半導(dǎo)體工廠超純水簡(jiǎn)報(bào)【專(zhuān)業(yè)嚴(yán)選】

1、半導(dǎo)體工廠超純水簡(jiǎn)報(bào),Mark,22/Jul./2014,1,一類(lèi)薈萃,總流程,2,一類(lèi)薈萃,原水,1.自來(lái)水由原水泵將水抽至CUB(中央動(dòng)力廠房)。CUB是半導(dǎo)體工廠的心臟，制程用的水電空調(diào)化學(xué)品等一般都是從這里輸出。,運(yùn)行參數(shù)：原水一般水量為195m/h，最大水量為250m/h，水壓3bar。,3,一類(lèi)薈萃,多介質(zhì)過(guò)濾器(MMF/砂濾）,1.原水加10%NaOCl后通過(guò)熱交換器再次加10%PAC后進(jìn)入多介質(zhì)過(guò)濾器。,2.桶內(nèi)裝填石英砂和無(wú)煙煤。,3.配有風(fēng)機(jī)，定期反洗。,用途：主要去除不能溶解的懸浮顆粒和膠體雜物。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量最大為250m/h，壓力1.5bar，溫度20-20。,4

2、,一類(lèi)薈萃,玻璃鋼水箱(FRP水箱),1.過(guò)濾水回收至玻璃鋼水箱。,2.過(guò)濾水箱前有兩組泵（每組兩臺(tái)），一組用于反清洗，一組用于給ACF活性炭過(guò)濾器供水。,3.桶身直徑5m，桶高5m。,運(yùn)行參數(shù)：出口壓力為7bar，溫度為20-30。,邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司,5,一類(lèi)薈萃,活性炭過(guò)濾器(ACF/碳濾）,1.三支，內(nèi)部填充顆?；钚蕴?。,2.此段過(guò)濾器分為正洗與反洗，正反洗水都回收至廢水池，產(chǎn)水為過(guò)濾水。,用途：再次處理水中不能溶解的懸浮顆粒和膠體雜物。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為200-260m/h，出口壓力為6bar，溫度20-30。,6,一類(lèi)薈萃,陰陽(yáng)離子交換床,1.ACF出水先經(jīng)過(guò)CIX（陰

3、離子桶）加HCl，后AIX（陰離子桶）加NaOH處理，CIX和AIX 可以單獨(dú)運(yùn)行。,用途：處理水中的陰陽(yáng)離子。,2.沖洗水進(jìn)入過(guò)濾水箱，再生水進(jìn)入廢水池，出水為去離子水。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為207m/h，壓力為3bar，溫度為20-30。,7,一類(lèi)薈萃,保安過(guò)濾器(SFL),1.去離子水加30%NaOH后進(jìn)入保安過(guò)濾器。,2.產(chǎn)水為去離子水。,用途：微濾過(guò)濾器保護(hù)后端RO膜，不達(dá)標(biāo)的水質(zhì)和頻繁清洗都會(huì)影響RO膜的壽命、提升成本。,運(yùn)行參數(shù)：280m/h，出口壓力2.6bar，溫度21-30。,8,一類(lèi)薈萃,反滲透過(guò)濾膜（RO膜）,1.RO是前段水處理的核心。,2.達(dá)標(biāo)產(chǎn)水進(jìn)入RO水箱，不達(dá)標(biāo)

4、產(chǎn)水進(jìn)入過(guò)濾水箱，濃水進(jìn)入廢水池。,3.產(chǎn)水為反滲透水。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為248m/h，出水壓力為2bar，溫度為21-30；濃水水量為18m/h，出水壓力為2bar，溫度為24-30。,9,一類(lèi)薈萃,RO水箱,1.水箱采用玻璃鋼材質(zhì)，并使用氮?dú)饷芊狻?2.RO水箱有三組水泵輸出 ，一組UV供水，一組陰陽(yáng)離子交換床沖洗水，一組冷凝設(shè)備供水。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為185m/h，出口為6bar，溫度21-30。,邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司,10,一類(lèi)薈萃,紫外線殺菌設(shè)備（UV裝置）,1.兩組，一用一備，單組使用44跟紫外燈管。,2.出水為反滲透產(chǎn)水。,用途：殺滅水中的微生物，降低有機(jī)物含量。

5、,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為185m/h，出水壓力為5.5bar，操作溫度26。,11,一類(lèi)薈萃,初級(jí)混床（MBX混床）,1.內(nèi)裝陰離子樹(shù)脂和陽(yáng)離子樹(shù)脂。,用途：全面去除水中的陰陽(yáng)離子，電阻率由4m/cm提升至17-18m/cm。,2.定期對(duì)混床進(jìn)行再生，使用HCl和NaOH。,3.再生水進(jìn)入廢水池，沖洗水進(jìn)入過(guò)濾水箱，產(chǎn)水為純水。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為185m/h，出口壓力為4bar，溫度23-30。,12,一類(lèi)薈萃,脫氣膜(MD),1.由兩臺(tái)真空泵和12支膜殼組成。,2.水由上向下流出，氣體由下向上抽出，主要?dú)怏w為CO2和N2。,3.出水為純水進(jìn)入純水箱。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為180m/h，出口水

6、壓為1.5bar，溫度為21-30。,邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司,13,一類(lèi)薈萃,純水水箱,1.玻璃鋼材質(zhì)，內(nèi)襯PP，氮封。,2.有一組泵輸出，輸出水為純水。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為230m/h，出口水壓為8.5bar，溫度為22-30。,14,一類(lèi)薈萃,冷交換器,1.純水進(jìn)入交換器，溫度降低為5。,2.出水為純水，進(jìn)入U(xiǎn)V裝置。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水水量為230m/h，出口水壓為7.5bar。,邁博瑞生物膜技術(shù)南通有限公司,15,一類(lèi)薈萃,UV裝置,1.三組紫外線殺菌裝置，每組44根燈管。,2.出水為純水進(jìn)入增壓泵。,3.運(yùn)行在恒溫5環(huán)境中。,用途：再次殺滅水中細(xì)菌，降低有機(jī)物含量。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為230m/h，出水水壓7.5bar。,16,一類(lèi)薈萃,拋光混床（MBP）,1.樹(shù)脂為一次性，使用完后不需要再生。,2.出水為超純水，進(jìn)入超濾裝置。,用途：進(jìn)一步降低水中的陰陽(yáng)離子含量，提高電導(dǎo)率至18m/cm以上。,運(yùn)行參數(shù)：產(chǎn)水量為190m/h，出水水壓為9bar，回純水箱10m/h，水壓3bar。,17,一類(lèi)薈萃,超濾（UF）,1.分兩組，拋光混床出水分兩路，一路直接進(jìn)入超濾，另一路通過(guò)熱交換將水溫提升至65-75再進(jìn)入超濾。,2.產(chǎn)水