我的開題報(bào)告

低壓射流輔助激光加工硅材料的試驗(yàn)研究,目 錄,研究的意義及目標(biāo),實(shí)驗(yàn)內(nèi)容,研究總體思路,研究需要注意的問(wèn)題,設(shè)備示意圖,第一章,第二章,第三章,第四章,第五章,第一章 研究的意義及目的,太陽(yáng)能電池,硅材料,Text in here,Tile,集成電路板,航空電池板,近幾年光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì),最近10 年，整個(gè)世界的光伏產(chǎn)業(yè)以平均每年30%的速度遞增,中國(guó)2004-2009 年的年均增長(zhǎng)率達(dá)到了100%,2011 年中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)鏈中，多晶硅企業(yè)70 多家，硅片企業(yè)60 多家，光伏電池組件企業(yè)700 多家。行業(yè)年產(chǎn)值超過(guò)3000 多億元，進(jìn)出口總額220 億美元，就業(yè)人數(shù)達(dá)30 萬(wàn)人,硅材料的加工所需切削力很大，剪切變形很小。傳統(tǒng)機(jī)械加工方法對(duì)此類材料加工效率很低。激光加工方法是一種很好的加工此類材料的方法。,激光打孔,激光刻槽,激光切割,激光加工硅材料過(guò)程中容易出現(xiàn)的問(wèn)題,裂 紋,重凝層,激光光斑照射范圍內(nèi)的材料經(jīng)過(guò)熔化、氣化過(guò)程,是一種熱去除加工方法，由于加工范圍很小，極易在加工處形成熱應(yīng)力集中區(qū)，在材料周圍產(chǎn)生熱應(yīng)力梯度。從而導(dǎo)致材料產(chǎn)生裂紋、崩裂問(wèn)題，同時(shí)熔化后的熔渣產(chǎn)生重凝層也是激光加工硅材料的一大缺陷,研究目標(biāo),考慮到硅材料加工自有的特點(diǎn)，以及激光加工與化學(xué)加工各自的特點(diǎn)，我們所設(shè)計(jì)的課題提出了低壓態(tài)化學(xué)腐蝕液輔助激光加工概念。 設(shè)計(jì)出一套新穎的加工設(shè)備以實(shí)現(xiàn)在降低硅材料加工成本的同時(shí)，提高其加工質(zhì)量的目的。通過(guò)設(shè)計(jì)出的加工設(shè)備來(lái)對(duì)硅材料進(jìn)行切槽加工，觀察加工表面的質(zhì)量，計(jì)量其加工效率及加工成本，來(lái)驗(yàn)證該方法的重要價(jià)值。,第二章 實(shí)驗(yàn)內(nèi)容,1、提出低壓態(tài)化學(xué)腐蝕液輔助激光加工概念,激光加工,化學(xué)腐蝕,射流壓力,4、利用正交實(shí)驗(yàn)法，以激光脈沖能量、重復(fù)頻率、脈沖寬度和掃描速度等為因素,研究在單激光加工條件下，得到最好實(shí)驗(yàn)效果時(shí)激光的各項(xiàng)參數(shù)。,3、 試驗(yàn)不同的腐蝕液(KOH溶液、HCl溶液等)對(duì)硅材料蝕除量和表面質(zhì)量的影響規(guī)律，找出加工效率和表面質(zhì)量最高的腐蝕液,2、設(shè)計(jì)研制出一個(gè)能隨時(shí)調(diào)節(jié)介質(zhì)噴射壓力和腐蝕液可循環(huán)使用的半密封裝置，采用一定的控制裝置確保激光和液體射流束對(duì)材料進(jìn)行同步加工。,實(shí)驗(yàn)內(nèi)容,5、在激光各項(xiàng)參數(shù)已知條件下，以介質(zhì)流的噴射角度、噴射壓力、溶液濃度等參數(shù)來(lái)研究復(fù)合加工對(duì)工件粗糙度、尺寸精度、形狀精度及加工區(qū)域邊緣質(zhì)量的影響。,6、利用掃描電鏡對(duì)試樣加工表面進(jìn)行微觀形貌觀察,并進(jìn)行成分能譜分析。通過(guò)其表面微觀形貌和成分能譜曲線,分析復(fù)合加工的加工機(jī)理。,第三章 研究總體思路,激光為主要加工工具，對(duì)硅材料進(jìn)行去除加工，對(duì)于引入的低壓射流化學(xué)溶液，其主要作用是對(duì)激光加工中產(chǎn)生的熔凝層進(jìn)行帶有一定指向性的腐蝕去除 ，同時(shí)降低加工處的溫度梯度，減少裂紋,利用正交分析法對(duì)激光的能量、脈寬、頻率、加工速度等因素進(jìn)行優(yōu)化選擇，以材料去除率為標(biāo)準(zhǔn)并結(jié)合表面質(zhì)量狀況，選擇理想的幾套激光參數(shù)方案，同時(shí)記錄相關(guān)參數(shù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,選擇先前優(yōu)化后的激光參數(shù)，引入低壓化學(xué)腐蝕液，同樣利用正交實(shí)驗(yàn)法，以溶液的濃度、溫度、介質(zhì)流的噴射速度等為參考因素，對(duì)硅材料進(jìn)行切槽加工，選擇加工質(zhì)量合適的實(shí)驗(yàn)結(jié)果,兩套實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析，得出相關(guān)結(jié)論,第四章 研究需要注意的問(wèn)題,1、介質(zhì)射流會(huì)腐蝕工作臺(tái)及精密實(shí)驗(yàn)儀器，所以必須對(duì)整個(gè)實(shí)驗(yàn)裝置采取一定的安全措施。 解決辦法：利用透光聚酯防腐板材制作腐蝕液的盛裝容器，研制防腐蝕液噴濺裝置，確保加工安全 ，同時(shí)能夠保證化學(xué)腐蝕液可循環(huán)使用,2、射流束對(duì)工件進(jìn)行加工時(shí)，腐蝕液與工件發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，其回流到槽體的溶液濃度可能因此有