ESD靜電防護(hù)體系

1、 CDPG PQA CDPG PQA Writer:Writer: 邊建勇邊建勇 Date:Date: 20201212. .07.3107.31 目目 錄錄一、靜電及靜電放電定義二、為什么要進(jìn)行靜電放電防護(hù)三、靜電放電的主要模型四、靜電放電防護(hù)方法五、如何建立靜電放電防護(hù)系統(tǒng)六、相關(guān)儀器設(shè)備簡(jiǎn)介七、定義八、問(wèn)題解答說(shuō)明：說(shuō)明： 本檔案相關(guān)要求來(lái)源GJB 3007A-2009防靜電工作區(qū)技術(shù)要求，但內(nèi)容未涵蓋所有的認(rèn)證要求。標(biāo)準(zhǔn)參考：標(biāo)準(zhǔn)參考：1. GJB 3007A-2009防靜電工作區(qū)技術(shù)要求2. SJT 10694-2006電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范3. GB 15463靜

2、電安全名詞術(shù)語(yǔ)4. GJB Z 25-1991電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南5. GJB 2605-1996可熱封柔韌性防靜電阻隔材料規(guī)范6. GJB 1649-1993電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱7. GB 12014-1989防靜電工作服8. GB 50174-93電子計(jì)算機(jī)機(jī)房設(shè)計(jì)規(guī)范9. GB 4385-1995防靜電鞋、導(dǎo)電鞋技術(shù)要求10.SJT 10796-2001防靜電活動(dòng)地板通用規(guī)范11.GB 50169-2006接地裝置施工及驗(yàn)收規(guī)范一、靜電及靜電放電定義一、靜電及靜電放電定義一、靜電及靜電放電一、靜電及靜電放電1.靜電Static Electricity 相對(duì)觀測(cè)者

3、處于相對(duì)靜止的電荷。靜電可由物質(zhì)的接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化、積帶電微粒的附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生。（GB15463靜電安全名詞術(shù)語(yǔ)） 2.靜電放電Electrostatic Discharge-ESD 當(dāng)帶電體周?chē)膱?chǎng)強(qiáng)超過(guò)周?chē)橘|(zhì)的絕緣擊穿場(chǎng)強(qiáng)時(shí)，物質(zhì)產(chǎn)生電離而使帶電體上電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。（GB15463靜電安全名詞術(shù)語(yǔ)） 3.靜電特點(diǎn) a.電量小而電壓高 b.高壓靜電可能放電 c.絕緣體上的靜電消失很慢 d.能感應(yīng) e.可被屏蔽二、為什么要進(jìn)行二、為什么要進(jìn)行ESDESD防護(hù)防護(hù)二、為什么要進(jìn)行二、為什么要進(jìn)行ESDESD防護(hù)防護(hù) 人類日?；顒?dòng)可產(chǎn)生高達(dá)25,000V的靜電。人類

4、手的神經(jīng)可感覺(jué)到低至大約3,000V的靜電放電。只需要10V的靜電放電就可毀壞IC內(nèi)部的某些極小零件和跡線。 雖然靜電放電看不見(jiàn)、聽(tīng)不到或感覺(jué)不到，但可重大地?fù)p傷或毀壞電子產(chǎn)品。IBM公司通過(guò)對(duì)其某家電子公司經(jīng)過(guò)長(zhǎng)達(dá)5年的數(shù)據(jù)分析，對(duì)于完全失去功能的元器件，靜電造成損壞約占30%。 （美國(guó)一年的損失達(dá)200多億美金，僅電子工業(yè)的損失超過(guò)100多億美金）人員操作產(chǎn)生的靜電電壓及各種元器件對(duì)靜電的擊穿電壓三、靜電釋放的主要模型三、靜電釋放的主要模型三、靜電放電的主要模型三、靜電放電的主要模型1.人體帶電釋放模型Human Body Model (HBM) ： 靜電由人體釋放到電子組件上的模型。2.

5、設(shè)備靜電釋放模式Machine Model（MM）： 靜電由機(jī)器設(shè)備/工具上轉(zhuǎn)移至電子組件上的模型。3.裝置靜電釋放模型Charge Device Model （CDM）： 靜電在裝置上的轉(zhuǎn)移現(xiàn)象，主要出現(xiàn)在裝置表面移動(dòng)時(shí)由于摩擦靜電所產(chǎn)生的帶電現(xiàn)象。4.電場(chǎng)感應(yīng)模型Field Induced Model （FIM）： 主要出現(xiàn)在當(dāng)靜電敏感組件被置于靜電電場(chǎng)附近或靜電場(chǎng)內(nèi)所發(fā)生的帶電模型。備注：備注：靜電放電的主要模型在國(guó)家軍工標(biāo)準(zhǔn)GB15463靜電安全名詞術(shù)語(yǔ)及美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ESDS20.20-2007建立一個(gè)靜電放電控制方案-電氣和電子零件、裝置和設(shè)備（不包括電動(dòng)引爆裝置）的保護(hù)中均有

6、定義及描述。四、靜電控制方法四、靜電控制方法四、靜電控制方法四、靜電控制方法1.靜電泄漏與耗散 通過(guò)靜電耗散及靜電接地接地將靜電耗散或傳導(dǎo)至大地。2.靜電中和 將額外產(chǎn)生的正負(fù)離子與靜電源上的正負(fù)電荷中和, 從而消除靜電源上積累的靜電（離子風(fēng)扇、靜電刷、抗靜電劑）。3.靜電屏蔽 用接地的金屬線和金屬網(wǎng)等將帶電的物體包覆。目的是限制它對(duì)周?chē)h(huán)境產(chǎn)生電氣作用,消除因非導(dǎo)體帶電而引起的力學(xué)現(xiàn)象和放電現(xiàn)象。但屏蔽不能將靜電荷泄漏、消滅或消除。4.增濕 提高空氣的濕度。在允許增濕的工作場(chǎng)所普遍采用這種方法消除靜電的危害。它的主要作用在于降低靜電絕緣體的表面電阻率,增強(qiáng)其表面導(dǎo)電性,提高泄漏的速度（如表格

7、所示不通濕度對(duì)靜電電壓的影響）。五、如何建立靜電防護(hù)系五、如何建立靜電防護(hù)系統(tǒng)統(tǒng)靜電防護(hù)系統(tǒng)組成靜電防護(hù)系統(tǒng)組成設(shè)備防靜電控制人體防靜電控制靜電泄放通道防靜電工作區(qū)人員培訓(xùn)防靜電標(biāo)識(shí)靜電放電控制系統(tǒng)靜電放電控制系統(tǒng)包裝、周轉(zhuǎn)材料防靜電控制環(huán)境控制1.1.靜電泄放通道的建立靜電泄放通道的建立接地極接地干線接地支線靜電釋放通道1.11.1接地極接地極定 義：埋入大地與大地有良好接觸的導(dǎo)體或幾個(gè)導(dǎo)體的組合。 重要參數(shù)：對(duì)地電阻4（GB 50174-1993） 接地電阻與土壤電阻率有很大的關(guān)系，使用土壤電阻率測(cè)試設(shè)備可將土壤電阻率測(cè)出，然后根據(jù)公式計(jì)算出理論上的接地電阻。常用的兩種接地電阻理論值計(jì)算公

8、式： A：?jiǎn)胃姌O對(duì)地電阻 B：多根對(duì)地電阻的計(jì)算備注：備注：計(jì)算公式來(lái)源于（GJB/Z 25-1991電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計(jì)指南）接地極的埋設(shè)舉例接地極的埋設(shè)舉例 把3根2.5m的角鋼（45mm*45mm）沿直線打入地下離地面80cm處，每根角鋼相距5m。 用扁鋼（30mm*3mm）將3根角鋼串聯(lián)焊接在一起。 用鍍鋅扁鋼（30mm*3mm）焊接有角鋼的任意角作為地線引線引上墻面2m處。 用25mm平方的銅芯線與地網(wǎng)引線通過(guò)銅線鼻接牢引入室內(nèi)。接地極的測(cè)量接地極的測(cè)量測(cè)試設(shè)備：接地電阻測(cè)試儀測(cè)試方法：使用接地電阻測(cè)試儀測(cè)量接地極的對(duì)地電阻，要求電阻阻值應(yīng)4，否則加樁或用田字格加以

9、解決。1.21.2接地干線接地干線定 義：連接接地極與接地支線的接地線重要參數(shù)： a.接地干線最小接面積10mm2； b.宜采用裸銅線，若使用帶絕緣外皮的地線，應(yīng)使用黃綠雙色線； c.與接地電極應(yīng)采用焊接連接方式； 1.31.3接地支線接地支線定 義：連接接地干線與終端設(shè)備、人員的接地線重要參數(shù)： a.接地干線最小接面積 2mm2； b.宜采用裸銅線，若使用帶絕緣外皮的地線，應(yīng)使用黃綠雙色線； c.與接地電極應(yīng)采用焊接連接方式；2.2.防靜電工作區(qū)防靜電工作區(qū) ESD Protected Area-EPA定 義：配備各種防靜電裝備（用品）和設(shè)置接地系統(tǒng)（或等電位連接）、能限制靜電電位、具有確認(rèn)

10、邊界和專門(mén)標(biāo)記的場(chǎng)所。EPA分為A、B級(jí)區(qū)域：A級(jí)：操作靜電敏感度在-100V100V之間的ESD產(chǎn)品區(qū)域?yàn)锳級(jí)區(qū)域。B級(jí)：其他為B級(jí)區(qū)域。A級(jí)區(qū)域所用不直接接觸ESDS產(chǎn)品的防靜電用品（裝備）應(yīng)采用導(dǎo)靜電用品；B級(jí)區(qū)域采用靜電耗散用品。防靜電工作區(qū)組成:防靜電地板/地坪防靜電墻壁/天花板防靜電工作臺(tái)防靜電椅2.12.1防靜電地坪防靜電地坪/ /地墊地墊定義：使用靜電耗散/導(dǎo)靜電材料制作并良好接地的地板/地墊。 對(duì)于接觸靜電敏感度在-100V100V之間的ESDS產(chǎn)品的EPA，地坪應(yīng)使用導(dǎo)靜電型材料。使用導(dǎo)靜電材料（包括金屬材料）時(shí)，環(huán)境電氣設(shè)備設(shè)計(jì)和設(shè)置應(yīng)符合人生安全。電性參數(shù)要求：對(duì)地電阻

11、要求，靜電耗散型1.01061.0109對(duì)地電阻要求，導(dǎo)靜電型1.01062.22.2防靜電地板防靜電地板/ /地墊測(cè)試地墊測(cè)試2.2.12.2.1點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試參數(shù)要求：1.01061.0109測(cè)試設(shè)備:兆歐表（帶電極）測(cè)試方法：將樣品放在絕緣的測(cè)試平臺(tái)上，測(cè)試區(qū)域選擇如圖，區(qū)域間距300mm；將一個(gè)測(cè)試電極放于公共點(diǎn)上，將另一個(gè)電極放于A點(diǎn)，重復(fù)上述步驟分別將A點(diǎn)改為B、C、D點(diǎn)分別進(jìn)行測(cè)試。2.2.22.2.2地板表面對(duì)地電阻測(cè)試地板表面對(duì)地電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備:兆歐表參數(shù)要求：1.01061.0109測(cè)試方法：如圖，測(cè)試人穿靜電鞋站在接地的測(cè)試地板上，手拿其中一個(gè)電極，調(diào)整測(cè)

12、試電壓為10伏，另一個(gè)電極和公共接地點(diǎn)相連接。2.2.32.2.3地板對(duì)地測(cè)試（安裝后）地板對(duì)地測(cè)試（安裝后）測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）參數(shù)要求：1.01061.0109測(cè)試方法：如圖，將一個(gè)測(cè)試電極插入公共接地點(diǎn)上，將另一個(gè)電極放于地板上。2.32.3防靜電墻壁防靜電墻壁/ /天花板天花板定 義：使用靜電耗散/導(dǎo)靜電材料制作并良好接地的墻壁/天花板。參數(shù)要求：系統(tǒng)對(duì)地電阻1.01010對(duì)地電阻測(cè)試（安裝后）對(duì)地電阻測(cè)試（安裝后）測(cè)試設(shè)備：兆歐表參數(shù)要求：1.01010測(cè)試方法：如圖，將一個(gè)測(cè)試電極插入公共接地點(diǎn)上，將另一個(gè)電極放于墻壁/天花板上。2.42.4防靜電工作臺(tái)防靜電工作臺(tái)定 義：采

13、用導(dǎo)靜電、靜電耗散材料制成并采用軟接地軟接地的工作臺(tái)（桌）。技術(shù)參數(shù)：系統(tǒng)對(duì)地電阻1.01051.0109衰減期2s（100V1000V） 典型防靜電工作區(qū)為在普通桌面鋪設(shè)防靜電皮，并架設(shè)接地支線。 防靜電工作臺(tái)（桌）不宜使用金屬板制作。EPA內(nèi)不宜將防靜電地坪表面作防靜電工作臺(tái)桌接地連接線。 防靜電工作臺(tái)內(nèi)所有物品應(yīng)100%做防靜電處理，所有不必要的絕緣體(如咖啡杯、食品包裝材料及個(gè)人用品等)應(yīng)排除在工作區(qū)或任何處理未保護(hù)的ESDS產(chǎn)品作業(yè)的區(qū)域之外;必要使用時(shí)，應(yīng)確保使絕緣體遠(yuǎn)離ESDS敏感器件至少30cm(12inch),并使用離子風(fēng)扇等靜電中和器。工作臺(tái)圖示：防靜電工作臺(tái)測(cè)試防靜電工作

14、臺(tái)測(cè)試a.a.接地電阻測(cè)試接地電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）參數(shù)要求：系統(tǒng)對(duì)地電阻1.01051.0109測(cè)試方法：如圖，將樣品放在絕緣的測(cè)試平臺(tái)上,并使用70%以上酒精進(jìn)行清洗兩次將兆歐表的一極插入接地插孔中，另一極放在位置A，待讀數(shù)穩(wěn)定后讀出對(duì)地電阻值，利用接地點(diǎn)對(duì)位置B，C，D，E進(jìn)行同樣的操作。b.b.點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：1.01051.0109測(cè)試方法：如圖，將樣品放在絕緣的測(cè)試平臺(tái)上，將兆歐表電壓測(cè)試檔旋至100伏的檔位，將測(cè)試電極如圖放置樣品表面，待讀數(shù)穩(wěn)定后讀出對(duì)地電阻值。c.c.衰減期測(cè)試衰減期測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電場(chǎng)測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)： 2s

15、（1000V-100V）測(cè)試方法：使用靜電場(chǎng)測(cè)試儀對(duì)靜電皮進(jìn)行靜電衰減測(cè)試2.52.5防靜電工作椅防靜電工作椅 采取靜電防護(hù)措施并良好接地的工作椅，座椅的支架或腳輪使用靜電耗散（導(dǎo)靜電）材料制作。椅架可以用金屬材料制作。技術(shù)參數(shù)：系統(tǒng)對(duì)地電阻1.0109系統(tǒng)對(duì)地電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：1.0109測(cè)試方法：如圖3.3.人體防靜電控制人體防靜電控制 進(jìn)入EPA的人員必須穿防靜電工作服、戴防靜電穿防靜電鞋。與ESDS產(chǎn)品接觸的人員必須戴防靜電環(huán)，且防靜電環(huán)與人體緊密接觸并通過(guò)接地支線接地。3.13.1防靜電服防靜電服 為了防止人體和衣物的靜電積聚，用防靜電織物而縫制的工作服，能

16、通過(guò)通導(dǎo)靜電材料將電荷釋放至大地。 直接或間接接觸ESDS產(chǎn)品的人員穿用的防靜電服測(cè)試帶電量不應(yīng)超過(guò)0.1微庫(kù)侖/件。嚴(yán)禁在EPA區(qū)域內(nèi)穿脫。技術(shù)參數(shù)： a.點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻1.01051.0109（GJB 3007A-2009上未做要求） b.袖對(duì)袖電阻1.01051.0109（GJB 3007A-2009上未做要求） c.帶電量0.1微庫(kù)侖/件（A級(jí)）；0.6微庫(kù)侖/件（B級(jí)）防靜電服款式要求防靜電服款式要求（GJB 3007A-2009上未做如下要求） a.防靜電服的導(dǎo)電纖維必須織成網(wǎng)格狀以便可以保持持續(xù)導(dǎo)通的靜電釋放路徑。條狀織法的導(dǎo)電纖維設(shè)計(jì)的防靜電服是不可接受的。 b.袖口必須設(shè)計(jì)成彈性

17、的松緊束以便導(dǎo)電纖維通過(guò)人體的皮膚形成通路到大地。 c.防靜電服要用鈕扣，金屬件或者拉鏈不可接受。 d.由于靜電衣服在經(jīng)過(guò)一定次數(shù)的洗滌后靜電保護(hù)功能會(huì)有所損失,供應(yīng)商需要保證防靜電服在最少一年內(nèi)防靜電服靜電防護(hù)功能依然存在。標(biāo)識(shí)要求標(biāo)識(shí)要求 每件成品上必須有生產(chǎn)廠名、產(chǎn)品名稱、商標(biāo)、規(guī)格型號(hào)、等級(jí)、生產(chǎn)日期。網(wǎng)格狀靜電衣材料a.a.點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：1.01051.0109測(cè)試方法：將樣品每次飄洗為20分鐘,如此循環(huán)3次。然后如圖將工衣平放在絕緣板面上進(jìn)行測(cè)試。b.b.袖對(duì)袖的電阻測(cè)試袖對(duì)袖的電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：1.010

18、51.0109測(cè)試方法：將樣品每次飄洗為20分鐘,如此循環(huán)3次。然后如圖將工衣平放在絕緣板面上進(jìn)行測(cè)試。c.c.殘余電量測(cè)試殘余電量測(cè)試測(cè)試設(shè)備：滾筒摩擦機(jī)/法拉第筒技術(shù)參數(shù)：A級(jí)：帶電量0.1微庫(kù)侖/件 B級(jí)：0.6微庫(kù)侖/件測(cè)試方法：將經(jīng)過(guò)滾筒摩擦機(jī)投入法拉第筒進(jìn)行帶電電荷測(cè)試。3.23.2防靜電帽防靜電帽 用防靜電織物而縫制的工作服，能通過(guò)通導(dǎo)靜電材料將電荷釋放至大地的帽子。技術(shù)參數(shù)要求技術(shù)參數(shù)要求 點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻1.01051.01010歐姆測(cè)試測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）測(cè)試方法：如圖3.33.3防靜電鞋防靜電鞋 鞋底用防靜電材料制作，能及時(shí)消除人體靜電積聚，且能鈍化觸及250V以下電

19、源電擊傷害的防護(hù)鞋，與防靜電服一起構(gòu)成完整的防靜電體系。技術(shù)參數(shù)技術(shù)參數(shù)對(duì)地電阻：11051109一般要求一般要求 a.靜電鞋和導(dǎo)電鞋在穿用時(shí)不應(yīng)該同時(shí)穿絕緣的毛料厚襪及絕緣的鞋墊，禁止靜電鞋當(dāng)絕緣鞋使用。 b.使用靜電鞋的場(chǎng)所應(yīng)該是防靜電的地面，使用導(dǎo)電鞋的場(chǎng)所應(yīng)是能導(dǎo)電的地面。 c.靜電鞋應(yīng)與靜電服配套使用,注意產(chǎn)品的清潔、防水、防潮。 d.般不超過(guò)200小時(shí)應(yīng)進(jìn)行電阻測(cè)試一次，如果電阻不在規(guī)定的范圍內(nèi)，則不能作為靜電鞋使用。標(biāo)志要求標(biāo)志要求 應(yīng)包括以下基本內(nèi)容(在鞋的外底、內(nèi)底或幫面)a)標(biāo)記：鞋底“防靜電”字樣或“導(dǎo)電”字樣標(biāo)記； b)標(biāo)準(zhǔn)代號(hào)：應(yīng)有“GB4385”標(biāo)準(zhǔn)代號(hào)； c)檢驗(yàn)

20、合格印章； d)商標(biāo)； c)鞋型鞋號(hào)。 a.a.表面電阻測(cè)試表面電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：11051109測(cè)試方法：將鞋放置在絕緣的工作臺(tái)面上，將兩個(gè)測(cè)試電極放置在鞋表面進(jìn)行測(cè)試。b.b.對(duì)地電阻測(cè)試對(duì)地電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：防靜電鞋測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：11051109測(cè)試方法：如圖，測(cè)試人站穿靜電鞋站在防靜電鞋測(cè)試儀上進(jìn)行測(cè)試。3.43.4防靜電手套防靜電手套/ /指套指套 用防靜電織物而縫制的工作服，能通過(guò)導(dǎo)靜電材料的接地將電荷釋放至大地。技術(shù)參數(shù)要求技術(shù)參數(shù)要求 a.點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：11051109 b.衰減期：2s（1000V-100V）點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐

21、表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：11051109測(cè)試方法：如圖使用兆歐表電極在防靜電手套/指套任意取2點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。衰減期測(cè)試衰減期測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電場(chǎng)測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：2s（1000V-100V）測(cè)試方法：使用靜電場(chǎng)測(cè)試儀進(jìn)行靜電衰減測(cè)試3.43.4防靜電襪子防靜電襪子 用防靜電織物而縫制的襪子，能通過(guò)導(dǎo)靜電材料的接地將電荷釋放至大地。技術(shù)參數(shù)：技術(shù)參數(shù)：靜電耗散型：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：11051109導(dǎo)靜電型：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：1106測(cè)試方法測(cè)試方法同防靜電手套/指套測(cè)試方法一致3.63.6防靜電手腕防靜電手腕 由松緊帶、活動(dòng)按扣、彈簧軟線、保護(hù)電阻及插頭或夾頭組成，用以泄放人體的靜電。松緊帶的內(nèi)層用防靜電紗線編織

22、，外層用普通紗線編織。技術(shù)參數(shù)：技術(shù)參數(shù)： a.單體電阻110610% b.系統(tǒng)對(duì)地電阻7.5105-1.0107單體電阻測(cè)試單體電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：萬(wàn)用表技術(shù)參數(shù)：110610%測(cè)試方法：使用萬(wàn)用表測(cè)試鱷魚(yú)夾至紐扣位置電阻系統(tǒng)對(duì)地電阻測(cè)試（穿戴時(shí)）系統(tǒng)對(duì)地電阻測(cè)試（穿戴時(shí)）測(cè)試設(shè)備：防靜電手腕測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：7.5105-1.0107測(cè)試方法：如圖，使用靜電手腕測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量4.4.設(shè)備防靜電控制設(shè)備防靜電控制 所有相關(guān)設(shè)備都必須通過(guò)交流插座的地線接地技術(shù)參數(shù)：對(duì)地電阻：1（ANSI/ESDS20.20定義） 輔助接地對(duì)地電阻：1.0109對(duì)地電阻測(cè)試對(duì)地電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：萬(wàn)用表技術(shù)參數(shù)：1測(cè)

23、試方法：如圖，將萬(wàn)用表的兩表筆分別跨接于金屬設(shè)備公共接地點(diǎn)和三相插座的地線極上。輔助接地測(cè)試測(cè)試輔助接地測(cè)試測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐表（帶電極）技術(shù)參數(shù)：1.0109測(cè)試方法：如圖，將一個(gè)電極放在底座上的靜電皮上，另一電極連接ESD接地點(diǎn)。 如果設(shè)備不能通過(guò)地線接地,可以采用輔助接地,比如加防靜電皮并通過(guò)防靜電線給帶底座的顯微鏡和放大鏡接地等。 設(shè)備無(wú)接地或接地不良時(shí)應(yīng)使用額外的接地線連接設(shè)備接地點(diǎn)及接地支線強(qiáng)制接地，但需要注意的是設(shè)備接地時(shí)只能并聯(lián)不可串聯(lián)。治工具靜電管制治工具靜電管制技術(shù)參數(shù)：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：1.0109 衰減期：2s（1000V-100V）點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試測(cè)試設(shè)備：兆歐

24、表測(cè)試方法：如圖衰減期測(cè)試衰減期測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電衰減性能測(cè)試儀測(cè)試方法：使用靜電衰減性能測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試 各設(shè)備、工夾具接地時(shí)要求用并聯(lián)方式，切不可用串聯(lián)方式，非用電工夾具無(wú)法接地時(shí)，需要保證夾具材料為靜電耗散性或抗靜電材料。5.5.包裝、周轉(zhuǎn)材料防靜電控制包裝、周轉(zhuǎn)材料防靜電控制 在EPA內(nèi)操作、操作運(yùn)輸、包裝、貯存ESDS產(chǎn)品時(shí)必須使用防靜電包裝（周轉(zhuǎn)向、盒、袋、集成電路包裝管及其他包裝），各種防靜電包裝容器內(nèi)層宜使用靜電耗散材料制作。5.15.1各類防靜電周轉(zhuǎn)箱各類防靜電周轉(zhuǎn)箱（盒子、托盤(pán)、發(fā)泡海綿等）技術(shù)參數(shù)：導(dǎo)靜電型：表面電阻率1.0105 靜電耗散型：表面電阻率1.0105-1.0

25、1011 衰減期：2s（1000V-100V）表面電阻率測(cè)試表面電阻率測(cè)試測(cè)試設(shè)備：表面電阻測(cè)量?jī)x衰減期測(cè)試衰減期測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電衰減性能測(cè)試儀測(cè)試方法：使用靜電衰減性能測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試5.25.2柔韌性包裝柔韌性包裝技術(shù)參數(shù)：靜電屏蔽性：30V 靜電耗散型：表面電阻率1.0106-1.01011（內(nèi)表面） 靜電耗散型：表面電阻率 1.01012（外表面） 衰減期： 2s（1000V-100V）標(biāo)志要求標(biāo)志要求 包裝袋外表面應(yīng)包含 靜電敏感符號(hào)。 表面電阻率測(cè)試表面電阻率測(cè)試測(cè)試設(shè)備：表面電阻測(cè)量?jī)x摩擦起電測(cè)試摩擦起電測(cè)試（GJB 3007A-2009上未做要求）測(cè)試設(shè)備：電場(chǎng)儀測(cè)試方法：手持

26、干燥和干凈的棉布或手套以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測(cè)物品表面，摩擦次數(shù)為20次,再用測(cè)試儀測(cè)其靜電壓。表面電阻率測(cè)試摩擦起電測(cè)試靜電屏蔽性能測(cè)試靜電屏蔽性能測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電屏蔽性能測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)：30V測(cè)試方法：取試驗(yàn)材料制作成內(nèi)尺寸為100mm*150mm的試驗(yàn)袋不低于5pcs，然后置于儀器中進(jìn)行測(cè)試。衰減期測(cè)試衰減期測(cè)試測(cè)試設(shè)備：靜電場(chǎng)測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)： 2s（1000V-100V）測(cè)試方法：使用靜電場(chǎng)測(cè)試儀對(duì)靜電皮進(jìn)行靜電衰減測(cè)試。5.35.3運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē) 采取靜電防護(hù)措施并良好接地的運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)，運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)的支架或腳輪使用靜電耗散（導(dǎo)靜電）材料制作，運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)也可

27、用金屬材料制作。技術(shù)參數(shù)：系統(tǒng)對(duì)地電阻1.0109測(cè)試測(cè)試 如下圖：6.6.環(huán)境控制環(huán)境控制6.16.1溫度溫度 EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置，以維持其室溫在16-28，溫度變化率小于5/h，并不得結(jié)露。 在EPA內(nèi)采用溫度準(zhǔn)確度優(yōu)于1的溫度計(jì)進(jìn)行溫度監(jiān)控。6.26.2濕度濕度 EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度調(diào)節(jié)裝置，保持其室內(nèi)相對(duì)濕度45%-75%范圍內(nèi)。 在EPA內(nèi)采用濕度準(zhǔn)確度優(yōu)于3%的濕度計(jì)進(jìn)行濕度監(jiān)控。6.26.2潔凈度潔凈度 EPA內(nèi)每升空氣中大于或等于0.5m的塵粒數(shù)應(yīng)少于18,000粒。測(cè)試設(shè)備：空氣潔凈度檢測(cè)儀7.7.防靜電標(biāo)識(shí)防靜電標(biāo)識(shí)7.17.1靜電敏感符號(hào)靜電敏感符號(hào) 呈三角形,

28、里面畫(huà)有一雙被拉一道痕的手,用來(lái)表示該物體對(duì)ESD引起的傷害十分敏感,其標(biāo)示以識(shí)別該物體為ESD敏感物。在敏感組件(如IC,電晶體,二極體,晶振等)包裝上或放置區(qū)標(biāo)示。7.27.2靜電敏感防護(hù)符號(hào)靜電敏感防護(hù)符號(hào) 呈三角形,在三角形周邊有一個(gè)弧圈,在三角形內(nèi)手上的一道痕沒(méi)有了,用來(lái)表示該物體經(jīng)過(guò)專門(mén)設(shè)計(jì)具有靜電防護(hù)能力。其標(biāo)示經(jīng)識(shí)別該物體為ESD防護(hù)物;此符號(hào)廣泛用于標(biāo)識(shí)ESD席、ESD座椅、ESD手鏈以及其它ESD包裝材料等;同時(shí)該標(biāo)志也應(yīng)用于工具,工作臺(tái)以及其它ESD提供防護(hù)的設(shè)備等物品。7.37.3黃色警戒標(biāo)志黃色警戒標(biāo)志 50mm寬，用于標(biāo)識(shí)EPA區(qū)域的界限。7.47.4防靜電工作區(qū)標(biāo)

29、識(shí)防靜電工作區(qū)標(biāo)識(shí) 最小尺寸300mm*150mm，顏色為黃底黑字，用于防靜電區(qū)進(jìn)口等區(qū)域宣傳。7.57.5接地連接點(diǎn)符號(hào)接地連接點(diǎn)符號(hào) 樣式如圖，大小應(yīng)在普通光照條件下肉眼清除辨別，標(biāo)記采用黃底黑字，EPA內(nèi)的接地連接點(diǎn)，都應(yīng)貼有接地連接符號(hào)。7.7.培訓(xùn)培訓(xùn) 所有在EPA工作之新進(jìn)人員必須經(jīng)靜電防護(hù)知識(shí)訓(xùn)練合格后才可上崗,所有可能接觸到ESDS組件和產(chǎn)品之人員必須定期進(jìn)行ESD培訓(xùn),培訓(xùn)有效期為1年,在培訓(xùn)有效期內(nèi)若有發(fā)現(xiàn)有嚴(yán)重違背ESD防護(hù)要求之情況,則需對(duì)其重新培訓(xùn)。 靜電防護(hù)知識(shí)至少包括靜電原理與危害,ESDS組件和產(chǎn)品的基本特性,工作場(chǎng)所ESD防護(hù)的知識(shí)等，保留記錄表，培訓(xùn)考試合格

30、發(fā)放有效識(shí)別卡片。六、相關(guān)儀器設(shè)備簡(jiǎn)介六、相關(guān)儀器設(shè)備簡(jiǎn)介1.1.靜電場(chǎng)測(cè)試儀靜電場(chǎng)測(cè)試儀 靜電場(chǎng)測(cè)試儀分接觸式及非接觸式靜電場(chǎng)測(cè)試儀。外殼為防靜電材質(zhì)，并有接地扣，確保測(cè)量結(jié)果可靠。 主要用于實(shí)驗(yàn)室條件下測(cè)定紡織原料和制成品（含纖維、紗線、織物、地毯、裝飾織物）的靜電性能，也可用來(lái)測(cè)定其它片、板狀材料如紙張、橡膠、塑料、復(fù)合板材等的靜電性能。儀器主機(jī)由電暈放電裝置、探頭和檢測(cè)系統(tǒng)組成。利用給定的高壓電場(chǎng)，對(duì)被測(cè)試樣定時(shí)放電，使試樣感應(yīng)靜電，從而進(jìn)行靜電電量大小、靜電壓半衰期、靜電殘留量的檢測(cè)，以確定被測(cè)試樣的靜電性能。 測(cè)定范圍0-200KV測(cè)定距離20mm0.5（從被測(cè)物體的距離、帶電電位

31、測(cè)定時(shí)）應(yīng)答速度1秒以內(nèi)取樣調(diào)查速度5回/秒測(cè)定精度10%（指示值）可操作環(huán)境1040、60%RH以下材質(zhì)導(dǎo)電性ABS樹(shù)脂2.2.重錘測(cè)試儀（兆歐表）重錘測(cè)試儀（兆歐表）重錘測(cè)試儀型兆歐表用于測(cè)量所有導(dǎo)電型、抗靜電型及靜電泄放型表面的阻抗或電阻。該儀表還可測(cè)量影響電性能的相對(duì)濕度和溫度。“濕度和溫度會(huì)影響阻抗，所以必須測(cè)量”測(cè)量表面阻抗103-1012歐姆/平方米，測(cè)量電阻103-1012歐姆。 使用環(huán)境：相對(duì)濕度10-90RH；溫度0-37.8) 包含2個(gè)5磅重電極，可測(cè)量桌墊、地板涂料層、漆面、腕帶、工作服、鞋(鞋套)、袋子和容器。3.3.人體靜電消除器人體靜電消除器 人體靜電消除器它是采

32、用一種無(wú)源式電路，利用人體上的靜電使電路工作，達(dá)到消除靜電的作用。它的特點(diǎn)是：體積小，重量輕，不需電源，安裝方便，消除靜電時(shí)無(wú)感覺(jué)等特點(diǎn)。技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo) a.人體靜電電壓：V20KV b.靜電釋放時(shí)間：t100mS c.最大釋放電流：I0.1mA d.環(huán)境溫度: 20 e.環(huán)境濕度: 80% (40)安裝：安裝：將儀器接地線接地牢靠固定在使用區(qū)即可。使用：使用：只需用手指觸摸一下上面的金屬球0.1s即可消除人體的靜電。檢測(cè)條件及結(jié)果人體靜電電壓:18KV環(huán)境溫度: 20五指釋放時(shí)間+0.091s殘余電壓-10V五指釋放時(shí)間-0.090s殘余電壓-10V手掌釋放時(shí)間+0.084s殘余電壓-9V

33、手掌釋放時(shí)間-0.082s殘余電壓-9V人體靜電消除器人體靜電消除器4.4.絕緣電阻測(cè)試儀絕緣電阻測(cè)試儀 通常被稱為兆歐表或高阻計(jì)，廣泛用于測(cè)量發(fā)電機(jī)、馬達(dá)、電源變壓器、配線、電器和其它電氣裝置的絕緣電阻，以保證這些設(shè)備、電器和線路工作在正常狀態(tài)，避免發(fā)生觸電傷亡及設(shè)備損壞等事故。兆歐表大多采用手搖發(fā)電機(jī)供電，故又稱搖表。它的刻度是以兆歐(M)為單位的。工作原理工作原理 兆歐表通過(guò)用一個(gè)電壓激勵(lì)被測(cè)裝置或網(wǎng)絡(luò)，然后測(cè)量激勵(lì)所產(chǎn)生的電流，利用歐姆定律測(cè)量出電阻。兆歐表采用的電壓范圍通常從50 V到高達(dá)5 kV；而典型數(shù)字多用表的電壓一般小于10 V。對(duì)于絕緣測(cè)試來(lái)說(shuō)，需要測(cè)量的電阻值范圍很大，其

34、上限可達(dá)到10 T，所需的電壓更高。 兆歐表選用兆歐表選用 規(guī)定兆歐表的電壓等級(jí)應(yīng)高于被測(cè)物的絕緣電壓等級(jí)。所以測(cè)量額定電壓在500V以下的設(shè)備或線路的絕緣電阻時(shí)，可選用500V或1000V兆歐表；測(cè)量額定電壓在500V以上的設(shè)備或線路的絕緣電阻時(shí)，應(yīng)選用10002500V兆歐表；測(cè)量絕緣子時(shí)，應(yīng)選用25005000V兆歐表。一般情況下，測(cè)量低壓電氣設(shè)備絕緣電阻時(shí)可選用0200M量程的兆歐表。5.5.靜電環(huán)測(cè)試儀靜電環(huán)測(cè)試儀 用于測(cè)試靜電環(huán)的對(duì)地電阻測(cè)試方法a.將靜電環(huán)戴在手上，并把接地按紐扣在手腕上。b.將接地線另一端之鱷魚(yú)夾夾在上方的金屬柱上，連接完成后，以一手按測(cè)試開(kāi)關(guān)。c.此時(shí)LED亮

35、綠燈，并聽(tīng)到嘩嘩聲，即表示接地線良好。d.如LED亮黃燈或紅燈，則必須檢查更換靜電環(huán)。6.6.人體靜電綜合測(cè)試儀器人體靜電綜合測(cè)試儀器 可檢測(cè)防靜電鞋/腳筋帶、手腕帶的對(duì)地電阻，工作原理歐姆定律7.7.接地電阻測(cè)試儀接地電阻測(cè)試儀工作原理 由機(jī)內(nèi)DC/AC變換器將直流變?yōu)榻涣鞯牡皖l恒流，經(jīng)過(guò)輔助接地極C和被測(cè)物E組成回路，被測(cè)物上產(chǎn)生交流壓降，經(jīng)輔助接地極P送入交流放大器放大，再經(jīng)過(guò)檢測(cè)送入表頭顯示。借助倍率開(kāi)關(guān)可得到三個(gè)不同的量限：02、020、0200。測(cè)試方法儀器8.8.法拉第筒法拉第筒用途：在試驗(yàn)條件下評(píng)定織物以摩擦形式帶電荷后的靜電特性，需要和滾筒摩擦機(jī)及靜電電位計(jì)配套使用。使用方法

36、：用規(guī)定的摩擦材料摩擦樣品后投入法拉第筒測(cè)試其帶電量七、定義七、定義1.靜電泄漏electrostatic leakage 帶電體上的電荷通過(guò)帶電體自身或其飽物體等途徑，向大地傳導(dǎo)而使電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。2.接地 物體通過(guò)導(dǎo)電、防靜電材料或防靜電制品與大地在電氣上作可靠連接，使靜電導(dǎo)體與大地的電位接近，給靜電駐導(dǎo)體提供泄漏電荷的避道。3.直接靜電接地 通過(guò)金屬導(dǎo)體使物體接地的一種接地方式4.間接靜電接地 通過(guò)非金屬導(dǎo)電材料線、防靜電材料以及防靜電制品使物體接地的一種接地方式。5.硬接地 通過(guò)金屬導(dǎo)體直接與大地相連的接地方式6.軟接地 通過(guò)在硬接地回路間增加一電阻，以達(dá)成控制泄漏電流的接地方式。7.表面電阻 施加于材料表面上的兩個(gè)電極之間的直流電壓與該兩電極之間電流的比值。8.電阻率 表征材料導(dǎo)電性能的物理量，其倒數(shù)為電導(dǎo)率。注：電阻率單位為歐米(m)9.表面電阻率 表征材料導(dǎo)表面電性能的物理量。它是正方形材料量?jī)蓪?duì)邊間的電阻值，與物體厚