高真空脈沖激光沉積于離子束清洗系統(tǒng)的實驗步驟

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2、待真空室的在真空度低于5Pa后，關上旁抽閥，然后打開電磁閥。6、 打開閘板閥（閘板閥完全打開時露出手柄約13-14個扣），再打開分子泵電源開關（推到ON），分子泵屏幕上顯示0.00，按start，就可以看到分子泵啟動，轉(zhuǎn)速到400就穩(wěn)定了，再等半個小時后，按復合真空計上的 功能手動 ，置數(shù) 就打開電離開關，就可以觀察真空室的真空度，不需要觀察時就關掉電離開關。7、 真空達到5*10-4Pa時，就可以長膜。8、 若要在氣氛下長膜，先打開氣體流量計開關，預熱5分鐘。然后依次打開氣瓶主閥、減壓閥、氣體進氣閥、流量計由關閉打到閥控檔，根據(jù)實驗要求調(diào)節(jié)氣體流量，壓力調(diào)節(jié)見注意事項之19條。9、 將左側(cè)總

3、控電源打開，水打到報警，A、B、C三個燈亮。10、 KFM-III型“考夫曼”離子槍電源的使用方法（使用Ar離子清洗）：（1） 開機前將面板上的所有旋鈕逆時針方抽調(diào)回到0，開供電穩(wěn)壓電源；（2） 按“啟動”開關，電源指示燈亮（數(shù)字表也應亮）；（3） 調(diào)放電電壓至6570V；（4） 調(diào)燈絲電流8A左右，待看到有放電電流產(chǎn)生即停；（5） 調(diào)加速電壓至100V；（6） 調(diào)速流電壓至500V左右，觀察速流表（數(shù)字表D變化，待束流基本穩(wěn)定后再調(diào)束流電壓和加速電壓至工作所需的束流密度和束流能量，離子槍即開始正常工作；（7） 使用工程中，束流表出現(xiàn)過載時，說明槍內(nèi)有打火或有短路，請速降低束流電壓，待打火或短

4、路停止后再加大此電壓；（8） 待工作完畢后，依次將束流電壓、加速電壓、燈絲電流、放電電壓調(diào)回至0；（9） 按“停止”按鈕關閉電源；（10） 關閉穩(wěn)壓供電電源。電離電源使用方法（使用氧氣電離）：（1） 首先檢查調(diào)節(jié)電位器旋鈕逆時針是否到底。（2） 按電源的開，等到電源內(nèi)的延時繼電器正常工作后再緩慢順時針調(diào)節(jié)電位器旋鈕。（3） 在調(diào)節(jié)電位器旋鈕時，觀察電壓表的指針，如果指針不擺動，可以繼續(xù)調(diào)節(jié)電位器旋鈕直至真空室內(nèi)氣暉為止，一般在200-300V左右。（4） 如果在調(diào)節(jié)電位器旋鈕時，電壓表的指針來回擺動，真空室內(nèi)有打火現(xiàn)象，這時，應該停止調(diào)節(jié)電位器旋鈕，等到指針不擺動后，在繼續(xù)調(diào)節(jié)電位器旋鈕直至真

5、空室內(nèi)的暉光穩(wěn)定為止。（5） 關電源時先將電位器旋鈕逆時針緩慢旋轉(zhuǎn)到底，然后按下電源按鈕即可。11、 打開激光掃描器控制電源，打到自動，然后再打到正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。12、 打開樣品轉(zhuǎn)動和靶控制電源（3個），樣品轉(zhuǎn)動控制打到遠控，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié) 打到正或反。靶自轉(zhuǎn)控制打到遠控，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)打到正或反，靶公轉(zhuǎn)控制打到遠控。13、 打開控溫電源，將“功率限制”鈕打到5點6點之間。14、 打開電腦，打開PLD system軟件。設定好程序，按程序說明進行。15、 將激光器設置5HZ、18KV調(diào)整光路。16、 激光器的參數(shù)設定好后，PLD軟件程序開始運行。17、 激光器開始運行，長膜實驗開始進行。18、 長膜實驗完成后，關閉激光器，停止PLD運行程序，關進氣閥。流量旋 鈕調(diào)0。19、 全部實驗結(jié)束，退出PLD程序。關計算機。將樣品轉(zhuǎn)動與靶控制電源關 閉，激光掃描器電源關閉，關閉左側(cè)機柜總控電源。20、 關閉復合高真空計，控溫電源的旋鈕調(diào)為0，再關開關，再關流量計， 關 鋼瓶的主