全球及中國(guó)六氯乙硅烷行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研與發(fā)展趨勢(shì)分析報(bào)告

1、全球及中國(guó)六氯乙硅烷行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研與發(fā)展 趨勢(shì)分析報(bào)告部分章節(jié)第一章六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)概述1.1六氯乙硅烷定義1.1.1六氯乙硅烷定義六氯乙硅烷，英文名稱hexachlorodisilane,簡(jiǎn)寫hcds,是一種性能穩(wěn)定、揮發(fā)性低的濕度敏感型液體。一般作為一種高純度前體產(chǎn)品，hcds在多種 高級(jí)薄膜淀積（半導(dǎo)體存儲(chǔ)和邏輯芯片制造技術(shù)）工藝中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，即在低溫工況中 替代硅烷或二氯甲硅烷應(yīng)用于高品質(zhì)氧化硅與氮化硅薄膜的淀積生產(chǎn)工藝中。圖六氯乙硅烷分子式cicl si/cici/si ci ci來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月(ed)出岷幡1.1.2六氯乙硅烷

2、產(chǎn)品參數(shù)表六氯乙硅烷物理性質(zhì)表項(xiàng)目值單位檢測(cè)方法分子式268.86g/molcas號(hào)碼13465-77-5密度（2ctc）1.562g/cm3din51757沸點(diǎn)(1 bar)144-145°cdin51751熔點(diǎn)°c閃點(diǎn)78°cdin51755表觀無(wú)色透明液體來(lái)源：evonik,恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月圖六氯乙硅烷蒸氣壓120,000100,00080,00060,00040,00020,000050100150溫度(°c)來(lái)源：toagosei，恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月表六氯乙硅烷產(chǎn)

3、品參數(shù)項(xiàng)目數(shù)值級(jí)別電子級(jí)(eg) /高純級(jí)(uhp)purity by gc99.7% (最小值)purity by icp-ms99.999% (eg), 99.99999% (uhp)eg metals purity<lppm: al, ca, cr, cu, fe, k, na, ni, mg, mn, tiuhp metals purity<10 ppb: al, fe, k, na, zn<5 ppb: ag, b, ba, ca, cd, co, cr, cu, ga, hf, li, mg, mn, nb, ni, pb, sb, sn, ta, ti, w,

4、zr來(lái)源：novakem,恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.2六氯乙硅烷分類六氯乙硅烷可以按純度分為：高純度級(jí)別和普通純度級(jí)別。表六氯乙硅烷產(chǎn)品分類no.類別詳細(xì)內(nèi)容1高純度級(jí)六氯乙硅烷一般純度大于99%,主要用 在半導(dǎo)體領(lǐng)域，主要用作cv d, ald的前體。2低純度級(jí)六氯乙硅烷一般純度在95-98%,主要用作工業(yè)生產(chǎn)或 者提純來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月圖2015年全球不同種類六氯乙硅烷產(chǎn)量市場(chǎng)份額2015來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3六氯乙硅烷應(yīng)用領(lǐng)域表六氯乙硅烷應(yīng)用領(lǐng)域表no.應(yīng)用詳

5、細(xì)說(shuō)明1半導(dǎo)體六氯乙硅烷口j以在低溫工況中替代硅烷或二氯甲硅烷 應(yīng)用于高品質(zhì)氧化硅與氮化硅薄膜的淀積生產(chǎn)工藝中 ,主要用作cvd, ald的前體。2太陽(yáng)能六氯乙硅烷還可以作為前體用在太陽(yáng)能領(lǐng)域3其他六氯乙硅烷還可以用在光纖，航空航天等領(lǐng)域。來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月圖全球2015年六氯乙硅烷不同應(yīng)用領(lǐng)域銷量市場(chǎng)份額2015來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.3.1半導(dǎo)體行業(yè)圖半導(dǎo)體行業(yè)舉例來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月132太陽(yáng)能圖太陽(yáng)能舉例來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2

6、016年10月1.4六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)圖六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)圖半導(dǎo)體行業(yè)六氯乙硅烷太陽(yáng)能行業(yè)其他來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.5六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)概述及主要地區(qū)發(fā)展現(xiàn)狀1.5.1六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)概述；n六氯乙硅烷主要作為前提用在半導(dǎo)體行業(yè)。目前，六氯乙硅烷的生產(chǎn)市場(chǎng)主要集中在日本、 韓國(guó)、美國(guó)、德國(guó)。六氯乙硅烷屬于硅烷類半導(dǎo)體前體，可用于半導(dǎo)體行業(yè)，太陽(yáng)能行業(yè)，光纖等。toagosei是世 界上第一家工業(yè)化生產(chǎn)六氯乙硅烷的企業(yè)，所知生產(chǎn)工藝的改進(jìn)以及下游半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，越 來(lái)越多的廠家進(jìn)入該行業(yè)，比如韓國(guó)的dnf, hansol chemical, dsum

7、t,美國(guó)的道康寧，德國(guó)evonik等。目前，得益于半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，全球六氯乙硅烷年 消費(fèi)量已達(dá)100噸。1.5.2六氯乙硅烷全球主要地區(qū)發(fā)展現(xiàn)狀表全球主要地區(qū)六氯乙硅烷發(fā)展現(xiàn)狀主要地區(qū)/國(guó)家發(fā)展現(xiàn)狀北美美國(guó)道康寧于2015年成功擴(kuò)大hcds產(chǎn)能，并助力道康寧成功擠進(jìn)全球半 導(dǎo)體生產(chǎn)工藝關(guān)鍵前體領(lǐng)先的供應(yīng)商 地位。除道康寧外，altogen chemicals也是美國(guó)本土另一個(gè)主要 的供應(yīng)商，其hcds產(chǎn)能為300kg 一個(gè)月，并于2016年推出超純hcdso歐洲evonik 憑借 siridion® hcds 500e （六氯乙硅烷）將在這一技術(shù)革新中 受益。通過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝，

8、作為 硅源的 siridion® hcds 500e被用于超薄功能性膜層的制備，這 是生產(chǎn)這些超細(xì)結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵。siridion® hcds 500e是siridion®品牌家族的一員。在該品牌下，evonik也為太陽(yáng)能級(jí)多晶硅 、光纖、半導(dǎo)體及平面顯示器行業(yè)提 供關(guān)鍵原料。日本toagosei是世界上第一家工業(yè)化生產(chǎn) 的企業(yè)也是日本本土六氯乙硅烷最大 的生產(chǎn)商；中國(guó)據(jù)我們調(diào)查，由于技術(shù)等多方面原因 ,目前在中國(guó)還沒(méi)有hcds生產(chǎn)廠家 ，但是中國(guó)對(duì)hcds仍在不斷地研究 ,并發(fā)表很多hcds的專利。其他地區(qū)韓國(guó) dnf, hansol chemical, ds um

9、t是韓國(guó)主要hcds的生產(chǎn)公司 ,其中韓國(guó)dnf每年hcds營(yíng)業(yè)收 入超過(guò)10億韓元。來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月1.6六氯乙硅烷產(chǎn)業(yè)政策分析據(jù)我們多角度調(diào)查，半導(dǎo)體行業(yè)是hcds主要的應(yīng)用領(lǐng)域，占據(jù)87%的市場(chǎng)份額。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為尖端技術(shù)及高附加價(jià)值產(chǎn)業(yè)對(duì)其他產(chǎn)業(yè)的影響極大，是在整個(gè)國(guó)民經(jīng)濟(jì)中具 有巨大戰(zhàn)略意義的關(guān)鍵性技術(shù)產(chǎn)業(yè)，因此世界各國(guó)政府都將其視為國(guó)家的骨干產(chǎn)業(yè)。一國(guó)想走在 世界經(jīng)濟(jì)的前列或是為了保衛(wèi)國(guó)家安全,都必須要進(jìn)入這個(gè)耗資巨大而又發(fā)展極為迅速的技術(shù)領(lǐng) 域。在其中，政府干預(yù)的影子在世界各國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中隨處可見。無(wú)論是半導(dǎo)體產(chǎn)品的研 究開發(fā)

10、、生產(chǎn)制造，或是與他國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)品的貿(mào)易，政府對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)都具有深遠(yuǎn)的影響。第二章六氯乙硅烷生產(chǎn)成本分析2.1六氯乙硅烷原材料價(jià)格分析六氯乙硅烷目前有多重生產(chǎn)工藝，其主要原材料是硅或者硅鈣合金、四氯化硅、氯氣/液氯 o四氯化硅是生產(chǎn)多晶硅的副產(chǎn)物，在西門子法生產(chǎn)多晶硅的過(guò)程中，通過(guò)測(cè)算，每生產(chǎn)1噸 多晶硅將消耗1520噸三氯氫硅，同時(shí)產(chǎn)生大約1520噸左右的四氯化硅。表六氯乙硅烷主要原材料及供應(yīng)商主要原材料原材料供應(yīng)商氯氣/液氯四氯化硅硅鈣合金來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月2.2勞動(dòng)力成本分析2.3其他成本分析2.4生產(chǎn)成本結(jié)構(gòu)分析表六氯乙硅烷2015年生產(chǎn)成本

11、結(jié)構(gòu)項(xiàng)目成本細(xì)分份額直接成本j直接原材料65.21%直接人力7.85%i其他直接成本2.15%間接成本間接原材料6.68%i間接人力2.01%其他間接成本1.12%設(shè)備折舊i設(shè)備折舊6.98%能耗能源成本5.21%其他i其他2.79%合計(jì)100%來(lái)源：恒州博智化工&新材料研究中心整理，2016年10月2.5六氯乙硅烷生產(chǎn)工藝分析但是，現(xiàn)有技術(shù)中制備六氯乙硅烷的各種方法，六氯乙硅烷的產(chǎn)率都很低，多為氣固反應(yīng)， 設(shè)備相對(duì)復(fù)雜，不利于操作，這在很大程度上限制了其應(yīng)用。因此，發(fā)展更為簡(jiǎn)單的、產(chǎn)率較高 的合成工藝使其在工業(yè)上得到更大范圍的推廣十分必要，也具有十分重要的實(shí)際意義。目前，六 氯乙硅烷

12、的合成方法主要有以下幾種：（一）、硅鈣合金在 15（t250° c 與氯氣進(jìn)行氣固反應(yīng)inorganic syntheses, 1939, 1:42-反應(yīng)journal of45;(二) 、硅鐵合金在氯化鞍的存在下，在110 200 ° c與氯氣進(jìn)行氣fluorinechemistry, 1997, 83 (i), 89-91;(三) 、硅或硅合金進(jìn)行氯化制備六氯乙硅燒,其中在得到的生成物中含有sic14、si2c16、以及si3c18以上的高沸點(diǎn)組份；通過(guò)兩段低級(jí)化處理，即(i)初始的副產(chǎn)高沸點(diǎn)組份，通過(guò)加熱進(jìn)行低級(jí)化反應(yīng)處理；（2）殘存的si3c18以上的高沸點(diǎn)組份，通

13、氯氣進(jìn)行低級(jí)化處理日本專利 特開昭 59-20782;（四）、高溫下裂解或氫化還原氯硅烷來(lái)沉積多晶硅的硅反應(yīng)體系排放的廢氣cn1392862a ；（五）、氯氣與低級(jí)硅烷（siclx,x=0. 2 o. 8）反應(yīng)，使得低級(jí)硅烷聚合w02011067331o以上方法制得的六氯乙硅烷產(chǎn)率都偏低（1（20%）,均為氣固反應(yīng)，裝置復(fù)雜且對(duì)設(shè)備要求 較高，不易操作，同時(shí)反應(yīng)的溫度一般偏高，能耗大。這些都在一定程度上限制了反應(yīng)的推廣。2.6全球2011-2016年六氯乙硅烷價(jià)格、成本及毛利分析總結(jié)1、六氯乙硅烷（hcds）是一種性能穩(wěn)定、揮發(fā)性低的濕度敏感型無(wú)色液體。一般作為一 種高純度前體產(chǎn)品，hcds在多種高級(jí)薄膜淀積（半導(dǎo)體存儲(chǔ)和邏輯芯片制造技術(shù)）工藝中發(fā)揮著 至關(guān)重要的作用。2. 2015年，六氯乙硅烷市場(chǎng)已達(dá)9千萬(wàn)美元，年消費(fèi)量超過(guò)100噸，美國(guó)dowcorning,日本 toagosei,德國(guó) evonik,韓國(guó) hansolchemical, dnf是主要的生產(chǎn)商，且前五名生產(chǎn)商產(chǎn)量份額為66%,所以該行業(yè)為寡占型市 場(chǎng)。3.六氯乙硅烷市場(chǎng)作為cvd/ald的前體，主要用在半導(dǎo)體行業(yè)，太陽(yáng)能行業(yè)等，其中半導(dǎo)體行 業(yè)是主要的應(yīng)用