BPG 真空規(guī)管中文手冊(cè)

1、IR 090熱陰極電離復(fù)合真空計(jì)使 用 說 明 書BG 804 171 BE目錄產(chǎn)品標(biāo)識(shí)有效范圍使用范圍工作原理注冊(cè)商標(biāo)1安全1.1使用符號(hào)1.2人員素質(zhì)1.3一般安全規(guī)則1.4賠償責(zé)任與保修2技術(shù)參數(shù)3安裝3.1真空連接3.1.1拆卸和安裝電子學(xué)單元3.1.2安裝延伸件3.2電源連接3.2.1與COMBIVAC IT23一起使用3.2.2與其它測(cè)量?jī)x器一起使用4運(yùn)行4.1測(cè)量原理，測(cè)量特性4.2真空計(jì)工作原理4.3除氣4.4顯示器4.5RS232C接口4.5.1功能說明4.5.1.1IR090輸出4.5.1.2IR090輸入5維護(hù)5.1維護(hù)5.2真空計(jì)調(diào)整5.3真空計(jì)清洗5.4安裝障板5.5

2、更換障板5.6更換規(guī)管5.7故障查找6拆卸7產(chǎn)品返修8附件9備件10廢物處理附錄A.測(cè)量訊號(hào)與壓強(qiáng)的關(guān)系B.氣體種類與壓強(qiáng)的關(guān)系污染申報(bào)表參閱本說明書中的章節(jié)，采用符號(hào)（XY）。參閱其它文獻(xiàn)，采用符號(hào)（Z）。產(chǎn)品標(biāo)識(shí)與Leybold Inficon聯(lián)系時(shí)，請(qǐng)標(biāo)明產(chǎn)品標(biāo)牌上給出的信息。將信息復(fù)制在標(biāo)牌的復(fù)印件上。有效范圍本說明書適用于下列件號(hào)的產(chǎn)品不帶顯示器120 90（法蘭DN 25 ISO-KF）120 92（法蘭DN 40 CF-R）帶顯示器120 91（法蘭DN 25 ISO-KF）120 94（法蘭DN 40 CF-R）產(chǎn)品的件號(hào)在標(biāo)牌上標(biāo)明。本公司保留對(duì)說明書不預(yù)先通知的技術(shù)更改權(quán)。

3、使用范圍IR090用于在壓強(qiáng)5×10-101000毫巴范圍內(nèi)非易燃性氣體和氣體混合物的真空測(cè)量。真空計(jì)規(guī)管是SKY Smart真空計(jì)規(guī)管系列的一個(gè)組成部分?？膳cCOMBIVAC IT23或其它測(cè)量?jī)x器一起工作。工作原理在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)，熱陰極電離復(fù)合真空計(jì)有連續(xù)的測(cè)量特性。它的測(cè)量訊號(hào)是對(duì)數(shù)壓強(qiáng)輸出。真空計(jì)的功能包括BA規(guī)熱陰極電離測(cè)量系統(tǒng)（用于p2.0×10-2毫巴）和皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)（用于p5.5×10-3毫巴）。在2.0×10-2毫巴至p5.5×10-3毫巴的交叉壓強(qiáng)范圍內(nèi)，輸出兩個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的混合訊號(hào)。只有當(dāng)皮拉尼測(cè)量系統(tǒng)的壓強(qiáng)低于2.4&

4、#215;10-2毫巴的閾值時(shí)，才能轉(zhuǎn)換至熱陰極測(cè)量系統(tǒng)（防止燈絲燒斷）。當(dāng)壓強(qiáng)超過3.2×10-2毫巴時(shí)切斷電源。注冊(cè)商標(biāo)Combivac Leybold SKY Leybold Inficon1安全1.1使用符號(hào)危險(xiǎn)有關(guān)防止任何人身傷害的信息。警告有關(guān)防止設(shè)備和環(huán)境損傷的信息。 注有關(guān)正確掌握或使用的信息。如不注意可導(dǎo)致設(shè)備故障或局部損傷。提示，建議1.2人員素質(zhì)技術(shù)熟練的人員本說明書中涉及的全部工作必須由經(jīng)過技術(shù)培訓(xùn)、有經(jīng)驗(yàn)的或由產(chǎn)品的最終用戶委派的人員執(zhí)行。1.3一般安全規(guī)則遵守安全使用規(guī)則，對(duì)過程介質(zhì)采取必要的預(yù)防措施。注意材料（第7頁）與過程介質(zhì)之間可能的反應(yīng)。注意用于產(chǎn)

5、品產(chǎn)生的熱導(dǎo)致過程介質(zhì)可能產(chǎn)生的反應(yīng)。全部工作必須在遵守安全使用規(guī)則和必要的預(yù)防措施下進(jìn)行。注意本說明書中的安全要點(diǎn)。在開始工作前，檢查是否有被污染的真空元件。當(dāng)處理被污染的元件時(shí)，遵守有關(guān)的規(guī)程和采取必要的預(yù)防措施。與其它用戶交流安全方面的經(jīng)驗(yàn)。1.4賠償與保修責(zé)任如最終用戶或第三方有以下情況，Leybold Inficon將不承擔(dān)賠償與保修責(zé)任。不理會(huì)本說明書中的要求在不適當(dāng)?shù)臓顟B(tài)下使用本產(chǎn)品對(duì)產(chǎn)品作任何變動(dòng)（修改，更改等）使用不是相應(yīng)產(chǎn)品文件中所列的附件對(duì)所使用的過程介質(zhì)，由最終用戶負(fù)責(zé)。2 技術(shù)參數(shù)測(cè)量測(cè)量范圍（空氣，氮，氧）5×10-10至1000毫巴,連續(xù)精度15%讀值（

6、10-8至10-2毫巴）（5分鐘后穩(wěn)定）重復(fù)性5%讀值（10-8至10-2毫巴）（5分鐘后穩(wěn)定）與氣體種類的關(guān)系®附錄B發(fā)射發(fā)射on閾值2.4×10-2毫巴發(fā)射off閾值3.2×10-2毫巴發(fā)射電流p7.2×10-6毫巴5毫安7.2×10-6p3.2×10-2毫巴25微安發(fā)射電流轉(zhuǎn)換25微安Þ5毫安7.2×10-6毫巴5毫安Þ25微安3.2×10-5毫巴除氣電流約16毫安 / 約4.0瓦（p7.2×10-6毫巴）控制輸入訊號(hào)0伏/24伏，PLC-值，高動(dòng)態(tài)時(shí)長(zhǎng)至多3分，接著自動(dòng)停止在除

7、氣模式中，IR090保持提供測(cè)量值，誤差大于正常運(yùn)行。輸出訊號(hào)輸出訊號(hào)0至10伏測(cè)量范圍0.774伏5×10-10毫巴10伏1000毫巴電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系對(duì)數(shù)，0.75伏/量級(jí)誤差訊號(hào)0.3伏/0.5伏（第25頁）最小負(fù)荷10仟?dú)WRS232C接口波特率9000波特?cái)?shù)據(jù)格式二進(jìn)位數(shù)據(jù)組8數(shù)據(jù)位1停止位無奇偶位無同步交換訊號(hào)值±8伏連接件T×D（傳送數(shù)據(jù)）接腳13R×D（接收數(shù)據(jù)）接腳14GND（外殼接地）接腳15顯示器平板型LCD-點(diǎn)陣，32×16象素帶有本底照明尺寸16.0×11.2毫米2壓強(qiáng)單位毫巴（缺?。?，帕電源危險(xiǎn)真空計(jì)必須連

8、接符合超低電壓接地保護(hù)（SELV-E，按照EN 61010）要求的電源和測(cè)量?jī)x器。連接真空計(jì)必須有保險(xiǎn)絲。真空計(jì)電壓24伏直流（20至28伏）2）最大紋波2 Vpp功率損耗標(biāo)準(zhǔn)0.5安除氣0.8安發(fā)射起始（200毫安）1.4安功率損耗16瓦保險(xiǎn)絲1）1.25 AT規(guī)管電纜電連接件D Sub連接件，15腳，插頭電纜僅用于模擬值無除氣功能4極加屏蔽用于模擬值有除氣功能5極加屏蔽全部功能包括RS232C接口7極加屏蔽電纜長(zhǎng)度，最長(zhǎng)（24伏直流）35毫米（0.25毫米2導(dǎo)線）50毫米（0.34毫米2導(dǎo)線）100毫米（1.0毫米2導(dǎo)線）用于RS232C工作30米真空真空側(cè)的材料不銹鋼，銥，氧化釔，玻璃，

9、NiFe，NiCr，鎢，鉬，銅內(nèi)容積DN 25 ISO-KF 24毫升DN 40 CF-R 34毫升壓強(qiáng)，最大2巴（絕對(duì)）環(huán)境允許溫度儲(chǔ)存-20至70工作0至50烘烤+150（無電子學(xué)單元或 帶延伸件第28頁）相對(duì)濕度（年平均/在60天中）65 / 85%（無凝聚）使用僅室內(nèi)海拔高至2000米NN保護(hù)類型IP 301）COMBIVAC IT23 滿足這些要求2）電源的最低電壓必須隨測(cè)量電纜的長(zhǎng)度等比增加尺寸法蘭DN 25 ISO-KF 測(cè)量毫米重量285克法蘭DN 40 CF-R 測(cè)量毫米重量550克3安裝3.1真空連接注注意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取持真空元件時(shí)采取適當(dāng)措施確

10、保清潔和防止損傷危險(xiǎn)注意：真空系統(tǒng)中有壓力1巴如不正確或不小心地夾緊和打開，可能受到彈開部件的傷害，或受到泄漏的保護(hù)氣體傷害采用可使用工具打開或夾緊的夾具（如軟管卡箍夾環(huán)）危險(xiǎn)注意：電源電壓不正確接地的產(chǎn)品在故障中是極危險(xiǎn)的真空計(jì)必須電連接至接地的真空室。連接件必須符合EN61010的保護(hù)接地要求： CF法蘭滿足這個(gè)要求 KF法蘭的真空計(jì)，使用導(dǎo)體的金屬夾環(huán)真空計(jì)可任何方向安裝。但不允許任何微?；蚰畚镞M(jìn)入測(cè)量室。必須有足夠的安裝空間（®第8頁）。如必須無電子學(xué)單元時(shí)才能連接法蘭，卸下電子學(xué)單元（®第10頁）。建議采用金屬密封的真空法蘭（超密封環(huán) ®第28頁），因

11、為橡膠密封（Vitilan，Viton）可影響測(cè)量精度，釋放氣體于10-6毫巴量級(jí)。真空計(jì)內(nèi)裝有篩網(wǎng)。存在嚴(yán)重污染的應(yīng)用條件下建議安裝選件障板（®第28頁）以防止光和快粒子損壞電極（®第24頁）。規(guī)管可烘烤至150。溫度50以上必須卸下電子學(xué)單元（®第10頁）或安裝（®第11頁）延伸件（附件®第28頁）。步驟1取下保護(hù)蓋維護(hù)時(shí)需要使用保護(hù)蓋2 連接法蘭安裝真空計(jì)時(shí)，注意連接件周圍是否在真空計(jì)安裝后允許插入調(diào)整針桿（®第21頁）。安裝帶有顯示器的真空計(jì)時(shí)注意要便于閱讀顯示器。拆卸和安裝電子學(xué)單元需用工具/材料L型六角板手2.5毫米拆卸a

12、）擰下電子學(xué)單元（2）側(cè)面的內(nèi)六角螺釘（1）b） 卸下電子學(xué)單元，不要扭轉(zhuǎn)它。安裝a）將電子學(xué)單元放置在規(guī)管（3）上（注意接腳（4）的正確位置）。b）將電子學(xué)單元插至機(jī)械止點(diǎn)，并用內(nèi)六角螺釘（1）鎖住它。3.1.2安裝延伸件使用選件延伸件（見第28頁）規(guī)管可在運(yùn)行中烘烤至150（僅在p10-2毫巴，因?yàn)樵诟邷叵缕だ嵋?guī)管測(cè)量不正確）。注注意：上升的熱量如帶有延伸件的電子學(xué)單元位于規(guī)管上方，當(dāng)烘烤時(shí)可因上升的熱量而被損壞。將規(guī)管水平方向安裝。烘烤區(qū)域步驟a）取下電子學(xué)單元（2）（見第10頁）。b）將規(guī)管（3）插入延伸件（6）至機(jī)械止點(diǎn)，注意接腳（4）的正確位置。c）用內(nèi)六角螺釘（7）緊固規(guī)管。d

13、）插入電子學(xué)單元（2）至機(jī)械止點(diǎn)，注意接腳（4a）的正確位置。e）用內(nèi)六角螺釘（1）緊固電子學(xué)單元（2）。3.2電源連接與COMBIVAC IT23一起使用如真空計(jì)與COMBIVAC IT23一起使用需要一根規(guī)管電纜（見第28頁）。將插頭連接真空計(jì)，并用螺絲緊固。電纜另一端的插頭與COMBIVAC IT23連接，并緊固。與其它測(cè)量?jī)x器一起使用真空計(jì)可與其它測(cè)量?jī)x器一起使用在此情況下，需使用單獨(dú)的規(guī)管電纜（預(yù)配置電纜見第28頁）。電纜長(zhǎng)度不超過5米（導(dǎo)體截面0.34毫米2），可在正訊號(hào)輸出（接腳2）與公共接地GND（接腳5）之間測(cè)量，不影響測(cè)量精度。如電纜長(zhǎng)度超過5米，建議在正訊號(hào)輸出（接腳2）

14、與訊號(hào)接地（接腳12）之間進(jìn)行測(cè)量（由于在電源接地線上的功率損失，最大允許電纜長(zhǎng)度的公用模式訊號(hào)約為1.0伏）。步驟1打開電纜合（D-Sub，15-腳，插座）。2 準(zhǔn)備電纜。3 按圖焊接規(guī)管電纜。圖1電連接件接腳1未用接腳2訊號(hào)輸出（測(cè)量訊號(hào)）接腳3未用接腳4未用接腳5電源接地GND 接腳6未用接腳7除氣on，電纜合，焊接側(cè)高動(dòng)態(tài)接腳8電源24伏直流接腳9未用接腳10未用接腳11未用接腳12訊號(hào)接地GND接腳13RS232C，T×D 接腳14RS232C，R×D 接腳15屏蔽外殼GND 警告電源接地GND（接腳5）和屏蔽（接腳15）必須與保護(hù)接地連接。不正確的連接、不正確的

15、極性或不允許的電源電壓將損壞真空計(jì)。4裝回電纜合。5按照測(cè)量?jī)x器連接件裝備電纜的另一端6插入電纜合。用螺釘將電纜合緊固在真空計(jì)上7將電纜的另一端與測(cè)量?jī)x器連接4運(yùn)行當(dāng)供應(yīng)電壓時(shí)，在腳2與腳12之間有測(cè)量訊號(hào)（測(cè)量訊號(hào)與壓強(qiáng)的關(guān)系附錄A）。估計(jì)約10分鐘的穩(wěn)定時(shí)間。一旦真空計(jì)電源on后，不管壓強(qiáng)如何，一直讓它保持on。4.1測(cè)量原理，測(cè)量特性IR090包含兩個(gè)單獨(dú)的測(cè)量系統(tǒng)（熱陰極B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)）。B-A計(jì)B-A計(jì)測(cè)量系統(tǒng)按照Bayard-Alpert原理，設(shè)計(jì)于低x-射線限值。測(cè)量系統(tǒng)原理基于氣體電離。由熱陰極（F）發(fā)射的電子,電離氣體分子，產(chǎn)生的離子與測(cè)量室的壓強(qiáng)成正比。離子收集極（IC

16、）收集它們產(chǎn)生離子流I+ ，并將其輸送至測(cè)量?jī)x器的靜電放大器。離子流的大小與發(fā)射電流Ie 、氣體種類和氣體壓強(qiáng)p有關(guān)，其關(guān)系式為：系數(shù)C代表規(guī)管靈敏度。通常是指對(duì)氮?dú)獾撵`敏度。測(cè)量下限為5×10-10毫巴（金屬密封）。為使靈敏度覆蓋從5×10-10毫巴至10-2毫巴整個(gè)測(cè)量范圍，在高壓強(qiáng)范圍（低真空）使用低發(fā)射電流，低壓強(qiáng)范圍（高真空）使用高發(fā)射電流。發(fā)射電流的轉(zhuǎn)換在壓強(qiáng)降低時(shí)發(fā)生在7.2×10-6毫巴，在壓強(qiáng)升高時(shí)發(fā)生在3.2×10-5毫巴。在轉(zhuǎn)換閾值，IR090可暫時(shí)（2秒）偏離規(guī)定的精度。圖1B-A測(cè)量系統(tǒng)示意圖F熱陰極（燈絲）IC離子收集極EC電

17、子收集極（篩網(wǎng)）皮拉尼計(jì)在一定限值內(nèi)氣體的熱導(dǎo)與壓強(qiáng)有關(guān)。Pirani將這個(gè)物理現(xiàn)象用于壓強(qiáng)測(cè)量。采用自調(diào)整電橋作為測(cè)量電路（見圖2）。傳感元件采用細(xì)的鎢絲。通過適當(dāng)?shù)目刂齐娐穼⒔z電阻（即溫度）保持不變。測(cè)量供應(yīng)給絲的電功率來測(cè)量熱導(dǎo)從而測(cè)量壓強(qiáng)。自調(diào)整電橋的基本原理示于圖2中。圖2電橋電壓U用于測(cè)量氣體壓強(qiáng)，并進(jìn)行進(jìn)一步電處理（線性化，數(shù)字化）。測(cè)量范圍IR090覆蓋從5×10-10毫巴至1000毫巴整個(gè)連續(xù)的測(cè)量范圍。皮拉尼計(jì)始終監(jiān)測(cè)壓強(qiáng)。熱陰極計(jì)（由皮拉尼計(jì)控制）只在壓強(qiáng)低于2.4×10-2毫巴下工作。如被測(cè)量的壓強(qiáng)高于轉(zhuǎn)換閾值，熱陰極計(jì)被關(guān)斷，皮拉尼計(jì)輸出訊號(hào)顯示測(cè)

18、量值。當(dāng)皮拉尼計(jì)的測(cè)量值低于轉(zhuǎn)換閾值（p = 2.4×10-2毫巴）時(shí)，熱陰極計(jì)接通。熱陰極加熱后即輸出測(cè)量值。在5.5×10-3至2.0×10-2毫巴的搭接范圍內(nèi)兩個(gè)計(jì)均輸出訊號(hào)（見圖3）。圖3當(dāng)壓強(qiáng)上升超過閾值（p = 3.2×10-2毫巴）時(shí)，熱陰極計(jì)將被關(guān)斷。輸出將回到皮拉尼計(jì)的讀值。與氣體種類的關(guān)系測(cè)量訊號(hào)與氣體種類有關(guān)。特性曲線對(duì)干燥空氣，氮和氧是正確的。對(duì)其它氣體可轉(zhuǎn)換（見附錄B）。4.2真空計(jì)工作原理規(guī)管測(cè)量電流（B-A計(jì)和皮拉尼計(jì)）由電流/ 頻率轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換成與頻率有關(guān)的測(cè)量讀值。由微處理器產(chǎn)生這個(gè)頻率訊號(hào)的數(shù)字輸出，即總壓強(qiáng)測(cè)量值。這個(gè)

19、值有一個(gè)0至10伏的模擬輸出（腳2 / 腳12），并可通過RS232C接口（腳13 / 腳14 / 腳15）讀出數(shù)字值。帶有顯示器的真空計(jì)（產(chǎn)品號(hào)120 91和120 94）顯示壓強(qiáng)值。通過軟件，輸出壓強(qiáng)值限制于10伏（大氣壓）。除轉(zhuǎn)換測(cè)量訊號(hào)的功能外，微處理器的功能還包括監(jiān)測(cè)發(fā)射電流、基于從兩個(gè)規(guī)管的兩次測(cè)量計(jì)算總壓強(qiáng)、壓強(qiáng)顯示（產(chǎn)品號(hào)120 91和120 94）和通過RS232C接口進(jìn)行通訊。4.3除氣污染注由于污染損壞的真空計(jì)不屬于保修范圍。熱陰極電離真空計(jì)電極系統(tǒng)上的淀積層可導(dǎo)致不穩(wěn)定的測(cè)量讀值。建議在低于7.2×10-6毫巴壓強(qiáng)下（5毫安發(fā)射電流）對(duì)陽極進(jìn)行除氣。根據(jù)應(yīng)用，

20、這功能可手動(dòng)啟動(dòng)或由系統(tǒng)控制器（PLC）自動(dòng)啟動(dòng)。如烘烤未及時(shí)切斷，3分鐘后IR090將自動(dòng)關(guān)斷烘烤。對(duì)于重復(fù)的除氣過程，控制訊號(hào)首先必須從ON（24伏）至OFF（0伏），然后重新ON（24伏）開始除氣。建議在3分鐘除氣后通過系統(tǒng)控制器重新將烘烤OFF，以達(dá)到一個(gè)明確的工作狀態(tài)。除氣過程通過電子轟擊將電子收集極的柵絲加熱至約700。4.4顯示器產(chǎn)品號(hào)為120 91120 94的真空計(jì)內(nèi)裝有LCD-點(diǎn)陣，32×16象素兩行顯示器。第一行顯示壓強(qiáng)值，第二行顯示壓強(qiáng)單位，必要時(shí)將顯示功能和誤差。本底照明通常是綠色，當(dāng)出現(xiàn)故障時(shí)變成紅色。壓強(qiáng)顯示為毫巴（缺?。?、乇或帕。壓強(qiáng)單位可通過RS23

21、2C接口改變（見第20頁）。壓強(qiáng)顯示測(cè)量，壓強(qiáng)單位功能顯示（無）皮拉尼模式E發(fā)射電流25微安E1發(fā)射電流5毫安D除氣R1000毫巴調(diào)整（皮拉尼計(jì)）誤差顯示ok無誤差（本底照明綠色）4皮拉尼計(jì)報(bào)警（本底照明紅色）9皮拉尼計(jì)誤差（本底照明紅色）8熱陰極電離計(jì)誤差（本底照明紅色）內(nèi)部數(shù)據(jù)連接故障（本底照明紅色）4.5RS232C接口通過RS232C接口可傳送數(shù)字測(cè)量數(shù)據(jù)和儀器情況以及設(shè)定儀器參數(shù)。4.5.1功能說明RS232C接口工作于雙重模式。約每20毫秒發(fā)送一個(gè)9字節(jié)的字符串。工作參數(shù)9600波特，設(shè)定值8個(gè)數(shù)據(jù)位1個(gè)停止位無奇偶校驗(yàn)無信號(hào)交換要求接線T×D 腳13R×D腳1

22、4GND 腳15IR090輸出發(fā)送的字符串（幀）是9個(gè)字節(jié)數(shù)據(jù)字符串（字節(jié)1至字節(jié)7）是7個(gè)字節(jié)字符串的格式例：字節(jié)號(hào)數(shù)據(jù)字節(jié)0數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度（始終7）字節(jié)1頁碼（始終5）位字節(jié)2狀態(tài)0發(fā)射狀態(tài)0 = 發(fā)射off1 = 25微安1發(fā)射狀態(tài)2 = 5毫安3 = 除氣2調(diào)整狀態(tài)1當(dāng)1000毫安調(diào)整時(shí)3切換位，用每個(gè)已知的字符串改變4單位 0 = 毫巴 1 =除氣5單位2 = 帕字節(jié)3誤差4誤差5 = 皮拉尼計(jì)未調(diào)整好5誤差8 = 電離計(jì)誤差6誤差9 = 皮拉尼計(jì)故障7誤差字節(jié)4測(cè)量高-字節(jié)字節(jié)5測(cè)量低-字節(jié)字節(jié)6軟件版號(hào)（缺省輸出）字節(jié)7規(guī)管型號(hào)（IR090 ：始終10）字節(jié)8數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和壓

23、強(qiáng)計(jì)算p / 毫巴p / 乇p / 帕例（見上）高-字節(jié) = 242，低-字節(jié) = 48p 毫巴= 1000毫巴IR090輸入傳送至真空計(jì)的指令，發(fā)送5個(gè)字節(jié)的字符串（幀）（無CR）。字節(jié)1至字節(jié)3組成數(shù)據(jù)字符串。字符串的格式字節(jié)0數(shù)據(jù)字符串長(zhǎng)度（始終3）字節(jié)1功能字節(jié)2地址字節(jié)3數(shù)據(jù)字節(jié)4數(shù)據(jù)字符串的校驗(yàn)和下列字符串是可能的：字節(jié)號(hào)01234在顯示中設(shè)定單位為毫巴31662078在顯示中設(shè)定單位為乇31662179在顯示中設(shè)定單位為帕31662280電源-故障-安全儲(chǔ)存當(dāng)前單位3326262156將除氣on（3分鐘后將它off）316931481在3分鐘前將除氣off316931052145

24、維護(hù)5.1維護(hù)危險(xiǎn)注意：污染的部件污染的部件可損害您的健康。在工作前，檢查工作部件是否已污染。按照相關(guān)的規(guī)程，采取必要的措施處理這些部件。5.2真空計(jì)調(diào)整真空計(jì)在出廠前已校準(zhǔn)。通過使用中不同的氣候條件、安裝位置、老化或污染（見17頁）和規(guī)管更換（見25頁），可產(chǎn)生特性曲線的偏移，必須重新校準(zhǔn)。僅皮拉尼計(jì)可以調(diào)整，只在大氣壓下調(diào)整。按下按鈕數(shù)字值和模擬值可在大氣壓下調(diào)整至10伏。在下列情況下，調(diào)整是必須的：在大氣壓下輸出訊號(hào)10伏或顯示器讀值大氣壓在放空時(shí)輸出電壓在測(cè)量壓強(qiáng)達(dá)到大氣壓之前達(dá)到10伏1）（帶顯示器的真空計(jì)在大氣壓出現(xiàn)誤差指示“5”（皮拉尼規(guī)管報(bào)警見18頁）。1）由軟件將輸出電壓限制

25、于10伏。需用工具針桿約Ø1.3×50毫米（例如，曲別針）步驟1將真空計(jì)在大氣壓下工作約10分鐘。如真空計(jì)工作在電離計(jì)范圍前，預(yù)期需冷卻時(shí)間約30分鐘。（真空計(jì)溫度 = 室溫）。2 插入針桿通過標(biāo)志全量程的開口，按下內(nèi)部的按鈕約5秒鐘。當(dāng)按下約4秒鐘時(shí)，帶顯示器的真空計(jì)將指示讀值“1000毫巴”和功能“A”。調(diào)整將自動(dòng)進(jìn)行并在另一個(gè)4秒鐘后停止。功能“A”的指示消失。5.3真空計(jì)清洗電極系統(tǒng)上的少量淀積物可通過陽極除氣去除（除氣見第17頁）。在嚴(yán)重污染的情況下可容易地更換障板（見第24頁）。如規(guī)管被嚴(yán)重污染必須更換不能清洗（見第25頁）。外殼的清洗用濕布即可。不要使用腐蝕性

26、的或磨損性的清洗劑。注不要讓任何液體進(jìn)入規(guī)管。在再次使用前讓規(guī)管保持良好的干燥狀態(tài)。5.4安裝障板在嚴(yán)重污染的過程中為保護(hù)電極不受光或快速微粒的打擊，建議用選件障板來代替篩網(wǎng)（見第28頁）。注注意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無纖維手套和使用清潔的工具。需用工具/材料障板（見28頁）鑷子桿子（如鉛筆）步驟a）用鑷子小心地取出篩網(wǎng)。b）在規(guī)管開口上小心地放入障板。c）在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。5.5更換障板在嚴(yán)重污染的情況下，可容易地更換障板。注注意：對(duì)污染靈敏的區(qū)域污染將加長(zhǎng)抽空時(shí)間。戴上清潔的無纖維手套和使用清潔的工具。需用工具/材料新障板（見第28頁）

27、螺絲刀，1號(hào)桿子（如鉛筆）步驟a）用螺絲刀小心地取出障板。b）在規(guī)管開口上小心地放入新的障板。c）在中心位置用桿子將障板往下壓，直至它被阻擋住。5.6更換規(guī)管以下情況必須更換規(guī)管：規(guī)管被嚴(yán)重污染時(shí)規(guī)管損壞時(shí)，例如燈絲已斷。需用工具/材料L型六角板手，2.5毫米更換用規(guī)管（見第28頁）步驟a）取下規(guī)管（見第26頁）b）從損壞的規(guī)管上取下電子學(xué)單元，裝在新的規(guī)管上（見第10頁）c）調(diào)整真空計(jì)（見第21頁）。5.7故障查找問題可能原因解決方法測(cè)量訊號(hào)0.2伏連接電纜損壞或未插好檢查連接電纜測(cè)量訊號(hào)始終0.29伏無電源電壓將電源on真空計(jì)在不確定的條件下將真空計(jì)off后再on（復(fù)位）測(cè)量訊號(hào)0.3伏（

28、顯示：誤差 = 8）熱陰極計(jì)誤差（規(guī)管故障）更換規(guī)管（見第25頁）測(cè)量訊號(hào)0.5伏（顯示：誤差 = 9）皮拉尼計(jì)誤差（規(guī)管故障）更換規(guī)管（見第25頁）測(cè)量訊號(hào)0.5伏電子學(xué)單元未正確安裝在規(guī)管上檢查連接顯示：無訊號(hào)內(nèi)部數(shù)據(jù)連接不工作將真空計(jì)off ，5秒鐘后再on更換電子學(xué)單元在出現(xiàn)誤差的情況下，首先將電源off ，5秒鐘后再on ，可能會(huì)有所助益。6拆卸危險(xiǎn)注意：污染的部件污染的部件可損害您的健康。在工作前，檢查工作部件是否已污染。按照相關(guān)的規(guī)程，采取必要的措施處理這些部件。注注意：真空元件灰塵與損傷將影響真空元件的功能取拿真空元件時(shí)采取適當(dāng)措施確保清潔和防止損傷步驟1將真空系統(tǒng)放空。2將真

29、空計(jì)退出運(yùn)行。3 拔下連接電纜插頭。4從真空系統(tǒng)中卸下真空計(jì)。5蓋上保護(hù)蓋。7產(chǎn)品返修警告注意：發(fā)送已污染的產(chǎn)品產(chǎn)品送Leybold Inficon返修應(yīng)無危害性物質(zhì)（例如：放射性、毒性、腐蝕性或微生物）。遵守有關(guān)國家和公司的規(guī)定，和附一份完整的污染申報(bào)表（見35頁）無完整的污染申報(bào)表的產(chǎn)品將返回發(fā)送者。8附件訂貨號(hào)24伏直流電源 / RS232C 線按要求（121 06）延伸件，100毫米按要求（127 06）COMBIVAC IT23 ，控制器163 80規(guī)管電纜帶D sub連接件（真空計(jì)） - 另一端未規(guī)定，10米規(guī)管電纜 IR090 IT23，10米163 69163 83障板 DN 25 ISO-KF / DN 40 CF-R121 07超密封圈外支撐環(huán)超密封圈的夾環(huán)883 75883 76882 779備件訂購備件時(shí)，請(qǐng)?zhí)峁┫铝行畔ⅲ簝x器標(biāo)牌上的全部信息按備件