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與電阻式、電感式傳感器相比的優(yōu)點(diǎn):第3章電容式傳感器1.測(cè)量范圍大:相對(duì)變化量可達(dá)100%。2.靈敏度高:可達(dá)10-7。3.動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短:可動(dòng)部件質(zhì)量小,固有頻率高,適合于動(dòng)態(tài)信號(hào)的測(cè)量。4.機(jī)械損失?。弘姌O間引力小,無摩擦,熱效應(yīng)小,因此,精度高。5.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適應(yīng)性強(qiáng):金屬做電極,無機(jī)材料絕緣支撐,能承受大的溫度變化和強(qiáng)輻射,適合于惡劣環(huán)境工作。2021/6/271復(fù)習(xí)總結(jié)與電阻式、電感式傳感器相比的不足之處:第3章電容式傳感器1.寄生電容影響大:導(dǎo)線電容、泄露電容。降低了靈敏度,非線性輸出,甚至不穩(wěn)定。2.當(dāng)用變間隙原理進(jìn)行測(cè)量時(shí),具有非線性輸出特性。由于材料、工藝,特別是測(cè)量電路及半導(dǎo)體集成技術(shù)等方面已達(dá)到了相當(dāng)高的水平,因此寄生電容的影響得到較好地解決,使電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)得以充分發(fā)揮。應(yīng)用:

壓力、位移、厚度、加速度、液位、物位、濕度和成分含量等測(cè)量之中。2021/6/2723.4電容式傳感器的應(yīng)用第3章電容式傳感器電子技術(shù)的發(fā)展,解決了電容式傳感器存在的許多技術(shù)問題,使電容式傳感器不但廣泛應(yīng)用于精確測(cè)量位移、厚度、角度、振動(dòng)等物理量,還應(yīng)用于測(cè)量力、壓力、差壓、流量、成分、液位等參數(shù),在自動(dòng)檢測(cè)與控制系統(tǒng)中也常常用來作為位置信號(hào)發(fā)生器。2021/6/2731.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用高壓側(cè)進(jìn)氣口低壓側(cè)進(jìn)氣口電子線路位置內(nèi)部不銹鋼膜片的位置2021/6/2741.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用主要討論球、平面型差動(dòng)電容壓力傳感器。1—高壓側(cè)進(jìn)氣口2—低壓側(cè)進(jìn)氣口

3—過濾片

4—空腔5—柔性不銹鋼波紋隔離膜片(測(cè)量膜片)6—導(dǎo)壓硅油

7—凹形玻璃圓片8—鍍金凹形電極

9—彈性平膜片(感壓膜片)

10—

腔2021/6/2751.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用主要討論球、平面型差動(dòng)電容壓力傳感器。凸玻璃圓片彈性膜片(動(dòng)電極)固定電極PLPH2021/6/2761.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用當(dāng)PH=PL時(shí),中心膜片處于平直狀態(tài),膜片兩側(cè)電容均為C0;當(dāng)PH>PL時(shí),中心膜片上凸,上部電容為CL,下部電容為CH。CH相當(dāng)于當(dāng)前膜片位置與平直位置間的電容CA和C0的串聯(lián);而C0又可看成是膜片上部電容CL與的CA串聯(lián)。dxd0CACLCHC0PHPLCACLCHC0C0CA等效電路2021/6/2771.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用dxd0CACLCHC0PHPLCACLCHC0C0CA等效電路即:需要解決的問題是:中心膜片處于平直狀態(tài)時(shí),C0=C(d0)=?;當(dāng)PH>PL模片上凸db時(shí),CA=C(dx)=?。2021/6/2781.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用Rbadbd0實(shí)線為球冠型固定電極設(shè)膜片半徑為a,球冠形固定電極的半徑為R,固定電極的實(shí)際拱底半徑為b,拱底距膜片的距離為db,當(dāng)d0<<R時(shí):在PH-PL作用下,其中k是一個(gè)與傳感器結(jié)構(gòu)有關(guān)的系數(shù)。2021/6/2791.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用利用脈寬調(diào)制電路,將中心膜片接地,其輸出U0:輸出USC與差壓PH-PL成正比。而所以2021/6/27101.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用各種電容式

差壓變送器外形

2021/6/27111.電容式差壓變送器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用2021/6/27122.電容式測(cè)微儀

3.4電容式傳感器的應(yīng)用非接觸式精確測(cè)量位移和振動(dòng)幅度。在最大量程為(100±5)um時(shí),最小檢測(cè)量可達(dá)0.01um。a)測(cè)振幅b)測(cè)軸回轉(zhuǎn)精度和軸心偏擺被測(cè)物振動(dòng)電容式傳感器被測(cè)軸電容式傳感器假設(shè)采用運(yùn)算法測(cè)量電路,則輸出電壓和位移成線性關(guān)系。2021/6/27133.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用 電容式液位計(jì)利用液位高低變化影響電容器電容量大小的原理進(jìn)行測(cè)量。依此原理還可進(jìn)行其它形式的物位測(cè)量。對(duì)導(dǎo)電介質(zhì)和非導(dǎo)電介質(zhì)都能測(cè)量,此外還能測(cè)量有傾斜晃動(dòng)及高速運(yùn)動(dòng)的容器的液位。不僅可作液位控制器,還能用于連續(xù)測(cè)量。2021/6/2714變介質(zhì)型電容傳感器3.1基本工作原理右圖相當(dāng)于兩個(gè)電容器的并聯(lián),1、2為筒狀極板。上面的電容器以ε2為介質(zhì),下面的電容器以ε1為介質(zhì)。電容液位計(jì)原理圖2021/6/2715變介質(zhì)型電容傳感器3.1基本工作原理其中,A為常數(shù),K為靈敏度系數(shù)電容C與液位h1之間呈線性關(guān)系.2021/6/27163.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用

(1)安裝形式

電容式液位計(jì)的安裝形式因被測(cè)介質(zhì)性質(zhì)不同而有差別. 右圖為用來測(cè)量導(dǎo)電介質(zhì)的單電極電容液位計(jì),它只用一根電極作為電容器的內(nèi)電極,一般用紫銅或不銹鋼,外套聚四氟乙烯塑料管或涂搪瓷作為絕緣層,而導(dǎo)電液體和容器壁構(gòu)成電容器的外電極。1-內(nèi)電極;2-絕緣套2021/6/27173.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用電容式水位探頭圖中電容隨水位高度hx變化的關(guān)系為:式中

D——探頭內(nèi)徑;

d——測(cè)定電極的直徑;

hx——水位高度;

ε0——空氣的相對(duì)介電常數(shù);

ε——絕緣層的介電常數(shù);可以看出,D與d相差越小,傳感器的靈敏度越高。Ddε0εhx測(cè)定電極絕緣層水2021/6/27183.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用右圖為用于測(cè)量非導(dǎo)電介質(zhì)的同軸雙層電極電容式液位計(jì)。內(nèi)電極和與之絕緣的同軸金屬套組成電容的兩極,外電極上開有很多流通孔使液體流入極板間。

1、2-內(nèi)、外電極;

3-絕緣套;4-流通孔安裝形式2021/6/27193.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用以上介紹的兩種是最一般的安裝方法,在有些特殊場(chǎng)合還有其它特殊安裝形式,如大直徑容器或介電系數(shù)較小的介質(zhì),為增大測(cè)量靈敏度,通常也只用一根電極,將其靠近容器壁安裝,使它與容器壁構(gòu)成電容器的兩極;在測(cè)大型容器或非導(dǎo)電容器內(nèi)裝非導(dǎo)電介質(zhì)時(shí),可用兩根不同軸的圓筒電極平行安裝構(gòu)成電容;在測(cè)極低溫度下的液態(tài)氣體時(shí),一個(gè)電容靈敏度太低??扇⊥S多層電極結(jié)構(gòu),把奇數(shù)層和偶數(shù)層的圓筒分別連接在一起成為兩組電極,變成相當(dāng)于多個(gè)電容并聯(lián),以增加靈敏度。2021/6/27203.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用電容式料位和液位傳感器測(cè)定電極安裝在金屬儲(chǔ)罐的頂部,儲(chǔ)罐的罐壁和測(cè)定電極之間形成了一個(gè)電容器。Dd檢測(cè)電路測(cè)定電極儲(chǔ)罐ε0ε1hx圖中電容隨料位高度hx變化的關(guān)系為:式中k——比例常數(shù);

D——儲(chǔ)罐的內(nèi)徑;

d——測(cè)定電極的直徑;

h——被測(cè)物料的高度;

ε0——空氣的相對(duì)介電常數(shù);

ε1——被測(cè)物料的相對(duì)介電常數(shù);2021/6/27213.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用被測(cè)電容Cx可以配置一個(gè)環(huán)形二極管電路進(jìn)行檢測(cè)。用環(huán)形二極管充放電法測(cè)量電容的基本原理是以一高頻方波為信號(hào)源,通過一環(huán)形二極管電橋,對(duì)被測(cè)電容進(jìn)行充放電,環(huán)形二極管電橋輸出一個(gè)與被測(cè)電容成正比的微安級(jí)電流?;竟ぷ髟恚?021/6/27223.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用環(huán)形二極管電路輸入方波加在電橋的A點(diǎn)和地之間。Cx為被測(cè)電容,Cd為平衡電容傳感器初始電容的調(diào)零電容;C為濾波電容;A為直流電流表。2021/6/27233.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用環(huán)形二極管電路當(dāng)輸入的方波由E1躍變到E2時(shí),電容Cx和Cd兩端的電壓皆由E1充電到E2。對(duì)電容Cx充電的電流i1所示的方向;對(duì)Cd充電的電流如i3所示方向。

在充電過程中(T1這段時(shí)間),VD2、VD4一直處于截止?fàn)顟B(tài)。在T1這段時(shí)間內(nèi)由A點(diǎn)向C點(diǎn)流動(dòng)的電荷量為:

q1=Cd(E2-E1)

2021/6/27243.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用環(huán)形二極管電路當(dāng)輸入的方波由E2躍變到E1時(shí),電容Cx和Cd放電;電壓皆由E2放電到E1。對(duì)電容Cx放電的電流i2所示的方向;對(duì)Cd放電的電流如i4所示方向。

在放電過程中(T2這段時(shí)間),VD1、VD3一直處于截止?fàn)顟B(tài)。在T2這段時(shí)間內(nèi)由C點(diǎn)向A點(diǎn)流動(dòng)的電荷量為:

q2=Cx(E2-E1)

2021/6/27253.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用環(huán)形二極管電路設(shè)方波的頻率f=1/T0(即每秒鐘要發(fā)生的充放電過程的次數(shù)),則由C點(diǎn)流向A點(diǎn)的平均電流為I2=Cxf(E2-E1),而從A點(diǎn)流向C點(diǎn)的平均電流為I3=Cdf(E2-E1),流過此支路的瞬時(shí)電流的平均值為式中,ΔE為方波的幅值,ΔE=E2-E1。令Cx的初始值為C0,ΔCx為Cx的增量,則Cx=C0+ΔCx,調(diào)節(jié)Cd=C0則由上式可以看出,I正比于ΔCx。2021/6/27263.電容式液位計(jì)

3.4電容式傳感器的應(yīng)用環(huán)形二極管電路ΔE=E2-E1;f=1/T0,為方波的頻率;Ddε0εhx測(cè)定電極絕緣層水在方波頻率和幅值一定的情況下,輸出電流的變化與液位成正比。2021/6/27274.濕度測(cè)量

3.4電容式傳感器的應(yīng)用濕敏電容一般用高分子薄膜電容制成的,常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。HM1500濕度傳感器當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí),濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化,使其電容量也發(fā)生變化,其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。2021/6/27285.電容式鍵盤

3.4電容式傳感器的應(yīng)用常規(guī)的鍵盤有機(jī)械按鍵和電容按鍵兩種。電容式鍵盤是基于電容式開關(guān)的鍵盤,原理是通過按鍵改變電極間的距離產(chǎn)生電容量的變化,暫時(shí)形成震蕩脈沖允許通過的條件。這種開關(guān)是無觸點(diǎn)非接觸式的,磨損率極小。利用變極距型電容傳感器實(shí)現(xiàn)信息轉(zhuǎn)換.2021/6/27296.電容式傳聲器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用駐極體電容傳聲器大膜片電容傳聲器傳聲器(Microphone)即話筒,音譯作麥克風(fēng),目前使用的話筒大多是動(dòng)圈式和電容式。電容傳聲器以振膜與后極板間的電容量變化通過前置放大器變換為輸出電壓。2021/6/27307.電容式指紋傳感器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用目前的指紋采集技術(shù)主要有光學(xué)采集、半導(dǎo)體采集、超聲波采集。(1)半導(dǎo)體壓感式傳感器

其表面的頂層是具有彈性的壓感介質(zhì)材料,它們依照指紋的外表地形(凹凸)轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電子信號(hào),并進(jìn)一步產(chǎn)生具有灰度級(jí)的指紋圖像。(2)半導(dǎo)體溫度感應(yīng)傳感器

它通過感應(yīng)壓在設(shè)備上的脊和遠(yuǎn)離設(shè)備的谷溫度的不同就可以獲得指紋圖像。(3)硅電容指紋圖像傳感器

這是最常見的半導(dǎo)體指紋傳感器,它通過電子度量來捕捉指紋。在半導(dǎo)體金屬陣列上能結(jié)合大約100,000個(gè)電容傳感器,其外面是絕緣的表面。2021/6/27317.電容式指紋傳感器

3.4電容式傳感器的應(yīng)用傳感器陣列的每一點(diǎn)是一個(gè)金屬電極,充當(dāng)電容器的一極,按在傳感面上的手指頭的對(duì)應(yīng)點(diǎn)則作為另一極,傳感面形成兩極之間的介電層。由于指紋的脊和谷相對(duì)于另一極之

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