ESD控制技術(shù)規(guī)范課件

1、1. 目的本文件旨在規(guī)定ESD防靜電控制技術(shù)規(guī)范，為產(chǎn)品在元器件進(jìn)料、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)提供明確可靠的ESD技術(shù)支持，從整體上提高公司靜電防護(hù)和控制水平，提高客戶的滿意度。2. 適用范圍本規(guī)范適用于公司、供應(yīng)商和合作方的供應(yīng)鏈體系內(nèi)部靜電防護(hù)工程的設(shè)計(jì)、使用、管理、維護(hù)和檢測。同時(shí)，此標(biāo)準(zhǔn)也適用于公司的電子設(shè)備的最終用戶的靜電放電控制。3. 職責(zé)3.1 公司ESD組織結(jié)構(gòu)和職責(zé)3.1.1 公司ESD管理小組負(fù)責(zé)公司的防靜電控制規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)的制定，建立健全ESD管理規(guī)章制度。定期組織ESD抽查和評(píng)審，確保公司ESD控制體系有效運(yùn)行。3.1.2各部門負(fù)責(zé)人負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域的靜電防護(hù)措施的執(zhí)

2、行。a) 設(shè)備組工程師負(fù)責(zé)ESD總線接地有效并定期進(jìn)行點(diǎn)檢；b) 技術(shù)員定期對(duì)各工位進(jìn)行靜電電壓測試并記錄，發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)工程師處理；c) 生產(chǎn)主管、拉長督促生產(chǎn)員工穿好防靜電工衣、工帽、工鞋并戴好防靜電手腕帶，并對(duì)手腕帶進(jìn)行定期測量，確保工作 有效，發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)人員處理；d) 人事行政部門負(fù)責(zé)督導(dǎo)外來人員進(jìn)入制造中心車間前穿戴防靜電工衣及鞋套。e) 由品質(zhì)部牽頭各部門（工藝、生產(chǎn)、設(shè)備）分派組建ESD管理小組,負(fù)責(zé)公司各部門ESD日常執(zhí)行狀況的監(jiān)督，包括ESD實(shí)施情況的定期檢查抽測和測試。4. 概要本文主要從靜電控制的五個(gè)方面(即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境)來論述ESD規(guī)范，

3、貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制，詳細(xì)介紹了防靜電設(shè)施的技術(shù)要求、檢測方法和作業(yè)指導(dǎo)等內(nèi)容。5. 靜電防護(hù)區(qū)域（EPA）的界定和標(biāo)識(shí)6.1 EPA的劃分EPA必須具有如下的基本環(huán)境要求： 明確的區(qū)域界限和防靜電警示標(biāo)志。 對(duì)區(qū)域內(nèi)的所有導(dǎo)體包括人員可靠接地。 消除一切不必要的靜電產(chǎn)生源。 靜電敏感器件必須遠(yuǎn)離靜電源至少100厘米處。根據(jù)本公司產(chǎn)品器件的靜電敏感度等級(jí)，將本公司EPA靜電敏感度等級(jí)防范要求為200V。防護(hù)要求為：1、靜電敏感度等級(jí)防范要求為200V，應(yīng)盡量避免產(chǎn)生200V以上的靜電電荷源，如不能避免，應(yīng)通過有效方式消除。2、采用防靜電標(biāo)識(shí)與其它區(qū)域分隔開，

4、未采取有效防靜電措施的人員、設(shè)備、物料、工具等皆不得入內(nèi)。3、進(jìn)入本區(qū)域應(yīng)作好人員防靜電要求，包括防靜電工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕帶或手套并作人體綜合電阻測試合格后才能進(jìn)入。6.2 EPA標(biāo)識(shí)防靜電工作區(qū)、防靜電包裝材料和轉(zhuǎn)運(yùn)工具、設(shè)備儀器的接地等都應(yīng)該具有防靜電標(biāo)識(shí)。防靜電標(biāo)識(shí)的作用是警示任何靠近防靜電工作區(qū)的人員，區(qū)域內(nèi)存在靜電敏感器件的操作；警示任何接觸靜電敏感器件的人員，對(duì)該器件的操作必須進(jìn)行靜電防護(hù)。1) 任何防靜電工作區(qū)都必須有區(qū)域標(biāo)識(shí)，除非此工作區(qū)位于靜電安全工作區(qū)內(nèi)。標(biāo)識(shí)上應(yīng)注意說明，如“注意：靜電安全工作區(qū)“或其同意語。“放電”，“注意”，“危險(xiǎn)”等標(biāo)示對(duì)靜電控制是不合適的

5、。EPA標(biāo)識(shí)所在的位置及其大小應(yīng)該至少保證在距離工作區(qū)1米時(shí)清晰可見。2) 應(yīng)該使用黃底黑字的地板膠帶將每一個(gè)防靜電工作區(qū)圍起，EPA的邊界線,它由黃黑雙色的平行四邊形圖案相間構(gòu)成，其寬度為45cm。是專門用來標(biāo)志靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的。3) 需要在靜電安全工作區(qū)的每一個(gè)入口和出口放置防靜電標(biāo)識(shí)牌和控制說明。4) 防靜電器材、工具和靜電敏感物料都必須具有明顯的防靜電標(biāo)識(shí)，防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)有明顯的接地標(biāo)識(shí)說明。5) 防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等），元件架和運(yùn)輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，其標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖A，防靜電標(biāo)志圖A6. 靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范7

6、.1 防靜電工程環(huán)境的要求：7.1.1環(huán)境的溫度和濕度要求溫度應(yīng)在20至30之間，濕度應(yīng)在45%-80%，環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)，并按要求做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過于干燥，應(yīng)使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應(yīng)以不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應(yīng)該開空調(diào)或抽濕機(jī)來使其滿足要求。溫度計(jì)和濕度計(jì)使用要求:a)所有需要防范的環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)，溫度計(jì)和濕度計(jì)必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。b)每日開工前必須由專人如實(shí)查看并記錄，發(fā)現(xiàn)不符合要求時(shí)，應(yīng)報(bào)告相關(guān)責(zé)任人立即處理，使其滿足溫度和濕度要求。c)每月的溫度和濕度儀記錄應(yīng)歸類保存，保存期為兩年以上。7.2 地面的技術(shù)要求7

7、.2.1地板的防靜電要求:為有效地使人體靜電能通過地板盡快泄漏到大地，除操作人員穿用防靜電服、防靜電鞋外，其先決條件是地板必須具有一定的導(dǎo)電性能，即是防靜電的。這種防靜電地板能泄漏設(shè)備、工裝上的靜電，也能泄漏移動(dòng)操作時(shí)不易使用腕帶的人體靜電。普通地板材料的電阻率都較高，難以泄放人體、工裝、設(shè)備上的靜電。表三為各種地板的泄漏電阻:(單位:)。表三地坪材料名稱泄漏電阻地坪材料名稱泄漏電阻石104109瀝青10111013混凝土1051010聚氯乙烯(貼面)10121015一般涂刷地面1091012導(dǎo)電性水磨石105107橡膠1091013導(dǎo)電性橡膠104108木、木膠合板10101013導(dǎo)電性聚氯

8、乙烯10710117.2.2防靜電地板的靜電特性定期檢查與維護(hù)保養(yǎng):7.2.2.1檢查對(duì)象：防靜電地板。7.2.2.2檢查頻率：每半年一次，其中一次應(yīng)在干燥季節(jié)測量。7.2.2.3檢查指標(biāo)：靜電壓，泄漏電阻和表面電阻率。7.2.2.4檢查標(biāo)準(zhǔn)：200V ，1×104 109。7.2.2.5檢查儀器：靜電壓表，萬用表和兆歐表。7.2.2.6相對(duì)濕度低于30%時(shí)，應(yīng)增加測量泄漏電阻的次數(shù)，當(dāng)電阻比較大時(shí)可撒少量的水。7.2.2.7當(dāng)?shù)匕迳细街薪^緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時(shí)，應(yīng)根據(jù)情況定期清除。7.2.2.8清掃防靜電地板時(shí)不得使用絕緣性的地板臘。7.2.2.9采用拋光防靜電地板蠟的地

9、面，至少3個(gè)月檢查測量一次地面的表面電阻，并記錄保存測量結(jié)果。 7.3靜電敏感區(qū)域的防靜電保護(hù)接地技術(shù)要求:防靜電系統(tǒng)必須有可靠的接地裝置，主要技術(shù)要求如下:7.3.1接地線：也稱為地線母線。接地主干線的截面積應(yīng)不小于100mm2，支干線的截面積應(yīng)不小于6mm2 ，設(shè)備和工作臺(tái)的接地線采用截面積應(yīng)不小于1.25mm2 的敷塑導(dǎo)線，并以黃綠色為宜。7.3.2防靜電設(shè)備的連接端子應(yīng)確保接觸可靠，易裝拆，必須使用插頭座等。7.3.3接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護(hù)接地電阻應(yīng)小于4。7.3.4地線的埋設(shè)：埋設(shè)地線的原則是埋設(shè)地點(diǎn)的土壤電阻系數(shù)愈小愈好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度

10、要高，接觸要緊。7.3.4.1埋設(shè)地線的注意事項(xiàng)：7.3.4.2接地線與接地線接頭必須焊接牢固，要有足夠的機(jī)械強(qiáng)度，引線不要過長。7.3.4.3要采用耐腐蝕的接地體金屬。7.3.4.4要保持接地體附近土質(zhì)的質(zhì)量，并不斷采取措施防止接地電阻變大。7.3.4.5防靜電地線必須是永久性的。7.3.5接地線的定期檢查：7.3.5.1檢查對(duì)象：所有的接地線及接地端口。7.3.5.2檢查儀器：萬用表和接地電阻測試儀。7.3.5.3檢查參數(shù)：泄漏電阻(接地電阻)。7.3.5.4檢查頻率：a)每條生產(chǎn)線的主接地線對(duì)通用接地點(diǎn)的接地性能和設(shè)備，工裝及工作臺(tái)等設(shè)施對(duì)生產(chǎn)線主接地線的接地性能應(yīng)每周檢查一次。b)ES

11、D桌墊、ESD地墊、周轉(zhuǎn)車、周轉(zhuǎn)架和防靜電環(huán)等設(shè)施的防靜電連接線應(yīng)每月檢查一次。c)每個(gè)通用接地點(diǎn)對(duì)地的接地性能每6個(gè)月檢查一次。7.3.6接地線的定期維護(hù)：7.3.6.1對(duì)于檢查不過關(guān)的接地線必須采取措施及時(shí)解決。7.3.6.2確保接地線有效接地。7.3.6.3對(duì)于生銹的或接觸不好的接地線要及時(shí)更換。7.3.6.4對(duì)于松動(dòng)的接地線要重新連接。7.3.6.5按接地線相關(guān)規(guī)定進(jìn)行維護(hù)。7. 靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范8.1各類人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)，這既是對(duì)每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和

12、途徑之一。8.1.1所有新員工在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。課程包括至少2小時(shí)的理論知識(shí)培訓(xùn)和簡要講解本規(guī)范內(nèi)容。培訓(xùn)結(jié)束后，由人力資源部組織ESD的考試，合格者才能上崗。8.1.2所有在職人員必須每年接受不少于2小時(shí)的ESD知識(shí)再培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括介紹ESD的新技術(shù)，新規(guī)范等。8.1.3在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸(包括靜電感應(yīng))的作業(yè)人員，必須接受ESD基本知識(shí)和防靜電工藝規(guī)程操作要求的培訓(xùn)，作為上崗考核的必考內(nèi)容之一?？己瞬缓细裾卟坏冒才旁谟蟹漓o電要求的崗位工作。上崗考核的有效期為一年，一年后必須進(jìn)行重新培訓(xùn)考核。8.1.4工藝人員必須接受

13、并通過ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對(duì)他們進(jìn)行靜電防護(hù)日常教育。8.1.5品質(zhì)控制管理人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟悉各類ESSD的靜電敏感性能及其防護(hù)知識(shí)，監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行，評(píng)估防靜電工程實(shí)施效果。8.1.6采購部人員必須接受ESD基本知識(shí)培訓(xùn)，熟悉ESSD的品種、型號(hào)、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常識(shí)，嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購和運(yùn)輸過程中靜電防護(hù)的規(guī)范。8.1.7倉儲(chǔ)，轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD基本知識(shí)培訓(xùn)，懂得在儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)過程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。8.1.8檢驗(yàn)和試驗(yàn)人員(包括外購

14、件入廠檢驗(yàn)試驗(yàn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)人員)必須接受較為ESD專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟練掌握ESSD的檢測知識(shí)和防靜電器件的檢測方法，嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)和試驗(yàn)。8.1.9負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員，應(yīng)接受較為專業(yè)的ESD知識(shí)培訓(xùn)，熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求，掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。8.1.10生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD基本知識(shí)，嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求和工藝規(guī)程組織生產(chǎn)，并開展對(duì)生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。8.1.11計(jì)量檢定人員也應(yīng)了解ESD基本知識(shí)，尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí)，要定期調(diào)校防靜電檢測器材，保證其安全、有效。8.1.12由于工種變化或者轉(zhuǎn)到新的部

15、門，如從非EPA轉(zhuǎn)移到EPA，從行政部門轉(zhuǎn)到產(chǎn)品開發(fā)部門等，需要進(jìn)行適應(yīng)新環(huán)境ESD控制要求的再培訓(xùn)。8.1.13提高培訓(xùn)是針對(duì)ESD工作骨干人員組織的靜電防護(hù)技術(shù)的高級(jí)培訓(xùn)，適用于ESD小組成員、區(qū)域ESD責(zé)任人（接口人）、各部門ESD工作優(yōu)秀人員和ESD責(zé)任人的預(yù)備人選等。提高培訓(xùn)由公司ESD負(fù)責(zé)人根據(jù)需要不定期舉行。 提高培訓(xùn)的內(nèi)容主要是ESD標(biāo)準(zhǔn)的學(xué)習(xí)討論、ESD新技術(shù)的學(xué)習(xí)，ESD案例學(xué)習(xí)和疑難問題討論等。8.2人體靜電防護(hù)系統(tǒng)：8.2.1防靜電工作服：8.2.1.1防靜電工作服是指為防止靜電荷積累，用防靜電織物作為面料而制成的工作服，樣式有連體式、分體式等。防靜電工作服主要用來泄放

16、人體高絕緣性能的服裝所產(chǎn)生的靜電或減少人體靜電產(chǎn)生。8.2.1.2防靜電工作服的主要技術(shù)指標(biāo)如下表所示:技術(shù)指標(biāo)A級(jí)實(shí)驗(yàn)方法帶電量0.6C/件按GB12014-89附錄A耐洗滌時(shí)間33.0h按GB12014-89附錄B推薦的防靜電工作服選擇使用A級(jí)，要求洗滌時(shí)間：33小時(shí)（或洗滌次數(shù)大于70次）；8.2.1.3防靜電服使用要求:a）應(yīng)根據(jù)所制造或操作的ESSD的靜電敏感度的不同，選用不同等級(jí)的防靜電布料和防靜電工作服。b）進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電大褂衣，夾克衣或防靜電連體服，嚴(yán)禁穿一般合成纖維工作服。C）大褂衣和夾克衣可在普通防靜電工作區(qū)域使用。對(duì)于防靜電要求特別高的場所，如無塵

17、室高精密電子產(chǎn)品裝聯(lián)車間或?qū)嶒?yàn)室，作業(yè)人員必須穿連體衣，同時(shí)還需戴上口罩、手套。d）防靜電衣必須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣。e）禁止在防靜電衣上附加或佩帶與工作無關(guān)的金屬物品或裝飾品。f）不能把非防靜電衣的衣領(lǐng)翻出蓋住防靜電衣的衣領(lǐng)，防靜電衣如是夾克衣須將拉鏈拉好，兩顆扣子扣好，如是大褂衣須將扣子扣滿扣好，非防靜電衣的長度不能長過靜電衣，不準(zhǔn)將防靜電衣的袖子挽起，不準(zhǔn)將手表、手飾等與工作無關(guān)的裝飾物品露出防靜電衣外。g）防靜電大褂衣和夾克衣，應(yīng)保持清潔，工作服的洗滌應(yīng)盡量采用簡易方法進(jìn)行， 采用中性洗滌劑，要避免受到較強(qiáng)的機(jī)械和化學(xué)操作的洗滌。h）防靜電工作服應(yīng)在首次穿用前

18、作防靜電性能檢測，只有測試合格方可投入使用，穿用一定時(shí)期后應(yīng)對(duì)其防靜電性能進(jìn)行復(fù)測，防靜電大褂衣和夾克衣每半年應(yīng)做一次防靜電特性復(fù)測，對(duì)于檢測不過關(guān)的防靜電大褂衣和夾克衣應(yīng)停止使用，更換新的。i）設(shè)備組在收到新的防靜電衣時(shí)，通知ESD工程師對(duì)防靜電服的靜電電壓進(jìn)行檢測。檢測數(shù)量為抽樣來料的5若抽樣數(shù)低于2件，則抽取2件。檢測方法如后面所示，如果該批防靜電衣有一件測試不合格，則拒收。除上述方法外，被抽測的靜電衣還應(yīng)被洗33小時(shí)后再做以上測試。如果靜電衣的表面電阻仍在106-109 ohm之間且經(jīng)磨擦后的靜電電壓仍小于等于0.2 Kv，則為合格，否則為不合格。8.2.1.4防靜電服的檢測：a）目前

19、使用的防靜電防靜電大褂衣，主要是測試它的摩擦電壓和表面電阻這兩個(gè)指標(biāo)。b）檢測指標(biāo)：表面電阻和摩擦靜電壓。C）檢測標(biāo)準(zhǔn)：表面電阻（點(diǎn)與點(diǎn)、片與片、袖與袖之間）1*106至1*109/摩擦靜電壓小于0.2 Kv。d）檢測儀器：兆歐表和靜電電壓表。 e）防靜電性能檢測條件：溫度2030，相對(duì)濕度45±5%。8.2.2防靜電帽：防靜電帽的相關(guān)規(guī)定請(qǐng)參照防靜電服。防靜電帽應(yīng)正確佩戴，帽沿朝前頭發(fā)不能露出防靜電帽外后腦部分的短細(xì)的頭發(fā)不能超過防靜電衣領(lǐng)外。8.2.3防靜電工作鞋：8.2.3.1作業(yè)人員必須穿防靜電鞋，經(jīng)過人體綜合電阻測試合格后，方可進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。8.2.3.2防靜電工作

20、鞋每半年應(yīng)做一次防靜電特性檢測，對(duì)于檢測不過關(guān)的防靜電工作鞋應(yīng)停止使用，更換新的。8.2.3.3檢測指標(biāo)：體積電阻和摩擦靜電壓。8.2.3.4檢測標(biāo)準(zhǔn)：5*1055*107 和200v。8.2.3.5檢測儀器：體積電阻兆歐表 ，摩擦靜電壓靜電電壓表。8.2.3.6防靜電鞋的使用要求：a)為使人體有效接地、防止人體和鞋本身帶電，并保證操作者因意外接觸高電壓時(shí)不致受到傷害，除應(yīng)將車間地面做成防靜電地面以外，操作者還應(yīng)穿用防靜電鞋，而且防靜電鞋必須與防靜電衣配套使用，同時(shí)防靜電鞋底應(yīng)具有使人體與大地構(gòu)成回路的材料和結(jié)構(gòu)。b) EPA區(qū)域內(nèi)的工作人員必須穿防靜電工鞋，人體通過工鞋到EPA地面的電阻（人

21、體綜合電阻）應(yīng)該滿足0.75×106100×106。 c）穿防靜電鞋時(shí)可以穿棉質(zhì)的襪子或不穿襪子，不得另加鞋墊，特別是絕緣性鞋墊。不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它涂料，保持鞋底的清潔。d）坐式操作的員工應(yīng)保證工鞋接觸地面，不得把腳抬離地面放置。8.2.4防靜電手套或指套：8.2.4.1在EPA內(nèi)，操作員工應(yīng)戴上防靜電手套或指套，防靜電手套或指套兼具防腐蝕的功能。8.2.4.2在不便使用有繩防靜電腕帶的崗位，如流動(dòng)操作崗位，須使用防靜電手套。坐式操作，必須佩戴腕帶。8.2.4.3防靜電手套和指套較臟時(shí)應(yīng)及時(shí)清洗干凈，手套使用期限為一月8.2.4.4防靜電手套或指套的防靜電特性檢查

22、請(qǐng)參照防靜電服的部分檢查方法。8.2.5防靜電腕帶：8.2.5.1防靜電腕帶是通過腕帶與皮膚的直接接觸和靜電線接地的方式，將人體皮膚表面靜電泄放掉裝置，由松緊圈和接地組件構(gòu)成。松緊圈的要求是體積電阻率100cm 接地組件必須串接一定數(shù)值的電阻，以確保操作者意外觸及高電壓時(shí)不致發(fā)生人身傷害。該電阻的選擇原則是，一方面應(yīng)保證操作者在觸及線電壓時(shí)流過人體的電流不大于5mA，另一方面又要保證人體所帶的靜電能通過該電阻很快泄放，使皮膚上的靜電壓小于200V，一般該電阻阻值取為106。8.2.5.2因無繩防靜電腕帶的性能對(duì)環(huán)境濕度依賴性太強(qiáng)，禁止使用無繩腕帶。建議使用在線報(bào)警防靜電腕帶，因?yàn)樗梢詫?shí)時(shí)監(jiān)控

23、防靜電腕帶與人體皮膚是否實(shí)時(shí)導(dǎo)通，從而保證人體皮膚靜電能及時(shí)釋放掉。8.2.5.3進(jìn)入靜電敏感區(qū)域應(yīng)將防靜電環(huán)連接好，與皮膚完全接觸，保證防靜電環(huán)正常有效的工作。腕帶佩帶方法：將腕帶扎于手腕處，不能松動(dòng)，手腕感覺四周握緊。 保證手腕帶內(nèi)表面與皮膚良好接觸，接地線與EBP連接。8.2.5.4腕帶接地應(yīng)采用香蕉插頭、插孔的連接方式，應(yīng)避免使用鱷魚夾的接地方式。8.2.5.5每班開工前，每位員工都應(yīng)自檢防靜電環(huán)是否正常，并作好記錄，只有測試合格，才可以進(jìn)入靜電敏感區(qū)域工作。8.2.5.6防靜電線的有效長度是2.5米，在使用防靜電環(huán)的過程中，不可過度拉扯而超過它的有效長度，不可折斷防靜電線，不可沖洗防

24、靜電環(huán)，拔插時(shí)不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電環(huán)金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護(hù)好防靜電環(huán)。8.2.5.7先戴好防靜電環(huán)，再拿靜電敏感器件ESSD，先放下靜電敏感器件ESSD，再拔防靜電環(huán)。在實(shí)際工作中要注意此順序，要養(yǎng)成這種習(xí)慣。8.3臨時(shí)或外來人員的防靜電管理：8.3.1臨時(shí)(外來)人員，包括參觀人員、非本車間聯(lián)系工作人員、臨時(shí)施工人員(包括電工、修理工、裝飾工等)，進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，必須遵守防靜電區(qū)域和生產(chǎn)過程的各項(xiàng)防靜電要求。8.3.2臨時(shí)(外來)人員在參觀或作業(yè)過程中，不得靠近操作靜電敏感器件的工作人員，也不得靠近或徒手接觸含有靜電敏感器件的在制品或成品。8.3.3臨時(shí)

25、施工作業(yè)在正常生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)要避免瞬時(shí)高壓、瞬時(shí)放電的操作(如電焊、啟動(dòng)電機(jī)、開關(guān)高壓電源等)或事前采取防范措施，或安排在非生產(chǎn)時(shí)間內(nèi)施工作業(yè)。8.3.4防靜電區(qū)域內(nèi)需要進(jìn)行某種維護(hù)、修理作業(yè)時(shí)，維護(hù)人員應(yīng)攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電區(qū)域的有關(guān)規(guī)定。8. 靜電敏感區(qū)域的防靜電操作規(guī)范9.1所有的ESSD(靜電敏感器件)及其部件的操作必須在靜電安全工作臺(tái)上進(jìn)行。9.2進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的所有電子元器件都應(yīng)視為ESSD來對(duì)待。9.3貯存和運(yùn)輸ESSD及其部件時(shí)，應(yīng)妥善進(jìn)行防靜電包裝。9.4拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESSD。9.5所有用非ESD材料包裝的電子元器件都應(yīng)在指定的靜電泄放區(qū)域，經(jīng)

26、過拆包和靜電泄放處理后，方可用防靜電中轉(zhuǎn)工具將其轉(zhuǎn)到靜電敏感區(qū)域。9.6不允許在靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理非ESD的材料，不允許在非靜電敏感區(qū)域內(nèi)存放和處理未包裝的ESSD，不允許非ESD的材料與ESSD混放。9.7進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員，都要必須穿好防靜電工作服，必須戴上防靜電環(huán)，腕帶必須與皮膚有良好接觸并將腕帶接入可靠的防靜電接地系統(tǒng)中，防靜電鞋和腳必須與防靜電地板或ESD地墊保持良好接觸，防靜電帽也必須按規(guī)定戴好。9.8重要工位上應(yīng)配備腕帶監(jiān)控器，以隨時(shí)監(jiān)控腕帶是否處于正常狀態(tài)。9.9不得隨意拆除和改變ESSD的封裝，運(yùn)送全過程應(yīng)在防靜電容器中進(jìn)行，清點(diǎn)也盡可能在原包裝內(nèi)完成。9.10測試

27、ESSD時(shí)必須遵守加電和去電順序，嚴(yán)禁帶電插拔ESSD。9.11持拿ESSD，應(yīng)持其外殼兩端，嚴(yán)禁人手觸及其引腳或接線片，特別是空懸的輸入端。9.12ESSD器件的引腳或接線片，特別是空懸的輸入端不可放在金屬桌面上，容易引起導(dǎo)通，短路等ESD事件，從損壞ESSD器件。9.13裝配ESSD時(shí)，尤其是MOS管等靜電敏感器件，應(yīng)戴上防靜電手套或指套。9.14清洗ESSD及其部件時(shí)，不得使用塑料刷。9.15不具備防靜電功能的必備工具和用具，應(yīng)放在防靜電桌墊上，并應(yīng)置于離子風(fēng)機(jī)的作用范圍內(nèi)。9.16操作時(shí)應(yīng)盡量減少對(duì)ESSD及其部件的接觸次數(shù)。9.17組裝電子產(chǎn)品和設(shè)備時(shí)，如果需要使用電動(dòng)批，應(yīng)使用有接

28、地線的低壓直流電動(dòng)批。9.18在手工焊接時(shí)，應(yīng)采用防靜電低壓恒溫烙鐵。對(duì)GJB1649規(guī)定的I類ESSD焊接，還應(yīng)在拔掉烙鐵電源插頭后進(jìn)行。9.19禁止重復(fù)使用ESSD器件包裝管來包裝ESSD器件。9.20原包裝標(biāo)識(shí)為靜電敏感的元件其散料必須使用防靜電材料盛放和包裝。9.21ESSD器件初始包裝應(yīng)在靜電敏感區(qū)域內(nèi)完成，并要用防靜電材料包裝。完成了初始包裝的ESSD器件進(jìn)行二次包裝時(shí)可以在非ESD區(qū)域內(nèi)完成，也需要防靜電材料。9.22禁止使用超過有效期的防靜電材料來接觸或包裝ESSD器件。9.23在任何場合均不允許未采取防靜電措施的人員接觸ESSD及其部件。9.24生產(chǎn)過程中使用的設(shè)備必須采取接

29、地等防靜電措施。9.25運(yùn)輸ESSD及其部件時(shí)，應(yīng)將其放入防靜電包裝內(nèi)進(jìn)行，必要時(shí)，應(yīng)用離子風(fēng)機(jī)來消除在運(yùn)輸過程中產(chǎn)生的靜電。9.26新布置的生產(chǎn)線或工位等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。9.27新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電材料，包括主料，輔料和包裝材料都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。9.28新投入防靜電敏感區(qū)域的防靜電工具等都應(yīng)進(jìn)行ESD認(rèn)可，只有認(rèn)可合格后，方可給生產(chǎn)線使用。9. 靜電敏感區(qū)域的工作臺(tái)、工裝、設(shè)備以及防靜電器材的防靜電規(guī)范10.1基本防靜電要求:防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、工具、工裝儀器都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，如接觸元器件的部分應(yīng)使用

30、防靜電材料(體積電阻<109)， 對(duì)非防靜電材料(表面電阻>1012)應(yīng)采用靜電中和或涂抹防靜電涂液、涂層等其他防護(hù)措施進(jìn)行有效的接地(硬接地軟接地)。10.2防靜電工作臺(tái)的技術(shù)要求：其中各組成部分的主要技術(shù)要求如下:10.2.1工作臺(tái)墊和地墊均應(yīng)采用防靜電材料。靜電臺(tái)墊和地墊上任意一點(diǎn)的系統(tǒng)電阻和表面電阻均為：1×105 1×109靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于1S。10.2.2防靜電腕帶的泄漏電阻為1×106±10，靜電泄放至100V以下的時(shí)間小于0.1S。10.2.3防靜電工作椅:防靜電工作椅上任意一點(diǎn)和人體接觸的地方（椅墊，靠背或扶

31、手）到工作椅的任意一個(gè)導(dǎo)體腳輪的電阻應(yīng)該滿足1×109（不依賴于相對(duì)濕度），工作椅系統(tǒng)接地電阻應(yīng)滿足1×109；工作椅表面的摩擦電壓必須小于100V或高靜電電壓瀉放到100V以下的時(shí)間小于2秒。10.2.4電離器：在不能有效泄放靜電的場合，可采用電離器通過電離空氣產(chǎn)生的正負(fù)離子，來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累。要求電離器對(duì)靜電電壓的消除能力大于100V/S。電離器的平衡度要求小于±15V，靜電消散時(shí)間要求從1000伏下降到100伏的時(shí)間要求小于2秒（中檔風(fēng)量、作用距離1Fit）。10.2.5增濕器：當(dāng)相對(duì)濕度較低時(shí)，可恰當(dāng)?shù)氖褂迷鰸衿鳎ㄟ^恒定的潮濕

32、氣流，防止靜電荷積。但此方法不適于非密封電子元器件。操作時(shí)要注意因濕度增加而導(dǎo)致的有害影響。10.2.6接地系統(tǒng)：包括限流電阻和連接端子，應(yīng)連接可靠，并具有一定的載流能力。限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證漏泄電流不超過5mA，下限阻值應(yīng)為1M。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4。防靜電地線不得與電源零線相接，不得與防雷地線共用。另外，工作臺(tái)面、地墊、其它ESD保護(hù)設(shè)施均應(yīng)通過限流電阻接至公共地線，腕帶應(yīng)通過工作臺(tái)頂面接地點(diǎn)與地線連接。工作臺(tái)不能相互串聯(lián)接地，而應(yīng)分別接地。10.3工作臺(tái)的電氣要求:靜電源靜電電位泄放至100V以下的時(shí)間小于1S，靜電防護(hù)操作系統(tǒng)的電阻上限為109

33、ohm ，防靜電操作系統(tǒng)的泄放電流不得超過5mA，為此防靜電操作系統(tǒng)的的電阻下限為106ohm絕緣體上的靜電采用電離器中和加以消除。10.4工作臺(tái)的安裝(配置)要求:10.4.1按照工作臺(tái)面的大小選擇所需的防靜電臺(tái)墊的尺寸。10.4.2使用異丙基酒精徹底清洗臺(tái)墊下表面(即黑色的一面)。10.4.3從防靜電臺(tái)墊正面壓下旋鈕接頭(可用不銹鋼螺釘、螺母、墊片組成的連接點(diǎn)代替)，使其穿過臺(tái)墊和箔帶(多層箔帶時(shí)應(yīng)保證全部穿過)，以保證電接觸良好。10.4.4使用異丙基酒精清洗防靜電臺(tái)墊上表面和各組成構(gòu)件。10.4.5將經(jīng)過以上準(zhǔn)備好的防靜電臺(tái)墊平整的鋪于工作臺(tái)面上。10.4.6按操作人員的作業(yè)范圍、確定

34、鋪放臺(tái)墊的面積。10.4.7將工作臺(tái)置于防靜電地墊上。10.4.8防靜電工作臺(tái)的接地，使用橫截面不小于2mm2的絞合銅芯軟線或電纜把防靜電臺(tái)墊和地墊分別串聯(lián)1M電阻后連接到地線配置系統(tǒng)上。10.4.9全部安裝完畢后，對(duì)各參數(shù)指標(biāo)進(jìn)行檢驗(yàn)合格后，方可開始使用。10.5防靜電工作臺(tái)接地要求:10.5.1防靜電工作臺(tái)的臺(tái)墊和地墊，分別串聯(lián)1M+-10%的電阻接地(即軟接地)。10.5.2防靜電工作臺(tái)墊和地墊上任意一點(diǎn)與地線配置系統(tǒng)間的電阻為1×1061×109。10.5.3接地電纜應(yīng)采用中間無接頭、且具有足夠的機(jī)械強(qiáng)度。10.5.4多臺(tái)防靜電工作臺(tái)的接地線不能相互串接。10.5.

35、5防靜電工作臺(tái)上的測試儀器、穩(wěn)壓電源、電動(dòng)工具、和電離器等所有外部零件表面、屏蔽面均應(yīng)接地，對(duì)地線配置系統(tǒng)電阻值不大于2， 所有接地點(diǎn)應(yīng)集中接于一點(diǎn)，就近牢固搭接至地線系統(tǒng)上，穩(wěn)壓電源盡可能遠(yuǎn)離工作臺(tái)。10.5.6對(duì)載流接地線，應(yīng)使用同軸電纜來接地和屏蔽。10.5.7為帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型，以使其配接時(shí)工具和設(shè)備的金屬外殼能夠自動(dòng)接地且接地腳要首先接地，斷電時(shí)接地腳最后斷開。10.5.8防靜電工作區(qū)內(nèi)的各種設(shè)備、儀器、工裝（裝備）、工具都應(yīng)實(shí)施靜電防護(hù)措施，例如接觸或靠近靜電敏感器件（ESSD）的部分應(yīng)盡可能使用防靜電材料（靜電耗散材料），對(duì)特殊情況

36、下不可避免須使用非防靜電材料（表面電阻RS1.0×1011）時(shí)應(yīng)采用靜電中和或定期涂抹抗靜電劑、涂層等其他防護(hù)措施，使其電阻值為1×1061×108。有效地消除、抑制或泄放靜電。10.6防靜電工作臺(tái)使用與維護(hù)要求:10.6.1防靜電工作臺(tái)在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)。10.6.2防靜電工作臺(tái)上不允許存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易產(chǎn)生靜電的物品，圖紙、資料等應(yīng)放入防靜電文件袋中。10.6.3測量工具使用兆歐表(額定電壓250500V，量程01000M)， 測量臺(tái)墊，地墊，腕帶和接地電纜等的電阻值。10.6.4使用防靜電劑噴涂工作服、工作椅、工具的絕緣部

37、分，及非導(dǎo)體或非防靜電的塑料容器、椅子坐墊和椅子靠背等。10.6.5使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺(tái)墊和地墊。10.6.6對(duì)所有建筑地板使用防靜電溶液進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)。10.6.7以上條款必須定期進(jìn)行監(jiān)測。10.6.8使用接地電阻測試儀每半年檢測一次地線配置系統(tǒng)電阻值，必要時(shí)，在每批此產(chǎn)品投產(chǎn)前檢測一次。10.7落地設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:10.7.1落地設(shè)備如SMT 、波峰焊機(jī)、FT自動(dòng)線、ICT自動(dòng)線、清洗機(jī)、流水線等等應(yīng)采用硬接地，即直接或通過一個(gè)低阻抗同防靜電地線相連設(shè)備的接地線應(yīng)采用截面積不小于1.25mm2 的敷塑導(dǎo)線，接地線顏色以黃綠色線為宜。10.7.2具有自動(dòng)傳送帶或滾筒式的流

38、水線，線體應(yīng)統(tǒng)一接入大地網(wǎng)，并使線體上任一點(diǎn)與大地的接地電阻均小于4。10.7.3流水線的自動(dòng)傳送帶應(yīng)使用防靜電材料(表面電阻介于106109間)，并通過導(dǎo)線或?qū)w與線體連接。流水線的自動(dòng)傳送帶常常通過金屬的傳送輪接到線體，金屬輪應(yīng)定期清潔而保證皮帶有效接地。10.7.4流水線體上的工裝板應(yīng)通過靜電導(dǎo)體與線體連接，達(dá)到與線體等電位。10.7.5自動(dòng)線體上按作業(yè)崗位需要，設(shè)置接地點(diǎn)，以便操作者能隨時(shí)連接防靜電腕帶。10.8臺(tái)式設(shè)備的防靜電技術(shù)要求:臺(tái)式設(shè)備如元器件成型機(jī)、半自動(dòng)或手工插件機(jī)等應(yīng)通過臺(tái)墊實(shí)施軟接地，即在放置臺(tái)式設(shè)備的工作臺(tái)面上鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，并將臺(tái)墊有效接地。10.9工具的防靜電技

39、術(shù)要求:10.9.1帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設(shè)備提供的電源插頭座，應(yīng)選用安全型。10.9.2防靜電烙鐵的金屬外殼應(yīng)接保護(hù)地，烙鐵頭必須具有硬接地通路，烙鐵頭的接地電阻要求1.0，由于烙鐵頭的高溫氧化問題，日常檢查測試時(shí)烙鐵頭接地電阻20可以接受。防靜電烙鐵手柄的絕緣電阻為1×1071×108，采用24V低壓供電。防靜電真空吸錫器的泄漏電阻為1×105。10.9.2.1防靜電烙鐵的檢查頻率:每月一次。10.9.2.2防靜電烙鐵的檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。10.9.2.3防靜電烙鐵的檢查儀器:萬用表。10.9.2.4防靜電烙鐵的檢查部位:烙鐵頭到地的交流電壓

40、和泄漏電阻。10.9.2.5防靜電烙鐵的檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.5V AC ， <20。10.9.3電動(dòng)批非電力線外殼部分應(yīng)實(shí)行硬接地，也應(yīng)定期檢查:10.9.3.1檢查頻率:每月一次。10.9.3.2檢查指標(biāo):交流電壓和泄漏電阻。10.9.3.3檢查儀器:萬用表。10.9.3.4檢查部位:電動(dòng)批到地的交流電壓和泄漏電阻。10.9.3.5檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.5V AC ， <10 。10.9.4非防靜電的條碼槍的外殼部分應(yīng)實(shí)行硬接地，應(yīng)定期檢查。 10.9.4.1檢查頻率:每月一次。10.9.4.2檢查指標(biāo):靜電電壓和泄漏電阻。10.9.4.3檢查儀器:靜電電壓表和萬用

41、表。10.9.4.4檢查部位:外殼到地的靜電電壓和泄漏電阻。10.9.4.5檢查標(biāo)準(zhǔn):分別是<0.2Kv ， <10。 10.9.4.6對(duì)靜電比較敏感的產(chǎn)品，建議使用防靜電條碼槍，對(duì)于防靜電條碼槍可以不用定期檢查。10.10工裝的防靜電技術(shù)要求：10.10.1橡膠、塑料、化纖、有機(jī)玻璃等高分子材料都具有很高的電阻率，極易在使用過程中因接觸-分離、摩擦、碰撞等作用而產(chǎn)生、積累起很強(qiáng)的靜電，諸如此類在工程中常用的丁基橡膠、ABS塑料、PVC塑料、滌綸等材料都屬工裝慎用材料，對(duì)這些材料必須進(jìn)行防靜電處理或用防靜電材料取代。10.10.2如果接觸靜電敏感元器件的部分使用了金屬材料，則注意一

42、定要將工裝進(jìn)行軟接地(例如放在防靜電墊上接地)。10.10.3如果由于特殊原因，工裝上接觸靜電敏感元器件的部分使用了非防靜電材料(表面電阻>1012)， 則應(yīng)該采用靜電中和或涂抹防靜電涂液涂層等其他防護(hù)措施。10.11靜電敏感區(qū)域的防靜電器材規(guī)范：10.12.1防靜電器材的技術(shù)要求：各類器材的技術(shù)指標(biāo)如下表所示: 項(xiàng)目防靜電器材表面電阻值單位:體積電阻值單位:電阻值單位:摩擦電壓單位:V地墊1×1051×109(正面)1×1031×105（反面）1×1051×108200工作臺(tái)墊1×1051×109(正面)1

43、×1031×105（反面）1×1051×108200工作臺(tái)面1×1061×109200工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻1×1051×108工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻1×1061×108工作椅面對(duì)腳輪電阻1×109200工作椅面與靠背電阻1×109200工作服工作帽手套1×1051×109200工作鞋底0.5×10650 × 106200工位器具及物流傳遞工具1×1031×1081×1031×107200包裝袋(盒

44、)1×1061×10101×1051×109200防靜電泡沫墊1×1061×1010200物流車臺(tái)面對(duì)車輪系統(tǒng)電阻1×1061×109腕帶連接電纜電阻0.9-1.1M佩帶腕帶時(shí)系統(tǒng)電阻1M10M腳跟帶(鞋束)系統(tǒng)電阻0.5×1051×10810.12.2防靜電器材及其使用維護(hù)要求：10.12.2.1防靜電臺(tái)墊：在操作ESSD時(shí)，工作臺(tái)上應(yīng)鋪設(shè)以防靜電材料制成的防靜電臺(tái)墊，使所有與之接觸的ESSD的端子、器具、儀表、人體等都處于同一電位，并通過適當(dāng)接地使靜電得以迅速泄放。一般的安裝方法是，在臺(tái)墊上

45、裝設(shè)接地端子，用以連接腕帶，同時(shí)墊子通過適當(dāng)電阻接入接地母線。10.12.2.2防靜電地墊：地墊用于工作崗位不是位于防靜電地面上的情況。防靜電地墊可用防靜電橡膠制作，多采用雙層結(jié)構(gòu)，上表層為使用面，操作者站在上面進(jìn)行作業(yè)，下表層為地電阻面，與地面直接、緊密接觸。安裝地墊時(shí)，要在其一角裝上供連接地線用的爪扣，并用專用連線與接地母線連接起來。使用地墊時(shí)必須附有保護(hù)電阻，以防止人體意外觸電。防靜電墊每6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)測試儀器是兆歐表或表面電阻表。10.12.2.3工作椅：為全面控制人體靜電，操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅子，不能用木制椅代替

46、防靜電椅。如果椅腿是非金屬材料或有絕緣套腳時(shí)，應(yīng)將防靜電椅面接地。我們公司目前使用的不是靜電椅，應(yīng)考慮更換或?qū)ζ溥M(jìn)行改造(在其表面罩上防靜電套， 并應(yīng)將防靜電椅面接地)，每6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。10.12.2.4防靜電包裝袋：在靜電敏感器件和印制板的包裝和儲(chǔ)存中，為避免物料與高絕緣包裝袋的摩擦而產(chǎn)生靜電、受到ESD損害，必須使用防靜電包裝袋。同時(shí)，為避免外界強(qiáng)電磁場的干擾與感應(yīng)，必要時(shí)，應(yīng)使用具有屏蔽作用的防靜電袋。防靜電包裝袋每6個(gè)月檢測一次，標(biāo)準(zhǔn)參照測試技術(shù)指標(biāo)，測試儀器是兆歐表。10.12.2.5防靜電容器(包括周轉(zhuǎn)箱、元器件存放盒、印制板架等)：在電子產(chǎn)品生產(chǎn)中，在各工位、各工序間用于傳遞和儲(chǔ)存ESSD和單板的各類容器，以及用于產(chǎn)品包裝發(fā)貨的容器，都應(yīng)具備防靜電性能，而不允許使用金屬和普通塑料容器。必