濕法刻蝕的工藝優(yōu)化實(shí)施方案

1、 項(xiàng)目實(shí)施的目的意義：項(xiàng)目實(shí)施的目的意義： 太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)化效率是衡量一個(gè)光伏企業(yè)技術(shù)水平的重要標(biāo)志，轉(zhuǎn)化效率的提高也是對(duì)硅材料相對(duì)成本的降低，濕法刻蝕的使用能明顯提高電池轉(zhuǎn)換效率提高產(chǎn)品質(zhì)量，可大幅度增加企業(yè)的效益。 實(shí)施內(nèi)容實(shí)施內(nèi)容 通過(guò)濕法刻蝕的采用，進(jìn)而提高并聯(lián)電阻、提升電池的短路電流、提高開(kāi)路電壓，并最終達(dá)到提高電池轉(zhuǎn)換效率的目的。什么是濕法刻蝕 通過(guò)滾輪和液體張力使硅片漂浮在刻蝕液液面上，與刻蝕液接觸的硅片背面和周邊通過(guò)以下反應(yīng)溫和地被刻蝕掉，能夠同時(shí)達(dá)到周邊刻蝕和背面拋光的效果。Si+2HNO3+6HF=H2SiF6+2HNO2+2H2OSi+4HNO2+6HF=H2SiF6+4N

2、O+4H2O上片刻蝕槽H2SO4/HNO3/HF水噴淋堿洗槽NaOH水噴淋去PSG槽HF水噴淋下片吹干風(fēng)刀 為什么要對(duì)電池片進(jìn)行刻蝕為什么要對(duì)電池片進(jìn)行刻蝕 在擴(kuò)散的過(guò)程中，硅片的外圍表面導(dǎo)電類(lèi)在擴(kuò)散的過(guò)程中，硅片的外圍表面導(dǎo)電類(lèi)型都變成了型都變成了n型。此工序就是刻蝕硅片邊緣型。此工序就是刻蝕硅片邊緣，以使前表面與背表面的，以使前表面與背表面的n型層隔斷，防止型層隔斷，防止電池做出來(lái)以后正負(fù)極出現(xiàn)短路。電池做出來(lái)以后正負(fù)極出現(xiàn)短路。 腐蝕深度影響絕緣電阻，進(jìn)而影響電池參數(shù)（主要是轉(zhuǎn)換效率和并聯(lián)電阻等）。廠家給了一個(gè)腐蝕深度的大概范圍，經(jīng)過(guò)我們一段時(shí)間的試驗(yàn)摸索，最終將腐蝕深度確定在了1.20

3、.2m的范圍，并且同時(shí)絕緣電阻保持在1K以上。 提高并聯(lián)電阻提高并聯(lián)電阻效率16.2 漏電流0.3A效率15.3 漏電流12.3A硫酸濃度調(diào)節(jié)通過(guò)平衡電池效率和23倉(cāng)比例，我們將硫酸的量定在了55L。 1，相比等離子刻蝕，濕法刻蝕采用刻蝕液對(duì)周邊進(jìn)行腐蝕，有效保護(hù)了PN結(jié)，增大了有效受光面積； 2，濕法刻蝕對(duì)硅片背面進(jìn)行了拋光，增加了光在電池內(nèi)部的反射，有效提高了電池對(duì)長(zhǎng)波光的吸收。提高短路電流提高短路電流 光吸收公式：GNe x 為光在介質(zhì)中的吸收系數(shù) N為入射光的光通量 x為光在被吸收前所通過(guò)的距離 1100nm的光在硅中穿行600 m后僅被吸收了18！ 如果能對(duì)硅片背面進(jìn)行拋光，能增加光

4、在電池內(nèi)通過(guò)的距離，增加被吸收幾率。自動(dòng)補(bǔ)液量的調(diào)節(jié) 我們對(duì)自動(dòng)補(bǔ)液（HF、HNO3）進(jìn)行了調(diào)整，調(diào)節(jié)后的刻蝕液能有效地將電池背面拋光 在確定硝酸氫氟酸比例之后經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間對(duì)于腐蝕量的跟蹤，調(diào)整補(bǔ)液頻率和補(bǔ)液量使得現(xiàn)在的腐蝕量能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定在最佳值。 拋光前拋光后補(bǔ)液量調(diào)整之前腐蝕量變化（2008.06.042008.06.09）補(bǔ)液量調(diào)整之后腐蝕量變化（2008.06.302008.07.02） 關(guān)于碎片率 設(shè)備運(yùn)行初期，濕法刻蝕碎片率較高，約為1。經(jīng)分析，碎片主要來(lái)源于以下兩個(gè)方面：1，設(shè)備滾輪較為粗糙，各個(gè)部件磨合不夠，硅片經(jīng)多次摩擦碎裂2，設(shè)備內(nèi)部氣壓分布不同于我們以往使用過(guò)的設(shè)備，個(gè)別

5、地方硅片被氣流吹起導(dǎo)致卡片 第一種情況經(jīng)過(guò)大規(guī)模生產(chǎn)之后，設(shè)備各個(gè)部件通過(guò)磨合，這方面的碎片有所下降 第二種情況通過(guò)設(shè)備和工藝人員仔細(xì)的觀察和大膽心細(xì)的嘗試，通過(guò)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，調(diào)整風(fēng)刀壓力和吹風(fēng)方向以及在適當(dāng)位置增減滾輪，成功消除了卡片現(xiàn)象，碎片率大為下降濕法刻蝕對(duì)電池參數(shù)的貢獻(xiàn)濕法刻蝕對(duì)電池參數(shù)的貢獻(xiàn)結(jié)論 濕法刻蝕能有效刻蝕周邊，達(dá)到邊緣絕緣效果的同時(shí)避免了等離子刻蝕中的損傷 濕法刻蝕對(duì)電池背面的清洗拋光作用能有效提高電池的短路電流和開(kāi)路電壓，從而提高電池效率 濕法刻蝕對(duì)于設(shè)備和外圍有十分苛刻的要求，需要技術(shù)人員對(duì)其實(shí)時(shí)監(jiān)控并作出調(diào)整 現(xiàn)階段濕法刻蝕片的23倉(cāng)比例稍高，還需要我們的共同努力進(jìn)行改善 經(jīng)濟(jì)效益：經(jīng)濟(jì)效益：提高轉(zhuǎn)化效率0.1個(gè)百分點(diǎn)，按照電池制造部每天16萬(wàn)片的156 156電池產(chǎn)量、每瓦25元計(jì)算，每年可增加24.340.0011600003012=1.4MW，2524.340