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文檔簡介
多晶硅的制絨工藝 主要內(nèi)容 多晶硅制絨的目的多晶硅制絨的原理實驗步驟實驗結(jié)果分析實驗結(jié)論 1 多晶制絨的目的 在硅片表面腐蝕出絨面 增加表面的粗糙度 降低表面的反射率 以吸收更多的光子 在刻蝕槽中使用HF HNO3溶液 對硅片進行酸腐蝕制備出絨面 大致的刻蝕機制是HNO3腐蝕 在硅片表面形成一層SiO2 然后這層SiO2在HF酸的作用下除去 酸與硅的反應可以看成是局部的電化學過程 在反應發(fā)生的地方形成了陰極和陽極 陽極是硅的溶解反應 陰極是HNO3的消耗反應 陽極 Si 2H2O nh SiO2 4H 4 n e SiO2 6HF H2SiF6 2H2O陰極 HNO3 3H NO 2H2O 3h 總反應式為 3Si 4HNO3 18HF 3H2SiF6 4NO 8H2O 3 4 n h 3 4 n e 2 多晶硅制絨的原理 5 酸腐蝕液為HF HNO3和去離子水按一定比例混合而成 其中HNO3為強氧化劑 在反應中提供反應所需要的空穴 HF的作用是與反應的中間產(chǎn)物SiO2反應生成絡合物H2SiF6以促進反應進行 去離子水對反應起緩沖作用 反應中還會生成少量的HNO2 它能促進反應的發(fā)生 因此這是一種自催化反應 酸性溶液中各組分作用 3 實驗步驟 2020 3 18 7 可編輯 實驗流程 4 實驗結(jié)果分析 HF HNO3 去離子水 1 5 1時 HF HNO3 去離子水 1 3 1時 HF HNO3 去離子水 1 1 3時 HF HNO3 去離子水 3 1 6時 HF HNO3 去離子水 6 1 6時 HF HNO3 去離子水 9 1 6時 HF HNO3 去離子水 12 1 6 HF HNO3 去離子水 15 1 6時 各組分刻蝕10min匯總 5 實驗結(jié)論 通過使用分光光度計對制絨后的硅片樣品表面進行反射率的測定 在對得到的測試結(jié)果分析后 初步得到以下結(jié)論 在富氫氟酸的制絨溶液中過長時間的制絨會使硅表面拋光 而增加其表面的反射率 最佳的溶液配比為HF HNO3 去離子水 12 1 6時的制絨溶液 其相應的最佳制絨時間為10min 用酸溶液腐蝕的多晶硅片表面反射率較低 且腐蝕過程時間短 減少了生產(chǎn)周期 實驗展望 由于受本人水平和時間等原因的限制 研究的深度和廣度非常有限 還有很多非常有意義的工作有待進一步展開 腐蝕時間和反應溶液的溫度對絨面的形成至關重要 因此 要進一步觀察試驗并進一步優(yōu)化反應條件 氣泡狀的腐蝕坑是否還和反應過程中產(chǎn)生的氣泡有關還有待進一步試驗 關于多晶硅片表面形貌 優(yōu)化表面陷光作用 提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率
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