JJG341-1994光柵線(xiàn)位移測(cè)量裝置.pdf

UU櫥中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程J J G 3 41 - 1 9 9 4光 柵 線(xiàn) 位 移 測(cè) 量 裝 置Gr a t i n g L i n e a r Di s p l a c e me n tMe a s u r i n g D e v i c e1 9 9 4 一0 5 一0 6發(fā)布1 9 9 4 一1 2 一0 1 實(shí)施國(guó) 家 技 術(shù) 監(jiān) 督 局發(fā) 布J J G 3 4 1 -1 9 9 4光柵線(xiàn)位移測(cè)量裝置 檢 定 規(guī) 程V e r i f i c a t i o n R e g u l a t io n o f G r a t i n g廣。 . 口. O. 0 . 。， 。 . 0. 0 . O. 0.0. 0 . 0. 口“弓己勺舀J J G 3 4 1 -1 9 9 4令己L i n e a r D i s p l a c e m e n t Me a s u r i n g(,、.o. o.0. o. 0 . 口. o.o. 0.o. o. o . o. o.夕De v i c e 本檢定規(guī)程經(jīng)國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局于 1 9 9 4 年 0 5 月 0 6日 批準(zhǔn)， 并自 1 9 9 4年 1 2 月 0 1日 起施行。歸 口單位: 中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院起草單位: 中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究 院本規(guī)程技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋J J G 3 4 1 - 1 9 9 4本規(guī)程主要起草人: 饒家崇 參加起草人: 郭健蓉 張恒( 中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院)( 中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院)( 中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院)J J G 3 4 1 - 1 9 9 4目錄一概述 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 1 )二檢定項(xiàng) 目和檢定條件 ， 一( 1 )三技術(shù)要求和檢定方法 一( 2)四用激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( q )五用長(zhǎng)光柵 比較儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度 ， ， ， 一( 8)六檢定結(jié)果處理和檢定周期 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 8 )附錄各種溫度的飽和蒸氣壓表 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 9 )J J G 3 41 -1 9 9 4光柵線(xiàn)位移測(cè)量裝置檢定規(guī)程本規(guī)程適用于新制造 、使用中和修理后的光柵線(xiàn)位移測(cè)量裝置的檢定。一概述1 光柵線(xiàn)位移測(cè)量裝置 ( 以下簡(jiǎn)稱(chēng)光柵裝置)是以光柵作為測(cè)量元件 ，用光柵線(xiàn)位移傳感器 ( 以下簡(jiǎn)稱(chēng)光柵傳感器)將線(xiàn)位移量通過(guò)光柵數(shù)顯表，以數(shù)字顯示的線(xiàn)位移測(cè)量裝置。2 光柵裝置主要由光柵傳感器 ( 包括專(zhuān)用電纜)和光柵數(shù)顯表兩部分配對(duì)組成。3 光柵傳感器按結(jié)構(gòu)分為開(kāi)啟式和封閉式;按型式分為帶參考零位和不帶參考零位的光柵傳感器。4 光柵數(shù)顯表按功能分為普通型和多功能型光柵數(shù)顯表。二檢定項(xiàng) 目和檢定條件光柵裝置的檢定項(xiàng) 目和主要檢定工具如表 1 所示。 表t序號(hào)檢定項(xiàng)目主要檢定工具檢定類(lèi)別新制的修理后使用中1外 觀十2機(jī) 械性能+3功 能十十+4細(xì)分誤差激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀或長(zhǎng)光柵比較儀+十十+5回程誤差+十+6重 復(fù)性十十+7穩(wěn) 定度+斗+8準(zhǔn) 確度注:表中 “ +”表示應(yīng)檢定，“ 一”表示可不檢定。光柵裝置檢定時(shí)的溫度以 2 0為標(biāo)準(zhǔn)。檢定溫度應(yīng)滿(mǎn)足表 5的各項(xiàng)要求。光柵裝置在檢定前要放置在檢測(cè)室內(nèi)平衡溫度 ， 其時(shí)間不少于 1 2 h o光柵裝置在接通電源 1 0 mi n 后方可進(jìn)行檢定。襯bl了8.I d G 3 4 1 - 1 9 9 4三技術(shù)要求和檢定方法9 外觀9 . 1 要求 光柵傳感器和光柵數(shù)顯表外表面不應(yīng)有明顯的缺陷和機(jī)械損傷，各表面應(yīng)色澤均勻。各電源線(xiàn)、信號(hào)線(xiàn)接口位置在外殼上應(yīng)明確標(biāo)示。各標(biāo)牌和面板上的數(shù)字 、文字、標(biāo)志、符號(hào)必須端正清晰。光柵傳感器和光柵數(shù)顯表上必須標(biāo)有制造廠名稱(chēng)或廠標(biāo)、型號(hào)及出廠編號(hào)。 對(duì)修理后和使用中的光柵裝置允許有不影響計(jì)量性能的缺陷。42 檢定方法 目測(cè)及手感。1 0 機(jī)械性能1 0 . 1 要求1 0 . 1 . 1 光柵裝置各緊固螺釘應(yīng)牢固無(wú)松動(dòng)現(xiàn)象。各插頭、插座應(yīng)接觸可靠無(wú)松動(dòng)。1 0 . 1 . 2 各操作鍵和按鈕應(yīng)靈活，接觸 良 好可靠。1 0 . 1 . 3 封閉式光柵傳感器的光柵讀數(shù)頭在尺體全長(zhǎng)上的運(yùn)動(dòng)要靈活 自 如。1 0 . 2 檢定方法 目測(cè)及手感。1 1 功能1 1 . 1 要求 光柵裝置的基本功能是在有效長(zhǎng)度范圍內(nèi)均能正確顯示長(zhǎng)度位移量值。光柵數(shù)顯表上的清零、置數(shù)、置 “ +”或 “ 一” 、計(jì)數(shù)等功能正常。其附加功能按產(chǎn)品技術(shù)文件要求。 具有參考零位功能的光柵裝置，參考零位功能應(yīng)正確。1 1 . 2 檢定方法 開(kāi)啟光柵裝置電源，在有效長(zhǎng)度范圍內(nèi)和參考零位附近相對(duì)往復(fù)移動(dòng)光柵讀數(shù)頭或光柵尺 ，觀察光柵數(shù)顯表正確計(jì)數(shù)的顯示;運(yùn)動(dòng)方向相反時(shí)，累加數(shù)值應(yīng)為負(fù)號(hào)。在相對(duì)靜止時(shí)，分別按動(dòng)光柵數(shù)顯表面板上各功能按鈕以檢查其清零、置數(shù)、置 “ +”或“ 一”等功能。1 2 細(xì)分誤差1 2 . 1 要求:見(jiàn)表 2 01 2 . 2 檢定方法 在光柵傳感器的有效長(zhǎng)度范圍的起始、中間和末尾 3 處各選擇 1 個(gè)測(cè)量點(diǎn)，在 1 個(gè)柵距內(nèi)，以每 1 個(gè)細(xì)分當(dāng)量為 1 測(cè)量點(diǎn)，按準(zhǔn)確度檢定的方式進(jìn)行檢定。光柵數(shù)顯表顯示值的變化量即為細(xì)分誤差。1 3 回程誤差 2J J G 3 4 1 - 1 9 9 41 3 . 1 要求 :見(jiàn)表 2 0表2分辨率/ p m細(xì)分誤差回程誤差重復(fù)性穩(wěn)定度脈沖當(dāng)量數(shù)/ 個(gè) 0. 222221 3 . 2 檢定方法 在光柵傳感器的有效長(zhǎng)度范圍的起始 、中間和末尾 3 處各選擇 1 個(gè)測(cè)量點(diǎn)，使光柵讀數(shù)頭從此點(diǎn)移動(dòng)最少 5 0 m m后正、返程移動(dòng)經(jīng)過(guò)此點(diǎn) ，重復(fù) 6 次測(cè)量，光柵數(shù)顯表顯示值的變化量即為回程誤差。1 4 重復(fù)性1 4 . 1 光柵裝置重復(fù)性1 4 . 1 . 1 要求:見(jiàn)表 2 01 4 . 1 . 2 檢定方法 在光柵傳感器有效長(zhǎng)度范圍內(nèi)選擇 1個(gè)測(cè)量點(diǎn)，使光柵讀數(shù)頭同向移動(dòng)經(jīng)過(guò)此點(diǎn)，重復(fù) 6 次測(cè)量，光柵數(shù)顯表顯示值的變化量即為重復(fù)性。1 4 . 2 對(duì)帶參考零位的光柵裝置，還應(yīng)檢定參考零位處的重復(fù)性。1 4 . 2 . 1 要求 不大于 1 個(gè)最小分辨率。1 4 . 2 . 2 檢定方法 在光柵傳感器的參考零位處對(duì)光柵數(shù)顯表置零或置一任意數(shù)，使光柵讀數(shù)頭正、返程移動(dòng)經(jīng)過(guò)此點(diǎn) ，重復(fù) 6次測(cè)量，讀取參考零位的值，其變化量即為參考零位的重復(fù)性 。1 5穩(wěn)定度1 5 . 1 要求:見(jiàn)表 2 0巧. 2 檢定方法 在檢定條件下 ，將安裝調(diào)整好的光柵裝置開(kāi)機(jī) 1 0 m i n 后，讀取 4 h內(nèi)每隔 0 . 5 h 光柵數(shù)顯表的示值，其變化量即為穩(wěn)定度。1 6 準(zhǔn)確度1 6 . 1 要求 在有效長(zhǎng)度范圍內(nèi)，光柵裝置的準(zhǔn)確度分為 6 個(gè)級(jí) ( 見(jiàn)表 3 ) 。每個(gè)級(jí)的準(zhǔn)確度以誤差峰一 峰值 A ( 即最大間距誤差)表示 ， 按表 3的公式計(jì)算，或以實(shí)際誤差曲線(xiàn)表示;也可用數(shù)值 A 的 1 / 2 冠以 “ 士”號(hào)表示。 光柵尺的線(xiàn)膨脹系數(shù)應(yīng)在儀器出廠證書(shū)上注明。 3d 7 G 3 4 1 - 1 9 9 41 6 . 2 檢定方法 用激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀或長(zhǎng)光柵 比較儀檢定。 表級(jí)別123456準(zhǔn)確 度A / p m0. 2 + L/ 10 0 0 0 . 5+2 L/ 1(X 舊 1 + 4 L/ 1 冰3+7 L/ 1 0 0 05 + 1 5 L / 1 0 0 0 1 0 + 3 0 L / 1 0 0 0注;表中 L為光柵裝置的有效長(zhǎng)度，單位為mm.四用激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度1 7 激光干涉測(cè)長(zhǎng)儀應(yīng)檢定合格，其總不確定度應(yīng)為被檢定的光柵裝置總不確定度的1 / 3或高一個(gè)數(shù)量級(jí)。1 8 光柵傳感器的安裝1 8 . 1 要求 應(yīng)符合產(chǎn)品安裝技術(shù)要求。1 8 . 2 檢定方法 將光柵傳感器安裝在儀器的工作臺(tái)上，使其符合阿貝原則。用電感測(cè)微儀、千分表或百分表測(cè)量光柵尺刻線(xiàn)面或光柵傳感器安裝調(diào)整面和側(cè)面，移動(dòng)工作臺(tái)，調(diào)整光柵尺，使其符合產(chǎn)品安裝的技術(shù)要求。1 9 光柵信號(hào)質(zhì)量的檢查1 9 . 1 要求 對(duì)光柵傳感器輸 出的兩路正交 的電信號(hào)的質(zhì)量要求見(jiàn)表 4 ，并符合細(xì)分誤差的要求。 表4信號(hào)參數(shù)全 行 程 中 的 變 化1 一2級(jí)3 一6級(jí)信 號(hào)失真度G 1 0 %簇2 0%正交性9 0 。 士1 0 09 0 0 士 3 0 0幅值變 化率鎮(zhèn) 1 0 %(2 0%直流電平變化率鎮(zhèn)1 0%-2 0%注 : 幅 值( ， ) 變 化 率 稱(chēng)萬(wàn) I . . 畏 蘭 里 票 不， 為 光 柵 信 號(hào) 交 流 幅 值 的 變 化 率 。 、 ， x寧 I m i. I / L1 9 . 2 檢定方法 光柵傳感器調(diào)整好后 ，用雙蹤示波器觀察光柵傳感器輸出或光柵數(shù)顯表輸人的兩路J J G 3 4 1 - 1 9 9 4信號(hào)， 在有效長(zhǎng)度行程中， 信號(hào)的 質(zhì)量應(yīng)符合表4 的 要求。 對(duì)1 - - - 2 級(jí)光柵裝置用失真度測(cè)量?jī)x、 相位計(jì)或其它符合檢定要求的儀器和方法( 如諧波分析法)檢查，信號(hào)的質(zhì)量應(yīng)符合表 4的要求。2 0 溫度測(cè)量2 0 . 1 要求:見(jiàn)表 5 0 表5級(jí)別光柵尺對(duì) 2 0 允許偏差一次測(cè)量中尺溫波動(dòng)一次測(cè)量 中氣溫波動(dòng)1士 0. 50 . 0 5簇0. 0 62士 0 . 50. 0 80 . 13 一 4士 1簇0. 10 . 25 一 6士3蕊O. 5鎮(zhèn)0 . 82 0 . 2 檢定方法 光柵傳感器調(diào)整好后 ，在工作臺(tái)上至少等溫 1h ，待達(dá)到表 5 要求后方能檢定。 光柵尺及保溫罩內(nèi)空氣的溫度可采用銅一 康銅溫差熱電偶測(cè)量。測(cè)量時(shí)，將熱電偶工作端貼附在光柵尺上和置于光路附近，熱電偶標(biāo)準(zhǔn)端置于保溫瓶?jī)?nèi)，標(biāo)準(zhǔn)端處溫度由不確定度為 0 . 0 1的水銀溫度計(jì)進(jìn)行測(cè)量。測(cè)量熱電偶電動(dòng)勢(shì)的檢流計(jì)的靈敏度應(yīng)不低于 1 0 一 9 A. 按公式 ( 1 )計(jì)算光柵尺的溫度: t G= t n , +A t , ( 1 )式中: t G 光柵尺的溫度測(cè)得值; t L 熱電偶標(biāo)準(zhǔn)端處水銀溫度計(jì)讀數(shù)值; A t m 熱電 偶標(biāo)準(zhǔn)端處水銀溫度計(jì)在 t m 值時(shí)檢定證書(shū)給出的修正值。 按公式 ( 2 )對(duì)長(zhǎng)度進(jìn)行修正 : A L L =a ( 2 0 一t G ) L ( 2 )式中:a 光柵尺的線(xiàn)膨脹系數(shù) ; t G 光柵尺的溫度; L 被測(cè)長(zhǎng)度。 三級(jí)以下光柵尺也可用分辨率不低于0 . 1 的水銀溫度計(jì)測(cè)量。水銀溫度計(jì)應(yīng)經(jīng)過(guò)檢定并給出修正值，其檢定不確定度應(yīng)小于0 . 1。2 l 空氣折射率測(cè)量 5 J J G 3 41 -1 9 9 42 1 . 1 用埃德倫 ( E d l e n )公式方法間接測(cè)量空氣折射率 用氣壓計(jì)、 濕度計(jì)和溫度測(cè)量裝置測(cè)量出檢定環(huán)境的 氣壓p 、 絕對(duì)濕度f(wàn) 、 空氣溫度: ， 代人埃德倫公式， 求出與 正常狀態(tài) ( p = 1 0 1 . 3 2 5 k P a , . f = 1 . 3 3 3 k P a , t = 2 0 t )時(shí)折射率的 差值對(duì)測(cè)量長(zhǎng)度的 影響量 1 o A l=( 0 . 9 2 9 x ( t 一 2 0 ) 一2 . 6 8 5 x ( p一1 0 1 . 3 2 5 ) + 0 . 4 2 x ( f 一1 . 3 3 3 ) ) L x 1 0 - 6 ( 3 )式中:L 被測(cè)長(zhǎng)度; t 空氣溫度 ， ; p 氣壓， k P a ; f - -濕度，k P a o 如果某地區(qū)的氣壓與正常狀態(tài)相差很大時(shí) ，應(yīng)按埃德倫微分公式換算相應(yīng)于式 ( 3 )的各項(xiàng)常數(shù)值。2 1 . 1 . 1 空氣溫度測(cè)量 空氣溫度測(cè)量見(jiàn)第 2 0 條。激光干涉儀保溫罩 內(nèi)的空氣溫度在一次測(cè)量過(guò)程中的波動(dòng)應(yīng)符合表 5的要求。2 1 . 1 . 2 氣壓測(cè)量 從氣壓計(jì)上讀出示值，按檢定證書(shū)上給出的修正值及使用說(shuō)明書(shū)上給出的各項(xiàng)修正公式修正到正常狀態(tài) ( 溫度為 2 0，緯度為 4 5 的海平面)的氣壓值。 氣壓計(jì)應(yīng)經(jīng)過(guò)檢定并給出修正值 ，其檢定不確定度應(yīng)小于 2 6 . 6 P a 在一次測(cè)量過(guò)程中氣壓的波動(dòng)應(yīng)符合表 6的要求。 表6 P a級(jí)別一次測(cè)量過(guò)程中氣壓 的波動(dòng)1一 2(2 63 一 6毛 1 0 62 1 . 1 . 3 濕度測(cè)量 本公式中的濕度為絕對(duì)濕度，可采用通風(fēng)式濕度計(jì)測(cè)量 ，按公式計(jì)算: 。一0 . 1 3 3 3。( t 一t ) )( 4 )式中:1 一 一絕對(duì)濕度，k P a ;當(dāng)空氣溫度為 t 時(shí)的飽和蒸氣壓，k P a ，查附錄的表;系數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下為 0 . 5 。 也可用毛發(fā)濕度計(jì)測(cè)量相對(duì)濕度，再將相對(duì)濕度換算成絕對(duì)濕度;或?qū)⒐?( 3 )中的絕對(duì)濕度換算成相對(duì)濕度進(jìn)行計(jì)算。2 1 . 2 用折射率干涉儀測(cè)量空氣折射率 6.1 J G 3 4 1 - 1 9 9 42 1 . 2 . 1 折射率干涉儀的不確定度應(yīng)小于 2 x1 0 - o2 1 . 2 . 2 每一次測(cè)量過(guò)程中折射率的變化應(yīng)符合表 7的要求。 表7級(jí)別一次測(cè)量過(guò)程中折射率的變化1 一 2小于 1 x1 0 一 73 一 6小于 2 x 1 0- 72 2 計(jì)算測(cè)量狀態(tài)下的脈沖當(dāng)量 Q 將測(cè)得的 l與 2 ， 的代數(shù)和 值換算到對(duì)每一個(gè)脈沖當(dāng)量的修正值 Q。 O Q =( A l +A l e ) Q/ L式中:L 被測(cè)長(zhǎng)度; Q n 標(biāo)準(zhǔn) 狀態(tài)下的 脈沖當(dāng)量。 計(jì)算脈沖當(dāng)量:( 5 )式中:幾 n 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的激光波長(zhǎng)值; N對(duì)計(jì)數(shù)干涉條紋的倍頻數(shù)。2 3 將 Q值輸人計(jì)算機(jī)或?qū)y(cè)得的氣壓、機(jī)計(jì)算 Q值，然后開(kāi)始測(cè)量。二 幾 . I N 濕 度 、尺溫 和空氣 溫度輸人 計(jì)算 機(jī) ，( 6 )由計(jì) 算 計(jì)算機(jī)要有自校功能。檢定前應(yīng)進(jìn)行 自校，確保無(wú)誤后方能進(jìn)行檢定。2 4 測(cè)量方式 光柵裝置安裝調(diào)整好后 ，用光柵數(shù)顯表的細(xì)分脈沖采樣，測(cè)量?jī)纱?，每次測(cè)量分別測(cè)量空氣折射率，取兩次有效測(cè)量值的平均值為測(cè)量結(jié)果。2 5 鋇 量間隔 可采用整毫米間隔或非整毫米間隔。2 5 . 1 整毫米間隔按光柵系統(tǒng)的準(zhǔn)確度級(jí)別選取，見(jiàn)表 8 0 表8mm級(jí)別測(cè)量間隔1 一 2(53一 6(5 0 將整毫米間隔測(cè)量結(jié)果與細(xì)分誤差合成即為光柵裝置的準(zhǔn)確度。2 5 . 2 非整毫米間隔按包含最小分辨力的質(zhì)數(shù)選取測(cè)量間隔 ( 例如:分辨力為0 . 0 1 mmJ J G 3 4 1 - 1 9 9 4取 5 . 2 3 m m) ，測(cè)量點(diǎn)數(shù)應(yīng)不小于 2 0 ，其測(cè)量結(jié)果即為光柵裝置的準(zhǔn)確度。2 6 數(shù)據(jù)結(jié)果按 G B 8 1 7 0 -1 9 8 7 數(shù)據(jù)修約規(guī)則進(jìn)行處理。五用長(zhǎng)光柵 比較儀檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度2 7 標(biāo)準(zhǔn)光柵裝置與被檢光柵裝置可在長(zhǎng)光柵比較儀上，采用并聯(lián)縱動(dòng)或串聯(lián)縱動(dòng)的方式進(jìn)行比較測(cè)量。作為標(biāo)準(zhǔn)器的光柵裝置必須檢定合格。標(biāo)準(zhǔn)光柵裝置總不確定度應(yīng)為被檢光柵裝置總不確定度的 1 / 3 或高一個(gè)數(shù)量級(jí)。2 8 在長(zhǎng)光柵 比較儀上用串聯(lián)縱動(dòng)法檢定光柵裝置2 8 . 1 光柵傳感器安裝與 1 8條相同。2 8 . 2 光柵信號(hào)質(zhì)量的檢查與 1 9 條相同。2 8 . 3 溫度測(cè)量與 2 0 條相同。 光柵裝置安裝調(diào)整好后，至少平衡溫度 2h ，待溫度各項(xiàng)指標(biāo)符合表 5要求，而且標(biāo)準(zhǔn)光柵尺和被檢光柵尺的溫差必須小于 0 . 1才能進(jìn)行測(cè)量。若兩者線(xiàn)膨脹系數(shù)之差大于 1 X1 0 - “ 時(shí)，需分別用被測(cè)出的溫度按公式 ( 2 )對(duì)測(cè)量值進(jìn)行修正，修正到正常狀態(tài) 2 0溫度狀態(tài)下。2 8 . 4 測(cè)量方式:測(cè)量?jī)纱巍Ｔ诟鳒y(cè)量點(diǎn)上分別讀取標(biāo)準(zhǔn)光柵裝置和被檢光柵裝置的顯示值，被檢光柵裝置的值與標(biāo)準(zhǔn)光柵裝置的值之差為偏差值。取兩次測(cè)量結(jié)果的平均值作為檢定結(jié)果。2 8 . 5 測(cè)量間隔與2 5條相同。2 9 在長(zhǎng)光柵比較儀上用并聯(lián)縱動(dòng)法檢定光柵裝置的準(zhǔn)確度，要求兩光柵傳感器盡量靠近并平行于導(dǎo)軌，以減少阿貝誤差的影響，或?qū)ζ浒⒇愓`差進(jìn)行修正，應(yīng)達(dá)到要求的檢定總不確定度。 這種檢定方法的測(cè)量步驟及數(shù)據(jù)處理方法均與用串聯(lián)縱動(dòng)法檢定一樣。六檢定結(jié)果處理和檢定周期3 0 光柵裝置按本檢定規(guī)程檢定合格的，出具檢定證書(shū);不符合本規(guī)程要求的發(fā)給檢定結(jié)果通知書(shū)，并指出不合格項(xiàng) 目。3 1 光柵裝置的檢定周期為 2年。d T G 3 4 1 - 1 9 9 4附錄各種溫度的飽和蒸氣壓表0 . 00. 10. 20 . 30. 40. 50. 60. 70. 80. 988 . 08 . 18. 28 . 28. 38. 38 . 48. 48. 58 . 698. 68 . 78. 78 . 88 . 88. 99 . 09 . 09. 19 . 11 09. 29 . 39. 39 . 49 . 59. 59. 69. 69. 79 . 81 19. 89 . 91 0 . 01 0. 01 0. 11 0 . 21 0. 21 0. 31 0 . 41 0 . 41 21 0. 51 0. 61 0 . 71 0. 71 0. 81 0 . 91 0. 91 1 . 01 1 . 11 1 . 21 31 1 . 21 1 . 31 1 . 41 1 . 51 1 . 51 1 . 61 1 . 71 1 . 81 1 . 81 1 . 91 41 2 . 01 2. 11 2. 11 2. 21 2. 31 2 . 41 2. 51 2. 51 2. 61 2. 71 51 2 . 81 2. 91 3. 01 3 . 01 3. 11 3 . 21 3 . 31 3. 41 3 . 51 3. 51 61 3 . 61 3. 71 3. 81 3 . 91 4. 01 4. 11 4 . 21 4. 31 4. 41 4. 41 71 4. 51 4 . 61 4. 71 4. 81 4. 91 5. 01 5 . 11 5. 21 5. 31 5 . 41 81 5 . 51 5 . 61 5. 71 5 . 8