FPC沉銅工藝規(guī)程

1、LONGXIN龍芯柔性電路板有限公司Do ngGuan Lon g.FPC.Xin Co.,Ltd.沉銅工作指示內(nèi)部受控文件嚴(yán)禁私自以任何形式全部或部分復(fù)制姓名部門職位簽名日期擬制陶興平工藝部主管審核陶興平工藝部主管侯向輝制造部主管陶興平品質(zhì)部主管批準(zhǔn)李松?？偨?jīng)辦懂事版次修改原因文件名作成日期修改人A.0新規(guī)作成LX-MEI-TD-001陶興平編號LX-MEI-TD-001作三業(yè)/指_7曰導(dǎo)書文件編號：LX-MEI-TD-001版次：A.0頁碼：2/14.2.3.4.5.6.7.8版次A.0頁3/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示1.目的:1.1本規(guī)程確立FPC沉銅工藝，滿足其生產(chǎn)

2、品質(zhì)要求;1.2本規(guī)程為生產(chǎn)、品質(zhì)、工藝等有關(guān)人員提供操作和監(jiān)控的依據(jù)。2.適用范圍:適用于本公司沉銅的作業(yè)控制。3.使用的材料、設(shè)備、工具:沉銅系列藥水、沉銅手動線、掛籃等。4.原理:在不外加電流的情況下，通過藥液的自催化（鈀和銅離子作為催化劑）氧化還原反應(yīng)，使銅離子 析鍍在經(jīng)過活化處理的孔壁和銅箔表面上的過程。5.作業(yè)方法:5.1作業(yè)前準(zhǔn)備：（詳見后面“ 7.1生產(chǎn)前準(zhǔn)備”） 各藥水（缸）的作用：.2PI調(diào)整：微蝕孔壁表面以增強后面的化學(xué)銅附著；通過增加催化劑吸附促進(jìn)銅覆蓋率的提高用于活 化及沉銅前清潔板面污染。除油/整孔：除去板面污跡，同時調(diào)整孔壁電荷分布，有利于 Pd的吸咐; 微蝕：粗

3、化銅面及除去銅面氧化物，使沉銅附著良好；雙逆水洗：洗凈產(chǎn)品藥液，避免污染下一個藥水缸；預(yù)浸：用于活化前，使活化時銅面藥液吸附均勻及減少雜質(zhì)帶入活化缸;活化:加速:沉銅:酸浸:使膠體Pd均勻地附在孔壁，引發(fā)化學(xué)沉銅初始反應(yīng);除去Pd外層包圍的物質(zhì)，露出有催化活性的 Pd核，引發(fā)后續(xù)反應(yīng)； 在催化劑作用下，銅絡(luò)合物與還原劑產(chǎn)生氧化還原反應(yīng)，沉積出單質(zhì)銅的過程;去除銅面上氧化物的過程，使電鍍銅與沉積銅結(jié)合良好。LX-MEI-TD-001作業(yè)指導(dǎo)版次A.0 頁4/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示5.3作業(yè)流程：531工藝（作業(yè)）流程：PI調(diào)整一雙水洗一除油/整孔一雙水洗-微蝕一雙水洗-預(yù)

4、浸一活化一雙水洗-加速一雙水洗- 沉銅雙水洗浸酸5.3.2 工乙流程操作示意圖：上板上掛PI調(diào)整-水洗除油水洗-微蝕水洗預(yù)浸活化水洗.速化編號LX-MEI-TD-001作業(yè)指導(dǎo)書版次A.0頁5/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示5.4作業(yè)參數(shù):槽名藥水成份參數(shù)設(shè)定操作時間溫度滴液時 間攪拌方 式分析頻率控制范圍最佳值SSPI調(diào)整PI調(diào)整劑KOH30-50%30-40g/L40%35g/L240-42040 5C15 3循環(huán) 過濾1次/班整孔整孔劑0.08-0.12N0.1N240-42055 5C15 3循環(huán) 過濾1次/班微蝕SPS40-80 g/l60g/l60-12030 5C

5、15 3打氣1 次 /4HHbSQ3-5%4%Cu2+ 80%加速加速劑9-11%10%60-9028 2C15 3循環(huán) 過濾1次/班化學(xué) 銅Cu2+1.4-1.8 g/l1 6g/l720-96028-32 C15 3循環(huán) 過濾1 次 /4HNaOH8-12 g/l10 g/lHCHO4-7 g/l6 g/l雙逆 水洗市水缸體（升）160*260 30室溫10-20流動水無作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁6/14生效日-2011-04-01名稱沉銅工作指示5.5各缸開缸步驟和操作條件:缸名開缸步驟操作條件PI調(diào)整1、加入1/2缸體積的純水；2、加入 YX-HYQ-2006

6、A /40L，KOH 4KG攪拌均 勻；3、補加純水至標(biāo)準(zhǔn)液位，攪拌均勻；4、打開加熱器，加熱并恒溫在 35-45 C .1、溫度：40 C (35-45 C )2、 工藝配備：搖擺、加熱、過濾3、 后處理：二級溢流水整孔1、加入1/2缸體積的純水；2、加入YX-HYQ-2005 10L攪拌均勻；3、補加純水至標(biāo)準(zhǔn)液位，攪拌均勻；4、打開加熱器，加熱并恒溫在 50-60 Co1、溫度：55 C (50-60 C)2、 工藝配備：搖擺、加熱、過濾3、 后處理：二級逆流水洗，其 中第一級不打開氣，第二級開打 氣微蝕1、加入2/3缸體積的自來水；2、緩慢加入4L H2SQ(工業(yè)級)邊加邊攪拌；3、待

7、溶液冷卻至40C以下時，加入8kg NaPS攪 拌均勻；4、補加純水至標(biāo)準(zhǔn)液位。1、溫度：常溫2、工藝配備： 搖擺、打氣3、 后處理：二級打氣水洗預(yù)浸1、加入1/2缸體積的純水；2、加入HYQ-1007 15Kg,鹽酸3L使之完全溶解 攪拌均勻；3、加純水到標(biāo)準(zhǔn)液位。1、溫度：室溫2、工藝配備：搖擺活化1、加入87沁體積的純水；2、加入 HCL3L3、加入預(yù)浸鹽：15Kg使之完全溶液，攪拌均 勻；4、加入活化劑3L，攪拌均勻；5、開啟加熱器并恒溫在32-38 Co1、溫度：35 C (32-38 C)2、 工藝配備：搖擺、過濾3、后處理：二級溢流水洗(不打氣)加速1、加入1/2缸體積的純水；2

8、、邊攪拌邊加入 HYQ-1009A 10L 攪拌均勻；3、加入純水至標(biāo)準(zhǔn)液位，室溫下即可生產(chǎn)。1、 溫度：28 C (26-30 C)2、 工藝配備：搖擺、過濾3、后處理：二級逆流水洗.(不打氣)沉銅1、加入1/2缸體積的純水，開啟微空氣攪拌；2、加入HYQ-900M 10L 攪拌均勻；3、加入HYQ-900A 10L 攪拌均勻；4、加入HYQ-900B 10L 攪拌均勻；5、加入純水至標(biāo)準(zhǔn)液位；6、開啟加熱器，加熱至30C，方可使用。1、 溫度：30 C (28-32 C)2、工藝配備：搖擺、打氣、加熱、過濾3、 后處理：打氣、水洗作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁7/14

9、生效日-2011-04-01名稱沉銅工作指示5.6開缸及藥水添加要求:缸名體積控制要求開缸用量添加要求換缸要求PI調(diào)整100LYX-HYQ-2006A:30-50%KOH: 30g/ 40g/LYX-HYQ-2006A 40LKOH:4kg依據(jù)化 果添力匕驗分析結(jié) n每生產(chǎn)3000川全缸更換整孔100LOH: 0.080.12N YX-HYQ-2005 8%-12%YX-HYQ-2005 : 10L依據(jù)每班分析結(jié) 果補加，每生產(chǎn)2000卅全缸更換微蝕100LSPS 40-80g/LSPS 8kg依據(jù)每班分析結(jié)Cij+ 25g/L 需換 缸，換缸時需保 留約1/5母液HSO4 3% -5%fSQ

10、: 4L果補加預(yù)浸100LS . G （比重）1.14-1.18HYQ-1007230-250g/LPD-130A 20KGHCL:3L依據(jù)每班分析結(jié) 果補加；每生產(chǎn)2000 m2 或藥液變?yōu)楸O(jiān)色 或綠色，全缸更 換活化100LS . G （比重）1.14-1.18HYQ-1007:230-270g/l預(yù)浸鹽：15KG 依據(jù)每班分析 結(jié)果補加； 每生產(chǎn)100平 米板加300-500 毫升 HYQ-1008; 液位不足時用 新配預(yù)浸液補加， 決不能加自來水 或純水Cli+ 2000PPIM寸鈀濃度HYQ-1008 3-5%鹽酸：2L 活化劑：3L需換缸加速100LHYQ-1009 9-11%HY

11、Q-1009 :10L依據(jù)每班分析 結(jié)果補加；每生產(chǎn)2000 m時 需全缸更換沉銅100LCiT 1.4-1.8 g/LNaOH: 8-12g/LHYQ-900K : 10 LHYQ-900B :10L 依據(jù) 結(jié)果補 每生 加H 各C HY 缸劑, 加。舌每班分析卜加;2三產(chǎn)1 m添YQ-900A BI.25-0.32LQ-900M為開生產(chǎn)中不補每三天需全缸更換HCHO: 4-7g/LHYQ-900M10 L作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁8/14生效日-2011-04-01名稱沉銅工作指示6.維護(hù)和保養(yǎng):6.1槽液維護(hù):缸名保養(yǎng)頻率保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法驗收保養(yǎng)標(biāo)準(zhǔn)PI調(diào)整一次

12、/每班周邊環(huán)境清掃、清潔、整理地面不積水，雜物等清掃干 凈，生產(chǎn)板及其它物品擺放整 齊一次/每班后水洗缸用洗缸掃把清洗干凈更換 用清水清洗棉芯缸沿、缸壁無污跡，棉心無雜 物等一次/每周過濾棉芯一次/每周過濾棉芯更換新的棉芯（更換前用清水 浸泡24小時）干凈、沒有雜物殘留每生產(chǎn)3000川新開缸換缸1、排空，用洗缸掃把清洗2、按開缸步驟進(jìn)行開缸缸沿、缸壁、過濾泵無污跡除油一次/每班周邊環(huán)境清掃、清潔、整理地面不積水，雜物等清掃干 凈，生產(chǎn)板及其它物品擺放整 齊一次/每班后水洗缸后水洗缸用掃把清洗干凈一次/每周過濾棉芯:過濾棉芯用清水沖洗干凈一次/每周過濾棉芯1、更換新的棉芯2、用清水浸泡24小時每

13、生產(chǎn)2000 m2換缸1、排空用掃把清洗2、按開缸步驟進(jìn)行開缸微蝕一次/每班后水洗缸用清水沖洗干凈缸沿、缸壁無污跡(Cif+25g/L)換缸1、用備用桶保留1/5母液2、排空缸液，用水沖洗干凈預(yù)浸一次/每班后水洗缸用清水沖洗干凈2000 m或藥液變?yōu)?藍(lán)色或綠色換缸排空缸液，用水沖洗干凈一次/每周過濾棉芯更換過濾棉芯作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁9/14生效日-2011-04-01名稱沉銅工作指示缸名保養(yǎng)頻率保養(yǎng)項目保養(yǎng)方法驗收保養(yǎng)標(biāo)準(zhǔn)一次/每班后水洗缸用洗缸掃把清洗干凈一次/每周過濾棉芯 更換在預(yù)浸中浸泡30min后更換活化清除缸中雜質(zhì)，并用洗缸掃把清洗干凈，干凈、沒有

14、雜物殘留一次/每月倒缸倒缸前用預(yù)浸液清洗備用槽，倒缸過程 中活化液勿遇水；藥水抽回時要先用預(yù)浸液清洗。Cij+2000PPM換缸排空缸液，用洗缸掃把沖洗干凈（每月聯(lián)系供應(yīng)商外發(fā)分析一次）一次/每班后水洗缸用洗缸掃把清洗干凈加22000m換缸清洗干凈缸底、缸沿、缸壁及各管道缸沿缸壁無污跡速一次/每周過濾棉芯更換更換新的棉芯用清水浸泡24小時二次/每周過濾棉芯更換新的棉芯，并用純水浸泡2-4小時干凈、沒有雜物殘留沉銅二次/每周移槽除銅（倒缸）詳見下頁“沉銅缸倒缸及清洗方法”缸沿、缸壁、過濾泵、 管道無銅結(jié)晶、雜物（移槽時在保養(yǎng)記錄表 上注明幾號銅缸）一次/每班后水洗缸用洗缸掃把清洗干凈缸沿、缸壁無

15、污跡換缸沉銅每生產(chǎn)5000川時，整缸更換；按開缸步驟進(jìn)仃酸浸二次/每班換檸檬酸 溶液每班換兩次檸檬酸溶液（每四小時更換 一次）；檸檬酸按1%-2%勺濃度配制干凈、沒有雜物殘留作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁10/14生效日-2011-04-01名稱沉銅工作指示6.2工藝維護(hù):621水洗缸清洗：（沉銅線水洗缸每班更換一次）清洗方法：放干原水缸之水，用干凈的掃把清洗干凈缸壁及缸底的水垢等臟污，再用清水仔細(xì) 沖洗二遍，然后注入水至液位。6.2.2過濾棉芯更換：更換方法： 關(guān)閉過濾泵及泵進(jìn)口出口閥門； 打開濾缸，取出舊棉芯，換上已用DI水浸潤的新棉芯； 開泵進(jìn)口出口閥門及過濾泵，觀

16、察是否漏液，否則重新裝配。6.2.3熱電偶及液位探頭清洗：（每周一次）清洗方法：將探頭拿離液面，檢查是否有污垢附著，有則用干凈布擦拭干凈。6.2.4活化缸倒缸作業(yè)：將活化液倒出原缸，將缸體周壁清潔干凈，純水洗凈后用預(yù)浸液擦洗干凈，再將活化液過濾倒 入，分析調(diào)整。（嚴(yán)禁將自來水及其它有機物或重金屬物質(zhì)帶入活化缸中，防止污染活化缸， 嚴(yán)禁活化打氣和劇烈攪拌且每月需進(jìn)行倒缸作業(yè)）6.2.4沉銅缸倒缸及清洗方法：沉銅缸正常生產(chǎn)應(yīng)每周倒缸2次6.2.4.1將打氣、過濾、加熱關(guān)掉，用過濾泵（及過濾袋）將沉銅液抽到干凈的備用缸（清洗干凈， 保證缸壁、缸底無銅粉、臟物）內(nèi)，開循環(huán)過濾 ，分析藥液濃度并調(diào)整藥液

17、至液位用于生產(chǎn)；6.2.4.2 用水清洗缸體后加入2/3槽體積的舊微蝕液，并補足液位進(jìn)行溶銅，同時開啟過濾泵；6.243待將缸內(nèi)壁的殘銅溶解后，將微蝕液排走，加滿水后過濾徹底清洗缸體、過濾泵、副槽等；6.244 再將4Kg NaOH溶解后加入缸中，打氣攪拌15分鐘后，并排掉；用純水沖洗 3-4次,徹底 清洗干凈銅缸和過濾泵后待用；6.2.4.5開啟打氣，將沉銅液用棉芯過濾抽回藥水缸，開啟過濾。（抽液前用DI水將抽水泵清洗干凈）作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0 頁 11/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示626各藥水缸的保養(yǎng)按各自要求分別進(jìn)行；倒槽時抽水泵內(nèi)需要裝過

18、濾棉芯。7. 生產(chǎn)控制：7.1生產(chǎn)前準(zhǔn)備：檢杳項目管道系統(tǒng)缸體化學(xué)藥水滲漏進(jìn)出水開關(guān)打氣系統(tǒng)藥液排出閥關(guān)閉液位預(yù)熱/冷卻清潔程度按化驗單補加注：進(jìn)產(chǎn)品前藥缸開泵循環(huán) 5分鐘以上，觀察控制面板上溫度是否到達(dá)操作的溫度，否則需繼續(xù)預(yù)熱。7.1.1先檢查各個藥水槽的液位是否正常（如有液位不夠的需補足液位），然后開動所有過濾泵后, 再開動所有加熱器；7.1.2通知化驗室分析調(diào)整藥水含量；7.1.3檢查各藥水缸溫度，各缸液實測溫度與設(shè)定值允許偏差土2C；7.1.4檢查所有過濾泵功能（過濾泵不允許有漏液、漏氣、空轉(zhuǎn)、停轉(zhuǎn)等問題），并定時更換濾芯, 如發(fā)現(xiàn)過濾泵流量不足時，應(yīng)立即更換濾芯；7.1.5檢查各缸

19、的打氣，打氣應(yīng)適量、均勻；但活化槽后的水洗不要用空氣攪拌；7.1.6檢查振動和搖擺是否正常；7.1.7取樣分析各槽液并補充到標(biāo)準(zhǔn)值（取樣時必需注意液位是否正常），各液缸液位偏低則按各 自方法補加與調(diào)整，偏高則視具體情況決定是否排出（藥水液位偏高時需通知生產(chǎn)主管或工 藝處理方案）；但預(yù)浸缸液位一定要略高于活化缸；7.1.8進(jìn)行拖缸作業(yè)（檢查拖缸板是否足夠，拖缸板每次使用前需去除銅層方可使用）；7.1.9完成以上工作后便可生產(chǎn)（注意：沉銅缸不能關(guān)閉打氣、過濾泵）7.2.操作控制：7.2.1 .1 生產(chǎn)前要認(rèn)真核對生產(chǎn)板與流程卡的型號、數(shù)量、工藝參數(shù)等是否一致，如有疑點，馬上找組長或主管處理；生產(chǎn)過

20、程必須輕拿輕放沉銅藍(lán)，避免擦花和折皺生產(chǎn)板；作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁 12/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示7.2.1.2 上板時要戴干凈的防靜電手套（或白棉手套），不能刮花板面、疊板、 褶皺，板子的 高度不能超過液面，插完板后將沉銅籃置放在待沉銅區(qū)域。上板前要將有板的位置上方用銅絲固定，防止打氣將板吹起；插板時，最多只能停放一掛板，防止在空氣中過久使板面受 到污染或氧化；沉銅藍(lán)硝銅后，必須要保證沉銅藍(lán)干燥、外觀無發(fā)黑、無異物等影響品質(zhì)因 素才能使用；如有問題，需及時通知品質(zhì)、工藝人員進(jìn)行評估確定；721.3 下板時必須戴膠手套，膠手套必須每天更換一次

21、；（若作業(yè)過程中發(fā)現(xiàn)板面手印問題 及時更換膠手套），上下板不可取拿其它東西，以防污染板面；721.4 沉完銅的產(chǎn)品如不能及時鍍銅可先泡在 1-2%檸檬酸中（每天更換一次），具體作業(yè)如下： 從掛籃中取出板子，每次不超過4張放入1-2%?檬酸的水盤中，板子應(yīng)該靠盆子的邊框放 好，疊放整齊，下板時輕拿輕放；沉銅出來的板整板電鍍前的存放時間不允許超過4小時， 超過4小時需烘干，并用綠膠片逐張隔開存放在溫濕度適宜的車間下次再鍍；7.2.1.5 化驗開單后需要添加藥水或換缸時， 必須按要求執(zhí)行，每班加藥前要核對化驗室提供的 化驗單上注名加藥水的名稱、數(shù)量，對于已超出工藝控制范圍的必須在在接到化驗單后必須立

22、即停止作業(yè)，15分鐘內(nèi)添加完畢，對于未超出工藝控制范圍而化驗單上注名需要添加的必 須在1小時內(nèi)添加完畢，沉銅缸無論化驗結(jié)果是否在工藝控制范圍內(nèi)都必須立即加藥，生產(chǎn) 須指定專人（或組長）加藥，添加時由化驗員、IPQC及現(xiàn)場技術(shù)人員現(xiàn)場確認(rèn)，并做好記錄， 添加藥水后必須在化驗單上注明監(jiān)控人及添加時間；各藥水缸有板時不能加藥，添加固體藥 品時，在缸外溶解、混和均勻后再加入，加料時要開打氣和過濾，且沉銅缸的各種藥水在添 加時，每種每次添加量不超過1L，若有超過，則須分次添加；7.2.1.6 生產(chǎn)現(xiàn)場的沉銅藍(lán)待沉銅板、已沉銅板等必須擺放整齊，標(biāo)識清楚。如果發(fā)現(xiàn)沉銅藍(lán)有造成板面檫花等影響品質(zhì)的不良現(xiàn)象時，

23、停止使用并立即通知工序主管及品質(zhì)、工藝人 員解決；7.2.1.7生產(chǎn)過程中如遇停電、 停水、或放入水槽中 天車故障等故障時，應(yīng)首先檢查微蝕缸中 有無板子，如有，及時取出，清洗烘干待返工；將各藥水槽中的板取出后分別做好標(biāo)識區(qū) 分；7.2.1.8 停產(chǎn)時關(guān)掉加熱、過濾（沉 Cu缸除外）、打氣（沉Cu缸除外）、水閥、振動等；7.2.1.9 停打氣超過一小時，需通知工藝部，對沉銅缸PH值進(jìn)行調(diào)整，再次生產(chǎn)時將PH值調(diào)回， 并做倒槽后再投入生產(chǎn)；7.2.1.10當(dāng)生產(chǎn)開線或停產(chǎn)超過1小時，必須通知化驗室對沉銅藥水進(jìn)行化驗，及時添加藥水， 同時進(jìn)行拖缸，以提高藥水活性，拖缸板使用雙面FR4無銅板拖缸，每缸

24、拖缸板要保證尺寸為250MM*250M的板40PNL以上，需兩個月更新一次，拖缸板不能進(jìn)入 PI調(diào)整缸，從除油開 始作業(yè)。具體拖缸次數(shù)規(guī)定如下：停產(chǎn)時間 2小時內(nèi)拖1缸，在2-4小時以內(nèi)，拖2缸，第3 缸可下首板；停產(chǎn)超過4小時或新開線時，需拖3缸，第4缸下首板，若首板合格，可以批 量生產(chǎn)，若不合格，繼續(xù)拖缸，至首板合格為止；作業(yè)指導(dǎo)書編號LX-MEI-TD-001版次A.0頁 13/14生效日2011-04-01名稱沉銅工作指示721.11生產(chǎn)加藥時使用的工具（如量杯等）,在使用之前須先用純水洗干凈后方可使用；721.12 生產(chǎn)過程要認(rèn)真做好FPC沉銅保養(yǎng)記錄表、FPC沉銅檢查記錄表、FPC沉銅藥水添加記錄表等多項工作記錄，要求字跡工整，填寫完整，不允許亂涂亂劃。7.2.3生產(chǎn)停工規(guī)則7.2.3.1關(guān)掉所有藥水槽中的加熱器；7.2.3.2 關(guān)掉水洗缸的入水閥門及打氣閥門；723.3保持沉銅缸有打氣及過濾。8. 品質(zhì)控制：8.1外觀檢查：沉銅出來的板應(yīng)做好自檢自控，板面顏色應(yīng)為均勻粉紅色，孔內(nèi)無銅以及孔粗等 問題及時報主管或工藝人員處理。每缸板必須檢查板面是否出現(xiàn)氧化、皺折、掛籃印及銅粉 等；8.2背光檢查：每一缸板沉出來后剪 4個切片用40倍顯微鏡觀察有無孔銅不良，要求無空洞；8.3粗化速率控制：每天由化驗室測粗化速率一次，控制粗化深度為0.51卩m8.4沉銅速率控制：