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關(guān)于晶棒硬點(diǎn) 雜質(zhì)引發(fā)重大損失的原因調(diào)查 李永進(jìn)10月2日 1 背景資料 2 2 MB線鋸切割原理 3 砂漿中的碳化硅附在高速旋轉(zhuǎn)的鋼線上快速摩擦硅塊 同時(shí)工作臺(tái)產(chǎn)生正壓力的情況下 不斷隨鋼線移動(dòng) 滾動(dòng)成穴 使硅塊分開 砂漿的主要作用 冷卻切割位置 懸浮碳化硅 潤滑導(dǎo)輪 4 3 優(yōu)質(zhì)晶棒MB切割截面圖 正常切割時(shí) 線網(wǎng)沒有跳線 厚片 薄片 TTV 線痕等損失只占所有片子的5 左右 5 4 晶棒存在硬點(diǎn) 雜質(zhì)時(shí)切割截面圖 A位置存在硬點(diǎn) 雜質(zhì) 切到A時(shí) 硬點(diǎn)導(dǎo)致鋼線滑移 B C處的片子擠壓到一起 帶砂量降低 會(huì)造成以下三情況 1 帶砂量降低 鋼線與片子干磨 鋼線磨損量急劇上升導(dǎo)致斷線 未簽報(bào)廢的晶棒產(chǎn)生停機(jī)線痕 2 由于A處硬點(diǎn)與鋼線互相擠壓 導(dǎo)致兩側(cè)片子呈 八 字型 線網(wǎng)上移會(huì)切斷呈 八 字型的片子 形成半截片 半截片被高速旋轉(zhuǎn)的鋼線帶入線網(wǎng) 導(dǎo)致線網(wǎng)大量跳線 輕則引發(fā)厚片 薄片以及線痕 重則鋼線跳槽互切斷線 3 B C兩處的片子隨著離硬點(diǎn)距離的增加 八 字型效果逐漸降低 凹凸線痕深度及半截片損失會(huì)逐漸降低 5 總結(jié) 6 當(dāng)晶棒存在硬點(diǎn)時(shí) 鋼線帶砂量降低 磨損急劇增加導(dǎo)致斷線 產(chǎn)生大量半截片 且半截片被帶入線網(wǎng)引起大量跳線 厚片 薄片 線痕片 鋼線互切斷線 硬點(diǎn)兩側(cè)的片子存在大量線痕 線痕深度隨著離硬點(diǎn)距離的增加而減輕 線痕引起TTV超標(biāo) 未簽報(bào)廢的晶棒產(chǎn)生停機(jī)線痕 THANKYOU AlternativeOption CHINAJAPANKOREAU

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