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文檔簡介

P-Si與A-Si的區(qū)別 什么是低溫多晶硅：低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫，一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應(yīng)低于攝氏600度，尤其對LTPS區(qū)別于a-Si制造的制造程序“激光照射”（laser anneal）要求更是如此。與a-Si相比，LTPS的電子移動速度要比a-Si快100倍，這個(gè)特點(diǎn)可以解釋兩個(gè)問題：首先，每個(gè)LTPS PANEL 都比a-Si PANEL反應(yīng)速度快；其次，LTPS PANEL 外觀尺寸都比a-Si PANEL小。下面是LTPS與a-Si 相比所持有的顯著優(yōu)點(diǎn)：1、把驅(qū)動IC的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強(qiáng)；2、反應(yīng)速度更快，外觀尺寸更小，聯(lián)結(jié)和組件更少；3、面板系統(tǒng)設(shè)計(jì)更簡單；4、面板的穩(wěn)定性更強(qiáng)；5、解析度更高，激光照射：p-Si 與 a-Si的顯著區(qū)別是LTPS TFT在制造過程中應(yīng)用了激光照射。LTPS制造過程中在a-Si層上進(jìn)行了激光照射以使a-Si結(jié)晶。由于封裝過程中要在基板上完成多晶硅的轉(zhuǎn)化，LTPS必須利用激光的能量把非結(jié)晶硅轉(zhuǎn)化成多晶硅，這個(gè)過程叫做激光照射。 電子移動性：a-Si TFT的電子移動速率低于1 cm2/V.sec，同時(shí)驅(qū)動IC需要較高的運(yùn)算速率來驅(qū)動電路。這就是為什么a-Si TFT不易將驅(qū)動IC集成到基板上。相比之下，p-Si電子的移動速率可以達(dá)到100 cm2/V.sec，同時(shí)也更容易將驅(qū)動IC集成到基板上。結(jié)果是，首先由于將驅(qū)動IC、PCB和聯(lián)結(jié)器集成到基板上而降低了生產(chǎn)成本，其次使產(chǎn)品重量更輕、厚度更薄。 解析度：由于p-Si TFT 比傳統(tǒng)的a-Si小，所以解析度可以更高。穩(wěn)定性：p-Si TFT的驅(qū)動IC合成在玻璃基板上有兩點(diǎn)好處：首先，與玻璃基板相連

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