氦檢儀有關(guān)介紹

1、.公司介紹一、 公司介紹安徽皖儀科技股份有限公司位于合肥市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)華億科學(xué)苑皖儀大廈，注冊資金 4500 萬元。皖儀科技是一家專業(yè)從事質(zhì)譜與真空產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售的科技型企業(yè)， 是國家科技部中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金和國家重點新產(chǎn)品計劃項目承擔(dān)單位。 2004 年 12 月，皖儀科技被安徽省信息產(chǎn)業(yè)廳認定為軟件企業(yè)。公司現(xiàn)已通過 ISO9000質(zhì)量體系認證， 被信息產(chǎn)業(yè)廳認定為雙軟企業(yè)和高新技術(shù)企業(yè)。 2007 年公司列入合肥市科技創(chuàng)新型試點。公司現(xiàn)有員工700 人左右，技術(shù)與管理人員93 名，平均年齡 35 歲，是一支年輕而富有朝氣的團隊。研發(fā)人員 200 多人，本科以上學(xué)歷占公司員工總

2、數(shù)的 90%以上，科研人員占 42%。公司生產(chǎn)用地 8000 多平方米，擁有先進的各類生產(chǎn)設(shè)備、 檢測儀器和專業(yè)技術(shù)人員。優(yōu)越的基礎(chǔ)條件和高素質(zhì)的研發(fā)、 管理隊伍為公司今后的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。另外，公司采用國際集優(yōu)化的采購原則， 設(shè)備關(guān)鍵元器件均采用國際知名品牌，確保了產(chǎn)品的可靠性和穩(wěn)定性，在行業(yè)內(nèi)受到廣大用戶的高度贊譽。通過多年的努力，我公司氦質(zhì)譜檢漏儀及真空箱檢漏系統(tǒng)等產(chǎn)品自2006 年起年銷售量已居中國第一。公司近年來發(fā)展迅速，市場占有率快速提高， 客戶遍布航空航天、 軍工制造、科研等各行業(yè)，皖儀科技現(xiàn)已成為業(yè)內(nèi)廣大用戶的首選品牌。二、 經(jīng)營情況目前，皖儀科技業(yè)已形成了以公司營銷部為主體，

3、 北京辦事處、上海辦事處、廣州辦事處、深圳辦事處、沈陽辦事處、西安辦事處、成都辦事處為主干的營銷.網(wǎng)絡(luò)，公司產(chǎn)品市場開拓狀況良好， 全自動氦質(zhì)譜檢漏系列產(chǎn)品現(xiàn)已行銷到全國每個省市自治區(qū)，年市場占有率全國第一。三、 研發(fā)情況我公司成立以來，一直從事檢漏設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，成功研發(fā)了全自動氦質(zhì)譜檢漏儀系列產(chǎn)品、真空箱氦檢漏系統(tǒng)、 真空計等一系列真空產(chǎn)品。 全自動氦質(zhì)譜檢漏儀專利號： ZL 2004 2 0024777.3 。其中全自動氦質(zhì)譜檢漏儀獲 2004 年國家科技部創(chuàng)新基金支持， 2005 年被評為國家重點新產(chǎn)品， 2006 年被評為省級重點新產(chǎn)品， 2006 年公司被評為高新技術(shù)企業(yè)，

4、 2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀通過國家科技部的驗收， 2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀被評為國家火炬計劃項目。公司研發(fā)中心現(xiàn)有研發(fā)人員 200 多名，全部具有本科以上學(xué)歷， 其中碩士以上學(xué)歷一半以上，高級工程師 50 名，是一支從事光機電一體化設(shè)備研發(fā)多年的專業(yè)化研發(fā)團隊，涵蓋真空、電子、機械、軟件、物理等領(lǐng)域，先后獲得各項國家專利和行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新成果。 同時公司與中國科技大學(xué)、 合肥工業(yè)大學(xué)等單位建立了緊密的產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系，具備了較強的研發(fā)能力和技術(shù)創(chuàng)新能力。四、 企業(yè)成果2004 年被安徽省信息產(chǎn)業(yè)廳認定為雙軟企業(yè)；2004 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀獲專利，專利號：ZL 2004 2 00247

5、77.3 ；2004 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀獲國家科技部中小企業(yè)創(chuàng)新基金立項；2005 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀順利通過國家科技部驗收，并被列入國家級重點新產(chǎn)品；2005 年通過 ISO9001 認證（注冊號： 03805Q10531R0M）；2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀通過安徽省科學(xué)技術(shù)廳科學(xué)技術(shù)成果鑒定；2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀被列入安徽省重點新產(chǎn)品；2006 年四級質(zhì)譜儀獲專利申請?zhí)枺?00620074628.7；.2006 年真空箱檢漏回收系統(tǒng)通過市創(chuàng)新辦立項；2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀通過省發(fā)改委立項；2006 年全自動氦質(zhì)譜檢漏儀 （國家火炬計劃項目） 通過國家科學(xué)技術(shù)部立項

6、；2007 年公司列入合肥市科技創(chuàng)新型試點。產(chǎn)品優(yōu)勢逆流法檢漏模式 使得燈絲壽命更長采用液晶屏顯示 ，通過觸摸方式操作 ，達到國際先進技術(shù)采用新型進口復(fù)合性分子泵提高了抽氣速率，改善了氦本底的清除時間，有效防止氦污染180°扇型偏轉(zhuǎn)磁場 的質(zhì)譜室設(shè)計，提高了檢漏儀的穩(wěn)定性電磁閥組合閥座 的設(shè)計減少了連接管道， 縮小了體積， 使產(chǎn)品更可靠全自動控制 操作模式，使用更方便、快捷按下調(diào)零鍵既可快速清楚氦本底信號離子源內(nèi) 雙燈絲自動切換，燈絲為釔絲涂氧化釔，使得離子源壽命更長久進口放大器 的使用，提高了放大器的性噪比，從而提高了檢漏靈敏度機械部件和電氣、電子部分嚴(yán)格分開，避免了電磁場和溫度的

7、干擾，讓儀器運行更可靠故障診斷信息提示 ，使故障判斷變得容易電氣部件的 模塊化設(shè)計 使得維護更方便外觀簡潔大方，結(jié)實牢固.具體型號見下頁.SFJ-231 型氦質(zhì)譜檢漏儀（ 15.8 萬）產(chǎn)品介紹：SFJ-231 型氦質(zhì)譜檢漏儀是借鑒國外先進的檢漏技術(shù)和我公司質(zhì)譜生產(chǎn)經(jīng)驗設(shè)計而成。關(guān)鍵部件均采用進口，性能穩(wěn)定可靠。它不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換，達到目前國際上先進水平。主要技術(shù)指標(biāo)：性能特點：最小可檢漏率： 5×10-123操作簡單，通常只需兩鍵Pa·m/s-3-123（檢漏和放氣）漏率顯示范圍：1×101

8、5;10Pa·m/s啟動時間： 5min進口的多口分子泵響應(yīng)時間： 1s雙燈絲自動切換檢漏口最高壓力： 1000Pa自動調(diào)零極限真空： 5×10-4 Pa自動校準(zhǔn)外型尺寸： 900(W)× 560(D) × 650(H)自動量程切換主要配置：萊寶復(fù)合型分子泵萊寶機械泵寶蒂電磁閥美國 AD放大器內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔.SFJ-211 型氦質(zhì)譜檢漏儀（ 13.8 萬）產(chǎn)品介紹：SFJ-211 型氦質(zhì)譜檢漏儀是借鑒國外先進的檢漏技術(shù)和我公司質(zhì)譜生產(chǎn)經(jīng)驗設(shè)計而成。關(guān)鍵部件均采用進口，性能穩(wěn)定可靠。它不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量

9、程切換，達到目前國際上先進水平。主要技術(shù)指標(biāo)：性能特點：最小可檢漏率： 5×10-123操作簡單，通常只需兩鍵Pa·m/s-3-123（檢漏和放氣）漏率顯示范圍：1×101×10Pa·m/s啟動時間： 5min進口的多口分子泵響應(yīng)時間： 1s雙燈絲自動切換檢漏口最高壓力： 1000Pa自動調(diào)零極限真空： 5×10-4 Pa自動校準(zhǔn)外型尺寸： 900(W)× 560(D) × 650(H)自動量程切換主要配置：瓦里安 70 型復(fù)合型分子泵萊寶 D8C機械泵寶蒂電磁閥美國 AD放大器內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔SFJ-261 型氦質(zhì)譜

10、檢漏儀（ 18.8 萬）.產(chǎn)品介紹：SFJ-261 型氦質(zhì)譜檢漏儀是借鑒國外先進的檢漏技術(shù)和我公司質(zhì)譜生產(chǎn)經(jīng)驗設(shè)計而成。關(guān)鍵部件均采用進口，性能穩(wěn)定可靠。它不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換，達到目前國際上先進水平。主要技術(shù)指標(biāo)：最小可檢漏率：5×10-123Pa·m/s漏率顯示范圍：-31×10-1231×10Pa·m/s啟動時間： 5min響應(yīng)時間： 1s檢漏口最高壓力： 1000Pa極限真空： 5×10-4 Pa主機尺寸： 560（W）×460（ D）× 300（

11、H）主要配置：進口復(fù)合型分子泵愛發(fā)科機械泵寶蒂電磁閥美國 AD放大器內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏孔性能特點：操作簡單，通常只需兩鍵（檢漏和放氣）進口的多口分子泵雙燈絲自動切換自動調(diào)零自動校準(zhǔn)自動量程切換氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理.氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器其質(zhì)譜原理如圖所示。接收器離子源氦離子輕離子重離子磁場氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜學(xué)原理燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑R144 10 4M UBZ式中 R離子偏轉(zhuǎn)軌道半徑（

12、cm）B 磁場強度（ T）M 離子的質(zhì)（量）（電）荷比（正整數(shù)）ZU 離子加速電壓（ V）由上式可知，當(dāng)R、B 為定值時，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式.氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。 。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。 這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。分子泵進氣口氦質(zhì)譜室分子泵進

13、氣口檢漏口逆擴散的氣體分 子分子泵出氣口泵被抽出的氣體機械泵進氣口機械泵出氣口機械泵逆擴散原理逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，SFJ-231/241 型氦質(zhì)譜檢漏儀可達 1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa 以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命產(chǎn)長等優(yōu)點，具體方法請看下頁.常用檢漏方法檢漏的目的是確定被檢件漏孔的位置和漏率，這些目的是通過采用一些標(biāo)準(zhǔn)的檢漏方法實現(xiàn)的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。根據(jù)不同的檢漏目的，基本上有五種檢漏方法。1、噴吹法 - 確定漏孔位置該方法是將被檢件接在檢

14、漏儀的檢漏口，用儀器的真空系統(tǒng)對其抽真空并達到真空銜接與質(zhì)譜管溝通，然后用噴槍向可疑漏孔噴吹氦氣。當(dāng)有漏孔存在時，氦氣就通過漏孔進入質(zhì)譜管被檢測。下圖是噴吹法原理示意圖。噴槍裝有氦氣的壓力容器被檢件漏孔檢漏儀噴吹法檢漏的靈敏度高，質(zhì)譜管不易受污染，但是檢大容器時可能有真空抽不下來的情況，可能要加輔助真空設(shè)備。2、吸入法確定漏孔位置又稱吸槍檢漏，如圖 1-5 ，將專用吸槍聯(lián)接在儀器檢漏口上，被檢件則充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例含氦的混合氣） 。檢漏時，讓吸槍沿可疑漏孔處慢慢移動，若被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入送至儀器的質(zhì)譜管而被檢測。.吸入法檢漏靈敏度相對噴吹法要低，但是其檢

15、漏口真空主要是由吸槍流量決定的，所以不受被檢件容積的限制，適合檢測大的容器。.被檢件漏孔裝有氦氣的壓力容器吸槍檢漏儀3、 鐘罩法測總漏率將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，最終達到質(zhì)譜管被檢測（圖 l 6）。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準(zhǔn)確位置。罩裝有氦氣的壓力容器被檢件漏孔檢漏儀可以看出鐘罩法是基于噴吹法的一種檢漏方法。4、背壓法測總漏率電子元器件進行氣密性檢測時常用背壓法。檢漏前用專用加壓容器向被檢件壓入氦氣（由壓力和時間控制壓入的量），然后取出被檢件，吹去表.面吸附氦后放入專用檢漏罐中，再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上，對檢漏罐抽真空，實施檢漏。若器件有漏，則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進入檢漏罐，最終到達