真空技術(shù)+真空設(shè)備型號(hào)編制方法

1、0ICS 23.160J 78備案號(hào)：348962012中華人民 共和國(guó)機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T 76732011代替 JB/T 76731995真空技術(shù)真空設(shè)備型號(hào)編制方法Vacuum technologyMethods for compiling vacuum equipment models2011-12-20 發(fā)布2012-04-01 實(shí)施中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布 JB/T 76732011目次前言.II1范圍. 12規(guī)范性引用文件. 13術(shù)語(yǔ)和定義. 14真空設(shè)備型號(hào)組成. 14.1通則. 14.2真空泵. 14.3真空泵機(jī)組. 24.4真空閥門. 34.5真空鍍膜機(jī). 45真空

2、設(shè)備型號(hào)示例. 65.1真空泵. 65.2機(jī)組. 85.3閥門. 85.4鍍膜機(jī). 9參考文獻(xiàn). 11表 1表 2表 3 表 4 表 5 表 6 表 7 表 8 表 9 表 10真空泵名稱. 2真空泵特征. 2閥門使用的真空范圍. 3 閥門結(jié)構(gòu)型式. 3 閥門驅(qū)動(dòng)方式. 4 閥門通道型式. 4 閥門輔助結(jié)構(gòu)型式. 4 膜層沉積原理. 5 鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)特征. 5 鍍膜機(jī)用途特征. 6IJB/T 76732011前言本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T 1.12009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)代替JB/T 76731995真空設(shè)備型號(hào)編制方法，與JB/T 76731995相比主要技術(shù)變化如下：增加了前言；為了使用的方便增

3、加了目次；增加了第2章“規(guī)范性引用文件”；增加了第3章“術(shù)語(yǔ)和定義”；所有表增加了標(biāo)題；增加了表1中的渦旋真空泵等的型號(hào)“WX、ZH、LC、LG、IQ、YK、SK”，表2中的真空泵特 征型號(hào)“F、P、Q、J”，表6中閥門通導(dǎo)形式“D”，表8中的鍍膜原理型號(hào)“ZLF、LR、HYJ、 HF”，表9中的鍍膜機(jī)特征型號(hào)“F、J、N”，表10中的鍍膜機(jī)用途特征型號(hào)“B、I、E”；增加了表7閥門輔助結(jié)構(gòu)型式，以后的表號(hào)依次順延；修改了鍍膜室內(nèi)部尺寸表示法，用一個(gè)數(shù)表示；重新編制了表8中的濺射鍍膜原理型號(hào)；刪除了表1中的余擺線真空泵、單級(jí)多旋片式真空泵、汞擴(kuò)散真空泵、回旋泵（彈道泵）、復(fù)合 式離子泵，表2中

4、的“D多式多元”、“C磁控”，表9中的鍍膜機(jī)特征型號(hào)“P、T、A”，表10中 的鍍膜機(jī)用途特征“Z、R”，3.1中的XD-63、YZ-150；修改了JB/T 76731995第3章“真空設(shè)備型號(hào)示例”中的編制內(nèi)容，成為本標(biāo)準(zhǔn)的第5章。 本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（SAC/TC18）歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司。 本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位：浙江真空設(shè)備集團(tuán)有限公司、中國(guó)航天科技集團(tuán)第五研究院510研究所、臺(tái)州環(huán)球真空設(shè)備制造有限公司、淄博真空設(shè)備廠有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：楊靜、陳月增、范立群、王西龍、王曉虎、劉玉魁、趙計(jì)

5、春、趙偉勝、徐法儉。 本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：ZB J 78016780191989；JB/T 76731995。IIJB/T 76732011真空技術(shù)真空設(shè)備型號(hào)編制方法1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空泵、真空機(jī)組、真空閥門和真空鍍膜機(jī)型號(hào)的編制方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于上述各種真空設(shè)備的型號(hào)編制。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T 31632007真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T 3163 界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。4真空設(shè)備型號(hào)組成4.1通則由

6、基本型號(hào)和輔助型號(hào)兩部分組成，兩者中間為橫直線。4.2真空泵基本型號(hào)輔助型號(hào)代表真空泵級(jí)（極）數(shù)，以阿拉伯?dāng)?shù)字表示。不分級(jí)（極）或單級(jí)（極）者省略。代表真空泵名稱，以構(gòu)成名稱的一個(gè)（或兩個(gè)）關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 1 的規(guī)定。代表真空泵特征，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 2 規(guī)定或自編補(bǔ)充代號(hào)，如無(wú)需表示可省略。代表真空泵使用特點(diǎn)（多指被抽氣體性質(zhì)），對(duì)于可凝性被抽氣體，以印刷體大寫字母“N”表示；對(duì)于腐蝕性被抽氣體，以印刷體大寫字母“F”表示。無(wú)特指者省略或自編補(bǔ)充代號(hào)。代表真空泵規(guī)格或主參數(shù)，以阿拉伯?dāng)?shù)字表示，按表

7、1 的規(guī)定。代表真空泵設(shè)計(jì)序號(hào)，以第一次改型設(shè)計(jì)開始，以字母 A、B、C、順序表示。1654321654321JB/T 76732011表 1真空泵名稱表 2真空泵特征4.3真空泵機(jī)組（以下簡(jiǎn)稱機(jī)組）基本型號(hào)輔助型號(hào)代表機(jī)組，以“機(jī)”字的漢語(yǔ)拼音“ji”的第一個(gè)字母（印刷體大寫）“J”表示。2154321代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母W“臥”式“wo”T“凸”腔“tu”Z“直”聯(lián)“zhi”F“風(fēng)”冷“feng”，“復(fù)”合“fu”S“升”華器“sheng”X磁“懸”浮“xuan”P帶“旁”路“pang”J“金”屬密封“jin”I帶“截”止閥“jie”G“干”式“gan”Q“氣”

8、冷“qi”序號(hào)真空泵名稱代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母真空泵規(guī)格或主參數(shù)相應(yīng)單位1往復(fù)真空泵W“往”復(fù)“wang”抽氣速率L/s2定片真空泵D“定”片“ding”3旋片真空泵X“旋”片“xuan”4滑閥真空泵H“滑”閥“hua”5羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵）ZJ“增”壓“zeng”，“機(jī)”械“ji”6羅茨干式真空泵LC“羅”“l(fā)uo”，“茨”“ci”7渦旋真空泵WX“渦”“wo”，“旋”“xuan”8爪式真空泵ZH“爪”式“zhua”9螺桿真空泵LG“螺”“l(fā)uo”，“桿”“gan”10濺射離子泵L“離”子“l(fā)i”11分子泵 aF“分”子“fen”進(jìn)氣口徑mm12擴(kuò)散泵K“擴(kuò)”散“kuo”13擴(kuò)散噴射泵

9、（油增壓泵）Z“增”壓“zeng”14升華泵S“升”華“sheng”15吸氣劑泵XQ“吸”“xi”，“氣”“qi”16鋯鋁吸氣劑泵GL“鋯”“gao”，“鋁”“l(fā)ü”17制冷機(jī)低溫泵（冷凝泵）DZ“低”溫“di”，“制”冷“zhi”18灌注式低溫泵（冷凝泵）DG“低”溫“di”，“灌”注“guan”19分子篩吸附泵FX“分”子“fen”，“吸”附“xi”分子篩重量kg20水噴射泵PS“噴”射“pen”，“水”“shui”抽氣速率m3/h21空氣噴射泵PQ“噴”射“pen”，空“氣”“qi”22水蒸氣噴射泵P“噴”射“pen”總抽氣量kg/h23液環(huán)真空泵YK“液”環(huán)“ye”氣量m3/

10、min24水環(huán)真空泵SK“水”環(huán)“shui”a 個(gè)別規(guī)格泵的進(jìn)氣口徑相同而抽氣速率不等，則可同時(shí)標(biāo)出抽氣速率，單位為 L/s。JB/T 76732011代表機(jī)組中主泵名稱，以代號(hào)表示，按表 1 的規(guī)定。代表機(jī)組組合特征，如前級(jí)泵配置、擋油器形式等，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音字母（印刷體大寫）表示，由制造廠編撰。通常可省略。代表機(jī)組中主泵的規(guī)格或主參數(shù)，以阿拉伯?dāng)?shù)字表示，按表 1 的規(guī)定。代表機(jī)組設(shè)計(jì)序號(hào)，從第一次改型設(shè)計(jì)開始，以字母 A、B、C、順序表示。4.4真空閥門（以下簡(jiǎn)稱閥門）基本型號(hào)輔助型號(hào)代表閥門使用真空范圍，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 3 的規(guī)定。代表閥門結(jié)

11、構(gòu)型式或功能類別，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（第二、三）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 4 的規(guī)定。表 3閥門使用的真空范圍表 4閥門結(jié)構(gòu)型式代表閥門驅(qū)動(dòng)方式，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 5 的規(guī)定，手動(dòng)式省略。代表閥門通道型式及使用方向，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 6 的規(guī)定，直通式省略，雙向閥省略。343代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母D“擋”板“dang”Z“錐”形“zhui”C“插”板“cha”W“微”調(diào)“wei”F“翻”板“fan”U“球”形“qiu”M隔“膜”“mo”Y“壓”差“ya”I“蝶”形“die”代 號(hào)C

12、GD關(guān)鍵字意義及拼音字母“超”高真空閥“chao”“高”真空閥“gao”“低”真空閥“di”216543215432JB/T 76732011代表閥門規(guī)格公稱通徑，單位為毫米（mm），以阿拉伯?dāng)?shù)字表示。帶輔助結(jié)構(gòu)型式的閥門應(yīng)在數(shù)字之前添加相應(yīng)的印刷體大寫字母，按表 7 的規(guī)定。代表閥門設(shè)計(jì)序號(hào)，以第一次改型設(shè)計(jì)開始，以字母 A、B、C、順序表示。表 5閥門驅(qū)動(dòng)方式表 6閥門通道型式表 7閥門輔助結(jié)構(gòu)型式4.5真空鍍膜機(jī)（以下簡(jiǎn)稱鍍膜機(jī)）基本型號(hào)輔助型號(hào)代表膜層沉積原理，以其兩個(gè)或三個(gè)關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 8 的規(guī)定。代表鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)特征及所用主泵形式，以主

13、要特征關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 9 的規(guī)定或自編補(bǔ)充代號(hào)。代表鍍膜機(jī)用途特征，以其關(guān)鍵字的漢語(yǔ)拼音第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）表示，按表 10 的規(guī)定或自編補(bǔ)充代號(hào)。代表鍍膜室內(nèi)部幾何尺寸，圓筒形為內(nèi)徑，箱式為箱體內(nèi)寬。以阿拉伯?dāng)?shù)字表示，單位為毫米（mm）。代表鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)序號(hào)，以第一次改型設(shè)計(jì)開始，以字母 A、B、C、順序表示。注：對(duì)二極、三極或四極濺射的鍍膜設(shè)備，以相應(yīng)的阿拉伯?dāng)?shù)字表示，標(biāo)記于型號(hào)的首位。4654321654321代 號(hào)QLB關(guān)鍵字意義及拼音字母充“氣”“qi”水“冷”“l(fā)eng”“扁”閥“bian”代 號(hào)SJD關(guān)鍵字意義及拼音字母“

14、三”通式“san”直“角”式“jiao”“單”向閥“dan”代 號(hào)DCQY關(guān)鍵字意義及拼音字母“電”動(dòng)“dian”“磁”動(dòng)“ci”“氣”動(dòng)“qi”“液”動(dòng)“ye”65JB/T 76732011表 8膜層沉積原理表 9鍍膜機(jī)結(jié)構(gòu)特征5結(jié)構(gòu)特征代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母臥式W“臥”式“wo”連續(xù)式L“連”續(xù)“l(fā)ian”半連續(xù)式B“半”連續(xù)“ban”卷繞式J“卷”繞“juan”多室式D“多”室“duo”箱式（圓形不表示）X“箱”式“xiang”主泵為分子泵F“分”子泵“fen”主泵為冷凝泵N冷“凝”泵“ning”設(shè)備按膜層沉積原理的分類代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母蒸發(fā)電阻加熱蒸發(fā)ZZ“蒸”發(fā)“zheng”

15、，電“阻”“zu”電子束加熱蒸發(fā)ZS“蒸”發(fā)“zheng”，電子“束”“shu”高頻感應(yīng)加熱蒸發(fā)ZG“蒸”發(fā)“zheng”，“感”應(yīng)“gan”激光束加熱蒸發(fā)ZJ“蒸”發(fā)“zheng”，“激”光束“ji”兼有電阻蒸發(fā)源及電子束蒸發(fā)源ZZS“蒸”發(fā)“zheng”，電“阻”“zu”， 電子“束”“shu”離子輔助蒸發(fā)ZLF“蒸”發(fā)“zheng”，“離”子“l(fā)i”，“輔”助“fu”濺射平面濺射JP“濺”射“jian”，“平”面“ping”同軸濺射JT“濺”射“jian”，“同”軸“tong”倒錐式濺射JA“濺”射“jian”，“倒”錐“dao”對(duì)靶濺射JU“濺”射“jian”，“對(duì)”靶“dui”吸附濺

16、射JX“濺”射“jian”，“吸”附“xi”離子束濺射JS“濺”射“jian”，離子“束”“shu”離子沉積電阻蒸發(fā)離子鍍膜LZ“離”子“l(fā)i”，電“阻”“zu”電子束蒸發(fā)離子鍍膜LS“離”子“l(fā)i”，電子“束”“shu”高頻感應(yīng)蒸發(fā)離子鍍膜LG“離”子“l(fā)i”，“感”應(yīng)“gan”空心陰極離子鍍膜LK“離”子“l(fā)i”，“空”心“kong”濺射離子鍍膜LJ“離”子“l(fā)i”，“濺”射“jian”多弧陰極離子鍍膜LD“離”子“l(fā)i”，“多”弧“duo”熱弧離子鍍LR“離”子“l(fā)i”，“熱”弧“re”簇團(tuán)離子鍍膜LC“離”子“l(fā)i”，“簇”團(tuán)“cu”化學(xué)氣相沉積低壓化學(xué)氣相沉積HD“化”學(xué)“hua”，

17、“低”壓“di”等離子化學(xué)氣相沉積HL“化”學(xué)“hua”，“離”子“l(fā)i”有機(jī)金屬法化學(xué)氣相沉積HYJ“化”學(xué)“hua”，“有”機(jī)“you”，“金”屬“jin”多種方法復(fù)合式HF“化”學(xué)“hua”，“復(fù)”合“fu”光化學(xué)氣相沉積HG“化”學(xué)“hua”，“光”“guang”復(fù)合式兼有蒸發(fā)源及濺射源FZJ“復(fù)”合“fu”，“蒸”發(fā)“zheng”，“濺”射“jian”兼有不同原理沉積源Fa“復(fù)”合“fu”，“”意義見(jiàn)注a 表中分別表示幾種不同沉積原理關(guān)鍵字漢語(yǔ)拼音的第一（或第二）個(gè)字母（印刷體大寫）。JB/T 76732011表 10鍍膜機(jī)用途特征5真空設(shè)備型號(hào)示例真空泵示例 1：W 35 B5.1

18、第二次改型設(shè)計(jì)抽氣速率為 35 L/s往復(fù)真空泵示例 2：2X I 15 A第一次改型設(shè)計(jì)抽氣速率為 15 L/s 帶截止閥 雙級(jí)旋片真空泵示例 3：WX 8抽氣速率為 8 L/s渦旋真空泵示例 4：ZJ 600抽氣速率為 600 L/s羅茨真空泵（機(jī)械增壓泵）示例 5：ZH 30抽氣速率為 30 L/s爪式真空泵示例 6：3L 160抽氣速率為 160 L/s三極濺射離子泵6用途特征代號(hào)關(guān)鍵字意義及拼音字母塑料鍍膜S“塑”料“su”制鏡鍍膜J制“鏡”“jing”硒鼓鍍膜、鋼板鍍膜、高頻G硒“鼓”“gu”、“鋼”板“gang”、“高”頻“gao”晶體鍍膜、陶瓷鍍膜T晶“體”“ti”，“陶”瓷“

19、tao”刀具鍍膜D“刀”具“dao”玻璃鍍膜B“?！绷А癰o”裝飾鍍膜H裝“飾”“shi”光學(xué)鍍膜U“光”學(xué)“guang”集熱管鍍膜I“集”熱“ji”電氣元件鍍膜Y“元”件“yuan”冷反光碗鍍膜E“冷”反光“l(fā)eng”JB/T 76732011示例 7：FF X 160/1 200抽氣速率為 1 200 L/s進(jìn)氣口徑為 160 mm磁懸浮 復(fù)合分子泵示例 8：K T 800進(jìn)氣口徑為 800 mm凸腔 擴(kuò)散泵示例 9：Z 400進(jìn)氣口徑為 400 mm擴(kuò)散噴射泵（油增壓泵）示例 10：S 400進(jìn)氣口徑為 400 mm升華泵示例 11：GL 100進(jìn)氣口徑為 100 mm鋯鋁吸氣劑泵示例

20、12：DZ 160進(jìn)氣口徑為 160 mm制冷機(jī)低溫泵示例 13：IF 3裝入分子篩重量為 3 kg分子篩吸附泵示例 14：3 P 40/50 6.3/0.6ZG高架式安裝直冷式冷凝器 工作蒸氣壓力 0.6 MPa 額定吸入壓力 6.3 hPa 額定抽氣量 50 kg/h 不可凝氣體量 40 kg/h 水蒸氣噴射泵三級(jí)注：有關(guān)水蒸氣噴射泵型號(hào)的內(nèi)容、含義及說(shuō)明可參照 JB/T 8540。7JB/T 76732011機(jī)組示例 1：JK 4005.2主泵進(jìn)氣口徑為 400 mm擴(kuò)散泵機(jī)組示例 2：J3L 320主泵抽氣速率為 320 L/s三極濺射離子泵機(jī)組示例 3：JF 250主泵進(jìn)氣口徑為 2

21、50 mm分子泵機(jī)組示例 4：JZJ 2H 600 2 4 A第一次改型設(shè)計(jì)配比代號(hào)（中間泵抽速 300 L/s，前級(jí)泵抽速 70 L/s） 配比代號(hào)（主泵抽速 600 L/s，中間泵抽速 300 L/s） 主泵抽氣速率為 600 L/s雙級(jí)滑閥真空泵（前級(jí)泵） 羅茨泵機(jī)組（中間泵為羅茨泵）注：有關(guān)羅茨泵機(jī)組型號(hào)的內(nèi)容、含義及說(shuō)明可參照 GB/T 69212004。5.3閥門示例 1：G D Q J 320公稱通徑為 320 mm直角式 氣動(dòng) 擋板高真空閥示例 2：D D C J Q 50公稱通徑為 50 mm帶充氣 直角式 磁動(dòng) 擋板低真空閥示例 3：G I 50公稱通徑為 50 mm蝶型 高真空閥8JB/T 76732011示例 4：D W 2 A第一次改型設(shè)計(jì)公稱通徑為 2 mm微調(diào) 低真空閥示例 5：C D J 25公稱通徑為 25 mm直角式 擋板 超高真空閥示例 6：C C Q 100公稱通徑為 100 mm氣動(dòng) 插板 超高真空閥示例 7