半導(dǎo)體工藝簡介ppt課件

Drypump,設(shè)備部技術(shù)三科沈吉,真空定義,真空是在某個區(qū)域壓力低于大氣壓真空范圍低真空(LoworRoughVacuum-LV)：-760to10-3Torr高真空(HighVacuum-HV)-103to10-8Torr超真空(Ultra-HighVacuumUHV)-10-8to10-12Torr,真空Pump工作范圍,在ETCH和Thinfilm設(shè)備通常用Drypump&Turbopump將大氣抽至一定真空符合process工藝需求。由于Drypump抽真空能力有限，在ATM-500mT之間表現(xiàn)良好，然后用Turbopump將環(huán)境抽至HighVacuum。,KashiyamaDryPump,ComparisonofPumpingMechanism,KashiyamaDryPump,ComparisonofPumpingTemperature,Pump運轉(zhuǎn)的五個要素&故障原因,1水6-8L/min2氮氣（GN216-22pam3/sec）3電源（200V220V）4氣密良好之前端管路5吸風(fēng)良好之Exhaust管路Pump的故障可以分為三種：1，Alarm,pump僅顯示故障并告之連線機臺但pump并不停機。2，Trip：pump顯示故障信號告之連線機臺，Pump立即停機。3，Error：電裝置發(fā)生故障或pump內(nèi)部連線松脫，Pump立即停機。其原因可能為BPMotor電流高MPMotor電流過高，Casing的溫度過高，BP或MPMotor過載，SealN2或DILN2流量過低，Pumpbox溫度過高。對于BPorMP溫度過高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust壓力升高。2，電力供應(yīng)有問題。3，生成物堆積。4，冷卻水減少。5，齒輪壞掉。對于Casing(130deg.c)溫度過高，可能由以下原因引起：1，Exhaust壓力升高。2，電力供應(yīng)有問題。3，生成物堆積。4，接頭處氣體流通不暢。,Kashiyamapump,轉(zhuǎn)子底部排氣的間隙寬闊【6mm】,生成物徐徐刮向排氣側(cè),短捷的排氣路徑【180mm】,在真空側(cè)沒有軸承的支撐,螺旋轉(zhuǎn)子螺旋式轉(zhuǎn)子具有的高溫特性耐腐蝕性的材質(zhì),Inlet,ROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蝕特性的Ni合金材料合金材、再于表面進行Ni-Coating處理進一步發(fā)揮了耐腐蝕性的性能！,豎式螺旋轉(zhuǎn)子:針對產(chǎn)生大量生成物的嚴酷制成用,轉(zhuǎn)子排氣側(cè)的間隙寬闊,H=6mm,具有克服生成物沉積，和容易再啟動強的優(yōu)越性,具有刮除生成物的效果根據(jù)矩形直角的特點，Screwrotor在高速運轉(zhuǎn)時可將附著在Casing上的生成物徐徐刮向排氣側(cè)而容易被排除,高溫的Rotor特性因為真空室溫度較高，所以反應(yīng)氣體很難附著,Rotor溫度180度,Exhaustgas溫度200,魯式泵:根據(jù)同期馬達和單純的本體構(gòu)造、實現(xiàn)了節(jié)省能源和耐久性的雙向要求。,Motor+MotorDriver以同期馬達加驅(qū)動器的組合，達到了精密控制轉(zhuǎn)速的可能、從而獲得以下的優(yōu)越性。實現(xiàn)在大氣狀態(tài)開始時的驅(qū)動節(jié)省能源嚴密性的提高小型化,Gear,RootsRotor,排氣原理,MUDryseries,MUDryseriesDrypump比以前的Drypump實現(xiàn)極限小型化輕量化省能量化，以對應(yīng)裝置組合（Ontool）用輕負荷所開發(fā)的Drypump。特點）Pump構(gòu)造及采用同步Motor相比實現(xiàn)了小型化(我社容積比：75)、輕量化（我社比：60%）。）以Pump構(gòu)造的最適化實現(xiàn)了冷卻水（我社比：50%）、N使用量（Clean排氣用時不用）等能量的減少。）以采用Motordriver大幅減少了Pump啟動時的突入電流。在電源頻率為地域也是同一性能。,MUDRYSeries,MUDRYSeries以O(shè)nTool目的超小型省Energypump。（他社容積