ESD防靜電管理規(guī)范

ESD防靜電管理規(guī)范

1.目的為了避免靜電釋放對(duì)電子產(chǎn)品制造過(guò)程中的元器件造成不良影響，如短路、電阻漂移、開(kāi)路、工作性能退化等現(xiàn)象，特制定《電子產(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求》以確保產(chǎn)品品質(zhì)、可靠性和降低不良率、工時(shí)成本和維修費(fèi)用。同時(shí)，通過(guò)提高員工對(duì)ESD的認(rèn)識(shí)，加強(qiáng)員工自覺(jué)防止ESD現(xiàn)象之觀念，促進(jìn)生產(chǎn)管理水平之提高。2.適用范圍本規(guī)范適用于所有生產(chǎn)制程和電子元器件的采購(gòu)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、檢測(cè)過(guò)程中的靜電防護(hù)。3.引用標(biāo)準(zhǔn)本規(guī)范引用以下標(biāo)準(zhǔn)：SJ/T-1996《電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法》GB/T-1995《靜電安全名詞術(shù)語(yǔ)》GJB3007-97《防靜電工作區(qū)技術(shù)要求》GJB1649-93《電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱》GB-89《防靜電工作服》SJ/T-94《電子設(shè)備制造防靜電技術(shù)要求》SJ/T-1995《電子元器件制造防靜電技術(shù)要求》ANSI/ESDSTM3.1-2000《靜電放電敏感產(chǎn)品防護(hù)用標(biāo)準(zhǔn)：離子發(fā)生器》ANSI/ESDS20.20-1999《建立一個(gè)靜電放電控制方案—保護(hù)電氣和電子零件，裝置和設(shè)備》4.名詞術(shù)語(yǔ)4.1靜電：一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)可以忽略不計(jì)，靜電可由物質(zhì)的接觸與分離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極化和帶電微粒的附著等物理過(guò)程而產(chǎn)生。4.2ESD：ElectronicStaticDischarge，原意是指靜電釋放，即通過(guò)帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起的靜電電荷在不同電勢(shì)物體上的轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護(hù)，即避免靜電釋放的發(fā)生。4.3靜電感應(yīng)：當(dāng)帶電物體靠近某一介質(zhì)時(shí)，在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷，并形成感應(yīng)電場(chǎng)。4.4ESDS：ElectronicStaticDischargeSensitive，靜電放電敏感（的），通常用來(lái)指靜電敏感元器件。4.5防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場(chǎng)地。4.6靜電敏感度是指元器件所能承受的靜電放電電壓值。4.7表面電阻/點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻是指在與材料的同一側(cè)面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì)于流過(guò)的電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來(lái)表示。4.8體積電阻/對(duì)地電阻/系統(tǒng)電阻是指在與材料的相對(duì)兩面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì)于流過(guò)的電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來(lái)表示。4.9摩擦起電是指當(dāng)使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時(shí)，產(chǎn)生靜電荷。4.10摩擦電壓是指物體被摩擦后，表面所帶靜電荷的電壓。4.11ESD損傷是指由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效。4.12消電時(shí)間（DecayTime）是指一個(gè)靜電壓從其初始值降低到一個(gè)給定值（通常是初始值的10%）所需要的時(shí)間。需要注意的是，國(guó)際慣例對(duì)于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測(cè)量，大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓測(cè)量，以防止靜電問(wèn)題。5.1防靜電工作區(qū)的劃分根據(jù)GJB1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的元器件/組件和設(shè)備的分級(jí)。靜電放電敏感產(chǎn)品按敏感度電壓被分為三個(gè)級(jí)別：I級(jí)、II級(jí)和III級(jí)。根據(jù)該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，ESD控制大綱一般只包含對(duì)I和II級(jí)敏感產(chǎn)品的防護(hù)?，F(xiàn)根據(jù)元器件靜電敏感度和生產(chǎn)線實(shí)際情況，將直接操作的半成品、成品生產(chǎn)線定為I級(jí)，而僅僅是器件的存儲(chǔ)和運(yùn)輸則不需要嚴(yán)格的防靜電措施，將這些區(qū)域或車間定為II級(jí)。根據(jù)上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級(jí)別為I級(jí)和II級(jí)，對(duì)應(yīng)的區(qū)域包括固焊車間、灌膠車間、模壓車間、外觀、分光、包裝等以及成品包裝區(qū)域、貨倉(cāng)區(qū)域、生產(chǎn)倉(cāng)、收料倉(cāng)等。5.1.2公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線圍起的區(qū)域或門口掛有靜電標(biāo)示牌的車間為防靜電工作區(qū)。5.1.3元器件敏感度分級(jí)由QC1ESD工程師按后附錄1——《ESDS元器件分類》酌情分級(jí)，并確定。5.2防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求包括保持潔凈，避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生。5.2.2根據(jù)車間的實(shí)際情況，車間內(nèi)溫濕度的控制如下：萬(wàn)級(jí)潔凈室：溫度為21±2℃，濕度為%~%。10萬(wàn)級(jí)潔凈室：溫度為21±2℃，濕度為%~%。普通車間：溫度為23±3℃，濕度為%~%。在不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響的前提下，可以使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。5.2.6建議使用防靜電材料制品來(lái)制作天花板和墻壁，一般情況下可以使用石膏制品或石灰涂料，但禁止使用普通塑料制品。5.3防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)5.3.1應(yīng)該有獨(dú)立可靠的接地裝置，接地電阻一般應(yīng)小于10歐姆。為了保證人員安全，在直接接觸人員的地方應(yīng)該加裝1兆歐姆限流電阻。以下是接地線的要求：接地線：不小于100mm的銅制導(dǎo)線接地總線：不小于6mm的銅制導(dǎo)線接地支干線：不小于1.25mm的多股或單股的銅制絕緣套導(dǎo)線設(shè)備和工作臺(tái)的接地線：不小于2mm的截面積，小于10歐姆或地線可以作為ESD地線，但電源地線和零線不能搭接。ESD地線應(yīng)用綠色絕緣套標(biāo)識(shí)。臺(tái)墊等物品的接地配件應(yīng)按照來(lái)料的顏色使用。5.3.2廠房接地總線的接地電阻應(yīng)小于10歐姆，由行政部門負(fù)責(zé)定期檢查，周期為一個(gè)月一次。并填寫《廠房接地電阻測(cè)試記錄表》。5.3.3設(shè)備和工作臺(tái)的接地線的接地狀況由PE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫《工作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試記錄表》。5.3.4測(cè)試臺(tái)的防靜電設(shè)備和工器具的接地由TE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫《工作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試記錄表》。5.4防靜電區(qū)域設(shè)備及輔料要求如下：I級(jí)區(qū)域：防靜電安全工作臺(tái)、防靜電、運(yùn)輸工具（料盒、料箱、運(yùn)輸車）、防靜電腕帶、防靜電工衣（帽）、防靜電工鞋、防靜電測(cè)試架。II級(jí)區(qū)域：離子風(fēng)機(jī)（離子棒/離子風(fēng)槍）（根據(jù)工序而定）、防靜電烙鐵（如果需要使用烙鐵）。5.5防靜電工作區(qū)的ESD技術(shù)要求5.5.1防靜電地板防靜電地板應(yīng)定期清潔，使用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品。嚴(yán)禁使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或能溶解PVC材料的化學(xué)溶劑進(jìn)行清洗。對(duì)于更嚴(yán)重的污漬，可使用異丙烯基乙醇進(jìn)行清潔。在地板表面擦劃、拖拉重物時(shí)，應(yīng)避免使用帶有尖刺、粗糙的物品。禁止將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上情況，應(yīng)立即清潔。地板蠟的電阻應(yīng)小于1E9歐姆，應(yīng)定期涂敷、養(yǎng)護(hù)，一般6個(gè)月一次。地板安裝時(shí)應(yīng)滿足的ESD技術(shù)指標(biāo)包括：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范圍以內(nèi)。生產(chǎn)部應(yīng)及時(shí)向行政部要求對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟維護(hù)，行政部做好地板打蠟后應(yīng)及時(shí)通知QC1部ESD工程師。對(duì)于K4潔凈室的地板，經(jīng)IE評(píng)估且經(jīng)過(guò)ESD工程師的認(rèn)可，可以不做地板打蠟。QC1部ESD工程師應(yīng)在行政部對(duì)防靜電地板打蠟后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試，測(cè)試方法見(jiàn)附錄2，并填寫《防靜電地板電阻測(cè)試記錄表》。5.5.2防靜電安全工作臺(tái)（含測(cè)試臺(tái)）各區(qū)域的防靜電安全工作臺(tái)由負(fù)責(zé)該區(qū)域的PE或TE確定范圍，例如：回流焊后的檢查臺(tái)、QC1檢查臺(tái)、修理臺(tái)和測(cè)試臺(tái)等。防靜電安全工作臺(tái)的基本要求包括配備腕帶接頭、ESD地線、離子風(fēng)機(jī)（可選）、防靜電工具（可選）和防靜電測(cè)試架。工作臺(tái)表面不應(yīng)鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，但特殊情況下可以沒(méi)有臺(tái)墊，但需經(jīng)ESD工程師認(rèn)可。工作臺(tái)上不應(yīng)放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、泡沫等容易產(chǎn)生靜電的雜物。距離ESDS元器件30厘米以內(nèi)有摩擦電壓高于200V的物件應(yīng)禁止放置在防靜電安全工作臺(tái)上。5.5.3防靜電材料在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜電要求的物料時(shí)，必須得到QC1ESD工程師的評(píng)估和認(rèn)可。5.5.4防靜電包裝防靜電包裝應(yīng)符合ESD技術(shù)指標(biāo)，包括表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E4~1E9歐姆范圍以內(nèi)。禁止使用不符合防靜電要求的包裝材料。5.5.5防靜電標(biāo)識(shí)防靜電區(qū)應(yīng)設(shè)置防靜電標(biāo)識(shí)，標(biāo)識(shí)應(yīng)清晰易懂，以提醒人員注意防靜電措施。防靜電臺(tái)椅子應(yīng)符合ESD技術(shù)指標(biāo)，即表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。防靜電膠簾的表面電阻應(yīng)在1E4~1E11歐姆內(nèi)。為確保工作區(qū)域內(nèi)的防靜電臺(tái)墊和防靜電工椅符合標(biāo)準(zhǔn)，PE需要每6個(gè)月進(jìn)行電阻測(cè)試并填寫相應(yīng)的測(cè)試記錄表。如果發(fā)現(xiàn)不合格的情況，需要及時(shí)更換。防靜電輔料和工具也需要符合ESD技術(shù)指標(biāo)，例如防靜電溶劑瓶的系統(tǒng)電阻應(yīng)在1E4~1E11歐姆范圍內(nèi)，防靜電文件袋的表面電阻也應(yīng)在1E4~1E11歐姆范圍內(nèi)。PE需要每6個(gè)月進(jìn)行防靜電輔料的電阻測(cè)試，并填寫相應(yīng)的測(cè)試記錄表。防靜電包括ESDS原料包裝袋、裝板的料盒和其他儲(chǔ)存ESDS的。這些的表面電阻和系統(tǒng)電阻也需要符合ESD技術(shù)指標(biāo)，即表面電阻在1E4~1E11歐姆范圍內(nèi)，系統(tǒng)電阻在1E4~1E10歐姆范圍內(nèi)。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電接觸，則允許防靜電的電阻小于1E4歐姆。PE需要每6個(gè)月進(jìn)行防靜電的表面電阻和體積電阻測(cè)試，并填寫相應(yīng)的測(cè)試記錄表。測(cè)試結(jié)果需要保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的上做標(biāo)記。QC2也需要對(duì)來(lái)料的包裝袋和進(jìn)行測(cè)試，并填寫相應(yīng)的測(cè)試記錄表。防靜電運(yùn)輸工具和存放架等也需要符合ESD技術(shù)指標(biāo)，例如防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料制作，并經(jīng)常固定時(shí)要求硬接地，其對(duì)地電阻應(yīng)小于10歐姆。PE需要每6個(gè)月進(jìn)行防靜電運(yùn)輸工具和存放架的電阻測(cè)試，并填寫相應(yīng)的測(cè)試記錄表。測(cè)試結(jié)果需要符合ESD技術(shù)指標(biāo)，即表面電阻和對(duì)地電阻小于1E9歐姆。緊貼皮膚，不得穿過(guò)衣物，且應(yīng)每天檢查一次，確保接觸線和腕帶沒(méi)有損壞或斷開(kāi)。6.1.3防靜電腕帶應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.1.4防靜電腕帶的使用壽命為6個(gè)月，超過(guò)壽命后必須更換。6.1.5在進(jìn)行高風(fēng)險(xiǎn)的ESD操作時(shí)，應(yīng)佩戴雙腕帶以提高防護(hù)效果。6.2防靜電鞋6.2.1直接接觸ESDS的任何人員都應(yīng)穿戴防靜電鞋，鞋底電阻應(yīng)在1E6~1E8歐姆內(nèi)。6.2.2防靜電鞋應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.2.3防靜電鞋的使用壽命為1年，超過(guò)壽命后必須更換。6.3防靜電衣服6.3.1在需要進(jìn)行高風(fēng)險(xiǎn)的ESD操作時(shí)，應(yīng)穿戴防靜電衣服。6.3.2防靜電衣服應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，表面電阻應(yīng)在1E6~1E9歐姆內(nèi)。6.3.3防靜電衣服應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.3.4防靜電衣服的使用壽命為1年，超過(guò)壽命后必須更換。6.4防靜電手套6.4.1在需要進(jìn)行高風(fēng)險(xiǎn)的ESD操作時(shí)，應(yīng)穿戴防靜電手套。6.4.2防靜電手套應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，表面電阻應(yīng)在1E6~1E9歐姆內(nèi)。6.4.3防靜電手套應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.4.4防靜電手套的使用壽命為6個(gè)月，超過(guò)壽命后必須更換。6.5防靜電椅墊6.5.1在需要進(jìn)行高風(fēng)險(xiǎn)的ESD操作時(shí)，應(yīng)使用防靜電椅墊。6.5.2防靜電椅墊應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，表面電阻應(yīng)在1E6~1E9歐姆內(nèi)。6.5.3防靜電椅墊應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.5.4防靜電椅墊的使用壽命為1年，超過(guò)壽命后必須更換。6.6防靜電地板6.6.1在需要進(jìn)行高風(fēng)險(xiǎn)的ESD操作時(shí)，應(yīng)使用防靜電地板。6.6.2防靜電地板應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，表面電阻應(yīng)在1E6~1E9歐姆內(nèi)。6.6.3防靜電地板應(yīng)與接地線連接，接地線應(yīng)連接到接地裝置上，并定期檢查接地裝置是否正常工作。6.6.4防靜電地板的使用壽命為5年，超過(guò)壽命后必須更換。6.1防靜電腕帶防靜電腕帶應(yīng)具備導(dǎo)電性，表面電阻應(yīng)小于1E3歐姆。同時(shí)，應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸，系統(tǒng)電阻應(yīng)小于35兆歐姆，并使用鱷魚夾或插頭座可靠連接在ESD線上。每天應(yīng)測(cè)量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻，填寫《靜電帶檢查記錄表》。若不合格，應(yīng)交由修理檢修，不能修復(fù)時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。6.2防靜電鞋/防靜電鞋套所有進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在1E5~3.5E7歐姆范圍內(nèi)。每天應(yīng)測(cè)量防靜電鞋/鞋套的系統(tǒng)電阻，填寫《防靜電鞋/鞋套檢查記錄表》。若不合格，應(yīng)及時(shí)更換。6.3防靜電工作服防靜電工作服包括防靜電連體衣、防靜電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽。防靜電工作服要求使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造要求應(yīng)符合GB之規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊，全部紐扣（拉鏈）要系好（拉完全），頭發(fā)必須包在工帽內(nèi)，不能有外露。不同使用人員之防靜電工作服按顏色區(qū)分，詳見(jiàn)表格。6.4防靜電手套/指套防靜電手套/指套由消散性材料制成，人體穿戴對(duì)地電阻在1E5~1E11歐姆范圍，摩擦電壓小于50V。6.5人體綜合接地測(cè)試系統(tǒng)要求手腕帶-人體電阻在7.5E5歐姆至3.5E7歐姆范圍內(nèi)，工鞋-人體電阻在1E5歐姆至3.5E7歐姆范圍內(nèi)。測(cè)試時(shí)，綠燈表示電阻在范圍以內(nèi)，紅燈表示電阻不在范圍以內(nèi)。每個(gè)進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員都需要進(jìn)行人體綜合接地效果測(cè)試。如果測(cè)試結(jié)果顯示亮紅燈，說(shuō)明測(cè)試失敗，需要更換工鞋/鞋套或手腕帶重新測(cè)試，并通知相關(guān)人員。6.6人員防靜電一般要求：6.6.1要求進(jìn)入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質(zhì)衣物，避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)導(dǎo)致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。6.6.2在防靜電工作區(qū)內(nèi)，不得大聲喧嘩，坐立姿勢(shì)端正，避免不必要的走動(dòng)和大幅度身體運(yùn)動(dòng)，如彎腰、晃動(dòng)手臂等。如果必須走動(dòng)，應(yīng)緩步行走，禁止奔跑。6.6.3在接觸靜電敏感器件及組件之前，應(yīng)戴好防靜電腕帶，并將其接入防靜電地線系統(tǒng)。要保證腕帶與皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂抹護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。6.6.4手持靜電敏感器件及組件時(shí)，應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電（金屬管腳）部分。操作過(guò)程中，應(yīng)盡量減少對(duì)靜電敏感器件及組件的接觸次數(shù)。如果需要取用，不得一次倒出一堆散亂地放在工作臺(tái)面上，確需暫時(shí)疊放時(shí)必須用防靜電材料隔離開(kāi)。6.6.5外來(lái)人員參觀時(shí)，必須有本公司人員全程陪同，按參觀路線行進(jìn)，不得隨意走動(dòng)，更不得進(jìn)入機(jī)器外圍的斑馬線地標(biāo)，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。7職責(zé)：7.1生產(chǎn)經(jīng)理、課長(zhǎng)、組長(zhǎng)等管理人員的職責(zé)包括：7.1.1負(fù)責(zé)做好物料、作業(yè)員、及其他進(jìn)出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理，確保其按ESD要求正確著裝。7.1.2確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)的人員正確使用ESD設(shè)備，包括防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工鞋、防靜電腕帶、防靜電臺(tái)墊、離子風(fēng)機(jī)、ESD料盒和ESD地板等。7.1.3確保無(wú)關(guān)人員不接觸產(chǎn)品，不對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放。7.1.4對(duì)懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品，需要保存樣品并報(bào)告給相應(yīng)的部門進(jìn)行失效分析。7.1.5定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質(zhì)。如果有品質(zhì)異常，及時(shí)向采購(gòu)部提出采購(gòu)申請(qǐng)更換。7.1.6每天檢查ESD設(shè)備、臺(tái)墊等的接地狀況（目視），確保接地線正確地連接到ESD總線上。7.1.7每六個(gè)月要求服務(wù)組對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟。7.2ESD工程師/技術(shù)員的職責(zé)包括：7.2.1統(tǒng)籌全廠的ESD控制，定期對(duì)生產(chǎn)線的靜電防護(hù)水平做出評(píng)估，并給出改善意見(jiàn)，提高其靜電防護(hù)水平。7.2.2負(fù)責(zé)尋找新的防靜電用品的供應(yīng)商，評(píng)估新購(gòu)的防靜電用品的性能。7.2.3協(xié)助XXX進(jìn)行ESD培訓(xùn)。7.2.4監(jiān)督各部門的ESD管理情況，及時(shí)反饋ESD狀況；7.2.5對(duì)生產(chǎn)線上受靜電損傷的樣品進(jìn)行失效分析，解決工序中的ESD問(wèn)題；7.2.6定期檢查除靜電離子發(fā)生器外的設(shè)備性能，確保其正常工作；7.2.7負(fù)責(zé)對(duì)打蠟后的地板進(jìn)行測(cè)量；7.2.8責(zé)成行政部保證車間內(nèi)的相對(duì)空氣濕度在規(guī)定范圍內(nèi)；7.2.9定期檢查ESD總線的接地狀況，確保其良好；7.2.10定期使用專用的防靜電地板蠟水對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟，打完蠟后進(jìn)行電阻測(cè)試。7.3XXX的職責(zé)包括：7.3.1對(duì)XXX的員工進(jìn)行初步的防靜電知識(shí)培訓(xùn)；7.3.2定期對(duì)員工進(jìn)行防靜電知識(shí)培訓(xùn)，并進(jìn)行培訓(xùn)審核。7.4開(kāi)發(fā)部的職責(zé)包括：7.4.1在設(shè)計(jì)新產(chǎn)品時(shí)應(yīng)考慮器件的靜電敏感度，盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件；7.4.2在新產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計(jì)中，以保護(hù)產(chǎn)品內(nèi)的靜電敏感元件；7.4.3要求供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度的級(jí)別，包括人體模型(HBM)、機(jī)器模型(MM)和帶電器件模型(CDM)；7.4.4提供SEF（包括防靜電指標(biāo)、partnumber等）給QC部，供QC部抽測(cè)來(lái)料。7.5品質(zhì)部的職責(zé)包括：7.5.1確定ESDS敏感級(jí)別，對(duì)成品進(jìn)行靜電放電模擬測(cè)試，確認(rèn)靜電敏感度；7.5.2根據(jù)SEF負(fù)責(zé)抽測(cè)、監(jiān)控靜電敏感器件來(lái)料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質(zhì)，如發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時(shí)反饋信息給ESD工程師或相應(yīng)的部門。7.6設(shè)備工程師/技術(shù)員的職責(zé)包括：7.6.1定期檢查防靜電設(shè)備，確保其可以正常使用，包括防靜電臺(tái)墊、地墊、防靜電、運(yùn)輸工具和其他輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試等；7.6.2定期檢查臺(tái)墊和機(jī)器的接地狀況，確保接地良好。7.7貨倉(cāng)的職責(zé)包括：7.7.1負(fù)責(zé)貨倉(cāng)防靜電措施的維護(hù)和管理；7.7.2定期通知ESD工程師進(jìn)行檢測(cè)使用中的防靜電用具。8培訓(xùn)8.1所有可能接觸或接近ESDS的人員必須接受相關(guān)的ESD知識(shí)培訓(xùn)，并加以教育與訓(xùn)練，使之樹(shù)立有效的ESD防護(hù)觀念。培訓(xùn)有效期為一年。XXX應(yīng)填寫《員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)考核記錄表》。8.2防靜電培訓(xùn)的內(nèi)容包括：8.2.1靜電學(xué)基礎(chǔ)和靜電損害；8.2.2靜電性能測(cè)試；8.2.3防靜電的標(biāo)識(shí)與包裝；8.2.4防靜電控制。8.2.5防靜電設(shè)備的使用和檢測(cè)在相關(guān)人員使用防靜電設(shè)備時(shí)，需要遵守相應(yīng)的操作規(guī)程，并進(jìn)行定期檢測(cè)，以確保其有效性和可靠性。9.采購(gòu)所有防靜電用品的采購(gòu)均需按照附錄16的防靜電制品采購(gòu)流程圖執(zhí)行，以確保采購(gòu)的產(chǎn)品符合相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)和要求。10.記錄為了確保防靜電設(shè)備和用品的有效性和可靠性，需要定期進(jìn)行相關(guān)記錄。具體的記錄名稱、責(zé)任部門、測(cè)量周期和保存期限如下表所示：序號(hào)。記錄名稱。責(zé)任部門。測(cè)量周期。保存期限1.防靜電地板電阻測(cè)試記錄表。設(shè)備部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月2.防靜電臺(tái)墊電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月3.靜電帶檢查記錄表。生產(chǎn)部。每天。1個(gè)月4.防靜電包裝袋電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。每一批抽測(cè)。6個(gè)月5.防靜電周轉(zhuǎn)電阻測(cè)試紀(jì)錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月6.除靜電離子發(fā)生器測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月7.防靜電手套指套電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。每一批抽測(cè)。6個(gè)月8.防靜電運(yùn)輸工具存放架電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月9.防靜電工衣表面電阻測(cè)試記錄表。生產(chǎn)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月10.員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)考核紀(jì)錄表。人力資源部。一年。一年11.防靜電輔料電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。每天。6個(gè)月12.防靜電鞋鞋套測(cè)試記錄表。生產(chǎn)部。1個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月13.廠房接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表。設(shè)備部。3個(gè)月抽測(cè)。一年14.工作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。6個(gè)月15.防靜電椅子電阻測(cè)試記錄表。品質(zhì)部。6個(gè)月抽測(cè)。1個(gè)月附錄AESDS元器件分類I級(jí)：0V~1999V序號(hào)。元器件類別1.微波器件2.分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管3.表面聲波（SAW）器件4.結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管5.電荷耦合器件6.精密穩(wěn)壓二極管7.運(yùn)算放大器8.超高速集成電路9.其他集成電路10.薄膜電阻器11.混合電路12.可控硅II級(jí)：2000V~3999V序號(hào)。元器件類別1.分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管2.結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管3.運(yùn)算放大器4.超高速集成電路5.其他集成電路6.精密電阻網(wǎng)絡(luò)7.混合電路（包括CMOS、PMOS、NMOS、TTL等）8.使用II級(jí)靜電敏感元器件組裝的混合電路（包括ECL、HCMOS、FAST等工藝）9.包括雙極工藝和MOS工藝10.使用I級(jí)靜電敏感元器件組裝的混合電路III級(jí)：4000V~V序號(hào)。元器件類別1.包括VWOS及VDMOS等等條件及說(shuō)明：T=100℃TO≤0.175A樣品，并且每個(gè)樣品至少測(cè)量三次。測(cè)試記錄應(yīng)包括平衡電壓和消電時(shí)間。對(duì)于定期檢測(cè)，只需要測(cè)量三個(gè)風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時(shí)間。2.表面電阻測(cè)試方法如下：在表面放置兩個(gè)測(cè)試電極，如圖所示。體積（對(duì)地）電阻測(cè)試方法如下：一個(gè)電極放置在金屬面上，另一個(gè)電極放置在椅子上。在生產(chǎn)線進(jìn)行定期檢測(cè)時(shí)，可以直接將一個(gè)電極放在防靜電地板上，另一個(gè)電極放置在椅子上。使用SimcoFMX002靜電壓表去測(cè)量物體表面的靜電壓，要注意以下幾點(diǎn)：儀表的紅外燈指示器要兩個(gè)重合，才算對(duì)焦，此時(shí)儀表距離被測(cè)物大約2.5厘米。靜電壓表在使用的過(guò)程中需要接地。否則讀數(shù)不準(zhǔn)確。靜電壓表的讀數(shù)的單位為KV。3.對(duì)于懸掛式離子風(fēng)機(jī)的測(cè)試方法，應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)的平衡電壓和消電時(shí)間。對(duì)于定期測(cè)量，只需測(cè)量三個(gè)風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時(shí)間。對(duì)于新引入的懸掛式離子風(fēng)機(jī)，應(yīng)按照表格中的要求進(jìn)行測(cè)試。每個(gè)點(diǎn)應(yīng)測(cè)量不少于三次，并記錄平衡電壓的最大值和消電時(shí)間的最大值。4.對(duì)于臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)的測(cè)試方法，應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)樣品，并且每個(gè)樣品至少測(cè)量三次。測(cè)試記錄應(yīng)包括平衡電壓和消電時(shí)間。對(duì)于定期檢測(cè)，只需要測(cè)量三個(gè)風(fēng)扇口正下