電子材料環(huán)保型水基清洗劑的研制工作報告

1、電子材料環(huán)保型水基清洗劑的研制工作總結報告一、 概述1、項目來源二00八年宜春市科技計劃項目。2、設計思想依據(jù)隨著科學技術的進步,微電子行業(yè)取得了迅速的發(fā)展,集成電路是信息產業(yè)群的核心和基礎。建立在集成電路技術進步基礎上的全球信息化、網(wǎng)絡化和知識經(jīng)濟浪潮，使集成電路產業(yè)的戰(zhàn)略地位越來越重要，對國民經(jīng)濟、國防建設和人民生活的影響也越來越大。因此，發(fā)展我國集成電路產業(yè)是推動國民經(jīng)濟信息化的重要保證，是信息產業(yè)發(fā)展的重中之重。集成電路市場的巨大發(fā)展必然驅動作為集成電路生產過程中必不可少的易耗材料市場的蓬勃發(fā)展，作為微電子產品加工過程中重要消耗材料之一的清洗劑，有著巨大的市場。3、技術現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢技

2、術現(xiàn)狀：對ULSI（特大規(guī)模集成電路）硅襯底、電子玻璃及LCD屏等表面上的金屬離子、有機、無機雜質和固體粒子清洗，傳統(tǒng)電子清洗行業(yè)廣泛使用破壞臭氧層物質，如三氟三氯乙烷（CFC-113）和1,1,1-三氯乙烷等，隨著中國清洗行業(yè)ODS整體淘汰計劃的實施，這類清洗劑被逐步淘汰。清洗行業(yè)開始使用水基清洗劑，多數(shù)是進口（日本、美國）產品，但在國內還沒有較好的替代產品，本省更是空白。本項目產品的研制成功，進入市場后，對進口產品會形成一定的競爭壓力。發(fā)展趨勢：我國集成電路產業(yè)經(jīng)過30多年的發(fā)展，尤其是“七五”以來，我國加強了集成電路產業(yè)的建設，初步形成了7個芯片生產骨干企業(yè)、幾十個封裝廠、百多家設計公司

3、，以及若干個關鍵專用材料和設備制造廠構成的產業(yè)群體。預期未來幾年，國內IC市場將維持30%以上的增長率。半導體前三大應用領域分別為資訊、通信和消費性電子，中國在這些領域有極高的增長率。依據(jù)中國證券報報導，因外資企業(yè)大量將生產基地移往大陸，使大陸成為全球重要生產基地。由于市場發(fā)展?jié)摿薮?，再加上中國政府重點扶持，促使中國半導體市場快速發(fā)展。集成電路市場的巨大發(fā)展必然驅動作為集成電路生產過程中必不可少的易耗材料市場的蓬勃發(fā)展，而本公司正是瞄準了這塊市場，并開發(fā)具有國內領先水平的電子材料環(huán)保型水基清洗劑產品。隨著技術的進步和環(huán)保要求的提出，新型、高效、專業(yè)、環(huán)保的清洗產品是產業(yè)的發(fā)展趨勢，具有廣闊的

4、市場發(fā)展前景，是今后研究和發(fā)展的方向。二、 本課題研究的主要內容主要圍繞完全可以代替微電子用的氟里昂、三氯乙烷等ODS清洗劑為目標，選擇優(yōu)質的環(huán)保原料，科學配方，研制出能夠有效地清洗ULSI（特大規(guī)模集成電路）硅襯底、電子玻璃及LCD屏等固體表面上的金屬離子、有機、無機雜質和固體粒子，與同類產品相比具有清洗時間短、滲透力強、濃縮度高、使用方便、安全、無毒、對人體無害、對環(huán)境無污染、對大氣臭氧層無破壞作用等優(yōu)點的電子材料環(huán)保型水基清洗劑。三、 結論課題組人員經(jīng)過兩年的共同努力，主要圍繞電子材料環(huán)保型水基清洗劑為目標，展開了對電子材料環(huán)保型水基清洗劑的配方和清洗能力的研究，攻克了多道難題，成功地研

5、制出電子材料環(huán)保型水基清洗劑，經(jīng)過試銷后，已經(jīng)得到了客戶的好評，完成了項目合同書的各項指標，主要技術指標處于國內領先水平。技術創(chuàng)新由于采用了離子-非離子型表面活性劑、非離子化合物的復配方案的技術創(chuàng)新，選擇了新型脫脂效果較好、并且濁點較高、溫和、綠色環(huán)保、鈉離子含量低的FMEE（脂肪酸甲酯乙氧基化物）、APG（烷基多苷）表面活性劑。研制出了電子材料環(huán)保型水基清洗劑，不含磷酸鹽和亞硝酸鹽，生物降解性能好，并且具有清洗效率高、清洗時間短、滲透力強、濃縮度高、使用方便、安全、無毒、對環(huán)境無污染，對大氣臭氧層無破壞作用，由于金屬離子含量低，PH值為中性，有效地解決了LCD清洗中的電極腐蝕問題等優(yōu)點，與同

6、類產品比較，更為突出的是：本清洗劑為中性產品，經(jīng)過清洗后的廢液不需要另行再處理，可以直接排放，既符合國家的產業(yè)政策（節(jié)能減排），又可為企業(yè)節(jié)約成本。技術指標完成情況對比：指標名稱項目計劃數(shù)項目完成數(shù) 山東大學日本花王鈉離子含量：ppm414042032000密度：（20 g/cm3）1.121.008PH值：97.11011滲透力：5061.46060清洗率：%99.799.798.096.0濃縮度20：17：11.1：1項目產品經(jīng)江西省分析測試中心和上海有機化學研究所對電子材料環(huán)保型水基清洗劑的檢測，通過以上數(shù)據(jù)對比，可以看出各項指標均達到或超過項目的計劃數(shù)。與同類產品相比，各項指標都處于國內領先水平。經(jīng)濟指標完成情況指標名稱項目計劃數(shù)項目完成數(shù)項目達產年生產能力（噸）100032800銷售收入（萬元）