潔凈房設計方案

1、潔凈房設計方案背投生產中，屏幕準備工序和投影管準備工藝均對潔凈度有較髙要求，因此屏幕準備 工序和投影管準備工序需要建立潔浄區(qū)域，根據現有設備情況及現工藝程序安排，擬訂潔浄 房設計方案如下：一、屏幕準備工序潔凈房1、潔凈度要求：3 0萬級（塵粒最大允許數0.5um為10, 00 0,000 /W P 5um 為6 0 , 0 00 / M5），此潔凈度應為動態(tài)（正常工作）的潔凈度。建議在通 風系統(tǒng)中選用較好的過濾器即可。2、潔凈室溫度要求：2026度;濕度要求為70±5度3、潔凈室參考尺寸及潔凈區(qū)域參照如下示意圖：屏幕準備潔凈區(qū)域示意圖換裝區(qū)坯送車二運送車沽凈區(qū)域封閉隔段=沽凈區(qū)域出入

2、口沽凈控制區(qū)潔凈室中的物料存放區(qū)為開箱后的物料存放區(qū)，在潔凈室附近應有專門區(qū)域存放未開箱的物料，為保證潔凈區(qū)域內的潔凈度，應在潔凈室外將物料開箱后運進物料存放區(qū)。應設計專用的成品運送車進行組裝好的屏幕的運輸。進入潔凈區(qū)域必須換裝。投影管準備工序潔凈房K 潔凈度要求：3 0萬級（塵粒最大允許數 M05um為10,00 0,00 0煙 3 5 um為60, 00 0 /M3），此潔凈度應為動態(tài)（正常工作）的潔凈度。建議在通風 系統(tǒng)中選用較好的過濾器即可。2、潔凈室溫度要求：2 026度;濕度要求為70±5度3、潔凈室參考尺寸及潔凈區(qū)域參照如下示意圖：投影管準備潔凈區(qū)域示意圖LObOcrI

3、POCrn換裝區(qū)潔凈區(qū)域封閉隔段 =潔凈區(qū)域出入口潔凈控制區(qū)由于投影管準備工序物料較多且占地而積較大，因此需要在潔凈房周國劃圧一怎的區(qū)域作為原始物料存放處。應設計專用的成品運送車進行組裝好的投影管的運輸。進入潔凈區(qū)域必須換裝。附錄為潔凈度分級、潔凈廠房設訃規(guī)范、換氣次數與風速，可供參考。附：潔凈度分級196 3年,美國出了個潔凈室聯邦標準Fed Std 20 9。在2 0 9標準中，潔凈室按環(huán)境中每 立方英尺空間0.5ii m的粉塵最人數量限度分成若干級別，如100級、10.0 0 0級、100,0 00級。 中國過去的潔凈室標準也是按這種方法分級的。1999 a年，國際標準化組織ISO頒布了

4、潔凈室 國際標準IS 0 14644-1潔凈室與受控潔凈環(huán)境，第部分:空氣潔凈度分級。IS O規(guī)定的潔 凈度等級以及傳統(tǒng)分級的具體數值見下農。IS014644分級最高濃度極限（顆粒數/mJ近似對應傳統(tǒng)規(guī)格0j.im0. 2pm0 3 pm0 5pm1 . 0 pm5.0pmISO 1 級102IS 02級1 0024104ISO 3 級L0002371 023581級I SO4級1 0,00 02, 3701.0203528 310級I SO 5 級1 0 0, 0 0 023, 70010, 2003, 52 083229100級IS 0 6 級1 .00 0 , 0 0 0237.0oo1

5、02.00035.20 0& 32 02931,0 00 級ISO 7級352.00083,20 02,93010.000 級ISO 8 級3.520,000832,0 0 02 9,30010 0 , 000 級ISO 9 級35,200,00 08, 320.000293.000用公式農示上述指標：Cn= IONX （0.1/D） s'式中：Cn=每立方米空間最大允許大于某粒徑顆粒物的數量濃 度；。N = ISO潔凈度分級數D =顆粒物尺度，單位為微米;aO.b=常數，單位為微米。必 中國潔凈室標準新的修訂稿中采納了 ISO分級。但是，人們已 經說慣了“百級"、“

6、萬級“,它順口、易記，今后-段時間內，人們可能照舊說下去,直到新代設 計師們不再記得老的分級和英制計雖單位。必 說潔凈度應該對應潔凈室的狀態(tài):空態(tài)（新建，空 屋了），靜態(tài)（設備就位，無人員），動態(tài)（正常工作）。具體工程所說的“潔凈度”是指哪種狀態(tài)，要 由用戶與設計、供貨等方而協議確定并明文規(guī)定。忘記對狀態(tài)做規(guī)定，大家都會有空了可鉆。 附：GMP規(guī)定的潔凈度潔凈級別塵例最大允許數微生物最大允許數相當于ISO分級35屮“浮游菌/m沉降菌/皿1 00級3, 5 00051I SO 5 級1 0, 0 00 級350.0002.0001003ISO 7 級100.000 級3 .50 0.0002 0

7、 ,0 0 05001 0I SO 8 級300.0 0 0 級1 0 .000.00060. 0 0015附:潔凈廠房設計規(guī)范潔凈廠房設計規(guī)范（部分章節(jié)）GBJ7 3-84第一章總則第二章空氣潔凈度等級第三章總體設計第五章空氣凈化第七章工業(yè)氣體管道第一章總則第1.0. 1條潔凈廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策,做到技術先進、經濟合理、安 全適用、確保質量，符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。第1 .0.2條本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設計，但不適用于以細菌為控制對象 的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的 高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設

8、計。第1. 0.3條在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，潔凈廠房設計必須根據生產工藝要求，因地 制宜、區(qū)別對待,充分利用已有的技術設施。第1.0. 4條潔掙廠房設計應為施匚安裝、維護管理、測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。第1.0.5條潔凈廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現行的國家標準、規(guī)范的有關要求。第二章空氣潔凈度等級第2. 0. 1條 空氣潔凈度應按衣2.0. 1規(guī)定劃分為四個等級?？諝鉂崈舳鹊燃?衣2.0. 1等級每立方米（每升）空氣中>0.5微米塵粒數每立方米（每升）空氣中35微米塵粒數10 0級W35X 100(3. 5)10 0 0 級C35X100 0 (3 5 )W25

9、0 (0. 25)1 0 0 0 0 級=$35X1 0 00 0 (350)W250 0 ( 2 5 )100000 級W35X 1 0 000 0 ( 3 500)W2 5 00 0 (25)注：對于空氣潔凈度為1 00級的潔凈室內人于等于5微米塵粒的計算應進行多次采樣。當其多 次出現時，方可認為該測試數值是可靠的。第2. 0. 2條潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應以動態(tài)條件下測試的塵粒數為依據。潔凈室空氣潔凈度的測試，應符合附錄二規(guī)定。第三章總體設計第節(jié)潔凈廠房位置選擇和總平面布置第3. 1. 1條潔凈廠房位置的選擇,應根據下列妥求并經技術經濟方案比較后確定：-、應在大氣含塵濃度較低，自然

10、環(huán)境較好的區(qū)域；二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)人量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等 有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于其最人頻率 風向上風側，或全年最小頻率風向下風側；三、應布置在廠區(qū)內環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。第3. 1. 2條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影 響，并應與精密設備、精密儀器儀衣允許環(huán)境振動值進行分析比較。第3.1.3條潔凈廠房最人頻率風向上風側有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙 囪高度的12倍。第3.1.4條潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

11、第3. 1. 5條 潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道（可利用交通道路），如有困難時，可沿廠房 的兩個長邊設置消防車道。第3.1.6條潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性好、發(fā)塵少的材料。第3.1. 7條潔凈廠房周圉應進行綠化?？射佒膊萜骸⒎N植對人氣含塵農度不產生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。第二節(jié)工藝布置和設計綜合協調第3. 2.1條工藝布置應符合下列要求：、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內只布置必要的工藝設備以及有空氣潔凈度等級要求 的工序和工作室。二、在滿足生產工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調節(jié)機房，空氣 潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中

12、布置，靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的匸 作室。三、潔凈室內要求空氣潔凈度高的丄序應布置在上風側，易產生污染的匚藝設備應布置在靠近回 風口位置。四、應考慮人型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。五、應設置單獨的物料人口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行淸潔處埋。第3. 2.2條潔凈廠房內宜少設隔間，但在下列情況下可予以分隔。、按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。二、生產過程中產生較強噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能釆取局部措施加以控制 者。三、生產聯系少，并經常不同時使用的兩個生產車間之間。第3.

13、 2. 3條潔凈廠房的平面和空間設計，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進 行分區(qū)布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及凈化空 氣調節(jié)系統(tǒng)等各種技術設施的綜合協調效果。第3. 2. 4條潔凈廠房設計必須合理確定各種管線的平血位置和豎向標高。第3. 2. 5條潔凈廠房內各種固定技術設施（如送風口、照明器、回風口、各種管線等）的布置, 宜首先考慮凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的要求。第三節(jié)噪聲控制第3. 3.1條潔凈室內的噪聲級，應符合下列要求：、動態(tài)測試時,潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲級不

14、應人于65分 貝A。注：（1）由于技術經濟條件限制，或噪聲人于7 0分貝A對生產無影響時,噪聲級可適當放寬， 但不宜大于7 5分貝A;（2）上述噪聲級是指在室內每個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在個正常工作日內的等效連續(xù)聲壓級。 第3. 3.2條潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲太級；各頻帶聲壓級值不宜人于衣3. 3. 2的 規(guī)定。第3.3.3條潔凈廠房的平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圉護結構應有良好的隔聲性能, 并宜使各部分隔聲量和接近。第3.3.4條潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備, 應設置專用隔聲設施（如隔

15、聲間、隔聲罩等）。第3. 3.5條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。除事故排風外，應對潔凈室內的押:風系統(tǒng)進行減噪設計。第3. 3.6條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)，根據室內噪聲級的要求，風管內風速宜按下列規(guī)定選用：、總風管為610米/秒。二、無送、回風口的支風管為68米/秒。三、有送、回風口的大風管為3、6米/秒。第3. 3. 7條潔凈廠房的噪聲控制設計必須考慮生產環(huán)境的空氣潔凈度要求,不得因控制噪聲而 影響潔凈室的凈化條件。第四節(jié)振動控制第3.4.1條潔凈廠房和周圉輔助性站房內有強烈振動的設備（包括水泵等）及其通往潔凈室的管 道，應采取積極隔振措施。第3. 4. 2

16、條對潔凈廠房內外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制， 也可根據經驗對綜合振動影響進行評價。并應與持密設備、精儀器儀農的允許環(huán)境振動值進行比 較，以確定對其采取必要的隔掠措施。第3. 4.3條精密設備、持密儀器儀衣的隔振措施，應考慮減少發(fā)生雖、保持潔凈室內合理的氣 流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應地氣源進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等 級。第五章空氣凈化第-節(jié)般規(guī)定第5. 1. 1條潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：、潔凈室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。 二、在滿足人生產工藝要求的前提下，潔凈室的氣

17、流組級別，宜采用局部匚作區(qū)空氣凈化和全室 空氣凈化和結合的形式。第5. 1.2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調 節(jié)系統(tǒng)均宜分開設置。第5.1. 3條潔凈室內的計算溫、溫度、應符合下列規(guī)定：、滿足生產工藝要求二、生產工藝無溫、濕度要求時,潔凈室溫度為2026度，溫度7 0度。第5.1. 4條潔凈室內應保證定的新鮮空氣量，其數值頻取下列風量中的最人值；、亂流潔凈室總送風量的10%3 0 %,層流潔凈室總送風量的24忍二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量。三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。第5. 1.5條潔凈區(qū)的淸掃，宜采用移動

18、式烏效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室 內集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應暗敷。第5.1.6條在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。 第二節(jié)潔凈室正壓控制第5. 2. 1條潔凈室必須維持定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜 壓差，應不小于4. 9 P a ,潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應不小于9. 8 Pa。第5.2. 2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：Q=ql 2 （q L）（5. 2. 2）式中 Q-維持潔凈室正壓值所需的正壓風量（米'/時）；a -根據圍擴結構氣密性確定的安全系數，可取1. 11 . 2：

19、q-當潔凈室為某正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量（米'/時米）；L -圍擴結構的縫隙長度（米）。第5. 2.3條圍護結構單位長度縫隙的滲漏風雖，可按衣5.2.3采用。'壓差（Pa）門窗形式非密閉門密閉門單層固定密閉木窗單層固定密閉鋼窗單層開啟式密閉鋼傳遞窗壁板漏風量（米'/時米491741.00. 73. 52.00.39.82 461.5104. 53.00614.73082.01.36.04.00. 819.6369251.57.05. 01.02 4.540102.81. 7& 05. 51.22 9.444113.01.9856.01.434.

20、34812352. 19.0701539252133.82.310. 07.517441551 54.02510.58.01949. 060164.42.611. 59.02. 0第5. 2. 4條送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉聯鎖。系統(tǒng)開啟時,聯軸和序應為先啟動送風機，再啟 動回風機和排風機，系統(tǒng)關閉時，則聞鎖程序應和反。第5. 2. 5條非連續(xù)運行的潔凈室,可根據生產工藝要求設置值班風機，并應對新風進行處理。 第三節(jié)氣流組組織和送風量第5. 3. 1氣流組織的選擇，應符合下列要求：-、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應使?jié)崈魜A作區(qū)氣流流向 單一。二、回風口宜均勻布置在

21、潔凈室下部。三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區(qū)高度范圉內。第5. 3. 2條潔凈室的氣流組織和送風量，宜按農5. 3. 2選用。第5. 3. 3條亂流潔凈室的送風量，應取下列規(guī)定的最人值；、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量。二、按農5. 3. 2規(guī)定的送風量。三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量。四、按空氣平衡所需要的送風量。第5.3.4條當生產工藝僅要求在潔凈室內局部工作區(qū)達到更崗的空氣潔凈度時，其氣流組織設計 應使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘浽摴ぷ鲄^(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的 潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5. 3. 4-1、5. 3.4-

22、2。第5.3. 5條層流潔凈室內不宜設置潔凈匸作臺；亂流潔凈室內可設置潔凈工作臺，但其位置應 遠離回風口。第5. 3.6條潔凈室內有局部扌II：風裝置時，其位置應設在工作區(qū)氣流的下風側。第四節(jié)空氣凈化處理第5.4.1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過 濾。注1:10 0, 0 0 0級空氣凈化處理，可釆用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。第5. 4. 2條確定集中式或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產工藝特點和潔凈室空氣 潔凈度等級、而積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、潔凈室而積較大時，位置集中以及噪聲控制 和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈

23、化空氣調節(jié)系統(tǒng)。第5.4.3條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風，凡1：藝過程產生人量有害物質且局部處理 不能滿足衛(wèi)生要求，或對其他1：序有危害時，則不應用回風。第5. 4. 4條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空 氣通過新風口參入潔凈室內的防倒灌措施。第5.4. 5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合下列要求：-、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器。二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段。三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端。四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用。五、阻力、效率和近的高效空氣過濾

24、器宜設置在同潔凈室內。六、高效空氣過濾器安裝方式應簡便可靠，易于檢漏和更換。第5. 4. 6條送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過 濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。第5. 4. 7條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器,位置應布置在烏效空氣過濾 器的上風側，并應有防火安全措施。第五節(jié)采暖通風第5. 5. 1條潔凈室的采暖型式，應按下列不同情況確定：、100級、1 0 00級、10. 0 0 0級潔凈室，不應采用散熱器采暖，100,000級潔凈室，不宜 采用散熱器采暖。二、值班采暖可利用技術夾道的散熱器進行間接采暖?；虿捎瞄g歇運行凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)

25、，值班 風機系統(tǒng)進行熱風采暖。第5. 5. 2條散熱器應采用衣面光滑不易積塵、便于淸掃的形式。第5. 5.3條潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備,應設局部排風裝置、排風罩的操作口面 積應盡量縮小。第5. 5. 4條局部排風系統(tǒng)在下列情況下，應單獨設置：一、非同凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。二、排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。三、所排出的有害物毒性相差很大。第5. 5.5條潔凈室的排風系統(tǒng)設計，應采取下列措施：、防倒灌措施。二、含有易燃、易爆物質局部扌II：風系統(tǒng)的防火、防爆措施。第5. 5. 6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施，其室內的靜壓值, 應低于潔

26、凈區(qū)。第5. 5. 7條潔凈室事故排風系統(tǒng)的換氣次數，應采用每小時15 20次。事故扌II：風裝置的控制開關,應分別設在潔凈室和室外便于操作的地點，并應與凈化空氣調節(jié)系統(tǒng) 聯鎖，其室內宜設報警裝置。第六節(jié)風管和附件第5. 6. 1條風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行淸潔處理，并在適當位置設置密 閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。第5. 6.2條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風管、回風總管,應設置密閉調節(jié)閥。送風機的吸入口處和需 妥調節(jié)風量處，應設置密閉調節(jié)閥。送風機的吸入口處和需要調節(jié)風量處，應設置調節(jié)閥。潔凈 室內的排風系統(tǒng)，應設置調節(jié)閥、II：回閥或密閉閥?？傦L管穿過樓板和風管穿過防火墻處，

27、必須 設置防火閥。第5. 6. 3條凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的風管和調節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板 等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。潔凈室內扌II：風系統(tǒng)的風管、調節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據扌II：除氣體的性質及 其所處的空氣環(huán)境條件確定。第5. 6. 4條在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要 調節(jié)風量的支管上,應設置風量測定孔。第5. 6.5條押除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管,其他風管以及風管的保溫和游泳場材料及 其粘結劑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。第七章工業(yè)氣體管道第節(jié)般規(guī)定第

28、7.1. 1條工業(yè)氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道且明敷， 如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。引入潔凈的支管宜明敷。第7.1.2條高純氣體管道設計，應符合下列要求：、根據計算確定管徑。二、管道系統(tǒng)應盡量短。三、不宜設預留口。四、不應出現“廿管”等不易吹除的部位。五、干管不支管上應設置吹除口。六、在管系統(tǒng)上應設置吹除口。第7. 1.3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。 管道與套管之間應采取可靠的密封措施。第7.1. 4條氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防 雷保護區(qū)內。

29、第7.1. 5條氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統(tǒng)計劃的要求進行選擇。氣體終端凈 化裝置應設在靠近用氣點處。第7 .1.6條氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵雖的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高 效氣體過濾器。第二節(jié)管道材料、閥門和附件7. 2. 1條根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規(guī)定選用：、氣體純度大小或等于9 9.99 9 %時，應采用不銹鋼管。二、氣體純度大于或等于9 9.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。三、氣體純度小于9 9.99%時，可采用無縫鋼管。四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道;如為非金屬軟管時,宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、 不得采用乳膠

30、管。第7. 2.2條高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈 應為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。第7. 2.3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡 膠材料。第三節(jié)管道連接和清洗第7. 3. 1條管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。第7. 3. 2條管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺 紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。第7. 3. 3條 高純性氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行淸洗、脫脂等預處理。 第四節(jié)安全技術第7.4. 1條 工業(yè)氣

31、體管道設計的安全技術，應符合下列規(guī)定；、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器。二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置。三、各種氣體管道應設明顯標志。第7. 4. 2條潔凈室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。第7. 4. 3條各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過瓶時，氣瓶可設置在潔凈室 內。附：換氣次數與風速在決定潔凈工程的質量諸多因素中，過濾器的品質至關重要。當過濾器的品質有保證時，通風參數（換氣次數或平均風速）成了最關鍵的因素。ISO 1 46 44 分級對應 傳統(tǒng)規(guī) 格氣流 形式平均風速m/s換氣 次數末端過濾器 效率過濾器出廠 檢驗方法I SO 1級9 9 .9999%掃描ISO 2 級V0.3 0. 5N99 9999%掃描I SO3級1U0 3-0.5>9 9 . 999%掃描ISO 4級1 0U0.305>99.9 9 9%掃描ISO 5級10(1U020.53 9 9 .97%總效率或掃描ISO 6 級1.000N,M701603 9 9.97%總效率或掃描I SO 7級10,(X)()N,M20-70>99.97%總效率或掃描ISO 8 級1