光伏去PSG工藝作業(yè)指導(dǎo)書

1、去psg工藝作業(yè)指導(dǎo)書公司生產(chǎn)車間名稱:光伏1號文件名稱:去psg工藝作業(yè)指導(dǎo)書版本：a文件編號：修訂：文件類型：撰寫人：目的：1.去除磷硅玻璃（psg）； 2.制作合格的太陽能硅片，保證人生安全。適用范圍：去除硅片表面的psg職責(zé)：工藝工程師：1.設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)參數(shù) 2.設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程 ？主要原材料及半成品：刻蝕后的標(biāo)準(zhǔn)硅片，hf，分析純/電子級主要儀器設(shè)備及工具：去磷硅玻璃清洗設(shè)備，電阻率測試儀，花籃承載框，清洗小花籃，量杯。工藝技術(shù)要求：？操作規(guī)程：（1）配液：按處理液配方配制去磷硅玻璃處理液，處理液配方hf:h2o=1;6（體積比）。然后將處理液注入去磷硅玻璃設(shè)備的處理槽內(nèi),液面高度為離槽

2、口約80mm。 （2）開機(jī)：按去磷硅玻璃設(shè)備的操作規(guī)程啟動全自動清洗設(shè)備，使其處于正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)（綠燈）（3）裝片：1.操作員帶上口罩和乳膠手套，將去周邊層后硅片插入硅片盒。注意裝片時保證硅片的正面朝同一個標(biāo)有明顯標(biāo)記方向。2.將裝滿硅片的硅片盒放入承載框,再將承載框放到進(jìn)料工位上。（4）清洗：啟動進(jìn)料傳送線將承載框送到清洗設(shè)備本體，由自動機(jī)械手將承載框手移依次送到各工位對硅片進(jìn)行腐蝕清洗去除磷硅玻璃。經(jīng)4個工位全過程處理后將硅片取出。(5)甩干：1.將裝滿硅片的硅片盒放入甩干機(jī)中，啟動設(shè)備，甩干，2.記錄甩干后合格的硅片，并通過傳遞窗流向下一道鍍膜工序。（6）自檢：檢查硅片是否有裂痕.缺角.崩

3、邊,將無法繼續(xù)生產(chǎn)的硅片取出，并填寫片數(shù)，記錄好流程卡。（7）關(guān)機(jī)：生產(chǎn)任務(wù)完成后，停止設(shè)備運(yùn)行，關(guān)閉電源.清潔.維護(hù)設(shè)備。工藝衛(wèi)生要求：、1.絕對不允許直接用手接觸硅片2.物品和工具定點(diǎn)放置，用過的工具要放回原位，嚴(yán)禁亂放。3.代用橡膠手套和防護(hù)制服。4.確保車間衛(wèi)生清潔。5.按時清潔車間衛(wèi)生注意事項：（1）操作注意事項：1.嚴(yán)格按照去磷硅玻璃設(shè)備操作規(guī)程進(jìn)行生產(chǎn)。2. 配制酸液時，必須按酸、堿清洗要求穿戴好相關(guān)的個人防護(hù)用品。3. 將硅片裝入片架時，磷擴(kuò)散的正面要面向片架的背面4.操作員應(yīng)時刻注意顯示設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的指示燈，綠燈為正常運(yùn)轉(zhuǎn)，黃燈為手動或其他，紅燈為異常或事故發(fā)生，立即按下急停按鈕。5.工作結(jié)束時及時關(guān)閉電源.氮?dú)夂退?壓縮空氣。（