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1、目錄第一章基本光學(xué)測試技術(shù)第二章光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直第三章光學(xué)測角技術(shù)第四章:光學(xué)干涉測試技術(shù)12第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評測15P1'P2'第一章基本光學(xué)測試技術(shù)? 對準(zhǔn)、調(diào)焦的定義、目的;對準(zhǔn)又稱橫向?qū)?zhǔn),是指一個對準(zhǔn)目標(biāo)(?)與比較標(biāo)志(?)在垂直瞄準(zhǔn)軸 (?)方向像的重合或置中。例:打靶、長度度量人眼的對準(zhǔn)與未對準(zhǔn):PiP2對準(zhǔn)的目的:1.瞄準(zhǔn)目標(biāo)(打靶);2.精確定位、測量某些物理量(長度、角度度量)。調(diào)焦又稱縱向?qū)?zhǔn),是指一個目標(biāo)像(?)與比較標(biāo)志(?)在瞄準(zhǔn)軸(?)方向的重合。 人眼調(diào)焦:調(diào)焦的目的:1.使目標(biāo)與基準(zhǔn)標(biāo)志位于垂直于瞄準(zhǔn)軸方向的同一個面上,也就是使二者位
2、 于同一空間深度;2. 使物體(目標(biāo))成像清晰;定焦。3. 確定物面或其共軛像面的位置? 人眼調(diào)焦的方法及其誤差構(gòu)成; 常見的調(diào)焦方法有清晰度法和消視差法。清晰度法是以目標(biāo)與比較標(biāo)志同樣清晰為準(zhǔn)。調(diào)焦誤差是由于存在幾何焦深和物理 焦深所造成的。消視差法是以眼鏡在垂直平面上左右擺動也看不出目標(biāo)和標(biāo)志有相對橫移為準(zhǔn)的。 誤差來源于人眼的對準(zhǔn)誤差。? 對準(zhǔn)誤差、調(diào)焦誤差的表示方法; 對準(zhǔn)誤差的表示法(消視差法特點: 可將縱向調(diào)焦轉(zhuǎn)變?yōu)闄M向?qū)?zhǔn); 可通過選擇誤差小的對準(zhǔn)方式來提高調(diào)焦精確度; 不受焦深影響):人眼、望遠系統(tǒng)用張角表示;調(diào)焦誤差的表示法顯微系統(tǒng)用物方垂軸偏離量表示; :人眼、望遠系統(tǒng)用視
3、度表示;顯微系統(tǒng)用目標(biāo)與標(biāo)志軸向間距表示;? 常用的對準(zhǔn)方式;常見的對準(zhǔn)方式有壓線對準(zhǔn),游標(biāo)對準(zhǔn),夾線對準(zhǔn),叉線對準(zhǔn),狹縫叉線對準(zhǔn)或狹 縫夾線對準(zhǔn)。? 光學(xué)系統(tǒng)在對準(zhǔn)、調(diào)焦中的作用;提高對準(zhǔn)、調(diào)焦精度,減小對準(zhǔn)、調(diào)焦誤差。? 提高對準(zhǔn)精度、調(diào)焦精度的途徑;使用光學(xué)系統(tǒng)進行對準(zhǔn),調(diào)焦;光電自動對準(zhǔn)、光電自動調(diào)焦; ? 光具座的主要構(gòu)造;平行光管(準(zhǔn)直儀);帶回轉(zhuǎn)工作臺的自準(zhǔn)直望遠鏡(前置鏡);透鏡夾持器;帶目鏡測微器的測量顯微鏡;底座? 平行光管的用途、簡圖;作用是提供無限遠的目標(biāo)或給出一束平行光。三種自準(zhǔn)直目鏡的光路簡圖;高斯式自準(zhǔn)直目鏡如下圖 1虛線框中所示:平而鏡雙分劃板式自準(zhǔn)直目鏡如下圖
4、 3虛線框中所示:?自準(zhǔn)直望遠鏡、自準(zhǔn)直顯微鏡(構(gòu)成、光路簡圖);自準(zhǔn)直望遠鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和平面鏡構(gòu)成,由不同的自準(zhǔn)直目鏡構(gòu)成的自準(zhǔn)直望遠鏡的光路簡圖如圖1、2、3 所示自準(zhǔn)直顯微鏡由自準(zhǔn)直目鏡,物鏡和球面鏡構(gòu)成。 將自準(zhǔn)直望遠鏡中的平面鏡換成球面鏡即是自準(zhǔn)直顯微鏡。? 放大率法的原理簡圖及測量裝置; 原理簡圖:平行光管物鏡被測物鏡f' 一八y? 放大率法焦距測量中的注意事項;負透鏡(測量顯微鏡工作距離)光源光譜組成(色差)被測鏡頭像質(zhì)近軸焦距與全口徑焦距(球差)、測量顯微鏡 NA自準(zhǔn)直的概念; 獲得平行光束第二章 光學(xué)準(zhǔn)直與自準(zhǔn)直? 準(zhǔn)直、準(zhǔn)直:自準(zhǔn)直:利用光學(xué)成像原理,使物和
5、像都在同一個平面上并重合的方法? 準(zhǔn)直的目的、用途;獲得平行光束? 實現(xiàn)準(zhǔn)直的方法;激光束:很好的方向性、很高的亮度,是直線性測量的理想光束 進一步提高激光束準(zhǔn)直性(平行性),可采用激光束的準(zhǔn)直技術(shù)自準(zhǔn)直儀一般指自準(zhǔn)直望遠鏡和自準(zhǔn)直顯微鏡。? 實現(xiàn)自準(zhǔn)直的方法;自準(zhǔn)直望遠鏡法測量平行差的原理; 實質(zhì)上是測量透明玻璃平板平行度的自準(zhǔn)直原理。白準(zhǔn)fi望遠鏡讀數(shù)減半? 什么是第一平行差、第二平行差;第一光學(xué)平行差q:棱鏡展開后的玻璃板在主截面內(nèi)的不平行度誤差,是由于棱鏡主截面內(nèi)的角度誤差引起的。第二光學(xué)平行差 q I:棱鏡展開后的玻璃板在垂直于主截面方向上的不平行度誤差,是由棱鏡的各個棱不平行而造成
6、的,也稱棱差或塔差。II645直角棱鏡DI-90光學(xué)平行差測量原理;BCA 2n aqC'a =2 也5°s *6 W2 ;-Q'l2II 1 11 11 1 1461 . I.l 1 II 1 1 N 1 1 II8Ii,|131 r 1 1 11 r 161 1 1 1 j 11 141 r 1 1 1 1 11 1 1 12:2-41h 6二 8A-II452n45B- 45°1? 自準(zhǔn)直顯微鏡法測量球面曲率半徑的原理、簡圖; 凹面鏡:dmrP1P2兩次聚焦自即測量方法為移動自準(zhǔn)直顯微鏡使之分別定焦在被測球面的圓心和定點處, 準(zhǔn)直顯微鏡移動的距離即為球
7、面曲率半徑。第三章光學(xué)測角技術(shù)? 精密測角儀的主要部件關(guān)鍵部件及其作用;自準(zhǔn)直前置鏡(瞄準(zhǔn)、定位)平行光管(產(chǎn)生無限遠的瞄準(zhǔn)標(biāo)記:狹縫、分劃線等)精密軸系(圍繞旋轉(zhuǎn)中心平穩(wěn)旋轉(zhuǎn),圓錐軸系、圓柱軸系、空氣靜壓軸系) 圓分度器件(角度基準(zhǔn))顯微讀數(shù)系統(tǒng)(將被測角與度盤進行比較,得到角度值)? 常見的圓分度器件;最常用的是度盤,其他的還有多面體、圓光柵、光學(xué)軸角編碼器、感應(yīng)同步器等。? 符合成像系統(tǒng)與對徑讀數(shù)法的用途;為消除度盤分度圓中心與旋轉(zhuǎn)軸中心不能完全重合帶來的偏心誤差,可利用在度盤直徑兩端取得讀數(shù)后取平均值的方法,稱為對徑讀數(shù)法。所采用的光學(xué)讀數(shù)系統(tǒng)為符合成像系統(tǒng)。符合成像系統(tǒng)使得對徑刻線的
8、像能夠在同一視場內(nèi)出現(xiàn),并位于分界線兩側(cè)。? 如何減小或消除自準(zhǔn)直望遠鏡的視差?? 如何減小或消除平行光管分劃面的離焦?? 掌握至少一種基于測角儀的棱鏡角度測量方法; 棱鏡角度測量(方法1)A©測量步驟:如圖所示當(dāng)光線和被測鏡的 AB面垂直時,自準(zhǔn)直望遠鏡看到自準(zhǔn)直現(xiàn)象,轉(zhuǎn)過一個角度后,光線垂直于AC,再次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象。望遠鏡轉(zhuǎn)過的角度和A角有相似的,如圖所示光路,自準(zhǔn)直望遠鏡會先后兩次觀察到自準(zhǔn)直現(xiàn)象,自準(zhǔn)直望遠確定的幾何關(guān)系。A互補。如上圖所示光路,望遠鏡中會觀察到平行光管分劃板的像和望遠鏡分劃板的像重合, 轉(zhuǎn)動載物臺再次觀察到重合現(xiàn)象,轉(zhuǎn)過的角度和角? V棱鏡法折射率測量原
9、理及精度水平;測量原理光路圖如下圖所示:測量不確定度可達到(1 210? V棱鏡折光儀的主要構(gòu)造;平行光管、V棱鏡、對準(zhǔn)望遠鏡 、度盤、讀數(shù)顯微鏡 ? 折射液的作用;排除V棱鏡和待測透鏡之間的空氣,從而提高測量精度。? 光學(xué)玻璃折射率測量的其它方法及精度水平;最小偏向角法(了解)精度高,測量不確定度可達 10-6任意偏向角法(了解)精度高,測量不確定度可達 10-6? 鏡頭焦距測量的其它方法;精密測角法測量物鏡焦距:第四章:光學(xué)干涉測試技術(shù)干涉測量的用途、特點;用途:光學(xué)面形檢驗:平面、球面、二次曲面 角度偏差檢驗:楔鏡、棱鏡、角錐 玻璃材料均勻性(折射率) 球面曲率半徑測量光學(xué)系統(tǒng)波像差:有
10、限共軛,無限共軛測量精度高??蛇_到幾分之一或幾十分之一光波長 ? 時間相干性、空間相干性的實質(zhì);由于光源的非單色性(頻譜展寬),干涉條紋對比度會下降,降低程度與兩相干光波 的傳播時間差有關(guān)。把這種因頻譜展寬引起的相干性問題稱為時間相干性。通常擴展光源上不同的點發(fā)出的光是不相干的,不同點源產(chǎn)生的干涉條紋的非相干疊加會導(dǎo)致條紋對比度下降,降低程度與擴展光源的空間大小有關(guān)。把這種因光源的空間擴展引起的相干性問題稱為空間相干性。等傾干涉、等厚干涉;等傾干涉(分振幅):(指相對于平板法線的傾斜角度相等的入射光線(或反射光 線)將發(fā)生干涉。)P lane- p arallel plateExtended
11、sourceS393* y/ /fxcVex T等厚干涉(分振幅)? 影響干涉條紋對比度的因素;;相干光束的振動方向;雜散光 ;振時間相干性與空間相干性;相干光束的光強 動、空氣擾動? 牛頓干涉儀簡圖、時間相干性、空間相干性討論;特點:零光程暗紋(n相位躍變,光疏到光密的反射有n相位躍變);同心圓環(huán)狀上式可以用來球面曲率半徑,各字母代表的含義如上圖所示。 干涉法楔角測量及楔角方向判斷;楔角0=2nl,其中I是條紋間距。楔角方向判斷:上移上層玻璃板,條紋向空氣層稀薄的方向移動。? 邁克爾遜干涉儀、泰曼干涉儀、菲索干涉儀的特點與區(qū)別;邁克爾遜干涉儀,采用準(zhǔn)單色擴展光源(面光源),需要加補償板,一般
12、不完全是等厚條紋,也存在等傾條紋。泰曼干涉儀:采用電光源,泰曼干涉本質(zhì)上基于牛頓干涉原理,分光路容易受環(huán)境影響;菲索干涉儀分振幅、共光路牛頓干涉儀,本質(zhì)上為牛頓干涉原理。共光路,可減小 環(huán)境干擾。? 菲索平面干涉儀原理、構(gòu)造、光路簡圖;7/1011131412? 菲索平面干涉儀的時間相干性、空間相干性;? 平面面形凸、 單色光源: 白光光源:? 平面面形誤差檢驗的干涉條紋特征; 凹判斷,目視半徑偏差(光圈數(shù))判讀; 輕輕按壓上面的零件。條紋擴散則凸,條紋收縮則凹。按壓使兩者緊密接觸,中央暗斑、第一亮紋幾乎為白色。其余亮紋內(nèi)側(cè) 藍色、外側(cè)紅色則為凸,反之為凹。平行平板平行度的干涉測量方法、條紋特
13、點、棱邊方向、厚薄判斷及角度計算;移相干涉術(shù)的特點;精度高,傳統(tǒng)靜態(tài)條紋判讀法入/10移相法入/50可減小或消除系統(tǒng)誤差,放寬對干涉儀光學(xué)元件制造精度要求第六章:光學(xué)系統(tǒng)成像性能評測? 三種像質(zhì)檢測法的優(yōu)缺點;星點檢驗基本、直觀簡便、 靈敏度較咼,全 面主觀、定性或半定性評 價法,對檢測人員專業(yè) 技能要求較咼分辨率法疋量、簡單方便主觀性大,信息量少光學(xué)傳遞函數(shù)法客觀、定量設(shè)計原理復(fù)雜,測量過 程復(fù)雜(目前已改善)? 什么是星點檢驗?點光源”經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)所成的像稱為點光源”作為物,并放置在無限遠,俗稱星點; 星點像;? 理想衍射受限系統(tǒng)及其星點像特點; 星點像是艾里斑? 星點檢驗裝置;聚光鏡準(zhǔn)直物
14、鏡)被測系統(tǒng)rr!平行光管I? 星點檢驗條件; 星孔大小要適中 不能切割光束; 觀察顯微鏡/前置鏡的放大倍率要足夠大; 觀察顯微鏡/前置鏡的成像質(zhì)量優(yōu)良; 裝調(diào)準(zhǔn)確。觀察顯微鏡!物鏡II? 星點檢驗?zāi)軝z什么像差,不能檢什么像差?星點檢驗對慧差、像散、球差靈敏,不能反映畸變、場曲。? 三類光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)分辨率表示形式;um望遠系統(tǒng)一一用角度表示剛能分辨的兩點之間的最小距離;弧秒 顯微系統(tǒng)一一直接以剛能分辨開的兩物點之間的最小距離表示;mm-1, Ip/mm照相系統(tǒng)一一以像面上剛能分辨的兩個像點間距的倒數(shù)表示??臻g頻率;理想衍射受限系統(tǒng)的分辨率定義;考察兩個非相干獨立發(fā)光點在像面上形成的兩個點像;
15、由于光的衍射,一個發(fā)光點 通過光學(xué)系統(tǒng)成像得到一個衍射斑(艾里斑),兩個衍射斑重疊部分的光強度為兩個光斑重疊區(qū)對應(yīng)強度之和(線性疊加);理想衍射受限系統(tǒng)的理論分辨率數(shù)值,通?;谠撓到y(tǒng)所能分辨的最小間距來確定。三類光學(xué)系統(tǒng)的理論光學(xué)分辨率計算;道斯斯派羅望遠1.22 扎1.02 幾D0.947幾(rad)昭相八、11-1(mm )1.22 幾 F1.02. F0.947. F顯微0.6仏NA0.5仏0.47aNANA(mm)?分辨率測量裝置及分辨率板; 理論分辨率分析采用雙像點(艾里斑)分析法。實際測量:在平行光管上,采用分辨率板作為分劃板,觀察被測系統(tǒng)所成的像,判 讀所能分辨的最細密條紋?照相物鏡軸上分辨率測量與計算;1. 在光具座上夾好被測照相物鏡;2. 通過觀察顯微鏡判讀可看清的最細密的四組條紋屬于幾號板幾單元;3. 直接查表得線條寬度 P,或按公式換算出每毫米的線對數(shù);4. 求像面上的軸上目視分辨率。? 點擴散函數(shù);星點像的歸一化能量分布(光強分布)即為點擴散函數(shù)? 線擴展函數(shù);對點擴展函數(shù)一維方向求積分可得線擴展函數(shù)?;颍何锲矫嫔系囊痪€光源,經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像后,像的一維光強分布。? 空間頻率;? 光學(xué)傳遞函數(shù)物理意義、基本定義;? 調(diào)制傳遞函數(shù)與相位傳遞函數(shù);光學(xué)傳遞函數(shù)(Opt
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