ESD管理規(guī)范及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

1、ESD管理規(guī)范及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)作者：日期：個(gè)人收集整理，勿做商業(yè)用途深圳市微浦技術(shù)有限公司工作指引文件名稱(chēng)：ESD管理規(guī)范及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)部門(mén)：工程部文件編號(hào):VP-QA-004版本：A/0編寫(xiě)：譚桂審核：批準(zhǔn)：生效日期：修訂日期修訂內(nèi)容修訂者原版本會(huì)簽部門(mén) 工程部 PMC 倉(cāng)管部 生產(chǎn)部產(chǎn)品部 采購(gòu)部 品質(zhì)部 銷(xiāo)售部 行政部 分發(fā)份數(shù)共 份1.0 目的本公司規(guī)定了產(chǎn)品和電子組件在制造過(guò)程中的靜電防護(hù)，防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而產(chǎn)生或可能產(chǎn)生的危害，或?qū)⑦@些危害限制在最小程度。以確保產(chǎn)品的設(shè)計(jì)性能及使用性能不致因靜電作用受到損害，保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高產(chǎn)品壽命。2.0 適用范圍適用于本公司所有產(chǎn)品物料的采購(gòu)

2、、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、搬運(yùn)、加工、包裝及生產(chǎn)裝配、產(chǎn)品測(cè)試等全過(guò)程。3.0 定義3.1 ESD(Electro-Static discharge) ： 主要是指兩個(gè)帶有不同靜電電位之物體，當(dāng)它們接近并能夠發(fā)生電 荷傳送，由于電荷的傳送產(chǎn)生了電流，使器件損壞或造成壽命上的傷害，一般稱(chēng)為靜電泄放或簡(jiǎn)稱(chēng)ESD。3.2 SSD(Static Sensitive Device):凡對(duì)靜電敏感的電子元器件一般稱(chēng)為靜電敏感元器件或簡(jiǎn)稱(chēng)SSD。4.1 職責(zé)4.1 工程部依據(jù)本程序要求實(shí)施靜電用具的進(jìn)料檢測(cè)和電線(xiàn)、接地線(xiàn)、靜電墊等防靜電設(shè)施測(cè)試和記錄以及日常維護(hù)。4.2 品質(zhì)部負(fù)責(zé)制定防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)督執(zhí)行狀態(tài)

3、。4.3 各部門(mén)經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門(mén)工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過(guò)程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。4.2 工作程序本文主要從靜電控制的五個(gè)方面( 即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境) 來(lái)論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制。5.1 靜電敏感區(qū)域的界定：5.1.1 ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域 生產(chǎn)線(xiàn)等。5.1.2 ESD敏感器件的前加工區(qū)域 前加工房。5.1.3 ESD敏感器件的貯存區(qū)域 倉(cāng)庫(kù)5.1.4 ESD敏感器件的返修區(qū)域 返修區(qū)及返修工位。5.1.5 ESD敏感器件的老化區(qū)域 老化房。5.2 靜電敏感區(qū)域的標(biāo)識(shí)：5.2.1 靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應(yīng)該用黃黑相間的斜條紋來(lái)標(biāo)識(shí)，線(xiàn)條寬

4、度為510CM這兩種斜條紋是專(zhuān)門(mén)用來(lái)標(biāo)識(shí)靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的，不可作為其它標(biāo)識(shí)用。5.2.2 從靜電敏感區(qū)域的入口處開(kāi)始, 在明顯處還應(yīng)貼上靜電敏感區(qū)的警示標(biāo)志。如圖A:5.2.3 防靜電容器( 防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等)， 元件架和運(yùn)輸車(chē)等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志，標(biāo)志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:5.2.4 經(jīng)過(guò)防靜電液處理的物品和場(chǎng)所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志。如圖C:5.2.5 含有SSD的圖紙資料, 應(yīng)有SSD標(biāo)志。5.2.6 設(shè)備的外部端口、整機(jī)包裝、交付文件標(biāo)志應(yīng)符合GJB1649中條要求。5.3 靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范5.3.1 防靜電工程環(huán)境在設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到靜電防

5、護(hù)的要求應(yīng)遵循以下原則:1) ) 抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生2) 安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷3) 防靜電工作區(qū)應(yīng)按電子元器件靜電敏感度確定防護(hù)所應(yīng)達(dá)到的級(jí)別和程度。一般的要求靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓絕對(duì)值應(yīng)小于100V。4) 防靜電區(qū)域應(yīng)標(biāo)明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標(biāo)志。5) 在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用易產(chǎn)生靜電荷的電荷源。表一為常見(jiàn)的電荷源:5.3.2 防靜電工程環(huán)境的溫度和濕度要求：溫度應(yīng)在15至30之間, 濕度應(yīng)在45%至 75%之間, 環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì)并按要求做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過(guò)于干燥，應(yīng)使用加濕器或其它辦法來(lái)滿(mǎn)足濕度要求，但應(yīng)以不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響為前

6、提。如果濕度高了應(yīng)該開(kāi)空調(diào)或抽濕機(jī)來(lái)使其滿(mǎn)足要求。5.3.3 溫度計(jì)和濕度計(jì)使用要求:1） ) 對(duì)溫度、濕度做監(jiān)測(cè)的溫濕度儀, 必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。2） 有溫濕度測(cè)量?jī)x的場(chǎng)所應(yīng)由專(zhuān)人定期檢查溫濕度自動(dòng)儀測(cè)試狀況, 并記錄該時(shí)間段的最高和最低值。3） 遇有休息、節(jié)假日等特殊情況, 在上班后的第一時(shí)間內(nèi)要檢查溫濕度自動(dòng)記錄儀的記錄情況。4） 發(fā)現(xiàn)溫度濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采取有效措施予以改善, 并確認(rèn)超標(biāo)情況是否有對(duì)產(chǎn)品或材料造成損壞, 采取的改善措施應(yīng)予以記錄。5） 每月的溫濕度儀記錄的測(cè)試結(jié)果由負(fù)責(zé)記錄的部門(mén)歸類(lèi)保存。5.4 靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范：5.4.1 各類(lèi)人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)

7、要求及職責(zé)：有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)培訓(xùn), 這既是對(duì)每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。5.4.1.1 所有新員工（職員）在接受入廠(chǎng)培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。5.4.1.2 在靜電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸（包括靜電感應(yīng) ） 的作業(yè)人員，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)，作為上崗考核的必考內(nèi)容之一。5.4.1.3 工藝人員必須接受并通過(guò)ESD較為專(zhuān)業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過(guò)程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對(duì)他們進(jìn)行靜電防護(hù)日 常教育。5.4.1.4 品質(zhì)控制

8、管理人員必須接受并通過(guò)ESD較為專(zhuān)業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟悉各類(lèi)SSD的靜電敏感性能及其防護(hù)知識(shí), 監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行，評(píng)估防靜電工程實(shí)施效果。5.4.1.5 檢驗(yàn)和試驗(yàn)人員（ 包括外購(gòu)件入廠(chǎng)檢驗(yàn)試驗(yàn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)人員） 必須接受較為ESD 專(zhuān)業(yè)知識(shí)培訓(xùn), 熟練掌握ESSD的檢測(cè)知識(shí)和防靜電器件的檢測(cè)方法, 嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)和試驗(yàn)。5.4.1.6 設(shè)備部負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線(xiàn)的人員, 應(yīng)接受較為專(zhuān)業(yè)的ESD知識(shí)培訓(xùn), 熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求, 掌握地樁、地線(xiàn)、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。5.4.1.7 生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解ESD基本知識(shí), 嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求

9、和工藝規(guī)程組織生產(chǎn), 并開(kāi)展對(duì)生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。5.4.1.8 計(jì)量部門(mén)也應(yīng)了解ESD基本知識(shí), 尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí), 要定期調(diào)校防靜電檢測(cè)器材, 保證其安全、有效。5.4.2 采購(gòu) ESD 控制：采購(gòu)部人員必須接受ESD基本知識(shí)培訓(xùn), 熟悉ESSD的品種、型號(hào)、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常識(shí), 嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購(gòu)和運(yùn)輸過(guò)程中靜電防護(hù)的規(guī)范。5.4.2.1 依據(jù)ME之規(guī)定，物料采購(gòu)按零件承認(rèn)書(shū)對(duì)SSD組件采購(gòu)時(shí)，須在采購(gòu)單注明ESD防護(hù)要求；其它ESD防護(hù)器材采購(gòu)時(shí)，須按ME測(cè)試工程師制定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購(gòu)。5.4.2.2 須向經(jīng)認(rèn)可的ESD產(chǎn)品供貨商采購(gòu)，并保持最新的ESD認(rèn)

10、可供應(yīng)商清單。5.4.2.3 要求供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標(biāo)示及正確的發(fā)票。5.4.3 倉(cāng)庫(kù)防ESD控制：倉(cāng)儲(chǔ) , 轉(zhuǎn)運(yùn)人員必須接受ESD 基本知識(shí)培訓(xùn), 懂得在儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。5.4.3.1 對(duì)ESD零件進(jìn)行清點(diǎn)驗(yàn)收時(shí)，檢查是否有外包裝或（ 及 ）發(fā)票確認(rèn)為ESD組件。ESD組件與非SSD應(yīng)分區(qū)存放（ESD存放架要有接地處理），并做顯著標(biāo)示。5.4.3.2 開(kāi)啟ESD組件包裝的區(qū)域應(yīng)配置適當(dāng)?shù)腅SD防護(hù)設(shè)備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。直接接觸組件須在有良好的靜電防護(hù)下方可接觸組件。5.4.3.3 在存放區(qū)搬運(yùn)SSD須使用專(zhuān)用工具（ 防靜電車(chē)），并

11、使包裝完整。5.4.3.4 物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴(yán)格按材料存放區(qū)ESD控制規(guī)范進(jìn)行作業(yè)。5.4.4 進(jìn)料檢驗(yàn)（IQC） 的ESD控制：5.4.4.1 檢驗(yàn)時(shí)確認(rèn)靜電防護(hù)及標(biāo)示是否正確，要求在靜電防護(hù)良好的區(qū)域（ 工作場(chǎng)所）進(jìn)行，須有ESD手環(huán)，ESD工作衣、手套、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。5.4.4.2 檢驗(yàn)員需對(duì)不當(dāng)標(biāo)示或不當(dāng)包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。5.4.4.3 檢驗(yàn)員對(duì)防靜電氣泡袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車(chē)、料箱、料盒等防靜電材料 需按要求對(duì)其進(jìn)行靜電檢測(cè)。5.4.5 制造過(guò)程中的ESD控制 :5.4.5.1 SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜

12、電手環(huán)，并確保防靜電手環(huán)可靠接地，需走動(dòng)的工位作業(yè)員須戴好防靜電腳環(huán)；未做好靜電防護(hù)者不能接觸SSD； 工作臺(tái)鋪防靜電桌墊，靜電接地良好，作業(yè)中正確使用防靜電各種工具。（ 如 ESD電烙鐵，靜電排除裝置等）。5.4.5.2 對(duì) SSD加工中若須離開(kāi)原包裝，操作人員須做靜電防護(hù)，戴好接地良好靜電手環(huán)并于加工后放回原包裝或其它防靜電容器內(nèi)。5.4.5.3 SSD在組裝中，依據(jù)ME工藝工程師作業(yè)指導(dǎo)書(shū)進(jìn)行特殊防護(hù)及使用其規(guī)定工具，并定期點(diǎn)檢其有效性。5.4.5.4 制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測(cè)試儀”加以測(cè)試，確認(rèn)功能正常，并作好記錄。5.4.5.5 定期對(duì)操作員

13、工進(jìn)行使用ESD工具、設(shè)施及取用SSD程序的完整訓(xùn)練，并作記錄。5.4.5.6 每個(gè)工作臺(tái)須有ESD防護(hù)料件（ 如袋、乳棉海綿、箱等） 。5.4.5.7 所有進(jìn)入車(chē)間人員，必須經(jīng)過(guò)ESD靜電鞋測(cè)試儀測(cè)試人體綜合阻值，通過(guò)方可進(jìn)入，否則一律不準(zhǔn)進(jìn)入車(chē)間，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測(cè)一次防靜電鞋，以確定防靜電鞋的有效性，并做好記錄。5.4.5.8 做好每日的日常點(diǎn)檢工作, 并將點(diǎn)檢情況記錄在靜電插座/卡扣線(xiàn)及靜電線(xiàn)末端點(diǎn)檢表中。5.4.6 IPQC稽核：5.4.6.1 IPQC 須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護(hù)措施是否正確及抽測(cè)各防靜電設(shè)施是否正 常；5.4.6.2 IPQC每日上班前監(jiān)督員工進(jìn)行靜電鞋

14、和靜電手腕帶的測(cè)試。5.4.6.3 生產(chǎn)測(cè)試及測(cè)試工程須使用ESD工作臺(tái)。5.4.6.4 清除測(cè)試區(qū)內(nèi)靜電源。5.4.6.5 定期檢查ESD設(shè)施，保證有效性。5.4.6.6 SSD組件傳送至下一個(gè)工作區(qū)時(shí)，設(shè)有防護(hù)袋裝。5.4.6.7 當(dāng)施加工作電壓時(shí)，設(shè)備接地應(yīng)良好。5.4.7 品管部ESD控制：5.4.7.1 定期審核各部門(mén)是否依照ESD控制程序進(jìn)行作業(yè)，定期進(jìn)行ESD點(diǎn)檢并做好記錄。5.4.7.2 定期審核供貨商是否符合ESD規(guī)定。5.4.7.3 ESD工作須經(jīng)QA檢驗(yàn)確認(rèn)。5.4.7.4 定期審核ESD訓(xùn)練計(jì)劃，工程圖是否有正確的ESD警告條文或警告。5.4.8 ME ESD控制:5.

15、4.8.1 定期檢查及測(cè)試ESD設(shè)備設(shè)施是否完好、性能及可靠性。5.4.8.2 對(duì)ESD設(shè)備檢驗(yàn)測(cè)試、定期測(cè)試、校正并作好記錄ESD故障有關(guān)的資料須經(jīng)常維護(hù)，問(wèn)題范圍與故障趨勢(shì)所需調(diào)查校正措施須向相關(guān)主管報(bào)告。5.4.8.3 ME須測(cè)試SSD組件，以對(duì)它們的ESD敏感度進(jìn)行分類(lèi)。5.4.8.4 ME負(fù)責(zé)所有ESD測(cè)試項(xiàng)目之SOP及相關(guān)記錄表單的編寫(xiě)。5.4.9 ESD點(diǎn)檢5.4.9.1 點(diǎn)檢條件: 全部點(diǎn)檢均在生產(chǎn)場(chǎng)地內(nèi)進(jìn)行，環(huán)境溫度20-25 ， 相對(duì)濕度40%-60%。5.4.9.2 點(diǎn)檢儀器：非接觸式和接觸式靜電電壓表、接地電阻測(cè)量?jī)x、兆歐表及標(biāo)準(zhǔn)電極、靜 電電量表、腕帶測(cè)試儀、人體綜合

16、電阻測(cè)試儀、離子平衡分析儀、摩擦起電機(jī)、法 拉第筒、靜電屏蔽測(cè)試儀、直流電壓（表），直流電壓源。注： 所使用的儀器精度不低于5%， 均應(yīng)驗(yàn)定、計(jì)量合格和在有效期內(nèi)，量程大于實(shí)際測(cè)試范圍20%。允許使用符合測(cè)試要求的同類(lèi)儀表。5.4.9.35.4.9.4測(cè)試技術(shù)指標(biāo)：見(jiàn)附錄點(diǎn)檢項(xiàng)目&周期:A.5.4.9.4.15.4.9.4.25.4.9.4.35.4.9.4.45.4.9.4.55.4.9.4.65.4.9.4.7防靜鞋與人體綜合阻值（2次 /天 ）防靜電手環(huán)連接電阻（2次 /天 ）ESD工作臺(tái)（臺(tái)墊 ） 靜電電阻（1次 /月 ）防靜電母線(xiàn)接地電阻（1次 /周 ）貨架靜電電阻（1 次

17、/月 ）料車(chē)臺(tái)面對(duì)車(chē)輪電阻（1次 / 月 ）周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻（1次 / 月 ）5.4.9.4.85.4.9.4.95.4.9.4.10工作服（ 工作帽，手套流水線(xiàn)傳送帶表面電阻防靜電地板表面電阻） 表面電阻（1 次 / 月，抽查）（1次 /月 ）（1次 /1 年 ）注：抽查項(xiàng)目抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查10 個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，且抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查20 個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查結(jié)果須做好記錄，填寫(xiě)相應(yīng)表單。5.4.9.5 點(diǎn)檢方法1） ） 表面電阻測(cè)試時(shí)，對(duì)每車(chē)間靜電地板不得少于五點(diǎn)，接地電阻、傳送帶不得少于三點(diǎn)，周轉(zhuǎn)箱不

18、少于三只，靜電鞋不少于三雙，靜電衣不少于10 件，工作臺(tái)不少于三張。2） 點(diǎn)檢周期: 見(jiàn) 5.4.9.4 。3） 該點(diǎn)檢方法根據(jù)中華人民共和國(guó)電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SJ/T10694-2006） 電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范所制定。5.5 摩擦起電電壓測(cè)試：5.5.1 使用摩擦起電機(jī)摩擦起電，并利用非接觸式靜電電壓表測(cè)試摩擦起電電壓。摩擦起電機(jī)的摩擦起電極呈圓柱狀，直徑50mm 60mm，重量1kg，體積電阻大于1× 1013 ，并用高絕緣尼龍布（表面電阻不低于1× 1013 ）包裹以增加摩擦（見(jiàn)圖 1）。測(cè)試時(shí)，開(kāi)動(dòng)摩擦起電機(jī)使摩擦起電極與被測(cè)試物體摩擦，單向摩擦20

19、 次（時(shí)間20s）停止，10s 內(nèi)用非接觸式靜電電壓表測(cè)試摩擦軌跡起電電壓。5.5.2 測(cè)試工作臺(tái)面、地面、工作椅面、運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)表面摩擦電壓時(shí)，應(yīng)將被測(cè)物接地后利用摩擦起電機(jī)直接測(cè)試。對(duì)于板、片材（包括薄膜），應(yīng)在底面放置一塊邊長(zhǎng)不小于270mm、厚度不小于0.5mm的正方形不繡鋼電極板并良好接觸，將極板接地后測(cè)試。5.5.3 對(duì)于產(chǎn)品（材料），以每個(gè)樣品不同點(diǎn)測(cè)試3 次的平均值為結(jié)果。5.6 電阻測(cè)試：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試5.6.1 所用電極結(jié)構(gòu)尺寸：柱電極直徑63mm± 3mm；電極材料為不銹鋼或銅；電極接觸端材料導(dǎo)電橡膠，硬度60± 10（邵氏A級(jí)），厚度6mm

20、77; 1mm，其體積電阻小于500 ；電極單重2.25kg 2.5kg 。5.6.2 測(cè)試電壓要求見(jiàn)表1.5.6.3 測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻時(shí)，應(yīng)將產(chǎn)品（材料）放置在絕緣臺(tái)面上或以實(shí)際使用狀態(tài)放置。臺(tái)面表面電阻、體積電阻分別大于1 × 1013 ，其幾何周邊尺寸均大于被測(cè)材料10cm。電極之間距離300mm。地面測(cè)試時(shí)，電極之間距離900mm 1000mm。5.6.4 測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，將被檢樣品（地面）按實(shí)際使用狀態(tài)測(cè)試。工程測(cè)試時(shí)，電極拒被測(cè)材料邊緣大于10cm。5.6.5 由于測(cè)出的電阻取決于施加的電壓，且電阻為未知數(shù)，所以應(yīng)該執(zhí)行以下程序：5.6.6 初始施加的測(cè)試電壓為10V： 如

21、果Rx 1× 105 ，則測(cè)量值為結(jié)果； 如果Rx>1× 105 ，則把電壓改為100V（見(jiàn)注1）。5.6.7 施加電壓為100V: 如果 （1 × 105<Rx 1× 1012） ，則測(cè)量值為結(jié)果； 如果Rx 1× 105 ，則測(cè)量值可看作為結(jié)果。5.6.8 為確保測(cè)試的準(zhǔn)確性，應(yīng)采用極性電極測(cè)試。對(duì)某些材料來(lái)說(shuō)，薄絕緣層的電介質(zhì)有可能被擊穿。在這種情況下不能采用這種測(cè)量方法，測(cè)試報(bào)告中應(yīng)予以說(shuō)明。當(dāng)有安全性要求時(shí)，電阻測(cè)試電壓應(yīng)為500V。對(duì)產(chǎn)品（材料）檢測(cè)，以每個(gè)樣品不同點(diǎn)測(cè)試3 次的平均值為結(jié)果。注 1： 上述情況表示電阻取

22、決于施加的電壓。如果電阻小于1× 104 ，應(yīng)考慮電極本身電阻對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。注 2： 地板和工作表面的電阻超出本規(guī)范的范圍時(shí)，有必要采用較高的電壓來(lái)測(cè)量電阻，點(diǎn)不適用于EPA的測(cè)量。后動(dòng)地板工程檢測(cè)指標(biāo)中的系統(tǒng)電阻為5× 104 1× 1010 。5.7 防靜電接地電阻5.7.1 使用接地電阻測(cè)試儀測(cè)試防靜電接地電阻。5.7.2 測(cè)試步驟：a）將被測(cè)地極用導(dǎo)線(xiàn)與儀器端子E 連接；b）在相同直線(xiàn)方向20m、 40m潮濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，個(gè)接于儀器端子P、 C;c）設(shè)置“倍率盤(pán)”倍數(shù)；d）自緩至塊搖動(dòng)儀器手柄，達(dá)到約120r/min ，調(diào)整“

23、測(cè)量標(biāo)度盤(pán)”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻；e）按測(cè)試步驟c）、d）反復(fù)測(cè)試3 5 次，取平均值；f ）若有其它適用儀器，可按相應(yīng)儀器所規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)試。5.8 表面電阻（率）和體積電阻（率）的測(cè)量5.8.1 測(cè)試時(shí)，需將產(chǎn)品（材料）放在絕緣臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面表面電阻、體積電阻分別大于1 × 1013 ，其幾何周邊尺寸均大于被測(cè)材料10cm。5.8.2 表面電阻、體積電阻測(cè)試方法和測(cè)試測(cè)試電極按照IEC 61340-5-1 有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，或者按GB1410 規(guī)定執(zhí)行。表面電阻率和體積電阻率按GB 1410中規(guī)定計(jì)算，測(cè)試電壓按照表1 要求

24、。5.9 表面電阻、體積電阻測(cè)試電極5.9.1 電極組件由2個(gè)導(dǎo)電材料制作的同心環(huán)電極和1 個(gè)直徑70mm 85mm厚 4mm圓柱狀反向電極（電極面層有3mm厚導(dǎo)電材料，其邵氏硬度60± 10）組成（見(jiàn)圖2），電極被施以10V電壓，在不銹鋼、非腐蝕性金屬板（不是鋁）是測(cè)試時(shí)，接觸電阻應(yīng)小于103 。電極材料應(yīng)在測(cè)量條件下腐蝕，并不與被測(cè)材料起反應(yīng)。5.9.2 測(cè)試程序5.9.2.1 被測(cè)試材料應(yīng)放在1 個(gè)光滑、平面的架子（或平面）上。當(dāng)用500V電壓進(jìn)行測(cè)試時(shí)，其體積和表面電阻要大于1 × 1013 。相對(duì)與被測(cè)試樣品尺寸而言，比被測(cè)試材料的長(zhǎng)和寬大10mm，厚度至少應(yīng)1m

25、m。5.9.2.2 被測(cè)樣品應(yīng)未經(jīng)化學(xué)、物料處理。電極與地面之間的漏泄電流對(duì)儀表的讀數(shù)不應(yīng)有重要的影響。要注意在放電極和裝樣品時(shí)要盡量減少電流漏泄，以免影響測(cè)量結(jié)果。5.9.2.3 樣品的形狀最好為片狀，尺寸不小于110mm× 120mm。5.9.2.4 應(yīng)準(zhǔn)備 3 塊樣品材料。樣品應(yīng)標(biāo)明清楚，以便鑒別被測(cè)表面。電極按照?qǐng)D3 與儀器連接， 然后把樣品放在絕緣臺(tái)（架） 上， 面朝上。 把電極組件放在樣品距邊緣至少10mm的距離處。5.9.2.5 給儀器施加表1 規(guī)定電壓，15s 后記錄讀數(shù)。5.9.2.6 對(duì)每個(gè)樣品（材料），以不同點(diǎn)測(cè)試3次平均值為結(jié)果。5.10 靜電電壓衰減時(shí)間的測(cè)

26、試5.10.1靜電電壓衰減時(shí)間是指把樣品放置在靜電率衰減測(cè)試儀充電板上，初始電壓百分比電壓水平U25.10.24)測(cè)試方法：將待測(cè)試樣品放置在充電極板上，并良好接觸。在充電電極板上充電，使電U1 減少到約定的1 × 1013 ， 其示意圖壓達(dá)到±1000V后，斷開(kāi)儀器充電高壓電源的同時(shí)，將待測(cè)樣品可靠接地，記錄極板電壓衰減到±100V時(shí)的時(shí)間。在測(cè)試時(shí)，接地極不得與充電極板相接。5.11 靜電屏蔽性能的檢測(cè)：本方法可評(píng)估柔韌性包裝袋的靜電屏蔽性能。5.11.1 檢測(cè)儀器：靜電屏蔽檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)電壓為1000V，由一個(gè)放電器和一組電極構(gòu)成。儀器技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合IEC 6

27、1340-5-1 中規(guī)定5.11.2 樣品 （袋） 的尺寸要求：袋的最小尺寸不小于200mm× 250mm，要有開(kāi)口使電極能夠完全裝入。電極放進(jìn)袋中的尺寸不小于100mm，并居中。對(duì)其它尺寸的袋來(lái)說(shuō)，應(yīng)該使電極放置在袋的中心。5.11.3 測(cè)試要求：將至少6 個(gè)要測(cè)樣品放置在相對(duì)濕度12%± 3%（或50%± 3%）的環(huán)境中預(yù)置48h，然后將儀器電容電極放入袋中居中位置，接通放電器電源后，讀出與電流傳感器連接的電壓顯示器上的示值。5.12 靜電電量測(cè)試：利用物體摩擦起電和其對(duì)大地的分布電容，測(cè)試出物體所帶靜電電量。5.12.1 測(cè)試設(shè)備：法拉第筒、摩擦起電器具、靜

28、電電量表（接觸式靜電電壓表、電容器）。要求法拉12第內(nèi)筒、靜電電量表輸入端對(duì)接地端電阻大于1 × 1012 。5.12.2 測(cè)試：將被測(cè)物用摩擦器具摩擦后，放入與靜電電量表電氣連接的法拉第筒內(nèi)，測(cè)出帶電 量。5.13 各類(lèi)防靜電產(chǎn)品（材料）的測(cè)試5.13.1 防靜電活動(dòng)地板測(cè)試5.13.2 防靜電活動(dòng)地板測(cè)試按照SJ/T107965.13.3 防靜電貼面板（高離子有機(jī)類(lèi)）測(cè)試5.13.4 防靜電貼面板（高離子有機(jī)類(lèi)）測(cè)試按照SJ/ 112365.13.5 防靜電地坪涂料測(cè)試5.13.6 防靜電地坪涂料測(cè)試按照SJ/T112945.13.7 腕帶測(cè)試：5.13.7.1 所需儀器：腕帶可

29、通過(guò)1 個(gè)兼容的插頭終端，1 個(gè)能夠保證良好接觸、尺寸足夠大的金屬或?qū)щ姷氖钟|摸板來(lái)實(shí)現(xiàn)電源的連接。5.13.7.2 測(cè)試a） 腕帶穿戴狀態(tài)下電阻（系統(tǒng)電阻）：操作者以正常方式戴上腕帶，把線(xiàn)端插入測(cè)試器。壓住手觸摸板，直至儀器可以穩(wěn)定的測(cè)量為止（見(jiàn)圖6） ；b） 腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）：將兩測(cè)試電極分別接觸腕帶內(nèi)表面和電纜扣與測(cè)試儀連接測(cè)量（見(jiàn)圖7）c）腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）： 用測(cè)試電極連接電纜兩端測(cè)試（見(jiàn)圖8） 。5.13.7.3穿著工作鞋、服和手套（指套）的人站在人體綜合電阻測(cè)試儀的金屬導(dǎo)電極板上，手觸摸板電極測(cè)出電阻值。（如圖9）5.13.9 防靜電鞋電阻的測(cè)

30、試方法：實(shí)驗(yàn)室測(cè)試時(shí)采用GB 4385規(guī)定測(cè)試。5.13.10 手套、指套、帽、襪、腳束和工具（刷）的測(cè)試：5.13.10.1 用兩個(gè)直徑為20mm的電極良好接觸在手套、指套、帽、襪、腳束內(nèi)與外任意點(diǎn)上，測(cè)試出內(nèi)外兩點(diǎn)間電阻（見(jiàn)下圖）。測(cè)試襪子時(shí)，電極應(yīng)放置在襪底內(nèi)外兩點(diǎn)。5.13.10.2 用兩個(gè)直徑為10mm的銅箔電極鏈接在工具（刷）兩頭任意兩點(diǎn)，測(cè)試出兩點(diǎn)間電阻（見(jiàn)下圖）時(shí)，被測(cè)物品應(yīng)放在一塊絕緣電阻大于1X1013 的板上。若上述電極不適合，可以使用連接夾，電極與被測(cè)物良好接觸。5.13.115.13.10.3 帶電量測(cè)試：在實(shí)驗(yàn)室測(cè)試時(shí)應(yīng)符合GB 12014有關(guān)規(guī)定5.13.10.4

31、 電阻的測(cè)試：測(cè)量點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻，服裝要放在絕緣臺(tái)上。絕緣臺(tái)的表面電阻要大于 1X1014 ， 要有足夠的尺寸。點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)量至少要測(cè)量3 個(gè)不同位置的值。要注意兩級(jí)之間的間距不小于300mm（見(jiàn)圖11 ）服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試是指內(nèi)表面與外表之間電阻。5.13.10.5 摩擦起電電壓測(cè)試：工作服摩擦起電電壓測(cè)試應(yīng)符合GB/T 12703 的規(guī)定。5.13.12 集成電路防靜電包裝管測(cè)試方法：防靜電包裝管摩擦起電電壓、電荷量測(cè)試應(yīng)分別符合SJ/T1047Z 中的要求。5.13.13 柔韌性包裝類(lèi)的測(cè)試方法：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率測(cè)試方法應(yīng)分別符合GJB 2605 中的要求。5.13.14

32、 周轉(zhuǎn)容器、盒的測(cè)試方法：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率和體積電阻率測(cè)試方法應(yīng)符合 SJ/T 11277 有關(guān)規(guī)定。5.13.15 窗簾的測(cè)試方法：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定。5.13.16 防靜電存放架測(cè)試方法：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定，所用電極直徑為 10mm。5.13.17 工位與物流傳送器具測(cè)試方法：表面和體積電阻、點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試方法 應(yīng)符合規(guī)定。5.13.18 墻體：墻面表面電阻測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定。5.13.19 防靜電劑（液、蠟、膠）的測(cè)試方法個(gè)人收集整理，勿做商業(yè)用途5.13.19.1將防靜電劑（液、蠟、膠）噴灑在一塊體積

33、電阻和表面電阻大于1× 1012 的絕緣板上，在相對(duì)濕度RH40% 50%D的環(huán)境中放置48h 后，測(cè)試其表面電阻。5.13.20 座椅的測(cè)試方法：5.13.19.2 椅面與靠背之間點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試方法符合 “點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定， 測(cè)試位置 （見(jiàn)圖12）。5.13.19.3 椅面與腳輪之間系統(tǒng)電阻測(cè)試方法符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定。測(cè)試時(shí)，腳輪下放置一塊200mmX200mm導(dǎo)電板并良好接觸。一個(gè)電極與導(dǎo)電板接觸，另一個(gè)與椅面良好接觸（見(jiàn)圖13）5.13.21 運(yùn)轉(zhuǎn)車(chē)的測(cè)試方法：5.13.19.4 車(chē)臺(tái)面表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見(jiàn)圖 14）。5.13.19.5車(chē)臺(tái)面與腳輪之間系統(tǒng)電阻的測(cè)試方法和座椅測(cè)試方法一樣（見(jiàn)圖15）。所用測(cè)量?jī)x器、設(shè)備同5.6 規(guī)定。5.13.19.6工作臺(tái)表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見(jiàn)圖16）5.13.19.7測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，一個(gè)電極與臺(tái)面良好接觸，另一個(gè)電極（夾子）與工作臺(tái)接地線(xiàn)連接（見(jiàn)圖 17）。5.13.23 地面、地墊的測(cè)試方法：5.13.19.8 地面、地墊點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試應(yīng)符合 “點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”的規(guī)定（見(jiàn) 圖18、19）。5.13.24 離子靜電消除器的測(cè)試方法5.13.19.9