采購內(nèi)容及項(xiàng)目要求完整

.采購內(nèi)容及項(xiàng)目要求一、項(xiàng)目概況因教學(xué)及科研需要，化學(xué)與化工學(xué)院需要采購原位X射線光電子能譜儀系統(tǒng)一套。本項(xiàng)目共分為1個(gè)包。允許投標(biāo)人投報(bào)原裝進(jìn)口設(shè)備，投標(biāo)人不得對(duì)所投貨物和服務(wù)分解后進(jìn)行響應(yīng)。本項(xiàng)目預(yù)算為人民幣749.735萬元（包含外貿(mào)相關(guān)費(fèi)用）。 二、采購內(nèi)容及采購數(shù)量山東大學(xué)儀器設(shè)備采購技術(shù)條款一覽表采購人要求配置序號(hào)配置名稱詳細(xì)技術(shù)參數(shù)要求數(shù)量1X射線光電子能譜儀（1）整套系統(tǒng)中應(yīng)具備XPS（包含成像）、離子深度刻蝕（氬離子刻蝕槍、團(tuán)簇刻蝕槍）、ISS離子散射譜、反射電子能量損失譜REELS、反光電子能譜（IPES）（ISS、REELS、IPES三者選配其二）、UPS紫外光電子能譜、超高真空測(cè)量裝置功能和實(shí)現(xiàn)這些功能的部件；（2）可進(jìn)行有機(jī)、無機(jī)、金屬等各種材料的表面幾個(gè)原子層（1-10nm厚的表面）的化學(xué)組成、價(jià)態(tài)，深度剖析及成像、功函數(shù)特性的分析與表征；（3）可進(jìn)行樣品原位（低溫、高溫、高壓、反應(yīng)氣氛下）處理后的XPS測(cè)試。11.1真空系統(tǒng)分析腔室和進(jìn)樣腔室及其真空系統(tǒng)（1）分析腔室與進(jìn)樣腔室為完全獨(dú)立的兩腔室，有閘板閥隔開。（需提供證明資料）（2）分析室：材質(zhì)和真空：真空腔為純金屬制造，真空度優(yōu)于7.010-10 mbar；獨(dú)立機(jī)械泵：極限真空氣壓1.0 10-4 mbar；獨(dú)立分子渦輪泵：極限真空氣壓 600 L/s；配低高溫樣品臺(tái)，可低溫高溫測(cè)試，溫度范圍：-140-800 C。（3）進(jìn)樣及樣品處理室：真空度：真空度應(yīng)優(yōu)于7.010-8 mbar；泵組：配備獨(dú)立的渦輪分子泵和機(jī)械泵，不可與分析腔共用，防止交叉污染。（需提供證明資料）（4）進(jìn)樣系統(tǒng)為磁浮式無摩擦進(jìn)樣桿，或使用自動(dòng)進(jìn)樣的機(jī)械手臂，設(shè)計(jì)應(yīng)避免長期使用后出現(xiàn)的機(jī)械勞損和間隙誤差。（5）超高真空檢測(cè)裝置：各獨(dú)立超高真空艙室均配置超高真空離子規(guī)一套，可以在各艙各自隔斷情況下獨(dú)立實(shí)施監(jiān)測(cè)真空度。（需提供證明資料）1.2樣品操控系統(tǒng)平臺(tái)樣品臺(tái)及移動(dòng)轉(zhuǎn)移倉（1）樣品臺(tái)：軸向：5軸樣品臺(tái)，即X、Y、Z移動(dòng)，傾斜及旋轉(zhuǎn)；移動(dòng)范圍應(yīng)保證系統(tǒng)提供的各項(xiàng)分析有足夠空間轉(zhuǎn)移范圍完成，并有一定的余量空間保證最佳分析位置，包括對(duì)樣品位置特別敏感的角分辨XPS，微區(qū)XPS全樣品范圍成像。（2）移動(dòng)：通過樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)部件，可以對(duì)樣品位置進(jìn)行遠(yuǎn)程自動(dòng)控制，對(duì)位置、角度控制精度達(dá)到1 um、0.1 。（3）附帶便攜式不銹鋼傳遞倉一套，可將合成環(huán)境為離線的樣品可遠(yuǎn)程無污染真空傳遞至XPS制備腔室內(nèi)進(jìn)行分析；傳遞倉連接主機(jī)位置：進(jìn)樣室。1.3電子能量分析器采譜與能量分析系統(tǒng)（1）類型：180 雙聚焦半球形或扇形分析器， 金屬材質(zhì)。（2）平均半徑：= 150mm。（3）通能：5-320 eV可調(diào)。（4）操作模式：針對(duì)采譜與成像，具有固定分析器傳輸模式和固定減速比模式。（5）能量分析范圍：0-3200 eV。1.4靜電透鏡和磁透鏡配置磁透鏡或者靜電傳輸透鏡；針對(duì)配備磁透鏡的儀器，磁透鏡可在操作時(shí)關(guān)閉，可保留靜電透鏡獨(dú)立工作模式。1.5Al K單色化XPS（1）射線源類型：?jiǎn)紊疉l靶射線源。（2）單色器：石英晶體單色器；單色化光源陽極靶，如使用單一Al K靶源，靶點(diǎn)不少于16個(gè)。（3）能量分辨和靈敏度(Ag 3d5/2)：普通模式測(cè)試，對(duì)Ag 3d5/2峰，半峰寬（FWHM）0.45 eV，能進(jìn)行點(diǎn)分析、線掃描、面分析、化學(xué)態(tài)成像、深度剖析、角分辨XPS。1.6雙陽極XPS靶源兩種方案提供其一。方案一：高能單色Ag L射線源單色器：500 mm羅蘭圓，大背板水冷一體式石英晶體單色器；能量分辨和靈敏度(Ag 3d5/2) 300700 m XPS：0.90 eV 6kcps；方案二：Al/Mg雙陽極Mg陽極對(duì)于Ag 3d5/2 靈敏度1 Mcps 1.40 eV；1.7束斑最小束斑尺寸=20 m，束斑一定范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，可應(yīng)對(duì)大面積和微區(qū)分析需求。1.8電子檢測(cè)器（1）采用靈敏電子檢測(cè)器，通過傅立葉變換或小束斑掃描成像。（2）寬/窄掃描譜：順序能量掃描。1.9樣品觀察和調(diào)整（1）可變焦顯微攝像機(jī)顯示系統(tǒng)，能清楚觀察樣品圖象，圖像可實(shí)時(shí)顯示及儲(chǔ)存。分析室需具備方便的觀察視窗，并裝有防X射線玻璃。（2）在分析室使用多樣品停放臺(tái)：一次可裝入并存儲(chǔ)多個(gè)樣品。1.10荷電中和系統(tǒng)（1）結(jié)構(gòu)及操作方式：離軸低能離子/電子槍的同源雙束中和；或采用低能準(zhǔn)直電子束與低能準(zhǔn)直離子束；或采用靜電傳輸透鏡同軸的超低能單電子源方式；適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的精準(zhǔn)荷電中和。（2）可以在磁透鏡關(guān)閉的情況下有效測(cè)試磁性樣品，保證信噪比。（需提供證明資料）（3）可以在做絕緣樣品的UPS紫外光電子能譜分析時(shí)進(jìn)行有效的荷電中和。（4）能量分辨率和靈敏度：對(duì)PET絕緣樣品，在O-C=O結(jié)構(gòu)中C1s峰能量分辨（FWHM）優(yōu)于0.68 eV時(shí)，C-C結(jié)構(gòu)中C 1s峰的靈敏度（正常工作條件下的真實(shí)測(cè)量值）優(yōu)于30000 cps。1.11復(fù)合團(tuán)簇離子槍刻蝕套件（1）離子源：Ar+源，單離子與團(tuán)簇模式。（2）刻蝕模式：?jiǎn)我粯岓w，包含單離子刻蝕和團(tuán)簇刻蝕兩種模式。（3）單離子模式：刻蝕能量0 eV5 keV連續(xù)可調(diào)。（4）團(tuán)簇模式：團(tuán)簇中離子數(shù)目10002000個(gè)，每個(gè)離子能量最低可達(dá)1 eV（離子能量越低越好，確保對(duì)有機(jī)物等輕柔表面的無損刻蝕）。1.12反射電子能量損失譜（REELS），反光電子譜（IPES），離子散射譜（ISS）（三者提供其二）反射電子能量損失譜：對(duì)于干凈的銀樣品，能量分辨率為0.5 eV時(shí)，靈敏度不低于1000 kcps；反光電子譜：電子源能量范圍1-50 eV；能量分辨率0.5 eV（標(biāo)準(zhǔn)多晶銀樣品）；離子散射譜：在1 keV He離子作用于清潔的金表面，能量分辨優(yōu)于15 eV時(shí)，靈敏度應(yīng)優(yōu)于15,000 cps/nA。1.13紫外光電子能譜UPS（1）光源：He紫外光源。（2）能量分辨率：對(duì)Ag費(fèi)米邊，能量分辨率應(yīng)不大于120 meV。（3）靈敏度：能量分辨率小于120 meV時(shí)，靈敏度（Ag 4d）3 Mcps。（4）He II工作時(shí)，HeII/HeI 強(qiáng)度比應(yīng)高于1/2。（5）真空系統(tǒng)：包括機(jī)械泵和渦輪分子泵。1.14高溫原位催化反應(yīng)池用于固體材料的高溫高壓和化學(xué)反應(yīng)的原位處理，樣品處理后可直接通過傳輸系統(tǒng)進(jìn)入XPS主機(jī)進(jìn)行測(cè)量（需提供證明資料，圖片或者方案圖紙，用戶使用反饋等）（1）反應(yīng)釜：不銹鋼外殼，可以作為封閉反應(yīng)池或流動(dòng)池，提供控壓，控流速和混氣的反應(yīng)供氣系統(tǒng)。（2）反應(yīng)釜溫度和壓力：涵蓋600 4 bar，400 10 bar的反應(yīng)條件；最高使用溫度800 。（3）使用氣體：H2，O2，H2O，CO2，CH4和腐蝕性氣體如NH3等。（4）控溫方式：程序控溫，反應(yīng)釜與不銹鋼腔體用水冷封套隔離，保證高溫實(shí)驗(yàn)時(shí)外殼不過熱。（5）真空系統(tǒng)：獨(dú)立的外掛式腔體，有獨(dú)立的抽空系統(tǒng)。（6）樣品裝載：石英樣品座。（7）安裝位置：與XPS的超高真空度最高的分析艙室間有真空度可達(dá)710-8mabr的進(jìn)樣室隔離作為過渡；不能直接與分析腔室相連。 （8）整體烘烤溫度：最高150 。（9）控溫精度優(yōu)于1攝氏度；采用背壓閥控制進(jìn)氣壓力，進(jìn)氣壓力采用0-3 MPa應(yīng)力變送器讀取，對(duì)氣體種類無選擇性。（10）加熱器工作不受反應(yīng)器引入的腐蝕性氣氛和變溫環(huán)境影響。（11）全不銹鋼外殼氣體反應(yīng)池，特殊合金定制，反應(yīng)池內(nèi)部表面鈍化處理；反應(yīng)池采用標(biāo)準(zhǔn)的CF接口，可以拆卸和更換，便于今后的維修，反應(yīng)池內(nèi)部的容積視用戶具體需求定制。（12）全不銹鋼耐腐蝕密封的氣路，采用Swagelok品牌的管接頭及閥門，適用于各類高純氣體。（13）獨(dú)立的整體數(shù)控面板，面板安裝耐壓3000PSI不銹鋼管接件（材質(zhì)均為316）。（14）不銹鋼SS304制作的轉(zhuǎn)接腔體，搭配全金屬的不銹鋼樣品傳遞桿和停放臺(tái)，具有樣品交接和轉(zhuǎn)接功能。1.15質(zhì)譜分析儀（RGA）分子量：1100；加配光電倍增器和AC電源模塊；分辨率(per AVS std. 2.3)：優(yōu)于0.5 amu 10 % 峰高；靈敏度 (A/Torr)：210-4(標(biāo)準(zhǔn)模式)， 200 (倍增模式)；最小可檢測(cè)壓力：510-11 mbar (標(biāo)準(zhǔn)模式)，510-14 mbar (倍增模式)；安裝在樣品分析室，帶Swagelok針閥進(jìn)氣接口，可選裝差分抽氣泵組；帶100 mm行程的線性移動(dòng)裝置，0.5 mm定位精度。1.16安全系統(tǒng)具備真空,高壓,冷卻系統(tǒng)的報(bào)錯(cuò)和鎖定, 具備溫度傳感器。11.17譜儀控制和數(shù)據(jù)處理（1）譜儀控制：譜儀參數(shù)設(shè)置，系統(tǒng)軟件應(yīng)實(shí)現(xiàn)可視化操作；分析部件均可通過系統(tǒng)軟件控制；系統(tǒng)軟件具備可視化操作界面，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空泵、閥門、真空規(guī)、離子槍、中和槍以及加熱冷卻等的控制；XPS主機(jī)分析室與準(zhǔn)備室所有進(jìn)氣閥門均可通過軟件控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化開啟和關(guān)閉；系統(tǒng)軟件內(nèi)置真空安全互鎖控制模塊，可有效禁止真空設(shè)備的誤操作；多功能樣品臺(tái)，樣品測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)可通過鼠標(biāo)操作實(shí)時(shí)的光學(xué)像而實(shí)現(xiàn)，并具有可視化操作界面。1（2）數(shù)據(jù)處理：隨系統(tǒng)計(jì)算機(jī)一臺(tái)，預(yù)裝數(shù)據(jù)采集和處理軟件包；數(shù)據(jù)處理方法：定性分析、定量分析、曲線擬合等，需具備本底扣除方法；終身免費(fèi)軟件升級(jí)。（3）數(shù)據(jù)庫：包括完整的相關(guān)采譜功能的數(shù)據(jù)庫；ARXPS角分辨處理軟件、超薄多層膜擬合模塊；全套XPS標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)圖庫以及化合物結(jié)構(gòu)鑒定數(shù)據(jù)庫實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)（原始數(shù)據(jù)及分析結(jié)果）可存為通用格式，并能導(dǎo)入Microsoft Office 軟件，軟件的數(shù)據(jù)處理部分，可在其他PC計(jì)算機(jī)上安裝使用。軟件介質(zhì)：以安裝光盤形式提供。1.18主控計(jì)算機(jī)預(yù)裝數(shù)據(jù)采集和處理軟件包；主控電腦應(yīng)為當(dāng)前主流配置，內(nèi)存不少于16 G，硬盤容量不少于1 T，帶120 G固態(tài)硬盤作為系統(tǒng)盤，DVD光驅(qū)，雙顯示器（23寸以上液晶顯示屏），正版Window操作系統(tǒng)。1.19電子裝置及控制柜配備與以上所有系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的電子裝置及控制柜。1.20循環(huán)冷卻水系統(tǒng)品牌循環(huán)冷卻系統(tǒng)，滿足陽極靶、渦輪分子泵和石英單色器冷卻的需要。1.21不間斷電源系統(tǒng)配備進(jìn)口隔離變壓器的穩(wěn)壓不間斷電源一套，保證儀器可持續(xù)運(yùn)行2小時(shí)。1.22標(biāo)準(zhǔn)備件包保證用戶XPS主機(jī)和各附帶組件5年以上備件使用（即5年質(zhì)保，見商務(wù)條款要求）、原位催化反應(yīng)池2年以上備件使用（即2年質(zhì)保，見商務(wù)條款要求）。1.23資料提供系統(tǒng)全部真空系統(tǒng)示意圖；提供系統(tǒng)全部機(jī)械系統(tǒng)裝配圖；提供XPS標(biāo)準(zhǔn)譜圖手冊(cè)。2低溫全真空型原位紅外系統(tǒng)高低溫狀態(tài)下（120 K-1100 K），測(cè)試固體表面的分子吸附情況；根據(jù)探針分子的吸附振動(dòng)波數(shù)，探測(cè)非真空狀態(tài)下固體表面的元素電子結(jié)構(gòu)，與原位XPS在真空測(cè)試獲得的信息形成完美補(bǔ)充。2.1紅外光譜儀主機(jī)（要求全指標(biāo)滿足）（1）測(cè)試空腔和主機(jī)內(nèi)部空腔實(shí)現(xiàn)真空，完全去除光路中的大氣的干擾；（2）永久準(zhǔn)直干涉儀，檢測(cè)器系統(tǒng)集成進(jìn)24-bit ADC，配合全鍍金的光學(xué)鏡；干涉儀質(zhì)保10年；（3）光譜范圍：8,000350 cm-1；分辨率：優(yōu)于0.4 cm-1；波數(shù)準(zhǔn)度：優(yōu)于0.005 cm-1；（4）液氮制冷MCT檢測(cè)器，信噪比55,000:1；最高分辨率0.16 cm-1，步進(jìn)掃描(無需進(jìn)行任何的硬件改造)可完成2.5 ns 時(shí)間分辨及各種調(diào)制的試驗(yàn)；（5）自動(dòng)化：微處理器控制光學(xué)臺(tái)，DSP 控制，自動(dòng)增益選擇，動(dòng)態(tài)分辨率增強(qiáng)；實(shí)時(shí)在線自動(dòng)監(jiān)控；自動(dòng)附件識(shí)別；（6）全集成硬件FT 變換（具備獨(dú)立的CPU、內(nèi)存）；模/數(shù)轉(zhuǎn)換器：24 位，100 kHz A/D 轉(zhuǎn)換器，適合于各種掃描速度；（7）儀器校驗(yàn)：儀器內(nèi)置校驗(yàn)單元，帶標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，自動(dòng)校驗(yàn)，并出具校驗(yàn)報(bào)告；采用TCP/IP 協(xié)議的“網(wǎng)卡”進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊；（8）真空泵：無油型真空泵：真空度優(yōu)于0.2 mbar，抽速14 m3/h；（9）附帶第二套標(biāo)準(zhǔn)紅外激光器，波長633 nm，輸出功率1 mW，氦氖激光器，部件號(hào)Q101/B；（10）軟件：附帶紅外軟件包，進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、處理等、免費(fèi)升級(jí)。2.2變溫原位紅外樣品池（要求全指標(biāo)滿足）（1）與紅外主機(jī)匹配，實(shí)現(xiàn)變溫紅外的透射模式測(cè)試；（2）原位池包含一個(gè)低溫樣品臺(tái)和鎢網(wǎng)夾持裝置，樣品臺(tái)冷頭可用液氮冷卻，采用泵組抽氣時(shí)冷頭位置最低溫度小于70 K(PT100溫度計(jì))；（3）鎢網(wǎng)夾持裝置采用電隔離方式，可以實(shí)現(xiàn)鎢網(wǎng)的通電，該裝置用Mo加工而成，鎢網(wǎng)加熱溫度不低于1000 K；（4）透光率準(zhǔn)度：優(yōu)于0.1% T；（5）附帶真空系統(tǒng)（無油機(jī)械泵+渦輪分子泵）。2.3質(zhì)譜分析儀（與紅外聯(lián)用）質(zhì)量數(shù)范圍：1-200 amu；掃描分辨率：0.5 amu10%peak；檢測(cè)器：法拉第杯+通道倍增器；真空獲得系統(tǒng)：渦輪分子泵+無油膜片泵；分子泵抽速：60 L/S；真空腔體極限真空度：10-8 TORR；氣體濃度檢測(cè)極限：ppblevel；氣體定量檢測(cè)極限：1 ppm；氣體采樣流量控制：一體式流量控制箱，包含4路進(jìn)口層流式質(zhì)量流量控制器，內(nèi)置30種常用氣體供選擇。無須氣體校準(zhǔn)，可直接切換；質(zhì)譜室真空檢測(cè)：配置寬量程復(fù)合真空計(jì)，檢測(cè)范圍10-9-10Torr；可承受采樣壓力變化范圍:0.1-10 atm；（MFC控制模式）；雙采樣通道：2路獨(dú)立毛細(xì)管采樣，加載獨(dú)立的200 毛細(xì)管加熱套；毛細(xì)管采樣管材質(zhì)：石英玻璃；毛細(xì)管加熱套控制溫度：室溫200 ，1 ，可調(diào)節(jié)溫度；最快掃描速度：3 ms/u；氣體稀釋功能：可將用于氣體定量校準(zhǔn)用的標(biāo)氣濃度稀釋至700/1（GASBLENDER功能模塊）；專用質(zhì)譜儀軟件：AUTO-TUN自動(dòng)調(diào)諧功能，DDE動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)鏈接功能、自帶質(zhì)譜譜庫、數(shù)據(jù)自動(dòng)匹配標(biāo)記等功能；低質(zhì)量數(shù)端高分辨模塊：可實(shí)現(xiàn)H+&H2+基線分離。2.4主控計(jì)算機(jī)預(yù)裝數(shù)據(jù)采集和處理軟件包；主控電腦應(yīng)為當(dāng)前主流配置，內(nèi)存不少