電子氣體 四氟化硅 編制說(shuō)明

征求意見稿編制說(shuō)明2一、工作簡(jiǎn)況電子級(jí)四氟化硅主要用于集成電路技術(shù)領(lǐng)域，是一種性能極佳的高純氣體材料。四氟化硅作為集成電路用量大、純度要求高的基礎(chǔ)材料，是國(guó)家重點(diǎn)鼓勵(lì)發(fā)展的產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)，符合《“十四五”推動(dòng)高質(zhì)量發(fā)展的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)規(guī)劃》中建設(shè)制造業(yè)高端化領(lǐng)域的材料標(biāo)準(zhǔn)的要求。高純四氟化硅作為電子工業(yè)重要原料之一，具有較高的氟硅比，被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，是電子產(chǎn)業(yè)核心制造業(yè)的基礎(chǔ)。主要用于硅化鉭、氮化硅等的蝕刻劑、P型摻雜劑及外延沉積擴(kuò)散硅源，還可以用于制備電子級(jí)硅烷或多晶硅。同時(shí)，四氟化硅是理想的超低溫保存媒體，用于電子工業(yè)中制造各種高純、優(yōu)良的半導(dǎo)體器件和集成電路，廣泛應(yīng)用于航天技術(shù)精密光學(xué)儀器的制造。其次四氟化硅還用于制備超純四氟化硅原料，在化學(xué)工業(yè)上制造高純度、高流動(dòng)性的二氧化硅流體，用于溶解、分離、干燥、氣化或升華精細(xì)化工產(chǎn)品?，F(xiàn)行的電子用四氟化硅標(biāo)準(zhǔn)（GB/T31058-2014）已經(jīng)執(zhí)行11年，隨著技術(shù)進(jìn)步和市場(chǎng)變化，適用范圍、技術(shù)要求及試驗(yàn)方法等內(nèi)容都需要修訂。2014版標(biāo)準(zhǔn)已無(wú)法現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的要求，因此建議重新修訂該標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的修訂，旨在對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)提供指導(dǎo)性作用，對(duì)下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供質(zhì)量保障。有利于提高我國(guó)高端電子材料自給能力，推動(dòng)電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，擴(kuò)大我國(guó)高純電子材料對(duì)外影響力，有效服務(wù)于國(guó)家戰(zhàn)略需求。根據(jù)國(guó)標(biāo)委發(fā)〔2024〕60號(hào)文，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)于2024年下達(dá)了修訂計(jì)劃，修訂計(jì)劃號(hào)：20243665-T-469。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會(huì)執(zhí)行。1.2工作過(guò)程的說(shuō)明1.2.1起草階段2024年國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)下達(dá)了〔2024〕60號(hào)文，《電子氣體四氟化硅》正式立項(xiàng)，標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會(huì)歸口。為保證項(xiàng)目順利實(shí)施，全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員氣體分會(huì)組織浙江中寧硅業(yè)股份有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司、福建德爾科技股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、聯(lián)雄投資(上海)有限公司、杭州新世紀(jì)混合氣體有限公司、沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司等相關(guān)單位做了大量的前期調(diào)研及草案起草工作。3標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織（SEMI）制定的國(guó)際工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中無(wú)八氟丙烷標(biāo)準(zhǔn)，起草小組對(duì)國(guó)際、國(guó)內(nèi)電子八氟丙烷產(chǎn)品生產(chǎn)情況進(jìn)行了深入調(diào)研和分析，將國(guó)外產(chǎn)品的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)實(shí)際生產(chǎn)情況相結(jié)合，于2025年2月份提出了標(biāo)準(zhǔn)的討論稿。2025年4月，標(biāo)準(zhǔn)起草小組在線上召開標(biāo)準(zhǔn)討論會(huì)，廣泛征求生產(chǎn)企業(yè)的意見。在此次討論會(huì)上，專家們就討論稿的基本結(jié)構(gòu)、范圍、技術(shù)指標(biāo)、檢驗(yàn)方法等進(jìn)行了認(rèn)真的討論。提出了如下的意見：（1）四氟化硅制備方法基本為石英砂與氫氟酸反應(yīng)制備，因此建議適用范圍修改為以硅與氫氟酸為原料提純制備。（2）將標(biāo)準(zhǔn)正文表1中項(xiàng)目名稱中的“/10-2”放入技術(shù)指標(biāo)一欄，并修改為“×10-2”，將項(xiàng)目名稱中的“/10-6”放入技術(shù)指標(biāo)一欄，并修改為“×10-6”。（3）建議增加氟化氫的雜質(zhì)含量要求。（4）建議增加金屬元素的含量要求。（5）采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》測(cè)定氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量。（6）開展測(cè)定方法的驗(yàn)證試驗(yàn)。1.2.2征求意見階段2025年5月，起草小組根據(jù)2025年2月工作組會(huì)議討論的意見修改并提出了征求意見稿，在“全國(guó)標(biāo)準(zhǔn)信息公共服務(wù)平臺(tái)”、全國(guó)氣體標(biāo)準(zhǔn)化網(wǎng)站、以及發(fā)送主要生產(chǎn)、經(jīng)銷、使用、科研、檢驗(yàn)等單位及大專院校，面向全社會(huì)廣泛征集修改意見。二國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容起草小組參照了國(guó)外先進(jìn)企業(yè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，做了大量的實(shí)驗(yàn)工作，制定出了技術(shù)指標(biāo)和檢驗(yàn)方法，現(xiàn)將有關(guān)情況說(shuō)明如下：2.1標(biāo)準(zhǔn)名稱2021年7月，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委下達(dá)了國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系優(yōu)化試點(diǎn)工作任務(wù)，根據(jù)工作任務(wù)的要求，氣體分會(huì)本對(duì)電子氣體領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)體系情況情況進(jìn)行梳理、評(píng)估、優(yōu)化和重構(gòu)，形成了“1+6”的成果模式，即構(gòu)建了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)體系，形成了六個(gè)標(biāo)準(zhǔn)清單（整合一批、提出一批、修訂一批、廢止一批、轉(zhuǎn)化一批、采信一批），逐步優(yōu)化提升了電子氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)體系的科學(xué)性、先進(jìn)性和協(xié)調(diào)性。根據(jù)體系優(yōu)化工作的成果，電子氣體的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)名稱由“電子特氣”修改為“電子氣體”，因此本次修訂，將2014版的“電子工業(yè)氣體四氟化硅”修改為“電子氣體四氟化硅”。42.2適用范圍2.2.1四氟化硅的生產(chǎn)工藝主要為石英砂（二氧化硅）和氫氟酸反應(yīng)，2014版標(biāo)準(zhǔn)適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅產(chǎn)品。根據(jù)工作組會(huì)議要求，本次修訂更改為：以硅和氟化氫為原料為原料提純制備的四氟化硅。2.2.32014版的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四氟化硅的使用領(lǐng)域、分子式及相對(duì)分子質(zhì)量。根據(jù)GB/T1.1-2020的要求，討論稿及征求意見稿刪除了四氟化硅的使用領(lǐng)域，將分子式和相對(duì)分子質(zhì)量放入了附錄。2.3技術(shù)指標(biāo)的依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)起草小組首先開始搜集相關(guān)的資料，2014版四氟化硅標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)見表1，起草小組對(duì)國(guó)際、國(guó)內(nèi)電子四氟化硅產(chǎn)品生產(chǎn)情況進(jìn)行了深入調(diào)研和分析，國(guó)內(nèi)外較大規(guī)?？蛻魧?duì)電子四氟化硅的要求見表2~表7。起草小組修改了2014版的技術(shù)要求，提出了討論稿技術(shù)要求，見表8。根據(jù)起草工作組會(huì)議的要求，起草小組修改了技術(shù)指標(biāo)，提出了征求意見稿，見表9。表12014版技術(shù)指標(biāo)≥<21<<4<5<<1<1<1≤適用于螢石硫酸法制備的產(chǎn)品。表2客戶要求1<1×10氮(N)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<4×10<1×10<0.3×10<3×10總烴(以CH4計(jì))含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<1×10表3客戶要求2<1×10<4×10<1×10<0.3×10<3×10<1×10<5×10表4客戶要求399.999×10<1×10<0.5×10<0.1×10<0.3×10<0.1×10<0.2×10<0.1×10<0.1×10<20×10氟硅醚(SiFOSiF)（摩爾分?jǐn)?shù)）<50×10<0.1×10<0.1×10<5×10<3×10<5×10<30×10表5客戶要求4+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<1×10<3×10<1×10<1×10<10×10<0.5×10<0.5×10<0.5×10表6客戶要求5<1×10+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<1.0×10<0.1×10<1.0×10<1×10<0.1×10<0.1×10<0.5×10<0.5×10——As、B、P表7客戶要求6<1×10+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<1.0×10<0.1×10<1.0×10<1×10<0.1×10<5×10<1×10表8討論稿技術(shù)要求<1×10+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<0.5×10<4×10<0.1×10<0.3×10<1×10<0.1×10<0.1×10適用于螢石硫酸法制備的產(chǎn)品。表9征求意見稿技術(shù)要求<1×10+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)）<0.5×10<4×10<0.1×10<0.3×10<1×10<0.1×10<0.1×10<3×10<5×10-9<3×10-9<5×10-9<30×10-9<15×10-9<10×10-9<15×10-9<30×10-9<10×10-9<10×10-9<30×10-9<5×10-92.4采樣2014版未單列采樣的要求，只規(guī)定了采樣安全符合GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則》的要求，討論稿中將采樣的要求單列一章，并引用了GB/T43306《氣體分析采樣導(dǎo)則》，該標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO19230:2020，適用于四氟化硅的采樣，因此本次制定直接引用。2.5關(guān)于試驗(yàn)方法2.5.1純度計(jì)算四氟化硅的純度采用差減法計(jì)算，2014版規(guī)定先計(jì)算總雜質(zhì)含量，然后減去雜質(zhì)總含量計(jì)算純度。本次修訂依然采用該方法計(jì)算純度。2.5.2氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫含量的測(cè)定2014版規(guī)定采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》測(cè)定氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量，采用GB/T28727-2012《氣體分析硫化物的測(cè)定火焰光度氣相色譜法》測(cè)定硫化氫、二氧化硫含量。根據(jù)工作組會(huì)議要求，本次修訂采用了GB/T28726規(guī)定的氦離子9化氣相色譜法測(cè)定氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫含量。根據(jù)工作組會(huì)議的要求，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證平臺(tái)作了試驗(yàn)驗(yàn)證工作，驗(yàn)證結(jié)果見附件1。從檢測(cè)結(jié)果可以看出，GB/T28726規(guī)定的HID（氦離子化法）能全部測(cè)定四氟化硅中氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫含量等雜質(zhì)含量，最小檢出濃度和靈敏度滿足測(cè)定需求，因此本次制訂采用GB/T28726規(guī)定的HID法。2.5.3氟化氫含量的測(cè)定2014版未規(guī)定氟化氫含量及其測(cè)定方法，本次修訂采用傅里葉紅外光譜法測(cè)定氟化氫。GB/TXXXX《電子氣體中酸度的測(cè)定第1部分：傅里葉變換紅外光譜法》適用于測(cè)定氟化氫，因此本次修訂直接引用該方法。起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證平臺(tái)作了相關(guān)試驗(yàn)驗(yàn)證工作，驗(yàn)證結(jié)果見附件2。從檢測(cè)結(jié)果可以看出，傅里葉紅外光譜法能滿足四氟化硅中氟化氫含量的測(cè)定需求。2.5.4金屬元素含量的測(cè)定2014版未規(guī)定金屬元素含量及其測(cè)定方法，本次修訂規(guī)定金屬元素含量的測(cè)定是采用電感耦合等離子質(zhì)譜法（ICPMS），GB/T34972-2017《電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》已經(jīng)正式發(fā)布實(shí)施8年，已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。本次修訂直接采用GB/T34972規(guī)定的方法。起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證平臺(tái)作了相關(guān)試驗(yàn)驗(yàn)證工作，驗(yàn)證結(jié)果見附件3。從檢測(cè)結(jié)果可以看出，GB/T34972規(guī)定的方法能滿足四氟化硅金屬元素含量的測(cè)定需求。2.5.5尾氣處理本次修訂增加對(duì)尾氣處理的要求，提出了原則性要求：測(cè)定時(shí)，應(yīng)有四氟化硅尾氣處理措施，以防止四氟化硅對(duì)環(huán)境的污染。2.6檢驗(yàn)規(guī)則2014版未單列檢驗(yàn)規(guī)則，本次修訂將“檢驗(yàn)規(guī)則”單列，并完善了判定規(guī)則。2.7關(guān)于產(chǎn)品標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全本次修訂參照了最新的有關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際化學(xué)品安全卡。2014版的規(guī)定比較雜亂，根據(jù)工作組會(huì)議的要求，將該章分成三部分內(nèi)容來(lái)編制1）標(biāo)志（2）包裝、運(yùn)輸和貯存（3）安全信息，并將安全信息放入附錄A。2.7.1標(biāo)志（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證2014版規(guī)定合格證的內(nèi)容至少如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱；b)生產(chǎn)日期或批號(hào)，充裝質(zhì)量（kgc)本標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)及技術(shù)指標(biāo)，檢驗(yàn)員號(hào)。根據(jù)最新的電子氣體標(biāo)準(zhǔn)體系中對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量合格證的要求，將合格證的內(nèi)容修改如下：a)產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號(hào)；b)生產(chǎn)日期或批號(hào)，以及保質(zhì)期；c)充裝壓力（MPa）；d)本文件號(hào)及四氟化硅的純度。（2）2014版中規(guī)定：包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子四氟化硅”字樣，本次修訂更改為：包裝容器上應(yīng)涂刷“電子氣體四氟化硅”字樣。（3）2014版中規(guī)定：氣瓶顏色標(biāo)記應(yīng)符合GB/T7144的規(guī)定。氣瓶的運(yùn)輸標(biāo)志應(yīng)符合GB190的規(guī)定。標(biāo)簽應(yīng)符合GB/T16804、GB15258規(guī)定的要求。本次修訂依然采用這些規(guī)定。2.7.2包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存（1）包裝四氟化硅在室溫和大氣壓力下是無(wú)色、不可燃和有毒的氣體，具有令人窒息的氣味。大多數(shù)普通的結(jié)構(gòu)金屬用于處理干氣體都是符合要求的。對(duì)于某些應(yīng)用可使用塑料，如聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、莎綸、聚乙烯、聚氯乙烯和氯丁橡膠。在潮濕的條件下，四氟化硅迅速水解并產(chǎn)生腐蝕條件。對(duì)干燥的四氟化硅可使用大多數(shù)通用金屬材料，對(duì)潮濕的氣體可以用蒙乃爾等合金。我國(guó)對(duì)永久氣體氣瓶包裝的規(guī)定有GB/T5099（鋼制無(wú)縫氣瓶）、GB/T11640（鋁合金無(wú)縫氣瓶）。對(duì)于四氟化硅，GB/T5099和GB/T11640規(guī)定的氣瓶可以使用瓶，因此本次修訂采用GB/T5099和GB/T11640規(guī)定的氣瓶。《特種設(shè)備生產(chǎn)和充裝單位許可規(guī)則》、TSG23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》中包括了對(duì)于氣瓶的安全使用和監(jiān)督監(jiān)察，因此本標(biāo)準(zhǔn)采用了此規(guī)程。（2）對(duì)氣瓶?jī)?nèi)表面、瓶口處理的要求鋼制氣瓶、鋁合金氣瓶都可用于裝運(yùn)四氟化硅，鋼瓶標(biāo)稱水容積不得超過(guò)125磅（57kg）。用3AL規(guī)格鋼瓶裝的四氟化硅只允許通過(guò)公路和鐵路運(yùn)輸，并保護(hù)好鋼瓶閥門，作好防漏密封。2014版規(guī)定瓶閥出氣口連接方式推薦使用CGA330，本次修訂與2014版規(guī)定相同。（3）充裝的規(guī)定：2014版規(guī)定充裝符合GB/T14194《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》的規(guī)定，本次修訂依然采用GB/T14194。（4）運(yùn)輸和儲(chǔ)存運(yùn)輸時(shí)運(yùn)輸車輛應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。運(yùn)輸途中應(yīng)防曝曬、雨淋，防高溫。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。2.8安全信息2.8.1基本性質(zhì)四氟化硅在常溫常壓下為具有窒息性刺激臭的無(wú)色氣體，空氣中不燃燒。在濕空氣中能形成白色煙霧，水解后生成HF和氟硅酸。2.8.2危險(xiǎn)性概述四氟化硅遇水分解生成的氟化氫等氟化物對(duì)人體產(chǎn)生毒作用。它對(duì)皮膚、眼睛和呼吸道粘膜產(chǎn)生刺激和附屬作用，能引起流淚、眼痛、咳嗽、呼吸困難、肺水腫等癥狀。長(zhǎng)期接觸可引起牙齒酸蝕癥及骨硬化癥。2.8.3急救措施吸入：迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。呼吸、心跳停止，立即進(jìn)行心肺復(fù)蘇術(shù)。就醫(yī)皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動(dòng)清水沖洗。如有不適感，就醫(yī)眼晴接觸：分開眼瞼，用流動(dòng)清水或生理鹽水沖洗。如有不適感，就醫(yī)。2.8.4消防措施滅火劑：用水霧、干粉、泡沫或二氧化碳滅火劑滅火。避免使用直流水滅火，直流水可能導(dǎo)致可燃性液體的飛濺，使火勢(shì)擴(kuò)散。特別危險(xiǎn)性：不燃，無(wú)特殊燃爆特性。在潮濕空氣中產(chǎn)生白色有腐蝕性和刺激性的氟化氫煙霧滅火注意事項(xiàng)及防護(hù)措施：切斷氣源。消防人員須佩帶空氣呼吸器，穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。噴水保持火場(chǎng)容器冷卻，直至滅火結(jié)束。盡可能將容器從火場(chǎng)移至空曠處滅火劑：霧狀水、干粉、砂土。2.8.5泄漏應(yīng)急處理作業(yè)人員防護(hù)措施、防護(hù)裝備和應(yīng)急處置程序：根據(jù)氣體擴(kuò)散的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無(wú)關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員穿內(nèi)置正壓自給式呼吸器的全封閉防化服。禁止接觸或跨越泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體通過(guò)下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和受限空間擴(kuò)散。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向，避免水流接觸泄漏物。禁止用水直接沖擊泄漏物或泄漏源。隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡環(huán)境保護(hù)措施：收容泄漏物，避免污染環(huán)境。防止泄漏物進(jìn)入下水道、地表水和地下水。泄漏化學(xué)品的收容、清除方法及所使用的處置材料：小量泄漏：盡可能將泄漏液體收集在可密閉的容器中。用沙土、活性炭或其它惰性材料吸收，并轉(zhuǎn)移至安全場(chǎng)所。禁止沖入下水道。大量泄漏：構(gòu)筑圍堤或挖坑收容。封閉排水管道。用泡沫覆蓋，抑制蒸發(fā)。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)Ｓ檬占鲀?nèi)，回收或運(yùn)至廢物處理場(chǎng)所處置。2.8.6操作處置與儲(chǔ)存操作注意事項(xiàng)：操作人員應(yīng)經(jīng)過(guò)專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。操作處置應(yīng)在具備局部通風(fēng)或全面通風(fēng)換氣設(shè)施的場(chǎng)所進(jìn)行。避免眼和皮膚的接觸，避免吸入蒸汽。遠(yuǎn)離火種、熱源，工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備。如需罐裝，應(yīng)控制流速，且有接地裝置，防止靜電積聚。避免與氧化劑等禁配物接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。倒空的容器可能殘留有害物。使用后洗手，禁止在工作場(chǎng)所進(jìn)飲食。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：耐火設(shè)備（條件）。保存在通風(fēng)良好的室內(nèi)。三、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）的分析、綜述報(bào)告，技術(shù)經(jīng)濟(jì)論證，預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果1、主要試驗(yàn)（或驗(yàn)證）的分析本標(biāo)準(zhǔn)制定過(guò)程中，起草小組做了大量的試驗(yàn)驗(yàn)證工作，詳見第二章2.5。2、修訂意義及預(yù)期的經(jīng)濟(jì)效果電子級(jí)四氟化硅是一種重要的電子氣體，也是一種重要的工業(yè)基礎(chǔ)材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展，廣大用戶對(duì)電子級(jí)四氟化硅的質(zhì)量提出了更高更苛刻的要求，2014版國(guó)標(biāo)中的產(chǎn)品純度已經(jīng)不能滿足市場(chǎng)和技術(shù)的需求。因此，重新修訂電子級(jí)四氟化硅的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是我們應(yīng)要進(jìn)行的一項(xiàng)具有深遠(yuǎn)意義的重要工作。通過(guò)修訂標(biāo)準(zhǔn)，將引領(lǐng)電子級(jí)四氟化硅規(guī)?；a(chǎn)出，推動(dòng)我國(guó)電子半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展和四氟化硅的生產(chǎn)和檢測(cè)合作研發(fā)，提升行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力，促進(jìn)整個(gè)行業(yè)健康持續(xù)發(fā)展。同時(shí)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的制定，有利于提高我國(guó)高端電子材料自給能力，推動(dòng)電子相關(guān)產(chǎn)業(yè)進(jìn)步，擴(kuò)大我國(guó)電子科技對(duì)外影響力，有效服務(wù)于國(guó)家戰(zhàn)略需求。因此，修訂后的高純度電子級(jí)四氟化硅產(chǎn)品國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)論是國(guó)家需要、市場(chǎng)需要還是對(duì)用戶負(fù)責(zé)都是我們應(yīng)要進(jìn)行的一項(xiàng)具有意義的工作。目前，我國(guó)已具備自主生產(chǎn)超高純四氟化硅的能力。而且隨著四氟化硅應(yīng)用的越來(lái)越廣泛，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家將會(huì)增加，本次制定推動(dòng)了國(guó)內(nèi)四氟化硅的產(chǎn)業(yè)化，因此本次修訂將產(chǎn)生以下一些方面的效益：（1）推動(dòng)國(guó)內(nèi)電子用四氟化硅生產(chǎn)產(chǎn)企業(yè)采用先進(jìn)的生產(chǎn)工藝，與國(guó)外先進(jìn)企業(yè)看齊。（2）本次制訂后標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，提高了國(guó)產(chǎn)電子四氟化硅產(chǎn)品的國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。（3）檢測(cè)方法采用了氦離子化氣相色譜法這種先進(jìn)的方法，為標(biāo)準(zhǔn)使用者提供了更好的指導(dǎo)。（4）包括了安全警示的內(nèi)容，對(duì)使用者提供了很好的幫助。四、采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程度，以及與國(guó)際、國(guó)外同類標(biāo)準(zhǔn)水平的對(duì)比情況，或與測(cè)試的國(guó)外樣品、樣機(jī)的有關(guān)數(shù)據(jù)對(duì)比情況該標(biāo)準(zhǔn)無(wú)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)可以借鑒，在制定過(guò)程中參考了國(guó)內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)資料。五、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系電子四氟化硅屬于危險(xiǎn)化學(xué)品，在生產(chǎn)、儲(chǔ)運(yùn)和使用環(huán)節(jié)涉及以下多項(xiàng)強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，本文件與現(xiàn)行相關(guān)法律、法規(guī)、規(guī)章及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，特別是強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)是協(xié)調(diào)一致的：GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GBl5258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定同時(shí)，還應(yīng)符合以下法規(guī)：《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》、《危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例》等規(guī)定。六、重大分歧意見的處理經(jīng)過(guò)和依據(jù)本次國(guó)標(biāo)的制定無(wú)重大分歧意見。七、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)作為強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的建議建議將該標(biāo)準(zhǔn)作為推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，建議標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后6個(gè)月實(shí)施。八、貫徹國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議（包括組織措施、技術(shù)措施、過(guò)渡辦法等內(nèi)容）本次國(guó)標(biāo)的修訂是依據(jù)半導(dǎo)體材料行業(yè)發(fā)展的要求，根據(jù)我國(guó)電子四氟化硅的發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行的，因此應(yīng)盡快實(shí)施國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。本次修改的內(nèi)容已經(jīng)具有較廣泛的應(yīng)用范圍，具有可靠的技術(shù)措施保證，標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布后將組織相關(guān)生產(chǎn)和應(yīng)用企業(yè)進(jìn)行宣貫培訓(xùn)，因此標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施的過(guò)渡期較短（不會(huì)超過(guò)半年）。九、廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議十、其他應(yīng)予說(shuō)明的事項(xiàng)PDD法測(cè)定氫、氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧驗(yàn)一、標(biāo)準(zhǔn)氣體及樣品氣體標(biāo)準(zhǔn)氣體一：組分含量見表1生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表1：標(biāo)氣組分濃度表組分H2O2ArN2COCH4SO2含量（10-6mol/mol）5.25.04.65.85.25.099標(biāo)準(zhǔn)氣體二：組分含量見表2生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表2：標(biāo)氣組分濃度表組分CO2H2S含量（10-6mol/mol）余氣：氦氣標(biāo)準(zhǔn)氣體三：組分含量見表3生產(chǎn)單位：大連大特氣體有限公司；表3：標(biāo)氣組分濃度表組分SO2含量（10-6mol/mol）99.0余氣：氦氣二、儀器分析及數(shù)據(jù)1、氦離子化氣相色譜儀生產(chǎn)單位：上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司設(shè)備型號(hào)：GC-9560-PDD柱爐：50℃;檢測(cè)器：150℃;輔助箱1：50℃;定量管1：1.0mL；定量管2：1.0mL；載氣（氦氣）流速：30mL/min；2、色譜流程圖圖1PDD檢測(cè)SiF4中H2、O2+Ar、N2、CO2、CH4、CO、H2S、SO2流程圖1-載氣（高純氦氣）2-減壓閥3-定點(diǎn)穩(wěn)壓閥4-純化器5-過(guò)濾器6、7、8、9-氣動(dòng)十通閥10-樣品進(jìn)11-流量計(jì)12、13-定量環(huán)14-碳分子篩15-5A柱17-PLOT-Q毛細(xì)柱18-傳感器19-樣品出20、21、22、23-針閥放空閥24、26-氦離子檢測(cè)器25、27-放空口3、色譜柱預(yù)分離柱Ⅰ：長(zhǎng)約0.6m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管,內(nèi)裝約粒徑為0.18mm~0.25mm的碳分子篩，或其他等效色譜柱。色譜柱Ⅰ：長(zhǎng)約1.5m、內(nèi)徑約3mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm～0.25mm的5A分子篩，或其他等效色譜柱。該柱用于測(cè)定氫、氧+氬、氮、一氧化碳和甲烷含量。色譜柱Ⅱ：長(zhǎng)約2m、內(nèi)徑約2mm的不銹鋼管，內(nèi)裝粒徑為0.18mm~0.25mm的乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物，或其他等效色譜柱。該柱用于分析二氧化硫含量。色譜柱Ⅲ：長(zhǎng)約30m、內(nèi)徑0.32mm、內(nèi)涂乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物的毛細(xì)柱，或其他等效色譜柱。該柱用于分析二氧化碳、硫化氫含量。4、標(biāo)氣分析譜圖標(biāo)氣分析譜圖見圖2、圖3、圖4圖2PDD分析標(biāo)氣SiF4中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO譜圖圖3PDD分析標(biāo)氣SiF4中SO2譜圖圖4PDD分析標(biāo)氣SiF4中CO2、H2S譜圖三、重復(fù)性計(jì)算公式1、重復(fù)性實(shí)驗(yàn)重復(fù)性以組分的保留時(shí)間、峰高和峰面積測(cè)量的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD表示，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差RSD依下式計(jì)算：式中：RSD——相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差（%）；n——測(cè)量次數(shù)；xi——第i次測(cè)量的保留時(shí)間、峰高或峰面積；x——n次進(jìn)樣的保留時(shí)間、峰高或峰面積算術(shù)平均值；i——進(jìn)樣序號(hào)圖5PDD分析標(biāo)氣SiF4中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO重復(fù)性譜圖圖6PDD分析標(biāo)氣SiF4中SO2重復(fù)性譜圖圖7PDD分析標(biāo)氣SiF4中CO2、H2S重復(fù)性譜圖注：A表示峰面積，單位微伏*秒；H表示峰高，單位微伏；Rt表示保留時(shí)間，單位秒；由表5及3.1中各譜圖可知，各個(gè)組分RSD都在3%以下，重復(fù)性較好。2、檢出限實(shí)驗(yàn)最小檢出濃度公式：Cmin=2Nc/H各參數(shù)意義：Cmin——最小檢出濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）c——組分濃度，10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）PDD噪聲10μV最小檢出濃度經(jīng)過(guò)計(jì)算得出：表3：各雜質(zhì)組分最小檢出濃度組分平均峰高標(biāo)氣濃度（摩爾分?jǐn)?shù)）最小檢出濃度（摩爾分?jǐn)?shù)）H2230055.330×10-64.6×10-9O2/Ar1035369.604×10-61.8×10-9N2342675.825×10-63.4×10-9CO2746134.992×10-61.3×10-9CH4316945.011×10-63.1×10-9CO94995.249×10-611.0×10-9SO210078999.018×10-619.6×10-9H2S1250459.872×10-61.5×10-93、樣品測(cè)試圖8PDD分析標(biāo)氣SiF4中H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、H2S樣品譜圖圖9PDD分析標(biāo)氣SiF4中CO2、H2S樣品譜圖表4：樣品檢測(cè)濃度組分H2Ar+O2N2CH4COCO2H2SSO2含量/×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）0.672.885.40.05未檢出0.5未檢出未檢出4、結(jié)論本方法對(duì)各組分標(biāo)氣分析3次分析RSD小于3%。此方法在檢測(cè)中組分最小檢出濃度在50×10-9（摩爾分?jǐn)?shù)）以下，分析方法對(duì)分析SiF4中各雜質(zhì)組分符合需求。四氟化硅中氟化氫含量的測(cè)定1傅里葉紅外光譜儀及測(cè)試條件1.1儀器型號(hào)：美國(guó)PEfrontier1.2環(huán)境溫濕度：溫度：15-30°,濕度：30%-70%1.3氣體池及測(cè)試溫度：20米、100°1.4進(jìn)樣流量：1.5L/min1.5檢測(cè)器：LN2冷卻MCT1.6分辨率：0.5cm-1——16cm-11.7窗片：ZnSe2譜圖2.1傅里葉紅外HF:5×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）/N2標(biāo)氣譜圖-圖1圖1傅里葉紅外HF:5ppm/N2標(biāo)氣譜圖2.2傅里葉紅外氟硅醚：50×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）/N2標(biāo)氣譜圖-圖2圖2傅里葉紅外氟硅醚的標(biāo)氣譜圖2.3傅里葉紅外四氟化硅樣品氣譜圖-圖3圖3傅里葉紅外四氟化硅樣品譜圖表1檢測(cè)項(xiàng)目測(cè)試位置項(xiàng)目開始點(diǎn)波數(shù)cm-1終點(diǎn)波數(shù)cm-1peakHF404340344039.48508298382.4紅外20米氣體池檢出限表2檢測(cè)項(xiàng)目檢出限項(xiàng)目組分含量×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）檢出限×10-6（摩爾分?jǐn)?shù)）HF5四氟化硅中金屬元素含量的測(cè)定1.原理按GB/T34972的規(guī)定，氣體中金屬元素通過(guò)洗氣瓶中的吸收液進(jìn)行吸收和富集，吸收液通過(guò)適當(dāng)方式處理后進(jìn)樣。處理后的樣品由載氣引入霧化系統(tǒng)物化，以氣溶膠形式進(jìn)入等離子體中心區(qū)，在高溫和惰性氣氛中被去溶劑化、汽化解離和電離，轉(zhuǎn)化成帶正電荷的正離子，經(jīng)離子采集系統(tǒng)進(jìn)入質(zhì)譜儀，質(zhì)譜儀根據(jù)質(zhì)荷比進(jìn)行分離，根據(jù)元素質(zhì)譜峰強(qiáng)度測(cè)定樣品中相應(yīng)元素的含量。2儀器2.1儀器名稱：電感耦合等離子體質(zhì)譜儀2.2儀器參數(shù)儀器型號(hào)ICP-MS8900RF功率1200w進(jìn)樣系統(tǒng)PFA抗氫氟酸霧化室和霧化器霧化氣流量