氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明

1、氦質(zhì)譜檢漏儀使用說明書資產(chǎn)編號(hào)： 型號(hào)：ZQJ-542一、設(shè)備組成及工作原理1、設(shè)備組成框圖氦質(zhì)譜檢漏儀加壓罐雙級(jí)旋片真空泵電阻真空計(jì)氦氣瓶重氟油粗檢裝置檢漏盒檢漏托盤氦氣噴搶2、設(shè)備工作原理檢漏儀內(nèi)部組成：氦質(zhì)譜檢漏儀主要由分子泵、質(zhì)譜室、組合閥體，機(jī)械泵以及控制電路板等組成。檢漏儀的工作原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。ZQJ-542檢漏儀采用180度磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室，鎢制燈絲發(fā)射出來的電子經(jīng)過加速進(jìn)入離化室，在離化室內(nèi)與殘余氣體分子和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入離化室的氦氣互相碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，由

2、于不同質(zhì)量數(shù)（m/e）的離子其偏轉(zhuǎn)半徑不同，這樣就將不同的離子分離開了。由于磁場參數(shù)是固定的，只有調(diào)節(jié)加速壓力就可以改變氦離子的偏轉(zhuǎn)半徑，使氦離子正好通過隔離板上的窄縫打到放大器入口，這樣就使氦離子（m/e=4）與其他離子分開了。氦離子流正比于容器中氦分壓。因此，對(duì)氦離子的測量可以用來確定被檢件的漏率。二、設(shè)備工作外部條件 氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V 頻率50HZ 額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場所，特別是儀器的電源插座，應(yīng)符合要求，要有良好的地線，左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好檢漏儀，以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。檢漏儀的底部有安裝孔，可以將其固定在桌子或支

3、架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠，機(jī)械泵油必須用專用的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。三、設(shè)備工作外部條件接通操作氦質(zhì)譜檢漏儀 圖1檢漏儀的機(jī)械泵有足夠的機(jī)械泵油；保證機(jī)體內(nèi)分子泵、機(jī)械泵、真高空組件各連接順暢；電源線線路沒有破損，有良好的接地。檢漏儀要放平穩(wěn)，不能傾斜，檢漏儀底面要有一層防靜電布。加壓罐壓氦裝置 圖2加壓罐壓氦裝置的外部接通順序：寫出設(shè)備外部條件的接通先后順序，操作方法，具體的參數(shù)等。1、把加壓罐、電阻真空計(jì)、真空泵、氦氣瓶按要求連接。2、檢查加壓罐的密封圈是否有損害，加壓罐進(jìn)出閥門是否關(guān)閉不了；真空泵是否有足夠的泵油，氣鎮(zhèn)閥旋鈕是否處在關(guān)閉的位置；氦氣瓶減壓閥是否漏氣

4、現(xiàn)象。3、確認(rèn)所有應(yīng)該注意的事項(xiàng)沒有問題之后可以接電源通電。 重氟油粗檢 圖31、 查看溫度檢測線路和加熱板線路沒有破損。2、 在油箱中加入適量的重氟油3、 插上電源線，設(shè)定重氟油的溫度進(jìn)行加熱處理，打開照明燈。當(dāng)溫度達(dá)到要求即可用來粗檢產(chǎn)品。四、詳細(xì)操作啟動(dòng)檢漏儀1、 連接電源插頭，打開檢漏儀開關(guān)。2、 機(jī)械泵開始啟動(dòng)。3、 面板上的指示燈亮。4、 液晶屏（LCD）顯示如下信息：PLEASE WAITHIGH. AC PUMP: 1%當(dāng)分子泵達(dá)到正常轉(zhuǎn)速（100%）后，LCD顯示：PLEASE WAIT00:09PLEASE WAITHIGH. AC PUMP: OKFILAMENT RAM

5、P UP #2當(dāng)燈絲檢測、加電完畢后，系統(tǒng)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)：READY FOR CYCLEINLET VENT: ON如果檢漏儀存放一段時(shí)間后的啟動(dòng)如果檢漏儀長時(shí)間不用后，再次開機(jī)會(huì)增加一額外的啟動(dòng)時(shí)間用來排出系統(tǒng)內(nèi)的氣體。此時(shí)屏幕顯示如下圖所示：PLEASE WAITStorage days:Delay(mini:s): 08:40ABORT? PRESS RESET檢漏方法概述根據(jù)被檢件和測量精度要求，選擇合適的測量方法，如下圖4所示被檢件可以被抽真空？被檢件可以被連接在真空管路上？ 是 是全檢（背壓法）被檢件可以被抽真空？ 是半檢漏（噴氦法）（一）半檢漏（噴氦法）的詳細(xì)步驟：1、插上電源，打

6、開檢漏儀總開關(guān)。等待2到3分鐘，當(dāng)聽到一陣風(fēng)鳴聲之后說明檢漏儀已完全啟動(dòng)。2、查看檢漏儀裝置確保檢漏參數(shù)未被更改，檢漏儀運(yùn)行正常。打開檢漏儀盲孔，選擇合適大小的檢漏托盤和密封橡膠板。用無塵布沾上酒精擦拭下密封孔處，把檢漏托盤裝在檢漏口上，在放密封橡膠板時(shí)也要用沾上酒精的無塵布擦拭一遍；然后涂上一層高真空硅脂；最后密封橡膠板對(duì)準(zhǔn)檢漏托盤中間的小孔緊密貼合放在檢漏托盤上。3、如圖把組件未封蓋面放在檢漏孔的正上方處，手指輕輕的按壓組件背面。在組件的四周面用沾有酒精的棉簽涂上一層，然后點(diǎn)擊檢漏按鈕進(jìn)行漏率檢測。等漏率值穩(wěn)定之后，拿裝好氮?dú)獾膰姌尡M可能的靠近組建前后端子處一個(gè)個(gè)的進(jìn)行噴氣，這是漏率值都會(huì)

7、有相應(yīng)的變化。如果在報(bào)廢點(diǎn)之內(nèi)則說明密封性合格，如若有報(bào)警聲響則說明該點(diǎn)密封性不合格需要返修。4、組件檢完之后再按下檢漏按鈕當(dāng)待機(jī)按鈕燈亮之后即可取下組件。(二)全檢（背壓法）1、由于組件在加壓罐和檢漏盒中會(huì)受到一定的壓力沖擊，因此要用一張無塵紙包裹住組件以免碰傷和組件內(nèi)部元件受到?jīng)_擊。2、全檢是要把產(chǎn)品先放在充滿氦氣的加壓罐中施加絕對(duì)壓力0.2Mpa的壓力加壓4h。加壓罐裝置如下圖所示：3、在檢漏儀的檢漏孔處把檢漏盒裝好，把組件放入檢漏盒中蓋好蓋板。進(jìn)行檢漏。檢漏過程中不能揭開蓋板。4、將在檢漏儀上檢漏合格的組件，還需要經(jīng)過氟油檢漏裝置進(jìn)行進(jìn)一步的檢漏。主要原因是擔(dān)心有些組件的漏率合格在檢漏

8、儀抽真空時(shí)，如果產(chǎn)品有很大的漏孔，會(huì)把產(chǎn)品中泄露的氦氣也抽走，從而影響檢測的結(jié)果因此才進(jìn)行氟油粗檢。氟油粗檢的時(shí)候通過肉眼觀察氣泡的泄露情況即可最終判斷該組件的漏率是否合格。5、氟油檢漏之后，帶上高溫手套把組件從氟油中拿出來，冷卻。寫出設(shè)備的詳細(xì)操作步驟，列出典型的工藝參數(shù)設(shè)置；如果需要編制程序，寫出簡要的編程過程和要領(lǐng)。1、2、五、設(shè)備工作外部條件關(guān)斷操作（一）關(guān)閉檢漏儀儀器可以在任何情況關(guān)閉，但是建議如果檢漏儀長時(shí)間不用，需要遵循下面的步驟進(jìn)行關(guān)閉！1、 在檢漏口上堵上盲板。2、 按下檢漏按鈕，使檢漏儀處于檢漏狀態(tài)。3、 等到漏率達(dá)到最小可檢漏率狀態(tài)。4、 確認(rèn)放氣閥處于手動(dòng)關(guān)閉。5、 按

9、下檢漏鍵停止檢漏。6、 關(guān)閉檢漏開關(guān)。（二）重氟油檢漏關(guān)閉照明，加熱拔下插頭切斷電源；當(dāng)重氟油檢漏長期不用時(shí)可等油冷卻之后重新裝入油桶里儲(chǔ)存。（三）加壓罐工作完成后關(guān)閉氦氣減壓閥，并把減壓閥兩個(gè)表中的氣體排盡。六、外部工作條件異常處理1、氣源供應(yīng)不足時(shí)檢查氣瓶是否用完，還是有泄露情況，及時(shí)解決。2、真空泵不能正常運(yùn)行，檢查泵油其否足夠，不足時(shí)及時(shí)添加。七、操作安全注意事項(xiàng)1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。八、日常保養(yǎng)及故障處理 設(shè)備日常保養(yǎng)：1、 定期檢查