硅材料制備技術(shù)基礎(chǔ)知識單選題100道及答案_第1頁
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文檔簡介

硅材料制備技術(shù)基礎(chǔ)知識單選題100道及答案1.硅在自然界中主要以什么形式存在?A.單質(zhì)硅B.二氧化硅C.硅酸鈉D.硅酸答案:B2.以下哪種方法不是常用的制備高純硅的方法?A.區(qū)熔精煉法B.化學(xué)氣相沉積法C.電解法D.直拉法答案:C3.單晶硅的制備過程中,常用的籽晶材料是?A.多晶硅B.高純硅C.單晶硅D.石英答案:C4.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,常用的硅源氣體是?A.SiH4B.SiCl4C.SiF4D.以上都是答案:D5.硅材料中雜質(zhì)的存在會影響其?A.導(dǎo)電性B.硬度C.顏色D.密度答案:A6.區(qū)熔精煉法主要是利用了雜質(zhì)在?A.固相和液相中的溶解度差異B.不同溫度下的揮發(fā)性差異C.不同相中的擴(kuò)散速度差異D.不同相中的化學(xué)活性差異答案:A7.直拉法制備單晶硅時,晶體的生長方向主要由什么決定?A.坩堝的形狀B.籽晶的方向C.加熱功率D.熔體的溫度答案:B8.硅材料在半導(dǎo)體器件中主要利用的是其?A.光學(xué)性質(zhì)B.力學(xué)性質(zhì)C.電學(xué)性質(zhì)D.熱學(xué)性質(zhì)答案:C9.以下哪種雜質(zhì)在硅材料中是施主雜質(zhì)?A.硼B(yǎng).磷C.鋁D.鎵答案:B10.硅材料的禁帶寬度大約是?A.0.5eVB.1.12eVC.2.0eVD.3.0eV答案:B11.硅材料的晶體結(jié)構(gòu)屬于?A.簡單立方結(jié)構(gòu)B.體心立方結(jié)構(gòu)C.面心立方結(jié)構(gòu)D.金剛石結(jié)構(gòu)答案:D12.制備硅材料時,對原材料純度的要求通常是?A.90%以上B.95%以上C.99%以上D.99.9999%以上答案:D13.硅材料在集成電路中的主要作用是?A.絕緣B.導(dǎo)電C.作為襯底和有源區(qū)D.散熱答案:C14.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料的優(yōu)點不包括?A.可以精確控制薄膜的成分和厚度B.沉積溫度低C.可以大面積均勻沉積D.設(shè)備簡單答案:D15.單晶硅的生長過程中,需要控制的關(guān)鍵參數(shù)不包括?A.溫度B.壓力C.光照強(qiáng)度D.拉速答案:C16.硅材料的熱導(dǎo)率隨溫度的升高?A.升高B.降低C.不變D.先升高后降低答案:B17.以下哪種方法可以用于檢測硅材料中的雜質(zhì)?A.X射線衍射法B.拉曼光譜法C.二次離子質(zhì)譜法D.掃描電子顯微鏡法答案:C18.硅材料的電阻率與雜質(zhì)濃度的關(guān)系是?A.雜質(zhì)濃度越高,電阻率越高B.雜質(zhì)濃度越高,電阻率越低C.雜質(zhì)濃度與電阻率無關(guān)D.雜質(zhì)濃度在一定范圍內(nèi)與電阻率成正比答案:B19.多晶硅的制備方法中,西門子法的主要原料是?A.石英砂B.三氯氫硅C.四氯化硅D.硅烷答案:B20.硅材料在光伏電池中的作用是?A.吸收光能并產(chǎn)生電子-空穴對B.作為電極C.作為封裝材料D.反射光線答案:A21.單晶硅的制備過程中,縮頸的目的是?A.排除雜質(zhì)B.控制晶體直徑C.提高晶體質(zhì)量D.便于籽晶的引入答案:A22.硅材料的化學(xué)性質(zhì)比較?A.活潑B.不活潑C.介于活潑與不活潑之間D.隨溫度變化而變化答案:B23.以下哪種物質(zhì)可以與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)?A.氧氣B.氮氣C.氦氣D.氬氣答案:A24.硅材料在高溫下與氧氣反應(yīng)生成?A.一氧化硅B.二氧化硅C.三氧化硅D.四氧化硅答案:B25.硅材料的制備過程中,需要進(jìn)行嚴(yán)格的?A.濕度控制B.光照控制C.磁場控制D.噪聲控制答案:A26.單晶硅的晶向?qū)ζ潆妼W(xué)性能有?A.很大影響B(tài).較小影響C.沒有影響D.影響不確定答案:A27.硅材料的硬度與?A.晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)B.雜質(zhì)濃度有關(guān)C.溫度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D28.化學(xué)氣相沉積法制備硅薄膜時,沉積速率主要取決于?A.氣體流量B.溫度C.壓力D.以上都是答案:D29.硅材料在電子器件中能夠承受的最高溫度一般是?A.100℃B.200℃C.500℃D.1000℃答案:C30.以下哪種方法可以改善硅材料的晶體質(zhì)量?A.快速冷卻B.緩慢冷卻C.反復(fù)加熱D.增加雜質(zhì)濃度答案:B31.硅材料的光學(xué)吸收系數(shù)與?A.波長有關(guān)B.溫度有關(guān)C.雜質(zhì)濃度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D32.單晶硅的制備過程中,放肩的目的是?A.擴(kuò)大晶體直徑B.減小晶體直徑C.提高晶體純度D.降低晶體缺陷答案:A33.硅材料的介電常數(shù)大約是?A.3.9B.10C.20D.50答案:A34.硅材料在集成電路制造中,常用的摻雜方法不包括?A.擴(kuò)散摻雜B.離子注入摻雜C.化學(xué)摻雜D.熱摻雜答案:D35.以下哪種雜質(zhì)在硅材料中是受主雜質(zhì)?A.砷B.銻C.硼D.磷答案:C36.硅材料的少數(shù)載流子壽命與?A.雜質(zhì)濃度有關(guān)B.晶體缺陷有關(guān)C.溫度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D37.多晶硅的提純過程中,常用的物理方法是?A.蒸餾法B.萃取法C.吸附法D.浮選法答案:A38.硅材料的能帶結(jié)構(gòu)屬于?A.直接帶隙B.間接帶隙C.半直接帶隙D.無帶隙答案:B39.單晶硅的生長過程中,等徑生長階段的關(guān)鍵是?A.保持穩(wěn)定的溫度和拉速B.增加加熱功率C.減小拉速D.更換籽晶答案:A40.硅材料在太陽能電池中的效率主要取決于?A.硅材料的純度B.電池結(jié)構(gòu)C.光照強(qiáng)度D.以上都是答案:D41.硅材料在高溫下與氫氣反應(yīng)生成?A.硅烷B.氫化硅C.二氧化硅D.不反應(yīng)答案:A42.以下哪種設(shè)備常用于單晶硅的制備?A.電弧爐B.單晶爐C.多晶爐D.反應(yīng)釜答案:B43.硅材料的載流子遷移率與?A.雜質(zhì)濃度有關(guān)B.溫度有關(guān)C.晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D44.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,反應(yīng)室的壓力一般是?A.常壓B.低壓C.高壓D.超高壓答案:B45.硅材料的制備過程中,對環(huán)境的要求主要是?A.潔凈度高B.濕度大C.溫度高D.有磁場答案:A46.單晶硅的晶面指數(shù)常用的表示方法是?A.密勒指數(shù)B.笛卡爾坐標(biāo)C.極坐標(biāo)D.球面坐標(biāo)答案:A47.硅材料的電子親和能是指?A.電子從真空進(jìn)入硅材料所需要的能量B.電子從硅材料進(jìn)入真空所需要的能量C.電子在硅材料中的束縛能D.電子在硅材料中的遷移能答案:A48.以下哪種方法可以檢測硅材料的晶體結(jié)構(gòu)?A.原子力顯微鏡B.X射線衍射C.掃描隧道顯微鏡D.電子顯微鏡答案:B49.硅材料在集成電路中的摻雜工藝主要是為了?A.改變硅材料的導(dǎo)電性B.提高硅材料的硬度C.改善硅材料的光學(xué)性能D.降低硅材料的成本答案:A50.多晶硅的制備過程中,流化床法的優(yōu)點是?A.能耗低B.產(chǎn)量高C.純度高D.設(shè)備簡單答案:B51.硅材料的禁帶寬度隨溫度的升高?A.增大B.減小C.不變D.先增大后減小答案:B52.單晶硅的制備過程中,收尾的目的是?A.防止晶體脫離B.提高晶體質(zhì)量C.排除雜質(zhì)D.控制晶體直徑答案:A53.硅材料的光學(xué)透過率與?A.波長有關(guān)B.厚度有關(guān)C.雜質(zhì)濃度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D54.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,常用的催化劑是?A.鎳B.銅C.鐵D.鉑答案:D55.硅材料的熱膨脹系數(shù)與?A.溫度有關(guān)B.晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)C.雜質(zhì)濃度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D56.以下哪種現(xiàn)象與硅材料的半導(dǎo)體性質(zhì)有關(guān)?A.光電效應(yīng)B.壓電效應(yīng)C.磁致伸縮效應(yīng)D.霍爾效應(yīng)答案:A57.硅材料的制備過程中,需要進(jìn)行嚴(yán)格的雜質(zhì)控制,主要是因為雜質(zhì)會?A.影響硅材料的晶體結(jié)構(gòu)B.改變硅材料的電學(xué)性能C.降低硅材料的硬度D.使硅材料的顏色發(fā)生變化答案:B58.單晶硅的生長過程中,常用的加熱方式是?A.電阻加熱B.感應(yīng)加熱C.電弧加熱D.電子束加熱答案:B59.硅材料的化學(xué)穩(wěn)定性主要是由于?A.硅原子的電子結(jié)構(gòu)B.硅材料的晶體結(jié)構(gòu)C.硅材料的純度高D.硅材料的硬度大答案:A60.以下哪種方法可以提高硅材料的純度?A.區(qū)域熔煉法B.熱退火法C.化學(xué)腐蝕法D.機(jī)械拋光法答案:A61.硅材料在半導(dǎo)體器件中的應(yīng)用主要是基于其?A.本征半導(dǎo)體特性B.雜質(zhì)半導(dǎo)體特性C.金屬特性D.絕緣體特性答案:B62.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,反應(yīng)溫度一般在?A.100-200℃B.300-500℃C.600-1000℃D.1000-1500℃答案:C63.硅材料的少數(shù)載流子擴(kuò)散長度與?A.雜質(zhì)濃度有關(guān)B.晶體缺陷有關(guān)C.溫度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D64.單晶硅的制備過程中,晶體的生長速度主要取決于?A.溫度梯度B.拉速C.熔體的過冷度D.以上都是答案:D65.硅材料的光學(xué)折射率與?A.波長有關(guān)B.溫度有關(guān)C.雜質(zhì)濃度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D66.以下哪種物質(zhì)不能用于蝕刻硅材料?A.氫氟酸B.硝酸C.氫氧化鈉D.鹽酸答案:D67.硅材料的制備過程中,對原材料的粒度要求是?A.越細(xì)越好B.越粗越好C.有一定的粒度范圍D.沒有要求答案:C68.單晶硅的晶向?qū)ζ錂C(jī)械性能有?A.很大影響B(tài).較小影響C.沒有影響D.影響不確定答案:A69.硅材料的熱穩(wěn)定性與?A.晶體結(jié)構(gòu)有關(guān)B.雜質(zhì)濃度有關(guān)C.溫度有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D70.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,反應(yīng)氣體的純度要求是?A.90%以上B.95%以上C.99%以上D.99.99%以上答案:D71.硅材料在電子器件中的散熱主要依靠?A.熱傳導(dǎo)B.熱對流C.熱輻射D.以上都是答案:A72.以下哪種方法可以檢測硅材料中的位錯缺陷?A.化學(xué)腐蝕法B.光學(xué)顯微鏡法C.電子顯微鏡法D.以上都是答案:D73.硅材料的電阻率隨溫度的升高?A.增大B.減小C.不變D.先增大后減小答案:B74.單晶硅的制備過程中,為了提高晶體的均勻性,通常采用?A.旋轉(zhuǎn)坩堝B.增加拉速C.提高溫度D.減小壓力答案:A75.硅材料的光學(xué)吸收主要是由于?A.電子躍遷B.晶格振動C.雜質(zhì)吸收D.以上都是答案:D76.化學(xué)氣相沉積法制備硅材料時,沉積薄膜的質(zhì)量與?A.反應(yīng)氣體的流量有關(guān)B.反應(yīng)溫度有關(guān)C.反應(yīng)室的壓力有關(guān)D.以上都有關(guān)答案:D77.硅材料的制備過程中,為了防止雜質(zhì)的引入,通常采用?A.密封設(shè)備B.高溫處理C.化學(xué)清洗D.以上都是答案:D78.單晶硅的晶向?qū)ζ浠瘜W(xué)腐蝕速率有?A.很大影響B(tài).較小影響C.沒有影響D.影響不確定答案:A79.硅材料的電學(xué)性能主要由?A.晶體結(jié)構(gòu)決定B.雜質(zhì)濃度決定C.溫度決定D.以上都決定答案:D80.以下哪種雜質(zhì)元素對硅材料的電學(xué)性能影響最?。緼.金(Au)B.銅(Cu)C.氦(He)D.鐵(Fe)答案:C81.硅材料在制造光電器件時,為了提高光吸收效率,常采用的結(jié)構(gòu)是?A.多層結(jié)構(gòu)B.多孔結(jié)構(gòu)C.納米結(jié)構(gòu)D.以上都是答案:D82.在硅材料的摻雜過程中,離子注入法相對于擴(kuò)散法的優(yōu)勢是?A.可以精確控制摻雜濃度和深度B.工藝簡單C.成本較低D.可以在較低溫度下進(jìn)行答案:A83.硅材料的熱導(dǎo)率在()方向上最高?A.[100]B.[110]C.[111]D.各向同性答案:A84.對于硅材料制備中的化學(xué)氣相沉積過程,以下哪種情況可能導(dǎo)致薄膜質(zhì)量下降?A.反應(yīng)氣體混合不均勻B.沉積溫度過高C.沉積時間過長D.反應(yīng)室壓力過低答案:A85.硅材料在高溫下的()性能會顯著影響其在某些特殊電子器件中的應(yīng)用?A.抗氧化B.抗腐蝕C.抗變形D.抗輻射答案:C86.以下哪種方法可用于測量硅材料的少數(shù)載流子壽命?A.光電導(dǎo)衰退法B.四探針法C.電容-電壓法D.霍爾效應(yīng)測量法答案:A87.硅材料在半導(dǎo)體制造中,為了形成良好的歐姆接觸,通常需要進(jìn)行()處理?A.表面氧化B.表面金屬化C.表面氮化D.表面碳化答案:B88.在硅材料的晶體生長過程中,()可能會導(dǎo)致孿晶的形成?A.溫度波動過大B.籽晶質(zhì)量差C.熔體對流異常D.以上都是答案:D89.硅材料的介電損耗與()有關(guān)?A.頻率B.溫度C.雜質(zhì)濃度D.以上都是答案:D90.以下哪種硅材料的制備方法對設(shè)備要求最高?A.直拉法B.區(qū)熔精煉法C.化學(xué)氣相沉積法D.流化床法答案:C91.硅材料在太陽能光伏應(yīng)用中,為了提高電池的轉(zhuǎn)換效率,需要對硅片進(jìn)行()處理?A.減薄B.增厚C.表面織構(gòu)化D.表面鈍化答案:C92

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