線應(yīng)位于視窗口的1/3與2/3

11、之間；羅茨泵的油標(biāo)線應(yīng)保持在凹陷區(qū)域范圍內(nèi)。GENERAL WI 普通作業(yè)指導(dǎo)書鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書DOC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部 門ORIGINATOR編 制REVIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 5 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法季度保養(yǎng)1.真空計(jì)校正-粗真空計(jì)校正注意：在做任何真空計(jì)的調(diào)節(jié)前必須保證給真空計(jì)通電至少30分鐘。粗真空計(jì)校正：a) 為調(diào)節(jié)粗真空計(jì)的零點(diǎn)，爐膛壓力必須在0.1毫巴以下。打開大流量真空閥門（V1）并啟動(dòng)真空泵抽真空使?fàn)t腔壓力降至0.1毫巴以下。在

12、“Manual screen”點(diǎn)擊 “Maint screen”,輸入密碼則出現(xiàn)“MAINTANCE SCREEN”對話框，粗細(xì)真空計(jì)的讀數(shù)顯示在該對話框中；b) 若屏幕顯示的粗真空計(jì)的讀數(shù)不為零，則調(diào)節(jié)位于粗真空計(jì)頂部的電位計(jì)（調(diào)節(jié)前必須確保該真空計(jì)已通電30分鐘以上），直至顯示的讀數(shù)為0±0.5毫巴；c) 回到“Manual screen”，關(guān)閉V1閥，然后充氬氣使?fàn)t腔壓力達(dá)到大氣壓力。停留30秒以使壓力穩(wěn)定，然后檢查“Maint screen”上粗真空計(jì)的大致讀數(shù)為980±10毫巴；d) 若氣壓讀數(shù)超出偏差范圍，則反時(shí)針旋轉(zhuǎn)粗真空計(jì)頂部的紅色環(huán)形蓋子以使分壓計(jì)（左手邊

13、）露出來。調(diào)節(jié)該分壓計(jì)直至達(dá)到上述壓力范圍。最后裝好紅色環(huán)形蓋子。2.Herion閥清潔1. 確保爐腔及真空管路在大氣壓下并且兩個(gè)泵都是關(guān)閉的。Herion閥位于機(jī)器的后面V1閥的上邊；2. 用螺絲刀松開螺絲繼而卸掉放大器的插頭；3. 卸掉夾持器，卸下閥。小心不要掉了密封圈；4. 松開但不卸掉閥端面蓋板上的四個(gè)內(nèi)六方螺絲；5. 用一只手壓住蓋板從而壓住彈簧，另一只手卸下四個(gè)螺絲；6. 小心的松開蓋板，露出彈簧和O型圈；7. 取出里邊所有的部件：彈簧O型圈和閥芯；然后再松開電磁鐵一端的四個(gè)螺絲，取出銅導(dǎo)套和O型圈；8. 用潔凈布或紙蘸酒精去除閥體內(nèi)積塵；9. 用潔凈布或紙蘸酒精對上述取出的所有零

14、件進(jìn)行清潔；10.  把閥芯插入閥體（尖部在前）；11.  插上彈簧，并把O型圈放入槽中；12.  小心地壓上蓋板，并對準(zhǔn)螺絲孔，插上螺絲，均勻的上緊螺絲；13.  將電磁閥一端的銅套和O型圈正確裝配，并擰緊螺絲；14.  把Herion閥裝回真空管路上，保證連接處的密封圈清潔，擰緊加緊器；15.  把閥的放大器連接上并檢查閥的運(yùn)作。GENERAL WI 普通作業(yè)指導(dǎo)書鑄錠爐保養(yǎng)指導(dǎo)書OC.文件號(hào)： REV.版本號(hào)：EI-I-0006 01Reason(s) for Update更新原因：修正、補(bǔ)充部 門ORIGINATOR編 制RE

15、VIEWER審 核APPROVAL批 準(zhǔn)PAGE.頁: 6 OF 7簽 名日 期保養(yǎng)類型保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方法半年保養(yǎng)1.機(jī)械泵換油1放油：運(yùn)行泵直到油溫達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)溫度（63-75°C），確認(rèn)爐腔內(nèi)壓力在980mbar左右，且V1閥關(guān)閉，停止泵運(yùn)轉(zhuǎn)，關(guān)閉機(jī)械泵斷路器以保安全。將容器放在油箱的放油閥下，打開閥，直到油放完，可以轉(zhuǎn)一下泵把泵里邊殘留的油放干凈，關(guān)閥。2. 加油：對于真空泵：加油確保O型圈是完好后把注油口蓋擰緊；然后給上注油口加油直到油標(biāo)線到達(dá)視窗的2/3處，再擰緊上注油口油塞。3確保真空隔離閥（V1）是關(guān)閉的，啟動(dòng)泵。觀察游標(biāo)線，一兩分鐘后關(guān)泵，并從上注油孔加油到油標(biāo)線到達(dá)

16、視窗中間。 2.羅茨泵換油1關(guān)泵并關(guān)閉斷路器以保安全。2用低而小的油盆放在泵的兩端放油口下，卸下磁性油塞放油，放完油后，擰緊油塞。3卸下兩個(gè)注油塞，給每個(gè)注油孔中加半夸脫油，確保游標(biāo)線接近凹槽上線，需要時(shí)再加油。4擰緊油塞，開機(jī)械泵，約20分鐘后設(shè)定真空模式為V，等待壓力達(dá)到50mbar以下時(shí)加強(qiáng)泵開啟。5在加強(qiáng)泵運(yùn)轉(zhuǎn)幾分鐘后，檢查游標(biāo)線。如果游標(biāo)線變化很大，停止泵運(yùn)轉(zhuǎn)，加油或放油。3連軸器 橡膠塊氣鎮(zhèn)功能檢查1檢查時(shí)發(fā)現(xiàn)破損請立即跟換，兩個(gè)帶輪的定位及與軸連接的緊密情況，再檢查帶的磨損情況，若磨損嚴(yán)重，則換帶；2.使用氣鎮(zhèn)功能時(shí)，會(huì)發(fā)生灰塵等阻塞氣鎮(zhèn)孔上裝的針閥，以及泵內(nèi)氣體通路的情況。GENERAL WI 普通作