GB/T 28634-2025微束分析電子探針顯微分析塊狀試樣波譜法定量點分析

ICS7104099

CCSG.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

代替GB/T28634—2012

微束分析電子探針顯微分析

塊狀試樣波譜法定量點分析

Microbeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—Quantitativepoint

analysisforbulkspecimensusingwavelengthdispersiveX-rayspectroscopy

ISO224892016IDT

(:,)

2025-04-25發(fā)布2025-11-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

縮略語

3……………………1

定量過程

4…………………2

檢測報告

5…………………7

附錄資料性物理效應(yīng)和校正

A()………………………8

附錄資料性不同校正方法概述

B()……………………9

附錄資料性有化學(xué)效應(yīng)的k比值測量

C()“”…………10

參考文獻

……………………11

Ⅰ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

前言

本文件按照標準化工作導(dǎo)則第部分標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1-2020《1:》

定起草

。

本文件代替微束分析電子探針顯微分析塊狀試樣波譜法定量點分

GB/T28634—2012《

析與相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)變化如下

》,GB/T28634—2012,,:

增加了掃描電鏡和能譜儀的縮略語見第章

a)(3);

更改了對分析體積的要求分析的體積應(yīng)大于射線的激發(fā)體積改為分析體積宜均勻并

b),“X”“

大于射線激發(fā)體積見年版的

X”(4.4.1,20124.4.1);

更改了對分析晶體選擇的要求分析晶體應(yīng)該根據(jù)儀器所帶的晶體材料進行選擇力求用一

c),“,

個共同的衍射晶體測定一組相關(guān)元素以減小譜儀位置重復(fù)誤差改為分析晶體宜利用儀器

,”“

生產(chǎn)商提供的資料或從參考書中獲得的資料選擇見年版的

”(4.4.8,20124.4.8);

附錄的性質(zhì)由規(guī)范性更改為資料性

d)C。

本文件等同采用微束分析電子探針顯微分析塊狀試樣波譜法定量點分析

ISO22489:2016《》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

:。

本文件主要起草人曾毅李香庭彭帆

:、、。

本文件于年首次發(fā)布本次為第一次修訂

2012,。

Ⅲ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

引言

電子探針顯微分析已經(jīng)廣泛應(yīng)用于材料組成元素的定量分析這是一種典型的儀器分析方法電

。,

子探針顯微分析儀使用的方便性已經(jīng)得到了很大改善要用這種有力的工具獲得準確的定量結(jié)果需

。,

要正確地使用儀器為了獲得可靠的數(shù)據(jù)還需要最佳的操作程序例如試樣制備特征射線強度測

。,,、X

量和由射線強度計算質(zhì)量分數(shù)等本文件給出了這些標準操作程序

X,。

Ⅳ

GB/T28634—2025/ISO224892016

:

微束分析電子探針顯微分析

塊狀試樣波譜法定量點分析

1范圍

本文件規(guī)定了應(yīng)用電子探針顯微分析儀或者安裝在掃描電鏡的波譜儀通過電子束

(SEM)(WDS),

與試樣相互作用產(chǎn)生的射線對試樣微米尺度體積內(nèi)的元素進行定量分析的要求

X。

本文件還包括如下內(nèi)容

:

定量分析原理

———;

本方法涉及的元素質(zhì)量分數(shù)和標準物質(zhì)的一般范圍

———、;

儀器的一般要求

———;

有關(guān)試樣制備實驗條件選擇分析測量和報告等基本過程

———、、。

本文件適用于電子束垂直入射到表面平滑均勻的塊狀試樣的定量分析對儀器和數(shù)據(jù)處理軟件

、。

沒有特殊的要求使用者宜從儀器制造廠家獲得儀器安裝條件詳細的操作程序及儀器規(guī)格等信息

。、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2019(ISO/IEC17025:2017,IDT)

注被引用的內(nèi)容與被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異

:GB/T27025—2019ISO/IEC17025:2005。

微束分析電子探針顯微分析波譜法實驗參數(shù)測定導(dǎo)則

ISO14594(Microbeamanalysis—E-

lectronprobemicroanalysis—Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersforwave-

lengthdispersivespectroscopy)

注微束分析電子探針顯微分析波譜法實驗參數(shù)測定導(dǎo)則

:GB/T30705—2014