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1、1,Touch Panel 雙面SiO2鍍膜,Touch Panel 產(chǎn)品介紹 雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備 雙面SiO2鍍膜作業(yè) 雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷,2,Touch Panel 產(chǎn)品介紹,背景：Touch Panel 產(chǎn)品是2007年偉光公司開發(fā)的新產(chǎn)品，主要用于高端電子產(chǎn)品顯示屏，目前已經(jīng)進入批量生產(chǎn)階段。 構(gòu)造：Touch Panel 產(chǎn)品為雙面Pattern結(jié)構(gòu)，膜面和空氣面均有圖案。,F面SiO2,F面ITO層,玻璃,R面ITO,R面金屬層,R面ITO層,3,雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備,雙面SiO2鍍膜是Touch Panel產(chǎn)品制程中最重要的工序，與常規(guī)的鍍膜工藝相比具有其一定的特殊性

2、，需要用到兩種特殊用品。 鍍膜特殊用品介紹： 金屬Mask及銅磁背板。,4,雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備,金屬Mask,金屬MASK分兩種，F(xiàn)面金屬MASK間隔條為凹狀，R面金屬MASK間隔條為凹狀,5,雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備,金屬Mask,R面金屬MASK,F面金屬MASK,6,雙面SiO2鍍膜前準(zhǔn)備,銅磁背板,銅磁背板沒有鏍孔面與玻璃基板接觸,7,雙面SiO2鍍膜作業(yè),將金屬MASK置于對位臺上，固定后打開真空吸附開關(guān)，將其吸附（注意F/R面MASK不要用錯）,8,雙面SiO2鍍膜作業(yè),將基板置于金屬MASK上，必須避免基板在金屬MASK上的滑動（注意基板待鍍面朝下，大角與金屬MASK錯開）,9

3、,雙面SiO2鍍膜作業(yè),基板對位標(biāo),金屬MASK對位框,OK,NG,手動對位,10,雙面SiO2鍍膜作業(yè),在監(jiān)視器上確認(rèn)基板與金屬MASK對位是否在規(guī)格內(nèi)（基板上有四個“田”字型對位標(biāo)，與金屬MASK上對位方框?qū)ξ唬?11,雙面SiO2鍍膜作業(yè),將銅磁背板置于基板置于基板上，必須避免基板在金屬MASK上的滑動,12,雙面SiO2鍍膜作業(yè),將組合好的待鍍品置于待鍍品區(qū)域,13,雙面SiO2鍍膜作業(yè),將待鍍品掛上框架（注意金屬MASK不能有翹曲）,14,雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷,主要品質(zhì)缺陷 電子擊傷 金屬層劃傷 SiO2掉膜 SiO2打弧 粉塵、污染,15,雙面SiO2鍍膜品質(zhì)缺陷,電子擊傷：ITO層在鍍膜時被擊傷，外觀檢查時呈一條黑線,16,雙面SiO2鍍

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