第六章 壓電式傳感器

1、12 概述 壓電式傳感器的工作原理是基于某些介質(zhì)材壓電式傳感器的工作原理是基于某些介質(zhì)材料的料的壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)，是典型的有源傳感器。，是典型的有源傳感器。 當(dāng)某些材料當(dāng)某些材料受力作用受力作用而變形時(shí)，其表面會(huì)有而變形時(shí)，其表面會(huì)有電荷產(chǎn)生電荷產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)非電量測(cè)量。，從而實(shí)現(xiàn)非電量測(cè)量。3 某些電介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí)，某些電介質(zhì)，當(dāng)沿著一定方向?qū)ζ涫┝Χ顾冃螘r(shí)，其內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)表面上便產(chǎn)生符號(hào)其內(nèi)部就產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它的兩個(gè)表面上便產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷，當(dāng)外力去掉后，其又重新恢復(fù)到不帶電狀態(tài)，相反的電荷，當(dāng)外力去掉后，其又重新恢復(fù)到不帶電狀態(tài)

2、，這種現(xiàn)象稱這種現(xiàn)象稱壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)。 當(dāng)作用力方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變。當(dāng)作用力方向改變時(shí)，電荷的極性也隨之改變。 這種機(jī)械能轉(zhuǎn)為電能的現(xiàn)象，稱為這種機(jī)械能轉(zhuǎn)為電能的現(xiàn)象，稱為“順壓電效應(yīng)順壓電效應(yīng)”。45反之，當(dāng)在某些物質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些材料在反之，當(dāng)在某些物質(zhì)的極化方向上施加電場(chǎng)，這些材料在某一方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械壓力；當(dāng)外加電場(chǎng)撤去時(shí)，某一方向上產(chǎn)生機(jī)械變形或機(jī)械壓力；當(dāng)外加電場(chǎng)撤去時(shí)，這些變形或應(yīng)力也隨之消失。這種電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的現(xiàn)這些變形或應(yīng)力也隨之消失。這種電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的現(xiàn)象稱為象稱為“逆壓電效應(yīng)逆壓電效應(yīng)”。67u壓電材料可以分為兩大類：壓電材料可

3、以分為兩大類：壓電晶體壓電晶體和和壓電陶瓷壓電陶瓷。前者。前者為晶體，后者為極化處理的多晶體。為晶體，后者為極化處理的多晶體。u他們都具有較大的壓電常數(shù)，機(jī)械性能良好，時(shí)間穩(wěn)定他們都具有較大的壓電常數(shù)，機(jī)械性能良好，時(shí)間穩(wěn)定性好，溫度穩(wěn)定性好等特性，所以是較理想的壓電材料。性好，溫度穩(wěn)定性好等特性，所以是較理想的壓電材料。8ZXY縱向軸縱向軸Z稱為稱為光軸光軸經(jīng)過(guò)正六面體棱線，經(jīng)過(guò)正六面體棱線，并垂直于光軸的并垂直于光軸的X X軸稱軸稱為為電軸電軸與與X X軸和軸和Z Z軸同時(shí)垂直軸同時(shí)垂直的的Y Y軸（垂直于正六軸（垂直于正六面體的棱面）面體的棱面）稱為稱為機(jī)械軸機(jī)械軸 天然結(jié)構(gòu)的石英晶體外

4、形是一個(gè)正六面體。石英晶體各天然結(jié)構(gòu)的石英晶體外形是一個(gè)正六面體。石英晶體各個(gè)方向的特性是不同的。個(gè)方向的特性是不同的。9(a) (a) 晶體外形；晶體外形； (b) (b) 切割方向；切割方向； (c) (c) 晶片晶片 10石英晶體具有壓電效應(yīng)，是由其內(nèi)部分子結(jié)構(gòu)決定的。如圖石英晶體具有壓電效應(yīng)，是由其內(nèi)部分子結(jié)構(gòu)決定的。如圖所示是一個(gè)單元組體中構(gòu)成石英晶體的硅離子和氧離子，在所示是一個(gè)單元組體中構(gòu)成石英晶體的硅離子和氧離子，在垂直于垂直于z z軸的軸的xyxy平面上的投影，等效為一個(gè)正六邊形排列。平面上的投影，等效為一個(gè)正六邊形排列。 圖中圖中“”代表硅離子代表硅離子SiSi4+4+，

5、“ “”代表氧離子代表氧離子2O2O2-2-。 11當(dāng)石英晶體未受外力作用時(shí)，正、負(fù)離子正好分布在正六邊當(dāng)石英晶體未受外力作用時(shí)，正、負(fù)離子正好分布在正六邊形的頂角上，形成三個(gè)互成形的頂角上，形成三個(gè)互成120120夾角的電偶極矩夾角的電偶極矩P P1 1、P P2 2、P P3 3。 因?yàn)橐驗(yàn)镻 = qL（q q為電荷量，為電荷量，L L為為正負(fù)電荷之間的距離），此時(shí)正負(fù)電荷之間的距離），此時(shí)正負(fù)電荷中心重合，電偶極矩正負(fù)電荷中心重合，電偶極矩的矢量和等于零，即的矢量和等于零，即 P P1 1+ +P P2 2+ +P P3 30 0所以晶體表面不產(chǎn)生電荷，呈電中性。所以晶體表面不產(chǎn)生電荷，

6、呈電中性。12當(dāng)晶體受到沿當(dāng)晶體受到沿x方向的壓力時(shí)，晶體沿方向的壓力時(shí)，晶體沿x方向?qū)a(chǎn)生收縮，正、方向?qū)a(chǎn)生收縮，正、負(fù)離子的相對(duì)位置隨之發(fā)生變化。此時(shí)正、負(fù)電荷中心不再負(fù)離子的相對(duì)位置隨之發(fā)生變化。此時(shí)正、負(fù)電荷中心不再重合，電偶極矩重合，電偶極矩P P1 1減小，減小，P P2 2、P P3 3增大，它們?cè)谠龃?，它們?cè)趚方向上的分量方向上的分量不再等于零不再等于零: : (P (P1 1+P+P2 2+P+P3 3) )x0 0 在在y y、z z方向上的分量為方向上的分量為: : (P P1 1+P+P2 2+P+P3 3)y=0 (P P1 1+P+P2 2+P+P3 3)z =0

7、+ + + + +X XY Y+ + + +- - - -P P1 1P P2 2P P3 3F FX XF FX X在在x x軸的正向出現(xiàn)正電荷，在軸的正向出現(xiàn)正電荷，在y y、z z方向不出現(xiàn)電荷方向不出現(xiàn)電荷。13晶體受到沿晶體受到沿x方向的拉力方向的拉力P P1 1增大，增大， P P2 2、P P3 3減小減小 (P(P1 1+P+P2 2+P+P3 3) )x0 0 0 在在x x軸的正向出現(xiàn)正電荷，在軸的正向出現(xiàn)正電荷，在y y、z z方向不出現(xiàn)電荷方向不出現(xiàn)電荷。16Y+-X-P2P3P1+ + + + +FYFY晶體受到沿晶體受到沿Y方向的壓力方向的壓力與與X X方向拉力相同

8、方向拉力相同 (P (P1 1+P+P2 2+P+P3 3) )x0 0 在在x x軸的正向出現(xiàn)負(fù)電荷，在軸的正向出現(xiàn)負(fù)電荷，在y y、z z方向不出現(xiàn)電荷方向不出現(xiàn)電荷。 這種沿這種沿Y Y軸施加力，而在垂直于軸施加力，而在垂直于X X軸晶面上產(chǎn)生電軸晶面上產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象即為荷的現(xiàn)象即為橫向壓電效應(yīng)橫向壓電效應(yīng)。171819Y Y+ + + +- - - -X XP P1 1P P2 2P P3 3受受Z Z軸力軸力: :晶體沿晶體沿x x方向和沿方向和沿y y方向所產(chǎn)生的正應(yīng)變完全相同，所以，正、方向所產(chǎn)生的正應(yīng)變完全相同，所以，正、負(fù)電荷中心保持重合，電偶極矩矢量和等于零。負(fù)電荷中心保持

9、重合，電偶極矩矢量和等于零。在沿在沿z( z(即光軸即光軸) )方向的力方向的力Fz Fz 作用下，晶體不產(chǎn)生壓電作用下，晶體不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。效應(yīng)。2011xxQdF為作用力。為作用力。11dxFFXFX+ + + + + +XX為為x x方向受力的壓電系數(shù)；方向受力的壓電系數(shù)；xQ為產(chǎn)生的電荷為產(chǎn)生的電荷21+ + + + + FYXFYX12yyaQdFb為作用力。為作用力。12dyF為為y y方向受力的壓電系數(shù)方向受力的壓電系數(shù)yQ為產(chǎn)生的電荷為產(chǎn)生的電荷1211dd 因石英軸對(duì)稱因石英軸對(duì)稱, ,a a：厚度：厚度 b b：寬度：寬度22 當(dāng)晶片受到當(dāng)晶片受到x x方向的壓力作用時(shí)，方

10、向的壓力作用時(shí)，q qx x只與作用只與作用力力x x成正比，而與晶片的幾何尺寸無(wú)關(guān)；成正比，而與晶片的幾何尺寸無(wú)關(guān)； 沿機(jī)械軸沿機(jī)械軸y y方向向晶片施加壓力時(shí)，產(chǎn)生的電方向向晶片施加壓力時(shí)，產(chǎn)生的電荷是與幾何尺寸有關(guān)的；荷是與幾何尺寸有關(guān)的； 石英晶體不是在任何方向都存在壓電效應(yīng)；石英晶體不是在任何方向都存在壓電效應(yīng)； 晶體在哪個(gè)方向上有正壓電效應(yīng)，則在此方晶體在哪個(gè)方向上有正壓電效應(yīng)，則在此方向上一定存在逆壓電效應(yīng)；向上一定存在逆壓電效應(yīng)； 無(wú)論是正或逆壓電效應(yīng)，其作用力（或應(yīng)變）無(wú)論是正或逆壓電效應(yīng)，其作用力（或應(yīng)變）與電荷（或電場(chǎng)強(qiáng)度）之間皆呈線性關(guān)系。與電荷（或電場(chǎng)強(qiáng)度）之間皆呈線

11、性關(guān)系。結(jié)論：結(jié)論：23無(wú)外電場(chǎng)作用時(shí)無(wú)外電場(chǎng)作用時(shí)總極化強(qiáng)度為零總極化強(qiáng)度為零外電場(chǎng)去掉后外電場(chǎng)去掉后具剩余極化強(qiáng)度具剩余極化強(qiáng)度施加外電場(chǎng)時(shí)施加外電場(chǎng)時(shí)電疇自發(fā)極化方向電疇自發(fā)極化方向與外電場(chǎng)一致與外電場(chǎng)一致24自由電荷自由電荷束縛電荷束縛電荷電極電極電極電極 極化方向極化方向無(wú)外力作用時(shí)電壓表不能測(cè)出陶瓷片內(nèi)的極化程度無(wú)外力作用時(shí)電壓表不能測(cè)出陶瓷片內(nèi)的極化程度束縛電荷會(huì)吸附自由電荷束縛電荷會(huì)吸附自由電荷陶瓷片對(duì)外不表現(xiàn)極性陶瓷片對(duì)外不表現(xiàn)極性25這種由機(jī)械效應(yīng)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦?yīng)，或者由機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)檫@種由機(jī)械效應(yīng)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦?yīng)，或者由機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿默F(xiàn)象，就是電能的現(xiàn)象，就是正壓電效應(yīng)正壓電效

12、應(yīng)。 Fdq33d33 :壓電陶瓷壓電系數(shù)壓電陶瓷壓電系數(shù)F：作用力作用力 加外力加外力 極化方向極化方向F電疇偏轉(zhuǎn)，極化強(qiáng)度電疇偏轉(zhuǎn)，極化強(qiáng)度變小，自由電荷釋放變小，自由電荷釋放 2627逆壓電效應(yīng)：逆壓電效應(yīng)：由于電效應(yīng)而轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械效應(yīng)或者由由于電效應(yīng)而轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械效應(yīng)或者由電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械能的現(xiàn)象。電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械能的現(xiàn)象。 極 化極 化方向方向電場(chǎng)方向電場(chǎng)方向2829指壓電材料開(kāi)指壓電材料開(kāi)始喪失壓電特始喪失壓電特性的溫度。性的溫度。30 1 1、石英晶體、石英晶體 石英（石英（SiOSiO2 2）是一種具有良好壓電特性的壓電晶）是一種具有良好壓電特性的壓電晶體。其體。其壓電系數(shù)壓電系數(shù)的溫

13、度穩(wěn)定性的溫度穩(wěn)定性相當(dāng)好。相當(dāng)好。 在在2020200200范圍內(nèi)，溫度每升高范圍內(nèi)，溫度每升高11，壓電系數(shù)，壓電系數(shù)僅減少僅減少0.0160.016。但是當(dāng)?shù)?。但是?dāng)?shù)?73573時(shí)，它完全失去了壓時(shí)，它完全失去了壓電特性，這就是它的電特性，這就是它的居里點(diǎn)居里點(diǎn)。 斜率：0.016/1.000.990.980.970.960.9520406080 100 120 140 160 180 200dt/d20t石英的d11系數(shù)系數(shù)相對(duì)于20的d11溫度變化特性31 優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)： 性能非常穩(wěn)定性能非常穩(wěn)定，機(jī)械強(qiáng)度高，絕緣性能也相當(dāng)好。，機(jī)械強(qiáng)度高，絕緣性能也相當(dāng)好。 缺點(diǎn)：缺點(diǎn)： 價(jià)格昂貴

14、價(jià)格昂貴，且，且壓電系數(shù)比壓電陶瓷低得多壓電系數(shù)比壓電陶瓷低得多。用于。用于標(biāo)準(zhǔn)儀器標(biāo)準(zhǔn)儀器或要求較高的傳感器中。或要求較高的傳感器中。 切割：切割： 各向異性晶體各向異性晶體，按不同方向切割，物理性質(zhì)，按不同方向切割，物理性質(zhì)（如彈性、壓電效應(yīng)、溫度特性等）相差很大。根（如彈性、壓電效應(yīng)、溫度特性等）相差很大。根據(jù)不同使用要求正確地選擇據(jù)不同使用要求正確地選擇石英片的切型石英片的切型。 組成：組成： 天然天然和和人工培養(yǎng)人工培養(yǎng)兩種類型。因其物理和化學(xué)性質(zhì)兩種類型。因其物理和化學(xué)性質(zhì)幾乎沒(méi)有區(qū)別，廣泛應(yīng)用成本較低的人造石英晶體。幾乎沒(méi)有區(qū)別，廣泛應(yīng)用成本較低的人造石英晶體。32天然形成的石英

15、晶體外形天然形成的石英晶體外形33人工合成水晶人工合成水晶雙面鍍銀并封裝雙面鍍銀并封裝壓電晶片壓電晶片石英晶體薄片石英晶體薄片石英晶體切片及封裝34 鈦酸鋇壓電陶瓷鈦酸鋇壓電陶瓷 鈦酸鋇（鈦酸鋇（BaTiO3）是由碳酸鋇（）是由碳酸鋇（BaCO3）和二）和二氧化鈦（氧化鈦（TiO2）按）按1：1分子比例在高溫下合成的壓分子比例在高溫下合成的壓電陶瓷。電陶瓷。 它具有較大的它具有較大的壓電系數(shù)壓電系數(shù)約為石英晶體的約為石英晶體的50倍。不倍。不足之處是居里溫度低（足之處是居里溫度低（120），溫度穩(wěn)定性和機(jī)），溫度穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度不如石英晶體。械強(qiáng)度不如石英晶體。2 2、壓電陶瓷、壓電陶瓷35

16、鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷（鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷（PZT） 鋯鈦酸鉛與鈦酸鋇相比，鋯鈦酸鉛與鈦酸鋇相比，壓電系數(shù)更大，居里壓電系數(shù)更大，居里溫度在溫度在300300以上以上，各項(xiàng)機(jī)電參數(shù)受溫度影響小，各項(xiàng)機(jī)電參數(shù)受溫度影響小，時(shí)間穩(wěn)定性好。此外，在鋯鈦酸中添加一種或兩種時(shí)間穩(wěn)定性好。此外，在鋯鈦酸中添加一種或兩種其它微量元素（如銻、錫、錳、鎢等）還可以獲得其它微量元素（如銻、錫、錳、鎢等）還可以獲得不同性能的不同性能的PZTPZT材料。因此鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷是材料。因此鋯鈦酸鉛系壓電陶瓷是目前壓電式傳感器中目前壓電式傳感器中應(yīng)用最廣泛應(yīng)用最廣泛的壓電材料。的壓電材料。 3637壓電陶瓷外形超聲波美容儀器

17、用壓電陶瓷晶片超聲波美容儀器用壓電陶瓷晶片醫(yī)用醫(yī)用B超換能器用晶片超換能器用晶片38 由于外力作用而使壓電材料上產(chǎn)生電荷，該電荷只由于外力作用而使壓電材料上產(chǎn)生電荷，該電荷只有在無(wú)泄漏的情況下才會(huì)長(zhǎng)期保存，因此需要測(cè)量電有在無(wú)泄漏的情況下才會(huì)長(zhǎng)期保存，因此需要測(cè)量電路具有無(wú)限大的輸入阻抗，而實(shí)際上這是不可能的。路具有無(wú)限大的輸入阻抗，而實(shí)際上這是不可能的。 所以壓電傳感器不宜作靜態(tài)測(cè)量，只能在其上加交所以壓電傳感器不宜作靜態(tài)測(cè)量，只能在其上加交變力，電荷才能不斷得到補(bǔ)充，可以供給測(cè)量電路變力，電荷才能不斷得到補(bǔ)充，可以供給測(cè)量電路定的電流，故壓電傳感器只宜作定的電流，故壓電傳感器只宜作動(dòng)態(tài)動(dòng)態(tài)

18、測(cè)量。測(cè)量。39在實(shí)際應(yīng)用中，由于單片的輸出電荷很小，因此，組成壓在實(shí)際應(yīng)用中，由于單片的輸出電荷很小，因此，組成壓電式傳感器的晶片不止一片，常常將兩片或兩片以上的晶電式傳感器的晶片不止一片，常常將兩片或兩片以上的晶片粘結(jié)在一起。粘結(jié)的方法有兩種，即并聯(lián)和串聯(lián)。片粘結(jié)在一起。粘結(jié)的方法有兩種，即并聯(lián)和串聯(lián)。40并聯(lián)連接并聯(lián)連接+ + + -+ + + + -qq2CC2UU 并聯(lián)接法輸出電荷大，本身電容大，并聯(lián)接法輸出電荷大，本身電容大， 時(shí)間常數(shù)大，適時(shí)間常數(shù)大，適宜用在宜用在測(cè)量慢變信號(hào)測(cè)量慢變信號(hào)并且以并且以電荷作為輸出量電荷作為輸出量的場(chǎng)合。的場(chǎng)合。41串聯(lián)連接串聯(lián)連接+ + + -+

19、 + + -+ qq 2CC UU2串聯(lián)接法輸出電壓大，本身電容小，適宜用于測(cè)量串聯(lián)接法輸出電壓大，本身電容小，適宜用于測(cè)量電電壓作輸出信號(hào)壓作輸出信號(hào)和和快變化信號(hào)快變化信號(hào)的場(chǎng)合。的場(chǎng)合。42由壓電元件的工作原理可知，壓電式傳感器可以看作一個(gè)由壓電元件的工作原理可知，壓電式傳感器可以看作一個(gè)電荷發(fā)生器。同時(shí)，它也是一個(gè)電容器，晶體上聚集等量電荷發(fā)生器。同時(shí)，它也是一個(gè)電容器，晶體上聚集等量的正負(fù)電荷的兩表面相當(dāng)于電容的兩個(gè)極板，極板間物質(zhì)的正負(fù)電荷的兩表面相當(dāng)于電容的兩個(gè)極板，極板間物質(zhì)等效于一種介質(zhì)，則其電容量為等效于一種介質(zhì)，則其電容量為: :eACd AA壓電片的面積；壓電片的面積；

20、dd壓電片的厚度；壓電片的厚度；壓電材料介電常數(shù)。壓電材料介電常數(shù)。43 q電極電極壓電晶體壓電晶體qCedAdACre0eCqU 靜電發(fā)生靜電發(fā)生器器電容器電容器44 壓電傳感器可等效為電壓源壓電傳感器可等效為電壓源Ua和一個(gè)電容器和一個(gè)電容器Ce的串聯(lián)電路，如圖的串聯(lián)電路，如圖(a)；也可等效為一個(gè)電荷源；也可等效為一個(gè)電荷源q和一和一個(gè)電容器個(gè)電容器Ce的并聯(lián)電路，如圖的并聯(lián)電路，如圖(b)。 （a）電壓等效電路CeUq/ Ceq UCeCe（b）電荷等效電路45C Cc c ：連接電纜等效電容：連接電纜等效電容 R Ri i ：放大器輸入電阻：放大器輸入電阻C Ci i ：放大器輸入電

21、容：放大器輸入電容 R Rd d ：傳感器泄漏電阻：傳感器泄漏電阻實(shí)際等效電路實(shí)際等效電路46 壓電傳感器本身的內(nèi)阻抗很高壓電傳感器本身的內(nèi)阻抗很高(大于大于1010歐姆），歐姆），輸出能量較小，給后續(xù)測(cè)量電路（放大電路）提出輸出能量較小，給后續(xù)測(cè)量電路（放大電路）提出很高要求。很高要求。 為了保證壓電傳感器的測(cè)量誤差較小，它的測(cè)量電為了保證壓電傳感器的測(cè)量誤差較小，它的測(cè)量電路通常需要接入一個(gè)高輸入阻抗的前置放大器，其路通常需要接入一個(gè)高輸入阻抗的前置放大器，其作用為：作用為：一是把它的高輸出阻抗變換為低輸出阻抗；一是把它的高輸出阻抗變換為低輸出阻抗；二是放大傳感器輸出的微弱信號(hào)。二是放大傳

22、感器輸出的微弱信號(hào)。 壓電傳感器的輸出可以是電壓信號(hào)，也可以是電荷壓電傳感器的輸出可以是電壓信號(hào)，也可以是電荷信號(hào)，因此前置放大器也有兩種形式：電壓放大器信號(hào)，因此前置放大器也有兩種形式：電壓放大器和電荷放大器。和電荷放大器。47電壓放大器電壓放大器iRcCiCaUiU0UAdReCaUiU0UAR CeC若壓電元件材料受若壓電元件材料受正弦力正弦力作用，則產(chǎn)生的電壓值為作用，則產(chǎn)生的電壓值為 sinsinmameedFqUtUtCCtFFmsinFm作用力的幅值作用力的幅值電壓幅值電壓幅值 emmCdFU壓電系數(shù)壓電系數(shù)48可得放大器輸入端的電壓可得放大器輸入端的電壓Ui，其復(fù)數(shù)形式為，其復(fù)

23、數(shù)形式為sin1()imej RUdFtj R CCaUiU0UARCeCiRcCiCaUiU0UAdReC49221mimRdFU Ui的幅值的幅值Uim為為)(arctan2eCCR輸入電壓與作用力之間的相位差輸入電壓與作用力之間的相位差為為()diecidiR RCCCRRsin1()imej RUdFtj R CC50221imVmURdSF 001VS）（12）（這說(shuō)這說(shuō)明壓電式傳感器的明壓電式傳感器的高頻響應(yīng)相當(dāng)好高頻響應(yīng)相當(dāng)好壓電傳感器壓電傳感器不能測(cè)靜態(tài)量不能測(cè)靜態(tài)量。 為了得到好的低頻響應(yīng)特性，為了得到好的低頻響應(yīng)特性，越大越好，應(yīng)大些，R靈敏度與連接電纜有關(guān)，更換電纜需要重新標(biāo)定。靈敏度與連接電纜有關(guān)，更換電纜需要重新標(biāo)定。5152例：壓電式壓力傳感器例：壓電式壓力傳感器Fdq1153例：壓電式加速度傳感器例：壓電式加速度傳感器madFdq333